Atomic and molecular layer deposition: off the beaten track

Chemical Communications

Volumn 53, Issue 1, 2017, Pages 45-71

  Van Bui, H ^a   Grillo, F ^a   Van Ommen, J R ^a  

^a DELFT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CARBON NANOTUBE; COBALT; COPPER; COPPER OXIDE; FERRIC OXIDE; FLUORIDE; GOLD; GRAPHENE; METAL ORGANIC FRAMEWORK; METAL OXIDE; MOLECULAR LAYER; NANOWIRE; NICKEL; NICKEL OXIDE; PALLADIUM; PLATINUM; RUTHENIUM; SILVER; SULFIDE; TITANIUM; TRANSITION ELEMENT; TUNGSTEN; UNCLASSIFIED DRUG;

ARTICLE; ATOMIC LAYER DEPOSITION; CHEMICAL PROCEDURES; MOLECULAR LAYER DEPOSITION; PRESSURE; PROCESSING; REACTOR; SURFACE AREA; SYNTHESIS; TEMPERATURE; TIME;

EID: 85006850966     PISSN: 13597345     EISSN: 1364548X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c6cc05568k     Document Type: Article

References (356)

1. S. M. George Chem. Rev. 2010 100 111-131
2. R. L. Puurunen J. Appl. Phys. 2005 97 121301
3. D. Longrie D. Deduytsche C. Detavernier J. Vac. Sci. Technol., A 2014 32 010802
4. R. L. Puurunen W. Vandervorst J. Appl. Phys. 2004 96 7686
5. R. L. Puurunen W. Vandervorst W. F. A. Besling O. Richard H. Bender T. Conard C. Zhao A. Delabie M. Caymax S. De Gendt M. Heyns M. M. Viitanen M. de Ridder H. H. Brongersma Y. Tamminga T. Dao T. de Win M. Verheijen M. Kaiser M. Tuominen J. Appl. Phys. 2004 96 4878
6. K. Kim H. B. Lee R. W. Johnson J. T. Tanskanen N. Liu M. G. Kim C. Pang C. Ahn S. F. Bent Z. Bao Nat. Commun. 2014 5 4781
7. V. Miikkulainen M. Leskela M. Ritala R. L. Puurunen J. Appl. Phys. 2013 113 021301
8. P. Sundberg M. Karppinen Beilstein J. Nanotechnol. 2014 5 1104-1136
9. R. L. Puurunen Chem. Vap. Deposition 2014 20 332-344
10. A. A. Malygin V. E. Drozd A. A. Malkov V. M. Smirnov Chem. Vap. Deposition 2015 21 216-240
11. N. Sobel C. Hess Angew. Chem., Int. Ed. 2015 54 15014-15021
12. J. Liu X. Sun Nanotechnology 2015 26 024001
13. X. Meng X. Q. Yang X. Sun Adv. Mater. 2012 24 3589-3615
14. W. Niu X. Li S. K. Karuturi D. W. Fam H. Fan S. Shrestha L. H. Wong A. I. Tok Nanotechnology 2015 26 064001
15. B. Ahmed C. Xia H. N. Alshareef Nano Today 2016 11 250-271
16. A. M. Schwartzberg D. Olynick Adv. Mater. 2015 27 5778-5784
17. X. Wang G. Yushin Energy Environ. Sci. 2015 8 1889-1904
18. N. Cheng Y. Shao J. Liu X. Sun Nano Energy 2016 10.1016/j.nanoen.2016.01.016
19. C. Marichy M. Bechelany N. Pinna Adv. Mater. 2012 24 1017-1032
20. R. W. Johnson A. Hultqvist S. F. Bent Mater. Today 2014 17 236-246
21. A. F. Palmstrom P. K. Santra S. F. Bent Nanoscale 2015 7 12266-12283
22. B. J. O'Neill D. H. K. Jackson J. Lee C. Canlas P. C. Stair C. L. Marshall J. W. Elam T. F. Kuech J. A. Dumesic G. W. Huber ACS Catal. 2015 5 1804-1825
23. K. Gregorczyk M. Knez Prog. Mater. Sci. 2016 75 1-37
24. J. Lu J. W. Elam P. C. Stair Surf. Sci. Rep. 2016 71 410-472
25. H. C. Guo E. Ye Z. Li M.-Y. Han X. J. Loh Mater. Sci. Eng., C 2016 10.1016/j.msec.2016.01.093
26. A. Fihri R. Sougrat R. B. Rakhi R. Rahal D. Cha M. N. Hedhili M. Bouhrara H. N. Alshareef V. Polshettiwar ChemSusChem 2012 5 1241-1248
27. M.-G. Jeong E. J. Park B. Jeong D. H. Kim Y. D. Kim Chem. Eng. J. 2014 237 62-69
28. A. Singh S. L. Y. Chang R. K. Hocking U. Bach L. Spiccia Energy Environ. Sci. 2013 6 579-586
29. K. L. Nardi N. Yang C. F. Dickens A. L. Strickler S. F. Bent Adv. Energy Mater. 2015 5 1500412
30. C. C. Hsu H. W. Su C. H. Hou J. J. Shyue F. Y. Tsai Nanotechnology 2015 26 385201
31. P. Yang X. Tong G. Wang Z. Gao X. Guo Y. Qin ACS Appl. Mater. Interfaces 2015 7 4772-4777
32. M.-G. Jeong D. H. Kim S.-K. Lee J. H. Lee S. W. Han E. J. Park K. A. Cychosz M. Thommes Y. K. Hwang J.-S. Chang Y. D. Kim Microporous Mesoporous Mater. 2016 221 101-107
33. M. B. Gawande A. Goswami F. X. Felpin T. Asefa X. Huang R. Silva X. Zou R. Zboril R. S. Varma Chem. Rev. 2016 116 3722-3811
34. S. Ruhle A. Y. Anderson H. N. Barad B. Kupfer Y. Bouhadana E. Rosh-Hodesh A. Zaban J. Phys. Chem. Lett. 2012 3 3755-3764
35. J. Zhang J. Liu Q. Peng X. Wang Y. Li Chem. Mater. 2006 18 867-871
36. S. W. Lee Y. S. Lee J. Heo S. C. Siah D. Chua R. E. Brandt S. B. Kim J. P. Mailoa T. Buonassisi R. G. Gordon Adv. Energy Mater. 2014 4 1301916
37. T. Törndahl M. Ottosson J.-O. Carlsson Thin Solid Films 2004 458 129-136
38. T. Waechtler S. Oswald N. Roth A. Jakob H. Lang R. Ecke S. E. Schulz T. Gessner A. Moskvinova S. Schulze M. Hietschold J. Electrochem. Soc. 2009 156 H453
39. M. E. Alnes E. Monakhov H. Fjellvåg O. Nilsen Chem. Vap. Deposition 2012 18 173-178
40. T. Iivonen J. Hämäläinen B. Marchand K. Mizohata M. Mattinen G. Popov J. Kim R. A. Fischer M. Leskelä J. Vac. Sci. Technol., A 2016 34 01A109
41. D. Muñoz-Rojas M. Jordan C. Yeoh A. T. Marin A. Kursumovic L. A. Dunlop D. C. Iza A. Chen H. Wang J. L. MacManus Driscoll AIP Adv. 2012 2 042179
42. H. Kim M. Y. Lee S.-H. Kim S. I. Bae K. Y. Ko H. Kim K.-W. Kwon J.-H. Hwang D.-J. Lee Appl. Surf. Sci. 2015 349 673-682
43. K. Sivula F. Le Formal M. Gratzel ChemSusChem 2011 4 432-449
44. B. Klahr S. Gimenez F. Fabregat-Santiago J. Bisquert T. W. Hamann Energy Environ. Sci. 2012 5 7626
45. B. Klahr S. Gimenez F. Fabregat-Santiago T. Hamann J. Bisquert J. Am. Chem. Soc. 2012 134 4294-4302
46. S. C. Riha M. J. Vermeer M. J. Pellin J. T. Hupp A. B. Martinson ACS Appl. Mater. Interfaces 2013 5 360-367
47. O. Nilsen M. Lie S. Foss H. Fjellvåg A. Kjekshus Appl. Surf. Sci. 2004 227 40-47
48. M. Lie H. Fjellvåg A. Kjekshus Thin Solid Films 2005 488 74-81
49. M. r. Rooth A. Johansson K. Kukli J. Aarik M. Boman A. Hårsta Chem. Vap. Deposition 2008 14 67-70
50. J. R. Scheffe A. Francés D. M. King X. Liang B. A. Branch A. S. Cavanagh S. M. George A. W. Weimer Thin Solid Films 2009 517 1874-1879
51. A. B. F. Martinson M. J. DeVries J. A. Libera S. T. Christensen J. T. Hupp M. J. Pellin J. W. Elam J. Phys. Chem. C 2011 115 4333-4339
52. S. C. Riha J. M. Racowski M. P. Lanci J. A. Klug A. S. Hock A. B. Martinson Langmuir 2013 29 3439-3445
53. J. R. Avila D. W. Kim M. Rimoldi O. K. Farha J. T. Hupp ACS Appl. Mater. Interfaces 2015 7 16138-16142
54. J. A. Klug N. G. Becker S. C. Riha A. B. F. Martinson J. W. Elam M. J. Pellin T. Proslier J. Mater. Chem. A 2013 1 11607
55. H. Van Bui A. Y. Kovalgin R. A. M. Wolters ECS J. Solid State Sci. Technol. 2012 1 P285-P290
56. S. B. S. Heil E. Langereis F. Roozeboom M. C. M. van de Sanden W. M. M. Kessels J. Electrochem. Soc. 2006 153 G956
57. M. Ritala P. Kalsi D. Riihela K. Kukli M. Leskelä J. Jokinen Chem. Mater. 1999 11 1712-1718
58. J.-S. Park H.-S. Park S.-W. Kang J. Electrochem. Soc. 2002 149 C28
59. J. W. Klaus S. J. Ferro S. M. George Thin Solid Films 2000 360 145-153
60. J. S. Becker S. Suh S. Wang R. G. Gordon Chem. Mater. 2003 15 2969-2976
61. H. Van Bui M. D. Nguyen F. B. Wiggers A. A. I. Aarnink M. P. de Jong A. Y. Kovalgin ECS J. Solid State Sci. Technol. 2014 3 P101-P106
62. C. Ozgit I. Donmez M. Alevli N. Biyikli Thin Solid Films 2012 520 2750-2755
63. H. C. Knoops E. M. Braeken K. de Peuter S. E. Potts S. Haukka V. Pore W. M. Kessels ACS Appl. Mater. Interfaces 2015 7 19857-19862
64. A. M. Andringa A. Perrotta K. de Peuter H. C. Knoops W. M. Kessels M. Creatore ACS Appl. Mater. Interfaces 2015 7 22525-22532
65. R. A. Ovanesyan D. M. Hausmann S. Agarwal ACS Appl. Mater. Interfaces 2015 7 10806-10813
66. A. Haider C. Ozgit-Akgun F. Kayaci A. K. Okyay T. Uyar N. Biyikli APL Mater. 2014 2 096109
67. A. Haider C. Ozgit-Akgun E. Goldenberg A. K. Okyay N. Biyikli G. Brennecka J. Am. Ceram. Soc. 2014 97 4052-4059
68. C. Ozgit I. Donmez M. Alevli N. Biyikli J. Vac. Sci. Technol., A 2012 30 01A124
69. S. Huang Q. Jiang S. Yang C. Zhou K. J. Chen IEEE Electron Device Lett. 2012 33 516-518
70. C. Ozgit-Akgun E. Goldenberg A. K. Okyay N. Biyikli J. Mater. Chem. C 2014 2 2123
71. S. M. Rossnagel A. Sherman F. Turner J. Vac. Sci. Technol., A 2000 18 2016
72. H. Kim S. M. Rossnagel J. Vac. Sci. Technol., A 2002 20 802
73. J. P. Klesko C. M. Thrush C. H. Winter Chem. Mater. 2015 27 4918-4921
74. P. J. Ireland Thin Solid Films 1997 304 1-12
75. J. W. Elam C. E. Nelson R. K. Grubbs S. M. George Surf. Sci. 2001 479 121-135
76. B. Kalanyan M. D. Losego C. J. Oldham G. N. Parsons Chem. Vap. Deposition 2013 19 161-166
77. B. Kalanyan P. C. Lemaire S. E. Atanasov M. J. Ritz G. N. Parsons Chem. Mater. 2016 28 117-126
78. M. Yang A. A. I. Aarnink A. Y. Kovalgin D. J. Gravesteijn R. A. M. Wolters J. Schmitz J. Vac. Sci. Technol., A 2016 34 01A129
79. M. Yang A. A. I. Aarnink A. Y. Kovalgin R. A. M. Wolters J. Schmitz Phys. Status Solidi A 2015 212 1607-1614
80. P. Martensson J.-O. Carlsson J. Electrochem. Soc. 1998 145 2926-2931
81. M. Utriainen M. Kroger-Laukkanen L.-S. Johansson L. Niinisto Appl. Surf. Sci. 2000 157 151-158
82. J. Huo R. Solanki J. McAndrew J. Mater. Res. 2002 17 2394-2398
83. Z. Li A. Rahtu R. G. Gordon J. Electrochem. Soc. 2006 153 C787
84. Z. Guo H. Li Q. Chen L. Sang L. Yang Z. Liu X. Wang Chem. Mater. 2015 27 5988-5996
85. B. Vidjayacoumar D. J. H. Emslie S. B. Clendenning J. M. Blackwell J. F. Britten A. Rheingold Chem. Mater. 2010 22 4844-4853
86. T. J. Knisley T. C. Ariyasena T. Sajavaara M. J. Saly C. H. Winter Chem. Mater. 2011 23 4417-4419
87. L. C. Kalutarage S. B. Clendenning C. H. Winter Chem. Mater. 2014 26 3731-3738
88. B. H. Lee J. K. Hwang J. W. Nam S. U. Lee J. T. Kim S. M. Koo A. Baunemann R. A. Fischer M. M. Sung Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 2009 48 4536-4539
89. C.-S. Chen J.-H. Lin T.-W. Lai B.-H. Li J. Catal. 2009 263 155-166
90. C. S. Chen J. H. Lin T. W. Lai Chem. Commun. 2008 4983-4985 10.1039/b807428c
91. B. S. Lim A. Rahtu R. G. Gordon Nat. Mater. 2003 2 749-754
92. H.-B.-R. Lee H. Kim Electrochem. Solid-State Lett. 2006 9 G323
93. J. Yoon H.-B.-R. Lee D. Kim T. Cheon S.-H. Kim H. Kim J. Electrochem. Soc. 2011 158 H1179
94. K. Kim K. Lee S. Han W. Jeong H. Jeon J. Electrochem. Soc. 2007 154 H177
95. J.-M. Kim H.-B.-R. Lee C. Lansalot C. Dussarrat J. Gatineau H. Kim Jpn. J. Appl. Phys. 2010 49 05FA10
96. H.-B.-R. Lee W.-H. Kim J. W. Lee J.-M. Kim K. Heo I. C. Hwang Y. Park S. Hong H. Kim J. Electrochem. Soc. 2010 157 D10
97. J. Park H.-B.-R. Lee D. Kim J. Yoon C. Lansalot J. Gatineau H. Chevrel H. Kim J. Energy Chem. 2013 22 403-407
98. J.-H. Park D.-Y. Moon D.-S. Han Y.-J. Kang S.-R. Shin H.-T. Jeon J.-W. Park Surf. Coat. Technol. 2014 259 98-101
99. K. Kim K. Lee S. Han T. Park Y. Lee J. Kim S. Yeom H. Jeon Jpn. J. Appl. Phys. 2007 46 L173-L176
100. T. J. Knisley L. C. Kalutarage C. H. Winter Coord. Chem. Rev. 2013 257 3222-3231
101. J. Kwon M. Saly M. D. Halls R. K. Kanjolia Y. J. Chabal Chem. Mater. 2012 24 1025-1030
102. J. P. Klesko M. M. Kerrigan C. H. Winter Chem. Mater. 2016 28 700-703
103. K.-W. Do C.-M. Yang I.-S. Kang K.-M. Kim K.-H. Back H.-I. Cho H.-B. Lee S.-H. Kong S.-H. Hahm D.-H. Kwon J.-H. Lee J.-H. Lee Jpn. J. Appl. Phys. 2006 45 2975-2979
104. W.-H. Kim H.-B.-R. Lee K. Heo Y. K. Lee T.-M. Chung C. G. Kim S. Hong J. Heo H. Kim J. Electrochem. Soc. 2011 158 D1
105. T. D. Gould M. M. Montemore A. M. Lubers L. D. Ellis A. W. Weimer J. L. Falconer J. W. Medlin Appl. Catal., A 2015 492 107-116
106. C. Jiang Z. Shang X. Liang ACS Catal. 2015 5 4814-4818
107. J. Chae H.-S. Park S.-w. Kang Electrochem. Solid-State Lett. 2002 5 C64
108. Z. Gao M. Dong G. Wang P. Sheng Z. Wu H. Yang B. Zhang G. Wang J. Wang Y. Qin Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 2015 54 9006-9010
109. J. Zhang C. Chen W. Yan F. Duan B. Zhang Z. Gao Y. Qin Catal. Sci. Technol. 2016 6 2112-2119
110. G. Wang X. Peng L. Yu G. Wan S. Lin Y. Qin J. Mater. Chem. A 2015 3 2734-2740
111. T. Aaltonen A. Rahtu M. Ritala M. Leskela Electrochem. Solid-State Lett. 2003 6 C130
112. X. Jiang H. Huang F. B. Prinz S. F. Bent Chem. Mater. 2008 20 9
113. W. M. M. Kessels H. C. M. Knoops S. A. F. Dielissen A. J. M. Mackus M. C. M. van de Sanden Appl. Phys. Lett. 2009 95 013114
114. S. T. Christensen J. W. Elam B. Lee Z. Feng M. J. Bedzyk M. C. Hersam Chem. Mater. 2009 21 6
115. J. Dendooven R. K. Ramachandran K. Devloo-Casier G. Rampelberg M. Filez H. Poelman G. B. Marin E. Fonda C. Detavernier J. Phys. Chem. C 2013 117 20557-20561
116. N. P. Dasgupta C. Liu S. Andrews F. B. Prinz P. Yang J. Am. Chem. Soc. 2013 135 12932-12935
117. Y. Zhou D. M. King X. Liang J. Li A. W. Weimer Appl. Catal., B 2010 101 54-60
118. J. A. Enterkin W. Setthapun J. W. Elam S. T. Christensen F. A. Rabuffetti L. D. Marks P. C. Stair K. R. Poeppelmeier C. L. Marshall ACS Catal. 2011 1 629-635
119. A. Goulas J. Ruud van Ommen J. Mater. Chem. A 2013 1 4647
120. T. D. Gould A. M. Lubers A. R. Corpuz A. W. Weimer J. L. Falconer J. W. Medlin ACS Catal. 2015 5 1344-1352
121. J. S. King A. Wittstock B. Juergen S. O. Kucheyev Y. M. Wang T. F. Baumann S. K. Giri A. V. Hamza M. Baeumer S. F. Bent Nano Lett. 2008 8 5
122. C. Liu C. C. Wang C. C. Kei Y. C. Hsueh T. P. Perng Small 2009 5 1535-1538
123. C.-T. Hsieh Y.-Y. Liu D.-Y. Tzou W.-Y. Chen J. Phys. Chem. C 2012 116 26735-26743
124. S. Sun G. Zhang N. Gauquelin N. Chen J. Zhou S. Yang W. Chen X. Meng D. Geng M. N. Banis R. Li S. Ye S. Knights G. A. Botton T.-K. Sham X. Sun Sci. Rep. 2013 3 1775
125. X. Liang Y. Zhou J. Li A. W. Weimer J. Nanopart. Res. 2011 13 3781-3788
126. H. C. M. Knoops A. J. M. Mackus M. E. Donders M. C. M. van de Sanden P. H. L. Notten W. M. M. Kessels Electrochem. Solid-State Lett. 2009 12 G34
127. L. Baker A. S. Cavanagh J. Yin S. M. George A. Kongkanand F. T. Wagner Appl. Phys. Lett. 2012 101 111601
128. J. Hämäläinen F. Munnik M. Ritala M. Leskelä Chem. Mater. 2008 20 7
129. H.-B.-R. Lee K. L. Pickrahn S. F. Bent J. Phys. Chem. C 2014 118 12325-12332
130. J. J. Senkevich F. Tang D. Rogers J. T. Drotar C. Jezewski W. A. Lanford G.-C. Wang T.-M. Lu Chem. Vap. Deposition 2003 9 258-264
131. G. A. Ten Eyck S. Pimanpang H. Bakhru T. M. Lu G. C. Wang Chem. Vap. Deposition 2006 12 290-294
132. J. W. Elam A. Zinovev C. Y. Han H. H. Wang U. Welp J. N. Hryn M. J. Pellin Thin Solid Films 2006 515 1664-1673
133. M. J. Weber A. J. M. Mackus M. A. Verheijen C. van der Marel W. M. M. Kessels Chem. Mater. 2012 24 2973-2977
134. M. J. Weber A. J. M. Mackus M. A. Verheijen V. Longo A. A. Bol W. M. M. Kessels J. Phys. Chem. C 2014 118 8702-8711
135. E. Rikkinen A. Santasalo-Aarnio S. Airaksinen M. Borghei V. Viitanen J. Sainio E. I. Kauppinen T. Kallio A. O. I. Krause J. Phys. Chem. C 2011 115 23067-23073
136. J. Hämäläinen E. Puukilainen T. Sajavaara M. Ritala M. Leskelä Thin Solid Films 2013 531 243-250
137. J. Hämäläinen M. Ritala M. Leskelä Chem. Mater. 2014 26 786-801
138. H. Feng J. W. Elam J. A. Libera W. Setthapun P. C. Stair Chem. Mater. 2010 22 3133-3142
139. H. Feng J. A. Libera P. C. Stair J. T. Miller J. W. Elam ACS Catal. 2011 1 665-673
140. X. Liang L. B. Lyon Y.-B. Jiang A. W. Weimer J. Nanopart. Res. 2012 14 943
141. T. Gong L. Qin W. Zhang H. Wan J. Lu H. Feng J. Phys. Chem. C 2015 119 11544-11556
142. H. Yan H. Cheng H. Yi Y. Lin T. Yao C. Wang J. Li S. Wei J. Lu J. Am. Chem. Soc. 2015 137 10484-10487
143. H. Van Bui F. Grillo R. Helmer A. Goulas J. R. van Ommen J. Phys. Chem. C 2016 120 8832-8840
144. T. Aaltonen P. Alén M. Ritala M. Leskelä Chem. Vap. Deposition 2003 9 45
145. O.-K. Kwon J.-H. Kim H.-S. Park S.-W. Kang J. Electrochem. Soc. 2004 151 G109
146. D.-J. Lee S.-S. Yim K.-S. Kim S.-H. Kim K.-B. Kim Electrochem. Solid-State Lett. 2008 11 K61
147. J.-Y. Kim D.-S. Kil J.-H. Kim S.-H. Kwon J.-H. Ahn J.-S. Roh S.-K. Park J. Electrochem. Soc. 2012 159 H560
148. S. K. Park R. Kanjolia J. Anthis R. Odedra N. Boag L. Wielunski Y. J. Chabal Chem. Mater. 2010 22 4867-4878
149. N. Leick R. O. F. Verkuijlen L. Lamagna E. Langereis S. Rushworth F. Roozeboom M. C. M. van de Sanden W. M. M. Kessels J. Vac. Sci. Technol., A 2011 29 021016
150. T. Aaltonen M. Ritala K. Arstila J. Keinonen M. Leskelä Chem. Vap. Deposition 2004 10 215
151. H. Wang R. G. Gordon R. Alvis R. M. Ulfig Chem. Vap. Deposition 2009 15 312-319
152. O.-K. Kwon S.-H. Kwon H.-S. Park S.-W. Kang J. Electrochem. Soc. 2004 151 C753
153. H. Li D. B. Farmer R. G. Gordon Y. Lin J. Vlassak J. Electrochem. Soc. 2007 154 D642
154. M. M. Minjauw J. Dendooven B. Capon M. Schaekers C. Detavernier J. Mater. Chem. C 2015 3 132-137
155. M. M. Minjauw J. Dendooven B. Capon M. Schaekers C. Detavernier J. Mater. Chem. C 2015 3 4848-4851
156. A. Corma H. Garcia Chem. Soc. Rev. 2008 37 2096-2126
157. M.-C. Daniel D. Astruc Chem. Rev. 2004 104 293-346
158. M. Hu J. Chen Z. Y. Li L. Au G. V. Hartland X. Li M. Marquez Y. Xia Chem. Soc. Rev. 2006 35 1084-1094
159. E. C. Dreaden A. M. Alkilany X. Huang C. J. Murphy M. A. El-Sayed Chem. Soc. Rev. 2012 41 2740-2779
160. S. Link M. A. El-Sayed J. Phys. Chem. B 1999 103 4212-4217
161. M. B. E. Griffiths P. J. Pallister D. J. Mandia S. T. Barry Chem. Mater. 2016 28 44-46
162. A. Niskanen T. Hatanpää K. Arstila M. Leskelä M. Ritala Chem. Vap. Deposition 2007 13 408-413
163. P. R. Chalker S. Romani P. A. Marshall M. J. Rosseinsky S. Rushworth P. A. Williams Nanotechnology 2010 21 405602
164. Z. Golrokhi S. Chalker C. J. Sutcliffe R. J. Potter Appl. Surf. Sci. 2016 364 789-797
165. M. Kariniemi J. Niinisto T. Hatanpää M. Kemell T. Sajavaara M. Ritala M. Leskela Chem. Mater. 2011 23 2901-2907
166. F. J. van den Bruele M. Smets A. Illiberi Y. Creyghton P. Buskens F. Roozeboom P. Poodt J. Vac. Sci. Technol., A 2015 33 01A131
167. A. A. Amusan B. Kalkofen H. Gargouri K. Wandel C. Pinnow M. Lisker E. P. Burte J. Vac. Sci. Technol., A 2016 34 01A126
168. S. S. Masango L. Peng L. D. Marks R. P. Van Duyne P. C. Stair J. Phys. Chem. C 2014 118 17655-17661
169. T. Suntola and J.Antson, U.S. Pat., 4058430, 1977
170. N. P. Dasgupta X. Meng J. W. Elam A. B. Martinson Acc. Chem. Res. 2015 48 341-348
171. N. P. Dasgupta J. F. Mack M. C. Langston A. Bousetta F. B. Prinz Rev. Sci. Instrum. 2010 81 044102
172. L. K. Tan B. Liu J. H. Teng S. Guo H. Y. Low H. R. Tan C. Y. Chong R. B. Yang K. P. Loh Nanoscale 2014 6 10584-10588
173. Z. Jin S. Shin H. Kwon do S. J. Han Y. S. Min Nanoscale 2014 6 14453-14458
174. S. Shin Z. Jin H. Kwon do R. Bose Y. S. Min Langmuir 2015 31 1196-1202
175. H. Kwon do Z. Jin S. Shin W. S. Lee Y. S. Min Nanoscale 2016 8 7180-7188
176. Y. Kim J. G. Song Y. J. Park G. H. Ryu S. J. Lee J. S. Kim P. J. Jeon C. W. Lee W. J. Woo T. Choi H. Jung H. B. Lee J. M. Myoung S. Im Z. Lee J. H. Ahn J. Park H. Kim Sci. Rep. 2016 6 18754
177. A. Delabie M. Caymax B. Groven M. Heyne K. Haesevoets J. Meersschaut T. Nuytten H. Bender T. Conard P. Verdonck S. Van Elshocht S. De Gendt M. Heyns K. Barla I. Radu A. Thean Chem. Commun. 2015 51 15692-15695
178. N. P. Dasgupta W. Lee F. B. Prinz Chem. Mater. 2009 21 3973-3978
179. N. P. Dasgupta H. J. Jung O. Trejo M. T. McDowell A. Hryciw M. Brongersma R. Sinclair F. B. Prinz Nano Lett. 2011 11 934-940
180. X. Meng D. J. Comstock T. T. Fister J. W. Elam ACS Nano 2014 8 10963-10972
181. B. R. Sutherland S. Hoogland M. M. Adachi P. Kanjanaboos C. T. Wong J. J. McDowell J. Xu O. Voznyy Z. Ning A. J. Houtepen E. H. Sargent Adv. Mater. 2015 27 53-58
182. F. Bridou M. Cuniot-Ponsard J. M. Desvignes M. Richter U. Kroth A. Gottwald Opt. Commun. 2010 283 1351-1358
183. M. Ylilammi T. Ranta-aho J. Electrochem. Soc. 1994 141 1278-1284
184. T. Pilvi T. Hatanpää E. Puukilainen K. Arstila M. Bischoff U. Kaiser N. Kaiser M. Leskelä M. Ritala J. Mater. Chem. 2007 17 5077
185. T. Pilvi E. Puukilainen K. Arstila M. Leskelä M. Ritala Chem. Vap. Deposition 2008 14 85-91
186. A. Kraytsberg H. Drezner M. Auinat A. Shapira N. Solomatin P. Axmann M. Wohlfahrt-Mehrens Y. Ein-Eli ChemNanoMat 2015 1 577-585
187. T. Pilvi E. Puukilainen F. Munnik M. Leskelä M. Ritala Chem. Vap. Deposition 2009 15 27-32
188. M. Mäntymäki M. J. Heikkilä E. Puukilainen K. Mizohata B. Marchand J. Räisänen M. Ritala M. Leskelä Chem. Mater. 2015 27 604-611
189. I. S. Kim A. B. F. Martinson J. Mater. Chem. A 2015 3 20092-20096
190. F. Ding W. Xu D. Choi W. Wang X. Li M. H. Engelhard X. Chen Z. Yang J.-G. Zhang J. Mater. Chem. 2012 22 12745
191. Y. K. Sun M. J. Lee C. S. Yoon J. Hassoun K. Amine B. Scrosati Adv. Mater. 2012 24 1192-1196
192. J. S. Park A. U. Mane J. W. Elam J. R. Croy Chem. Mater. 2015 27 1917-1920
193. H. B. Kim B. C. Park S. T. Myung K. Amine J. Prakash Y. K. Sun J. Power Sources 2008 179 347-350
194. J. Hennessy A. D. Jewell F. Greer M. C. Lee S. Nikzad J. Vac. Sci. Technol., A 2015 33 01A125
195. Y. Lee J. W. DuMont A. S. Cavanagh S. M. George J. Phys. Chem. C 2015 119 14184-14194
196. Y. Lee H. Sun M. J. Young S. M. George Chem. Mater. 2016 28 2022-2032
197. D. H. K. Jackson M. R. Laskar S. Fang S. Xu R. G. Ellis X. Li M. Dreibelbis S. E. Babcock M. K. Mahanthappa D. Morgan R. J. Hamers T. F. Kuech J. Vac. Sci. Technol., A 2016 34 031503
198. C. Hägglund T. Grehl J. T. Tanskanen Y. S. Yee M. N. Mullings A. J. M. Mackus C. MacIsaac B. M. Clemens H. H. Brongersma S. F. Bent J. Vac. Sci. Technol., A 2016 34 021516
199. J. Lu K. B. Low Y. Lei J. A. Libera A. Nicholls P. C. Stair J. W. Elam Nat. Commun. 2014 5 3264
200. K. Cao Q. Zhu B. Shan R. Chen Sci. Rep. 2015 5 8470
201. H. J. Jeong J. W. Kim K. Bae H. Jung J. H. Shim ACS Catal. 2015 5 1914-1921
202. H. Wang C. Wang H. Yan H. Yi J. Lu J. Catal. 2015 324 59-68
203. A.-C. Johansson J. V. Larsen M. A. Verheijen K. B. Haugshøj H. F. Clausen W. M. M. Kessels L. H. Christensen E. V. Thomsen J. Catal. 2014 311 481-486
204. S. T. Christensen J. W. Elam Chem. Mater. 2010 22 2517-2525
205. Y. Cao X. Meng J. W. Elam ChemElectroChem 2016 3 858-863
206. M. Coll J. Gazquez I. Fina Z. Khayat A. Quindeau M. Alexe M. Varela S. Trolier-McKinstry X. Obradors T. Puig Chem. Mater. 2015 27 6322-6328
207. T. Eom T. Gwon S. Yoo B. J. Choi M.-S. Kim I. Buchanan S. Ivanov M. Xiao C. S. Hwang Chem. Mater. 2015 27 3707-3713
208. J. Liu M. N. Banis Q. Sun A. Lushington R. Li T. K. Sham X. Sun Adv. Mater. 2014 26 6472-6477
209. M. Nisula Y. Shindo H. Koga M. Karppinen Chem. Mater. 2015 27 6987-6993
210. E. Ahvenniemi M. Matvejeff M. Karppinen Dalton Trans. 2015 44 8001-8006
211. E. Thimsen S. C. Riha S. V. Baryshev A. B. F. Martinson J. W. Elam M. J. Pellin Chem. Mater. 2012 24 3188-3196
212. A. L. Elias N. Perea-Lopez A. Castro-Beltran A. Berkdemir R. Lv S. Feng A. D. Long T. Hayashi Y. A. Kim M. Endo H. R. Gutierrez N. R. Pradhan L. Balicas T. E. Mallouk F. Lopez-Urias H. Terrones M. Terrones ACS Nano 2013 7 5235-5242
213. J.-G. Song J. Park W. Lee T. Choi H. Jung C. W. Lee S.-H. Hwang J. M. Myoung J.-H. Jung S.-H. Kim C. Lansalot-Matras H. Kim ACS Nano 2013 7 11333-11340
214. Y. Jang S. Yeo H.-B.-R. Lee H. Kim S.-H. Kim Appl. Surf. Sci. 2016 365 160-165
215. W. Yang J. Wang C. Si Z. Peng J. Frenzel G. Eggeler Z. Zhang J. Mater. Chem. A 2015 3 17811-17819
216. R. Chen T. Zhao W. Wu F. Wu L. Li J. Qian R. Xu H. Wu H. M. Albishri A. S. Al-Bogami D. A. El-Hady J. Lu K. Amine Nano Lett. 2014 14 5899-5904
217. Y. Shi H. Li L. J. Li Chem. Soc. Rev. 2015 44 2744-2756
218. W. Liu J. Kang D. Sarkar Y. Khatami D. Jena K. Banerjee Nano Lett. 2013 13 1983-1990
219. H. Fang S. Chuang T. C. Chang K. Takei T. Takahashi A. Javey Nano Lett. 2012 12 3788-3792
220. H. Li J. Wu Z. Yin H. Zhang Acc. Chem. Res. 2014 47 1067-1075
221. Y.-Z. Chen H. Medina T.-Y. Su J.-G. Li K.-Y. Cheng P.-W. Chiu Y.-L. Chueh ACS Nano 2015 9 4346-4353
222. J.-K. Huang J. Pu C.-L. Hsu M.-H. Chiu Z.-Y. Juang Y.-H. Chang W.-H. Chang Y. Iwasa T. Takenobu L.-J. Li ACS Nano 2014 8 923-930
223. K. Park Y. Kim J.-G. Song S. Jin Kim C. Wan Lee G. Hee Ryu Z. Lee J. Park H. Kim 2D Mater. 2016 3 014004
224. J. Zhao W. T. Nunn P. C. Lemaire Y. Lin M. D. Dickey C. J. Oldham H. J. Walls G. W. Peterson M. D. Losego G. N. Parsons J. Am. Chem. Soc. 2015 137 13756-13759
225. J. Zhao B. Gong W. T. Nunn P. C. Lemaire E. C. Stevens F. I. Sidi P. S. Williams C. J. Oldham H. J. Walls S. D. Shepherd M. A. Browe G. W. Peterson M. D. Losego G. N. Parsons J. Mater. Chem. A 2015 3 1458-1464
226. N. Stock S. Biswas Chem. Rev. 2012 112 933-969
227. E. Ahvenniemi M. Karppinen Chem. Commun. 2016 52 1139-1142
228. P. C. Lemaire J. Zhao P. S. Williams H. J. Walls S. D. Shepherd M. D. Losego G. W. Peterson G. N. Parsons ACS Appl. Mater. Interfaces 2016 8 9514-9522
229. D. C. Cameron T. V. Ivanova ECS Trans. 2013 58 263-275
230. T. Yoshimura S. Tatsuura W. Sotoyama Appl. Phys. Lett. 1991 59 482
231. O. Nilsen, H.Nielsen, K. B.Klepper and H.Fjellvåg, Molecular organic-inorganic hybrid materials by atomic layer deposition, Oral presentation at E-MRS Fall Meeting 2007, Symposium C, by Ola Nilsen
232. S. M. George A. A. Dameron Y. Du N. M. Adamczyk S. D. Davidson ECS Trans. 2007 11 81-90
233. J. Ultich, Molecular Layer Deposition: building hybrid materials one layer at at time, www.materialsviews.com
234. A. A. Dameron D. Seghete B. B. Burton S. D. Davidson A. S. Cavanagh J. A. Bertrand S. M. George Chem. Mater. 2008 20 3315-3326
235. Q. Peng B. Gong R. M. VanGundy G. N. Parsons Chem. Mater. 2009 21 820-830
236. A. I. Abdulagatov R. A. Hall J. L. Sutherland B. H. Lee A. S. Cavanagh S. M. George Chem. Mater. 2012 24 2854-2863
237. B. H. Lee V. R. Anderson S. M. George Chem. Vap. Deposition 2013 19 204-212
238. B. Yoon D. Seghete A. S. Cavanagh S. M. George Chem. Mater. 2009 21 5365-5374
239. N. M. Adamczyk A. A. Dameron S. M. George Langmuir 2008 24 2081-2089
240. X. Liang M. Yu J. Li Y. B. Jiang A. W. Weimer Chem. Commun. 2009 7140-7142 10.1039/b911888h
241. S. A. Vasudevan Y. Xu S. Karwal H. G. van Ostaay G. M. Meesters M. Talebi E. J. Sudholter J. Ruud van Ommen Chem. Commun. 2015 51 12540-12543
242. D. Seghete B. D. Davidson R. A. Hall Y. J. Chang V. M. Bright S. M. George Sens. Actuators, A 2009 155 8-15
243. A. Räupke F. Albrecht J. Maibach A. Behrendt A. Polywka R. Heiderhoff J. Helzel T. Rabe H. H. Johannes W. Kowalsky E. Mankel T. Mayer P. Görrn T. Riedl ACS Appl. Mater. Interfaces 2014 6 1193-1199
244. H. Kim do S. E. Atanasov P. Lemaire K. Lee G. N. Parsons ACS Appl. Mater. Interfaces 2015 7 3866-3870
245. A. Tanskanen M. Karppinen Dalton Trans. 2015 44 19194-19199
246. M. Nisula M. Karppinen Nano Lett. 2016 16 1276-1281
247. D. M. King X. Liang Y. Zhou C. S. Carney L. F. Hakim P. Li A. W. Weimer Powder Technol. 2008 183 356-363
248. D. M. King X. Liang A. W. Weimer Powder Technol. 2012 221 13-25
249. X. Liang A. W. Weimer J. Nanopart. Res. 2009 12 135-142
250. D. M. King X. Liang B. B. Burton M. K. Akhtar A. W. Weimer Nanotechnology 2008 19 255604
251. D. Valdesueiro G. Meesters M. Kreutzer J. van Ommen Materials 2015 8 1249-1263
252. X. Liang D. M. King P. Li S. M. George A. W. Weimer AIChE J. 2009 55 1030-1039
253. A. S. Cavanagh C. A. Wilson A. W. Weimer S. M. George Nanotechnology 2009 20 255602
254. Y. Zhang C. Guerra-Nuñez I. Utke J. Michler M. D. Rossell R. Erni J. Phys. Chem. C 2015 119 3379-3387
255. C. Guerra-Nunez Y. Zhang M. Li V. Chawla R. Erni J. Michler H. G. Park I. Utke Nanoscale 2015 7 10622-10633
256. N. Kemnade C. J. Shearer D. J. Dieterle A. S. Cherevan P. Gebhardt G. Wilde D. Eder Nanoscale 2015 7 3028-3034
257. S. Boukhalfa K. Evanoff G. Yushin Energy Environ. Sci. 2012 5 6872
258. M.-G. Willinger G. Neri E. Rauwel A. Bonavita G. Micali N. Pinna Nano Lett. 2008 8 4201-4204
259. X. Tong Y. Qin X. Guo O. Moutanabbir X. Ao E. Pippel L. Zhang M. Knez Small 2012 8 3390-3395
260. T. Choi S. H. Kim C. W. Lee H. Kim S. K. Choi S. H. Kim E. Kim J. Park H. Kim Biosens. Bioelectron. 2015 63 325-330
261. J. Li B. Zhang Y. Chen J. Zhang H. Yang J. Zhang X. Lu G. Li Y. Qin Catal. Sci. Technol. 2015 5 4218-4223
262. M. Wang Z. Gao B. Zhang H. Yang Y. Qiao S. Chen H. Ge J. Zhang Y. Qin Chemistry 2016 22 8438-8443
263. Y. Chen B. Zhang Z. Gao C. Chen S. Zhao Y. Qin Carbon 2015 82 470-478
264. J. J. Brown R. A. Hall P. E. Kladitis S. M. George V. M. Bright ACS Nano 2013 7 7812-7823
265. Y. J. Hwang C. Hahn B. Liu P. Yang ACS Nano 2012 6 5060-5069
266. P. Dai J. Xie M. T. Mayer X. Yang J. Zhan D. Wang Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 2013 52 11119-11123
267. N. P. Dasgupta C. Liu S. Andrews F. B. Prinz P. Yang J. Am. Chem. Soc. 2013 135 12932-12935
268. C. Guan X. Wang Q. Zhang Z. Fan H. Zhang H. J. Fan Nano Lett. 2014 14 4852-4858
269. D. Chen J. Liang C. Liu G. Saldanha F. Zhao K. Tong J. Liu Q. Pei Adv. Funct. Mater. 2015 25 7512-7520
270. M. Göbelt R. Keding S. W. Schmitt B. Hoffmann S. Jäckle M. Latzel V. V. Radmilović V. R. Radmilović E. Spiecker S. Christiansen Nano Energy 2015 16 196-206
271. T. P. Brennan P. Ardalan H.-B.-R. Lee J. R. Bakke I. K. Ding M. D. McGehee S. F. Bent Adv. Energy Mater. 2011 1 1169-1175
272. K.-Q. Peng X. Wang X.-L. Wu S.-T. Lee Nano Lett. 2009 9 3704-3709
273. Y. M. Yamada Y. Yuyama T. Sato S. Fujikawa Y. Uozumi Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 2014 53 127-131
274. A. H. Castro Neto F. Guinea N. M. R. Peres K. S. Novoselov A. K. Geim Rev. Mod. Phys. 2009 81 109-162
275. F. Schwierz Nat. Nanotechnol. 2010 5 487-496
276. L. Vicarelli M. S. Vitiello D. Coquillat A. Lombardo A. C. Ferrari W. Knap M. Polini V. Pellegrini A. Tredicucci Nat. Mater. 2012 11 865-871
277. B. Lee S.-Y. Park H.-C. Kim K. Cho E. M. Vogel M. J. Kim R. M. Wallace J. Kim Appl. Phys. Lett. 2008 92 203102
278. X. Wang S. M. Tabakman H. Dai J. Am. Chem. Soc. 2008 130 8152-8153
279. S. Kim J. Nah I. Jo D. Shahrjerdi L. Colombo Z. Yao E. Tutuc S. K. Banerjee Appl. Phys. Lett. 2009 94 062107
280. K. Zou X. Hong D. Keefer J. Zhu Phys. Rev. Lett. 2010 105 126601
281. M. J. Young C. B. Musgrave S. M. George ACS Appl. Mater. Interfaces 2015 7 12030-12037
282. N. Zhang Y. Zhang Y. J. Xu Nanoscale 2012 4 5792-5813
283. C. Huang C. Li G. Shi Energy Environ. Sci. 2012 5 8848
284. X. Sun M. Xie G. Wang H. Sun A. S. Cavanagh J. J. Travis S. M. George J. Lian J. Electrochem. Soc. 2012 159 A364
285. X. Sun M. Xie J. J. Travis G. Wang H. Sun J. Lian S. M. George J. Phys. Chem. C 2013 117 22497-22508
286. X. Sun C. Zhou M. Xie H. Sun T. Hu F. Lu S. M. Scott S. M. George J. Lian J. Mater. Chem. A 2014 2 7319-7326
287. X. Li X. Meng J. Liu D. Geng Y. Zhang M. N. Banis Y. Li J. Yang R. Li X. Sun M. Cai M. W. Verbrugge Adv. Funct. Mater. 2012 22 1647-1654
288. C.-T. Hsieh W.-Y. Chen D.-Y. Tzou A. K. Roy H.-T. Hsiao Int. J. Hydrogen Energy 2012 37 17837-17843
289. C. Ban M. Xie X. Sun J. J. Travis G. Wang H. Sun A. C. Dillon J. Lian S. M. George Nanotechnology 2013 24 424002
290. Y.-M. Lin P. R. Abel D. W. Flaherty J. Wu K. J. Stevenson A. Heller C. B. Mullins J. Phys. Chem. C 2011 115 2585-2591
291. Y. Chen Z. Gao B. Zhang S. Zhao Y. Qin J. Power Sources 2016 315 254-260
292. F. Li Y. Yang Y. Fan W. Xing Y. Wang J. Membr. Sci. 2012 397-398 17-23
293. F. Li L. Li X. Liao Y. Wang J. Membr. Sci. 2011 385-386 1-9
294. G. Triani P. J. Evans D. J. Attard K. E. Prince J. Bartlett S. Tan R. P. Burford J. Mater. Chem. 2006 16 1355
295. W. Song H. Wang G. Liu M. Peng D. Zou Nano Energy 2016 19 1-7
296. C. Detavernier J. Dendooven S. P. Sree K. F. Ludwig J. A. Martens Chem. Soc. Rev. 2011 40 5242-5253
297. J. E. Mondloch W. Bury D. Fairen-Jimenez S. Kwon E. J. DeMarco M. H. Weston A. A. Sarjeant S. T. Nguyen P. C. Stair R. Q. Snurr O. K. Farha J. T. Hupp J. Am. Chem. Soc. 2013 135 10294-10297
298. M. Meledina S. Turner M. Filippousi K. Leus I. Lobato R. K. Ramachandran J. Dendooven C. Detavernier P. Van Der Voort G. Van Tendeloo Part. Part. Syst. Charact. 2016 33 382-387
299. I. S. Kim J. Borycz A. E. Platero-Prats S. Tussupbayev T. C. Wang O. K. Farha J. T. Hupp L. Gagliardi K. W. Chapman C. J. Cramer A. B. F. Martinson Chem. Mater. 2015 27 4772-4778
300. Z. Li N. M. Schweitzer A. B. League V. Bernales A. W. Peters A. B. Getsoian T. C. Wang J. T. Miller A. Vjunov J. L. Fulton J. A. Lercher C. J. Cramer L. Gagliardi J. T. Hupp O. K. Farha J. Am. Chem. Soc. 2016 138 1977-1982
301. C. W. Kung J. E. Mondloch T. C. Wang W. Bury W. Hoffeditz B. M. Klahr R. C. Klet M. J. Pellin O. K. Farha J. T. Hupp ACS Appl. Mater. Interfaces 2015 7 28223-28230
302. A. W. Peters Z. Li O. K. Farha J. T. Hupp ACS Nano 2015 9 8484-8490
303. R. C. Klet T. C. Wang L. E. Fernandez D. G. Truhlar J. T. Hupp O. K. Farha Chem. Mater. 2016 28 1213-1219
304. J. W. Elam D. Routkevitch P. P. Mardilovich S. M. George Chem. Mater. 2003 15 3507-3517
305. H. Van Bui A. W. Groenland A. A. I. Aarnink R. A. M. Wolters J. Schmitz A. Y. Kovalgin J. Electrochem. Soc. 2011 158 H214
306. H. B. Profijt S. E. Potts M. C. M. van de Sanden W. M. M. Kessels J. Vac. Sci. Technol., A 2011 29 050801
307. E. Langereis S. B. S. Heil H. C. M. Knoops W. Keuning M. C. M. van de Sanden W. M. M. Kessels J. Phys. D: Appl. Phys. 2009 42 073001
308. A. J. M. Mackus D. Garcia-Alonso H. C. M. Knoops A. A. Bol W. M. M. Kessels Chem. Mater. 2013 25 1769-1774
309. C. K. Ande H. C. Knoops K. de Peuter M. van Drunen S. D. Elliott W. M. Kessels J. Phys. Chem. Lett. 2015 6 3610-3614
310. C. Detavernier J. Dendooven D. Deduytsche J. Musschoot ECS Trans. 2008 16 239-246
311. J. Dendooven D. Deduytsche J. Musschoot R. L. Vanmeirhaeghe C. Detavernier J. Electrochem. Soc. 2009 156 P63
312. J. Dendooven D. Deduytsche J. Musschoot R. L. Vanmeirhaeghe C. Detavernier J. Electrochem. Soc. 2010 157 G111
313. J. Musschoot J. Dendooven D. Deduytsche J. Haemers G. Buyle C. Detavernier Surf. Coat. Technol. 2012 206 4511-4517
314. H. Shimizu K. Sakoda T. Momose M. Koshi Y. Shimogaki J. Vac. Sci. Technol., A 2012 30 01A144
315. I. Kostis M. Vasilopoulou G. Papadimitropoulos N. Stathopoulos S. Savaidis D. Davazoglou Surf. Coat. Technol. 2013 230 51-58
316. G. Yuan H. Shimizu T. Momose Y. Shimogaki J. Vac. Sci. Technol., A 2014 32 01A104
317. H. Van Bui A. Y. Kovalgin A. A. I. Aarnink R. A. M. Wolters ECS J. Solid State Sci. Technol. 2013 2 P149-P155
318. P. R. Chalker P. A. Marshall K. Dawson I. F. Brunell C. J. Sutcliffe R. J. Potter AIP Adv. 2015 5 017115
319. P. R. Chalker Surf. Coat. Technol. 2016 291 258-263
320. K. Saito Y. Watanabe K. Takahashi T. Matsuzawa B. Sang M. Konagai Sol. Energy Mater. Sol. Cells 1997 49 187-193
321. Y.-H. Lee J.-C. Kwak B.-S. Gang H.-C. Kim B.-H. Choi B.-K. Jeong S.-H. Park K.-H. Lee J. Electrochem. Soc. 2004 151 C52
322. J.-C. Kwak Y.-H. Lee B.-H. Choi Appl. Surf. Sci. 2004 230 249-253
323. B. H. Lee S. Cho J. K. Hwang S. H. Kim M. M. Sung Thin Solid Films 2010 518 6432-6436
324. C. D. Travis, PhD thesis, University of Maryland, 2014
325. M. Shirazi S. D. Elliott J. Comput. Chem. 2014 35 244-259
326. A. J. M. Mackus M. A. Verheijen N. Leick A. A. Bol W. M. M. Kessels Chem. Mater. 2013 25 1905-1911
327. R. L. Puurunen Appl. Surf. Sci. 2005 245 6-10
328. S. D. Elliott J. C. Greer J. Mater. Chem. 2004 14 3246
329. A. Nie J. Liu Q. Li Y. Cheng C. Dong W. Zhou P. Wang Q. Wang Y. Yang Y. Zhu Y. Zeng H. Wang J. Mater. Chem. 2012 22 10665
330. Q. Li C. Dong A. Nie J. Liu W. Zhou H. Wang Langmuir 2012 28 15809-15815
331. S. A. Kukushkin A. V. Osipov Prog. Surf. Sci. 1996 51 1-107
332. P. Poodt J. van Lieshout A. Illiberi R. Knaapen F. Roozeboom A. van Asten J. Vac. Sci. Technol., A 2013 31 01A108
333. T. J. Larrabee T. E. Mallouk D. L. Allara Rev. Sci. Instrum. 2013 84 014102
334. A. Holmqvist T. Törndahl F. Magnusson U. Zimmermann S. Stenström Chem. Eng. Sci. 2014 111 15-33
335. C. Travis R. Adomaitis Processes 2013 1 128-152
336. A. Yanguas-Gil J. W. Elam J. Vac. Sci. Technol., A 2012 30 01A159
337. A. Yanguas-Gil J. W. Elam J. Vac. Sci. Technol., A 2014 32 031504
338. F. Grillo M. T. Kreutzer J. R. van Ommen Chem. Eng. J. 2015 268 384-398
339. M. B. Mousa C. J. Oldham G. N. Parsons Langmuir 2014 30 3741-3748
340. P. Poodt R. Knaapen A. Illiberi F. Roozeboom A. van Asten J. Vac. Sci. Technol., A 2012 30 01A142
341. C. D. Travis R. A. Adomaitis Theor. Chem. Acc. 2014 133 1414
342. H. Pedersen Chem. Mater. 2016 28 691-699
343. T. Muneshwar K. Cadien J. Appl. Phys. 2016 119 085306
344. S. D. Elliott, Chemistries to target for selective deposition (in theory), Presentation at Area Selective Deposition workshop, IMEC, Leuven, Belgium, 2016
345. F. Grillo, H.Van Bui, A.Goulas, M. T.Kreutzer and J. R.van Ommen, Understanding the evolution of the particle size distribution of ALD-grown metal nanoparticles, Oral presentation at 16th International Conference on Atomic Layer Deposition, Dublin, Ireland, 2016
346. J. W. Elam M. D. Groner S. M. George Rev. Sci. Instrum. 2002 73 2981
347. S. K. Karuturi L. Liu L. T. Su Y. Zhao H. J. Fan X. Ge S. He A. T. I. Yoong J. Phys. Chem. C 2010 114 14843-14848
348. S. I. Kol'tsov Zh. Prikl. Khim. 1969 42 1023-1028
349. M. Lindblad L. P. Lindfors T. Suntola Catal. Lett. 1994 27 323-336
350. J. R. van Ommen J. M. Valverde R. Pfeffer J. Nanopart. Res. 2012 14 737
351. D. M. King J. A. Spencer X. Liang L. F. Hakim A. W. Weimer Surf. Coat. Technol. 2007 201 9163-9171
352. S. V. Yakovlev A. A. Malygin S. I. Kol'tsov V. B. Aleskovskii Y. G. Chesnokov I. O. Protod'yakonov Russ. J. Appl. Chem. 1979 52 959
353. J. R. van Ommen D. Kooijman M. d. Niet M. Talebi A. Goulas J. Vac. Sci. Technol., A 2015 33 021513
354. W. M. M. Kessels M. Putkonen MRS Bull. 2011 36 907-913
355. O. Molerus Powder Technol. 1996 88 309-321
356. B. Hatton V. Kitaev D. Perovic G. Ozin J. Aizenberg J. Mater. Chem. 2010 20 6009