Molecular layer deposition of titanicone films using TiCl 4 and ethylene glycol or glycerol: Growth and properties

Chemistry of Materials

Volumn 24, Issue 15, 2012, Pages 2854-2863

  Abdulagatov, Aziz I ^a   Hall, Robert A ^a   Sutherland, Jackson L ^a   Lee, Byoung H ^a   Cavanagh, Andrew S ^a   George, Steven M ^a,b  

^a UNIVERSITY OF COLORADO   (United States)

^b UCB 450   (United States)

Author keywords

atomic layer deposition; hybrid organic inorganic; molecular layer deposition; thin films; titanium oxide

Indexed keywords

CONSTANT DENSITY; FILM PROPERTIES; FILM STABILITY; LOW DENSITY; MOLECULAR LAYER DEPOSITION; NANOINDENTATION EXPERIMENTS; ORGANIC-INORGANIC; POLYMER CHAINS; TEMPERATURE DEPENDENT; TIO; TITANIUM TETRACHLORIDES; ULTRAVIOLET EXPOSURE; X RAY REFLECTIVITY;

ATOMIC LAYER DEPOSITION; ETHYLENE GLYCOL; FILM GROWTH; GLYCEROL; GROWTH RATE; SURFACE CHEMISTRY; THIN FILMS; TITANIUM; TITANIUM DIOXIDE; TITANIUM OXIDES;

CARBON FILMS;

EID: 84865146641     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm300162v     Document Type: Article

References (46)

1. George, S. M. Chem. Rev. 2010, 110, 111
2. George, S. M.; Yoon, B.; Dameron, A. A. Acc. Chem. Res. 2009, 42, 498
3. Yoshimura, T.; Tatsuura, S.; Sotoyama, W. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 482
4. Yoshimura, T.; Tatsuura, S.; Sotoyama, W.; Matsuura, A.; Hayano, T. Appl. Phys. Lett. 1992, 60, 268
5. Adamczyk, N. M.; Dameron, A. A.; George, S. M. Langmuir 2008, 24, 2081
6. Du, Y.; George, S. M. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 8509
7. Loscutoff, P. W.; Lee, H.-B.-R.; Bent, S. F. Chem. Mater. 2010, 22, 5563
8. Li, Y.; Wang, D.; Buriak, J. M. Langmuir 2010, 26, 1232
9. Dameron, A. A.; Seghete, D.; Burton, B. B.; Davidson, S. D.; Cavanagh, A. S.; Bertrand, J. A.; George, S. M. Chem. Mater. 2008, 20, 3315
10. Peng, Q.; Gong, B.; VanGundy, R. M.; Parsons, G. N. Chem. Mater. 2009, 21, 820
11. Yoon, B.; Patchen, J. L. O.; Seghete, D.; Cavanagh, A. S.; George, S. M. Chem. Vap. Deposition 2009, 15, 112
12. George, S. M.; Lee, B. H.; Yoon, B.; Abdulagatov, A. I.; Hall, R. A. J. Nanosci. Nanotechnol. 2011, 11, 7948
13. Seghete, D.; Hall, R. A.; Yoon, B.; George, S. M. Langmuir 2010, 26, 19045
14. Yoon, B.; Seghete, D.; Cavanagh, A. S.; George, S. M. Chem. Mater. 2009, 21, 5365
15. Gong, B.; Peng, Q.; Parsons, G. N. J. Phys. Chem. B 2011, 115, 5930
16. Lee, Y.; Yoon, B.; Cavanagh, A. S.; George, S. M. Langmuir 2011, 27, 15155
17. Klepper, K. B.; Nilsen, O.; Fjellvag, H. Dalton Trans. 2010, 39, 11628
18. Klepper, K. B.; Nilsen, O.; Hansen, P. A.; Fjellvag, H. Dalton Trans. 2011, 40, 4636
19. Lee, B. H.; Lee, K. H.; Im, S.; Sung, M. M. J. Nanosci. Nanotechnol. 2009, 9, 6962
20. Lee, B. H.; Ryu, M. K.; Choi, S. Y.; Lee, K. H.; Im, S.; Sung, M. M. J. Am. Chem. Soc. 2007, 129, 16034
21. Cho, S.; Han, G.; Kim, K.; Sung, M. M. Angew. Chem., Int. Ed. 2011, 50, 2742
22. Cordero, N.; Yoon, J.; Suo, Z. G. Appl. Phys. Lett. 2007, 90
23. Graff, G. L.; Williford, R. E.; Burrows, P. E. J. Appl. Phys. 2004, 96, 1840
24. Abdulagatov, A. I.; Yan, Y.; Cooper, J. R.; Zhang, Y. D.; Gibbs, Z. M.; Cavanagh, A. S.; Yang, R. G.; Lee, Y. C.; George, S. M. ACS Appl. Mater. Interfaces 2011, 3, 4593
25. Liu, J. X.; Yang, D. Z.; Shi, F.; Cai, Y. J. Thin Solid Films 2003, 429, 225
26. Shabalovskaya, S. A. Bio-Med. Mater. Eng. 1996, 6, 267
27. Linsebigler, A. L.; Lu, G. Q.; Yates, J. T. Chem. Rev. 1995, 95, 735
28. Bach, U.; Lupo, D.; Comte, P.; Moser, J. E.; Weissortel, F.; Salbeck, J.; Spreitzer, H.; Gratzel, M. Nature 1998, 395, 583
29. Gratzel, M. Nature 2001, 414, 338
30. Poodt, P.; Cameron, D. C.; Dickey, E.; George, S. M.; Kuznetsov, V.; Parsons, G. N.; Roozeboom, F.; Sundaram, G.; Vermeer, A. J. Vac. Sci. Technol. A 2012, 30
31. Elam, J. W.; Groner, M. D.; George, S. M. Rev. Sci. Instrum. 2002, 73, 2981
32. Fujiwara, H. Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications; John Wiley & Sons, Ltd.: West Sussex, England, 2007.
33. Oliver, W. C.; Pharr, G. M. J. Mater. Res. 2004, 19, 3
34. Bradley, D. C.; Mehrotra, R. C.; Rothwell, I. P.; Singh, A. Alkoxo and Aryloxo Derivatives of Metals; Academic Press: San Diego, CA, 2001.
35. Reeves, R. E.; Mazzeno, L. W. J. Am. Chem. Soc. 1954, 76, 2533
36. Wang, D.; Yu, R. B.; Kumada, N.; Kinomura, N. Chem. Mater. 1999, 11, 2008
37. Miller, D. C.; Foster, R. R.; Jen, S.; Bertrand, J. A.; Seghete, D.; Yoon, B.; Lee, Y.; George, S. M.; Dunn, M. L. Acta Mater. 2009, 57, 5083
38. Latella, B. A.; Triani, G.; Zhang, Z.; Short, K. T.; Bartlett, J. R.; Ignat, M. Thin Solid Films 2007, 515, 3138
39. Liang, X.; King, D. M.; Li, P.; George, S. M.; Weimer, A. W. AIChE J. 2009, 55, 1030
40. Liang, X. H.; Yu, M.; Li, J. H.; Jiang, Y. B.; Weimer, A. W. Chem. Commun. 2009, 7140
41. Jiang, X. C.; Wang, Y. L.; Herricks, T.; Xia, Y. N. J. Mater. Chem. 2004, 14, 695
42. Das, J.; Freitas, F. S.; Evans, I. R.; Nogueira, A. F.; Khushalani, D. J. Mater. Chem. 2010, 20, 4425
43. Holy, V.; Pietsch, U.; Baumbach, T. High Resolution X-ray Scattering from Thin Films and Multilayers; Springer-Verlag: Berlin, Germany, 1999.
44. Phung, T. M.; Jensen, J. M.; Johnson, D. C.; Donovan, J. J.; McBurnett, B. G. X-Ray Spectrom. 2008, 37, 608
45. Jiang, X. C.; Herricks, T.; Xia, Y. N. Adv. Mater. 2003, 15, 1205
46. Han, J. J.; Zhang, H.; Li, Y. Z.; Zhao, X. J.; Chen, H.; Wu, Z. K.; Kim, S. J.; Park, K. S. Chem. Lett. 2007, 36, 1352