Tailoring nanoporous materials by atomic layer deposition

Chemical Society Reviews

Volumn 40, Issue 11, 2011, Pages 5242-5253

  Detavernier, Christophe ^a   Dendooven, Jolien ^a   Pulinthanathu Sree, Sreeprasanth ^b   Ludwig, Karl F ^c   Martens, Johan A ^b  

^a GHENT UNIVERSITY   (Belgium)

^b UNIVERSITY OF LEUVEN   (Belgium)

^c Boston University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 80055003755     PISSN: 03060012     EISSN: 14604744     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c1cs15091j     Document Type: Article

References (90)

1. S. M. George, Chem. Rev. 2010, 110, 111
2. R. L. Puurunen, J. Appl. Phys. 2005, 97, 121301
3. M. Lindblad, L. P. Lindfors, T. Suntola, Catal. Lett. 1994, 27, 323
4. R. L. Puurunen, A. Root, P. Sarv, S. Haukka, E. I. Iiskola, M. Lindblad, A. O. I. Krause, Appl. Surf. Sci. 2000, 165, 193
5. K. Schrijnemakers, N. R. E. N. Impens, E. F. Vasant, Langmuir, 1999, 15, 5807
6. A. A. Malygin, J. Ind. Eng. Chem. 2006, 12, 1
7. J. B. Kim, D. R. Kwon, K. Chakrabarti, C. Lee, K. Y. Oh, J. H. Lee, J. Appl. Phys. 2002, 92, 6739
8. S. D. Elliot, G. Scarel, C. Wiemer, M. Fanciulli, G. Pavia, Chem. Mater. 2006, 18, 3764
9. D. N. Goldstein, J. A. McCormick, S. M. George, J. Phys. Chem. C, 2008, 112, 19530
10. S. M. Rossnagel, A. Sherman, F. Turner, J. Vac. Sci. Technol. B, 2000, 18, 2016
11. H. Kim, C. Detavernier, O. van der Straten, S. M. Rossnagel, A. J. Kellock, D. G. Park, J. Appl. Phys. 2005, 98, 014308
12. S. B. S. Heil, J. L. van Hemmen, M. C. M. van de Sanden, W. M. M. Kessels, J. Appl. Phys. 2008, 103, 103302
13. J. Musschoot, D. Deduytsche, H. Poelman, J. Haemers, R. L. Van Meirhaeghe, S. Van den Berghe, C. Detavernier, J. Electrochem. Soc. 2009, 156, P122
14. M. H. Park, Y. J. Jang, H. M. Sung-Suh, M. M. Sung, Langmuir, 2004, 20, 2257
15. R. Chen, H. Kim, P. C. McIntyre, D. W. Porter, S. F. Bent, Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 191910
16. A. Sinha, D. W. Hess, C. L. Henderson, J. Electrochem. Soc. 2006, 153, G465
17. E. Färm, M. Kemell, M. Ritala, M. Leskelä, J. Phys. Chem. C, 2008, 112, 15791
18. W. Lee, N. P. Dasgupta, O. Trejo, J.-R. Lee, J. Hwang, T. Usui, F. B. Prinz, Langmuir, 2010, 26, 6845
19. W.-H. Kim, H.-B.-R. Lee, K. Heo, Y. K. Lee, T.-M. Chung, C. G. Kim, S. Hong, J. Heo, H. Kim, J. Electrochem. Soc. 2011, 158, D1
20. E. Granneman, P. Fischer, D. Pierreux, H. Terhorst, P. Zagwijn, Surf. Coat. Technol. 2007, 201, 8899
21. D. H. Levy, D. Freeman, S. F. Nelson, P. J. Cowdery-Corvan, L. M. Irving, Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 192101
22. P. Poodt, A. Lankhorst, F. Roozeboom, K. Spee, D. Maas, A. Vermeer, Adv. Mater. 2010, 22, 3564
23. Q. Peng, X. Y. Sun, J. C. Spagnola, G. K. Hyde, R. J. Spontak, G. N. Parsons, Nano Lett. 2007, 7, 719
24. G. M. Kim, S. M. Lee, G. H. Michler, H. Roggendorf, U. Gösele, M. Knez, Chem. Mater. 2008, 20, 3085
25. E. Santala, M. Kemell, M. Leskelä, M. Ritala, Nanotechnology, 2009, 20, 035602
26. K. M. Roth, K. G. Roberts, G. K. Hyde, Text. Res. J. 2010, 80, 1970
27. J. W. Elam, D. Routkevitch, P. P. Mardilovich, S. M. George, Chem. Mater. 2003, 15, 3507
28. M. Knez, K. Nielsch, L. Niinistö, Adv. Mater. 2007, 19, 3425
29. I. Perez, E. Robertson, P. Banerjee, L. Henn-Lecordier, S. J. Son, S. B. Lee, G. W. Rubloff, Small, 2008, 4, 1223
30. D. Gu, H. Baumgart, T. M. Abdel-Fattah, G. Namkoong, ACS Nano, 2010, 4, 753
31. S. O. Kucheyev, J. Biener, Y. M. Wang, T. F. Baumann, K. J. Wu, T. van Buuren, A. V. Hamza, J. H. Satcher, J. W. Elam, M. J. Pellin, Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 083108
32. J. Biener, T. F. Baumann, Y. Wang, E. J. Nelson, S. O. Kucheyev, A. V. Hamza, M. Kemell, M. Ritala, M. Leskelä, Nanotechnology, 2007, 18, 055303
33. J. S. King, A. Wittstock, J. Biener, S. O. Kucheyev, Y. M. Wang, T. F. Baumann, S. K. Giri, A. V. Hamza, M. Baeumer, S. F. Bent, Nano Lett. 2008, 8, 2405
34. J. A. Libera, J. W. Elam, M. J. Pellin, Thin Solid Films, 2008, 516, 6158
35. J. Li, X. Liang, D. M. King, Y.-B. Jiang, A. W. Weimer, Appl. Catal. B, 2010, 97, 220
36. J. W. Elam, J. A. Libera, T. H. Huynh, H. Feng, M. J. Pelling, J. Phys. Chem. C, 2010, 114, 17286
37. L. F. Hakim, S. M. George, A. W. Weimer, Nanotechnology, 2005, 16, S375
38. D. M. King, J. A. Spencer, X. Liang, L. F. Hakim, A. W. Weimer, Surf. Coat. Technol. 2007, 201, 9163
39. Y. Zhou, D. M. King, J. Li, K. S. Barrett, R. B. Goldfarb, A. W. Weimer, Ind. Eng. Chem. Res. 2010, 49, 6964
40. L. B. Backman, A. Rautiainen, A. O. I. Krause, M. Lindblad, Catal. Today, 1998, 43, 11
41. S. Haukka, E.-L. Lakomaa and T. Suntola, in Adsorption and its Applications in Industry and Environmental Protection, Vol. 1: Applications in Industry, ed. A. Dabrowski, Elsevier, Amsterdam, 1999, vol. 120, part A, pp. 175–750
42. V. G. Milt, M. A. Ulla, E. A. Lombardo, J. Catal. 2001, 200, 241
43. J. Keränen, A. Auroux, S. Ek, L. Niinistö, Appl. Catal. A, 2002, 228, 213
44. P. C. Stair, C. Marshall, G. Xiong, H. Feng, M. J. Pellin, J. W. Elam, L. Curtiss, L. Iton, H. Kung, M. Kung, H. H. Wang, Top. Catal. 2006, 39, 181
45. J. E. Herrera, J. H. Kwak, J. Z. Hu, Y. Wang, C. H. F. Peden, Top. Catal. 2006, 39, 245
46. H. Feng, J. W. Elam, J. A. Libera, M. J. Pellin, P. C. Stair, Chem. Eng. Sci. 2009, 64, 560
47. H. Shin, D.-K. Jeong, J. Lee, M. M. Sung, J. Kim, Adv. Mater. 2004, 16, 1197
48. G. Triani, P. J. Evans, D. J. Attard, K. E. Prince, J. Bartlett, S. Tan, R. P. Burford, J. Mater. Chem. 2006, 16, 1355
49. R. G. Gordon, D. Hausmann, E. Kim, J. Shepard, Chem. Vap. Deposition, 2003, 9, 73
50. J. S. Becker, S. Suh, S. L. Wang, R. G. Gordon, Chem. Mater. 2003, 15, 2969
51. J. Dendooven, D. Deduytsche, J. Musschoot, R. L. Vanmeirhaeghe, C. Detavernier, J. Electrochem. Soc. 2009, 156, P63
52. J. Dendooven, D. Deduytsche, J. Musschoot, R. L. Vanmeirhaeghe, C. Detavernier, J. Electrochem. Soc. 2010, 157, G111
53. H. Masuda, M. Satoh, Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 35, L126
54. E. R. Cleveland, P. Banerjee, I. Perez, S. B. Lee, G. W. Rubloff, ACS Nano, 2010, 4, 4637
55. A. M. Lankhorst, B. D. Paarhuis, H. J. C. M. Terhorst, P. J. P. M. Simons, C. R. Kleijn, Surf. Coat. Technol. 2007, 201, 8842
56. M. Rose, J. W. Bartha, Appl. Surf. Sci. 2009, 255, 6620
57. J. W. Elam, J. A. Libera, M. J. Pellin, P. C. Stair, Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 243105
58. S. T. Christensen, H. Feng, J. P. Libera, N. Guo, J. T. Miller, P. C. Stair, J. W. Elam, Nano Lett. 2010, 10, 3047
59. J. H. Shim, X. Jiang, S. F. Bent, F. B. Prinz, J. Electrochem. Soc. 2010, 157, B793
60. P. B. Weisz, Chem. Technol. 1973, 3, 498
61. Studies in surface science and catalysis–Volume 137, Introduction to zeolite science and practice, ed. H. van Bekkum, E. M. Flanigen, P. A. Jacobs and J. C. Jansen, Elsevier, Amsterdam, 2nd completely revised and expanded edition, 2001
62. C. T. Kresge, M. E. Leonowicz, W. J. Roth, J. C. Vartuli, J. S. Beck, Nature, 1992, 359, 710
63. D. Y. Zhao, J. L. Feng, Q. S. Huo, N. Melosh, G. H. Fredrickson, B. F. Chmelka, G. D. Stucky, Science, 1998, 279, 548
64. S. P. B. Kremer, C. E. A. Kirschhock, A. Aerts, K. Villani, J. A. Martens, O. I. Lebedev, G. Van Tendeloo, Adv. Mater. 2003, 15, 1705
65. S. Bals, K. J. Batenburg, D. D. Liang, O. Lebedev, G. Van Tendeloo, A. Aerts, J. A. Martens, C. E. A. Kirschhock, J. Am. Chem. Soc. 2009, 131, 4769
66. H. Feng, J. W. Elam, J. A. Libera, W. Setthapun, P. C. Stair, Chem. Mater. 2010, 22, 3133
67. Y. Zhou, D. M. King, X. Liang, J. Li, A. W. Weimer, Appl. Catal. B, 2010, 101, 54
68. X. Jiang, T. M. Gür, F. B. Prinz, S. F. Bent, Chem. Mater. 2010, 22, 3024
69. C. J. W. Ng, H. Gao, T. T. Y. Tan, Nanotechnology, 2008, 19, 445604
70. M. Kemell, V. Pore, J. Tupala, M. Ritala, M. Leskela, Chem. Mater. 2007, 19, 1816
71. A. W. Ott, J. W. Klaus, J. M. Johnson, S. M. George, Chem. Mater. 1997, 9, 707
72. L. Velleman, G. Triani, P. J. Evans, J. G. Shapter, D. Losic, Microporous Mesoporous Mater. 2009, 126, 87
73. C. A. Cooper, Y. S. Lin, J. Membr. Sci. 2002, 195, 35
74. M. A. Cameron, I. P. Gartland, J. A. Smith, S. F. Diaz, S. M. George, Langmuir, 2000, 16, 7435
75. B. A. McCool, W. J. DeSisto, Chem. Vap. Deposition, 2004, 10, 190
76. S. Pulinthanathu Sree, J. Dendooven, D. Smeets, D. Deduytsche, A. Aerts, K. Vanstreels, M. R. Baklanov, J. W. Seo, K. Temst, A. Vantomme, C. Detavernier, J. A. Martens, J. Mater. Chem. 2011, 21, 7692
77. M. Ritala, M. Leskelä, E. Nykänen, P. Soininen, L. Niinistö, Thin Solid Films, 1993, 225, 288
78. Q. Xie, J. Musschoot, D. Deduytsche, R. L. Van Meirhaeghe, C. Detavernier, S. Van den Berghe, Y. L. Jiang, G. P. Ru, B. Z. Li, X. P. Qu, J. Electrochem. Soc. 2008, 155, H688
79. J. Dendooven, S. Pulinthanathu Sree, K. De Keyser, D. Deduytsche, J. A. Martens, K. F. Ludwig, C. Detavernier, J. Phys. Chem. C, 2011, 115, 6605
80. S. Eslava, M. R. Baklanov, C. Kirschhock, F. Iacopi, S. Aldea, K. Maex, J. A. Martens, Langmuir, 2007, 23, 12811
81. A. Corma, Chem. Rev. 1997, 97, 2373
82. J. Martinez-Triguero, M. J. Diaz-Cabañas, M. A. Camblor, V. Fornés, Th. L. M. Maesen, A. Corma, J. Catal. 1999, 182, 463
83. G. H. Kuhl, in Catalysis and Zeolites, ed. J. Weitkamp and L. Puppe, Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 1999, p. 81
84. T. Yashima, K. Yamagishi, S. Namba and S. Nakata, S. Asaoka, in Innovation in Zeolite Materials Science, ed. P. J. Grobet, W. J. Mortier, E. F. Vansant and G. Schulz-Ekloff, Elsevier Science, Amsterdam, 1988, p. 175
85. R. Mokaya, W. Jones, J. Mater. Chem. 1999, 9, 555
86. A. S. O'Neil, R. Mokaya, M. Poliakoff, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 10636
87. L. Y. Chen, Z. Ping, G. K. Chuah, S. Jaenicke, G. Simon, Microporous Mesoporous Mater. 1999, 27, 231
88. S. Pulinthanathu Sree, J. Dendooven, T. I. Korányi, G. Vanbutsele, K. Houthoofd, D. Deduytsche, C. Detavernier, J. A. Martens, Catal.: Sci. Technol. 2011, 1, 218
89. M. J. Remy, D. Stanica, G. Poncelet, E. J. P. Feijen, P. J. Grobet, J. A. Martens, P. A. Jacobs, J. Phys. Chem. 1996, 100, 12440
90. W. Vermeiren, J.-P. Gilson, Top. Catal. 2009, 52, 1131