SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Nanoscale

Volumn 6, Issue 18, 2014, Pages 10584-10588

Atomic layer deposition of a MoS2 film

(6) Tan, Lee Kheng a,b Liu, Bo a Teng, Jing Hua b Guo, Shifeng b Low, Hong Yee c Loh, Kian Ping a

a NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE (Singapore)

b INSTITUTE OF MATERIALS RESEARCH AND ENGINEERING (Singapore)

c SINGAPORE UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND DESIGN (Singapore)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DEPOSITION; MOLYBDENUM COMPOUNDS; SAPPHIRE;

CRYSTALLINITIES; MONOLAYER FILM; POST DEPOSITION ANNEALING; PRECISE CONTROL; SAPPHIRE WAFER; VISIBLE RANGE;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84906541778 PISSN: 20403364 EISSN: 20403372 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/c4nr02451f Document Type: Article

Times cited : (362)

References (40)

1
- 79952406873
- B. Radisavljevic A. Radenovic J. Brivio V. Giacometti A. Kis Nat. Nanotechnol. 2011 6 147
- (2011) Nat. Nanotechnol. , vol.6 , pp. 147
- Radisavljevic, B.¹ Radenovic, A.² Brivio, J.³ Giacometti, V.⁴ Kis, A.⁵

2
- 84881566687
- H. R. Gutierrez N. Perea-Lopez A. L. Elias A. Berkdemir B. Wang R. Lv F. Lopez-Urias V. H. Crespi H. Terrones M. Terrones Nano Lett. 2013 13 3447
- (2013) Nano Lett. , vol.13 , pp. 3447
- Gutierrez, H.R.¹ Perea-Lopez, N.² Elias, A.L.³ Berkdemir, A.⁴ Wang, B.⁵ Lv, R.⁶ Lopez-Urias, F.⁷ Crespi, V.H.⁸ Terrones, H.⁹ Terrones, M.¹⁰

3
- 84863011344
- W. S. Yun S. W. Han S. C. Hong I. G. Kim J. D. Lee Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2012 85 033305
- (2012) Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. , vol.85 , pp. 033305
- Yun, W.S.¹ Han, S.W.² Hong, S.C.³ Kim, I.G.⁴ Lee, J.D.⁵

4
- 36349006287
- T. Li G. Galli J. Phys. Chem. C 2007 111 16192
- (2007) J. Phys. Chem. C , vol.111 , pp. 16192
- Li, T.¹ Galli, G.²

5
- 77957204738
- K. F. Mak C. Lee J. Hone J. Shan T. F. Heinz Phys. Rev. Lett. 2010 105 136805
- (2010) Phys. Rev. Lett. , vol.105 , pp. 136805
- Mak, K.F.¹ Lee, C.² Hone, J.³ Shan, J.⁴ Heinz, T.F.⁵

6
- 84855701869
- J. K. Ellis M. J. Lucero G. E. Scuseria Appl. Phys. Lett. 2011 99 261908
- (2011) Appl. Phys. Lett. , vol.99 , pp. 261908
- Ellis, J.K.¹ Lucero, M.J.² Scuseria, G.E.³

7
- 84864881664
- H. Zeng J. Dai W. Yao D. Xiao X. Cui Nat. Nanotechnol. 2012 7 490
- (2012) Nat. Nanotechnol. , vol.7 , pp. 490
- Zeng, H.¹ Dai, J.² Yao, W.³ Xiao, D.⁴ Cui, X.⁵

8
- 84864874878
- K. F. Mak K. He J. Shan T. F. Heinz Nat. Nanotechnol. 2012 7 494
- (2012) Nat. Nanotechnol. , vol.7 , pp. 494
- Mak, K.F.¹ He, K.² Shan, J.³ Heinz, T.F.⁴

9
- 83655172584
- G. Eda H. Yamaguchi D. Voiry T. Fujita M. Chen M. Chhowalla Nano Lett. 2011 11 5111
- (2011) Nano Lett. , vol.11 , pp. 5111
- Eda, G.¹ Yamaguchi, H.² Voiry, D.³ Fujita, T.⁴ Chen, M.⁵ Chhowalla, M.⁶

10
- 80052789896
- T. Korn S. Heydrich M. Hirmer J. Schmutzler C. Schueller Appl. Phys. Lett. 2011 99 102109
- (2011) Appl. Phys. Lett. , vol.99 , pp. 102109
- Korn, T.¹ Heydrich, S.² Hirmer, M.³ Schmutzler, J.⁴ Schueller, C.⁵

11
- 77951069162
- A. Splendiani L. Sun Y. Zhang T. Li J. Kim C. Y. Chim G. Galli F. Wang Nano Lett. 2010 10 1271
- (2010) Nano Lett. , vol.10 , pp. 1271
- Splendiani, A.¹ Sun, L.² Zhang, Y.³ Li, T.⁴ Kim, J.⁵ Chim, C.Y.⁶ Galli, G.⁷ Wang, F.⁸

12
- 84866103921
- J. D. Benck Z. Chen L. Y. Kuritzky A. J. Forman T. F. Jaramillo ACS Catal. 2012 2 1916
- (2012) ACS Catal. , vol.2 , pp. 1916
- Benck, J.D.¹ Chen, Z.² Kuritzky, L.Y.³ Forman, A.J.⁴ Jaramillo, T.F.⁵

13
- 79959454526
- D. Merki S. Fierro H. Vrubel X. Hu Chem. Sci. 2011 2 1262
- (2011) Chem. Sci. , vol.2 , pp. 1262
- Merki, D.¹ Fierro, S.² Vrubel, H.³ Hu, X.⁴

14
- 84890400622
- D. Voiry M. Salehi R. Silva T. Fujita M. Chen T. Asefa V. B. Shenoy G. Eda M. Chhowalla Nano Lett. 2013 13 6222
- (2013) Nano Lett. , vol.13 , pp. 6222
- Voiry, D.¹ Salehi, M.² Silva, R.³ Fujita, T.⁴ Chen, M.⁵ Asefa, T.⁶ Shenoy, V.B.⁷ Eda, G.⁸ Chhowalla, M.⁹

15
- 84883179670
- B. Radisavljevic A. Kis Nat. Mater. 2013 12 815
- (2013) Nat. Mater. , vol.12 , pp. 815
- Radisavljevic, B.¹ Kis, A.²

16
- 84869074729
- Q. H. Wang K. Kalantar-Zadeh A. Kis J. N. Coleman M. S. Strano Nat. Nanotechnol. 2012 7 699
- (2012) Nat. Nanotechnol. , vol.7 , pp. 699
- Wang, Q.H.¹ Kalantar-Zadeh, K.² Kis, A.³ Coleman, J.N.⁴ Strano, M.S.⁵

17
- 84926291363
- W. Zhang C. P. Chuu J. K. Huang C. H. Chen M. L. Tsai Y. H. Chang C. T. Liang Y. Z. Chen Y. L. Chueh J. H. He M. Y. Chou L. J. Li Sci. Rep. 2014 4 3826
- (2014) Sci. Rep. , vol.4 , pp. 3826
- Zhang, W.¹ Chuu, C.P.² Huang, J.K.³ Chen, C.H.⁴ Tsai, M.L.⁵ Chang, Y.H.⁶ Liang, C.T.⁷ Chen, Y.Z.⁸ Chueh, Y.L.⁹ He, J.H.¹⁰ Chou, M.Y.¹¹ Li, L.J.¹²

18
- 84875413255
- M. Chhowalla H. S. Shin G. Eda L. J. Li K. P. Loh H. Zhang Nat. Chem. 2013 5 263
- (2013) Nat. Chem. , vol.5 , pp. 263
- Chhowalla, M.¹ Shin, H.S.² Eda, G.³ Li, L.J.⁴ Loh, K.P.⁵ Zhang, H.⁶

19
- 0000935537
- B. K. Miremadi S. R. Morrison J. Catal. 1987 103 334
- (1987) J. Catal. , vol.103 , pp. 334
- Miremadi, B.K.¹ Morrison, S.R.²

20
- 0022693454
- P. Joensen R. F. Frindt S. R. Morrison Mater. Res. Bull. 1986 21 457
- (1986) Mater. Res. Bull. , vol.21 , pp. 457
- Joensen, P.¹ Frindt, R.F.² Morrison, S.R.³

21
- 79551634368
- J. N. Coleman M. Lotya A. O'Neill S. D. Bergin P. J. King U. Khan K. Young A. Gaucher S. De R. J. Smith I. V. Shvets S. K. Arora G. Stanton H. Y. Kim K. Lee G. T. Kim G. S. Duesberg T. Hallam J. J. Boland J. J. Wang J. F. Donegan J. C. Grunlan G. Moriarty A. Shmeliov R. J. Nicholls J. M. Perkins E. M. Grieveson K. Theuwissen D. W. McComb P. D. Nellist V. Nicolosi Science 2011 331 568
- (2011) Science , vol.331 , pp. 568
- Coleman, J.N.¹ Lotya, M.² O'Neill, A.³ Bergin, S.D.⁴ King, P.J.⁵ Khan, U.⁶ Young, K.⁷ Gaucher, A.⁸ De, S.⁹ Smith, R.J.¹⁰ Shvets, I.V.¹¹ Arora, S.K.¹² Stanton, G.¹³ Kim, H.Y.¹⁴ Lee, K.¹⁵ Kim, G.T.¹⁶ Duesberg, G.S.¹⁷ Hallam, T.¹⁸ Boland, J.J.¹⁹ Wang, J.J.²⁰ more..

22
- 84976620887
- J. Zheng H. Zhang S. Dong Y. Liu C. T. Nai H. S. Shin H. Y. Jeong B. Liu K. P. Loh Nat. Commun. 2014 5 3995
- (2014) Nat. Commun. , vol.5 , pp. 3995
- Zheng, J.¹ Zhang, H.² Dong, S.³ Liu, Y.⁴ Nai, C.T.⁵ Shin, H.S.⁶ Jeong, H.Y.⁷ Liu, B.⁸ Loh, K.P.⁹

23
- 84879866540
- M. R. Laskar L. Ma S. Kannappan P. S. Park S. Krishnamoorthy D. N. Nath W. Lu Y. Wu S. Rajan Appl. Phys. Lett. 2013 102 252108/1
- (2013) Appl. Phys. Lett. , vol.102
- Laskar, M.R.¹ Ma, L.² Kannappan, S.³ Park, P.S.⁴ Krishnamoorthy, S.⁵ Nath, D.N.⁶ Lu, W.⁷ Wu, Y.⁸ Rajan, S.⁹

24
- 84860329324
- Y. H. Lee X. Q. Zhang W. Zhang M. T. Chang C. T. Lin K. D. Chang Y. C. Yu J. T.-W. Wang C. S. Chang L. J. Li T. W. Lin Adv. Mater. 2012 24 2320
- (2012) Adv. Mater. , vol.24 , pp. 2320
- Lee, Y.H.¹ Zhang, X.Q.² Zhang, W.³ Chang, M.T.⁴ Lin, C.T.⁵ Chang, K.D.⁶ Yu, Y.C.⁷ Wang, J.T.-W.⁸ Chang, C.S.⁹ Li, L.J.¹⁰ Lin, T.W.¹¹

25
- 0035538654
- Y. Peng Z. Meng C. Zhong J. Lu W. Yu Y. Jia Y. Qian Chem. Lett. 2001 772
- (2001) Chem. Lett. , pp. 772
- Peng, Y.¹ Meng, Z.² Zhong, C.³ Lu, J.⁴ Yu, W.⁵ Jia, Y.⁶ Qian, Y.⁷

26
- 75649140552
- S. M. George Chem. Rev. 2010 110 111
- (2010) Chem. Rev. , vol.110 , pp. 111
- George, S.M.¹

27
- 84885162366
- G. N. Parsons J. W. Elam S. M. George S. Haukka H. Jeon W. M. M. Kessels M. Leskela P. Poodt M. Ritala S. M. Rossnagel J. Vac. Sci. Technol., A 2013 31 050818
- (2013) J. Vac. Sci. Technol., A , vol.31 , pp. 050818
- Parsons, G.N.¹ Elam, J.W.² George, S.M.³ Haukka, S.⁴ Jeon, H.⁵ Kessels, W.M.M.⁶ Leskela, M.⁷ Poodt, P.⁸ Ritala, M.⁹ Rossnagel, S.M.¹⁰

28
- 0142089927
- J. E. Crowell J. Vac. Sci. Technol., A 2003 21 S88
- (2003) J. Vac. Sci. Technol., A , vol.21 , pp. 88
- Crowell, J.E.¹

29
- 84872737968
- V. Miikkulainen M. Leskela M. Ritala R. L. Puurunen J. Appl. Phys. 2013 113 021301
- (2013) J. Appl. Phys. , vol.113 , pp. 021301
- Miikkulainen, V.¹ Leskela, M.² Ritala, M.³ Puurunen, R.L.⁴

30
- 84879556804
- J. S. Ponraj G. Attolini M. Bosi Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 2013 38 203
- (2013) Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. , vol.38 , pp. 203
- Ponraj, J.S.¹ Attolini, G.² Bosi, M.³

31
- 84891576606
- Wiley-VCH Verlag GmbH & Co.KGaA
- Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials, ed., N. Pinna, and, M. Knez, Wiley-VCH Verlag GmbH & Co.KGaA, 2012, p. 435
- (2012) Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials , pp. 435
- Pinna, N.¹ Knez, M.²

32
- 0141567439
- J. W. Elam et al. Chem. Mater. 2003 15 18 3507 3517
- (2003) Chem. Mater. , vol.15 , Issue.18 , pp. 3507-3517
- Elam, J.W.¹

33
- 84904758785
- N. Liu P. Kim J. H. Kim J. H. Ye S. Kim C. J. Lee ACS Nano 2014 8 6902
- (2014) ACS Nano , vol.8 , pp. 6902
- Liu, N.¹ Kim, P.² Kim, J.H.³ Ye, J.H.⁴ Kim, S.⁵ Lee, C.J.⁶

34
- 12944259469
- R. Coehoorn C. Haas J. Dijkstra C. J. F. Flipse R. A. de Groot A. Wold Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 1987 35 6195
- (1987) Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. , vol.35 , pp. 6195
- Coehoorn, R.¹ Haas, C.² Dijkstra, J.³ Flipse, C.J.F.⁴ De Groot, R.A.⁵ Wold, A.⁶

35
- 5544277407
- R. Coehoorn C. Haas R. A. de Groot Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 1987 35 6203
- (1987) Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. , vol.35 , pp. 6203
- Coehoorn, R.¹ Haas, C.² De Groot, R.A.³

36
- 84875437247
- K. F. Mak K. He C. Lee G. H. Lee J. Hone T. F. Heinz J. Shan Nat.Mater. 2013 12 207
- (2013) Nat.Mater. , vol.12 , pp. 207
- Mak, K.F.¹ He, K.² Lee, C.³ Lee, G.H.⁴ Hone, J.⁵ Heinz, T.F.⁶ Shan, J.⁷

37
- 84890376834
- S. Mouri Y. Miyauchi K. Matsuda Nano Lett. 2013 13 5944
- (2013) Nano Lett. , vol.13 , pp. 5944
- Mouri, S.¹ Miyauchi, Y.² Matsuda, K.³

38
- 77952896966
- C. Lee H. Yan L. E. Brus T. F. Heinz J. Hone S. Ryu ACS Nano 2010 4 2695
- (2010) ACS Nano , vol.4 , pp. 2695
- Lee, C.¹ Yan, H.² Brus, L.E.³ Heinz, T.F.⁴ Hone, J.⁵ Ryu, S.⁶

39
- 84865584016
- B. S.-L. Li H. Miyazaki H. Song H. Kuramochi S. Nakaharai K. Tsukagoshi ACS Nano 2012 6 7381
- (2012) ACS Nano , vol.6 , pp. 7381
- Li, B.S.-L.¹ Miyazaki, H.² Song, H.³ Kuramochi, H.⁴ Nakaharai, S.⁵ Tsukagoshi, K.⁶

40
- 84859603673
- H. Li Q. Zhang C. C. R. Yap B. K. Tay T. H. T. Edwin A. Olivier D. Baillargeat Adv. Funct. Mater. 2012 22 1385
- (2012) Adv. Funct. Mater. , vol.22 , pp. 1385
- Li, H.¹ Zhang, Q.² Yap, C.C.R.³ Tay, B.K.⁴ Edwin, T.H.T.⁵ Olivier, A.⁶ Baillargeat, D.⁷

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.