Reactor concepts for atomic layer deposition on agitated particles: A review

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 32, Issue 1, 2014, Pages

  Longrie, Delphine ^a,b   Deduytsche, Davy ^a   Detavernier, Christophe ^a  

^a GHENT UNIVERSITY   (Belgium)

^b ASM ^*  (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BULK PROPERTIES; CONFORMAL COATINGS; FLUIDIZED PARTICLES; GAS FLUIDIZATION; PARTICLE SURFACE; REACTOR CONCEPTS; RELIABLE METHODS; SURFACE MODIFICATION TECHNIQUES;

DEPOSITION; FLUIDIZATION; NANOPARTICLES;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84891767694     PISSN: 07342101     EISSN: 15208559     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.4851676     Document Type: Review

References (129)

1. C. J. Brinker and G. W. Scherer, Sol-Gel Science (Academic, San Diego, CA, 1990).
2. Q. H. Powell, G. P. Fotou, T. T. Kodas, B. M. Anderson, and Y. Guo, J. Mater. Res. 12, 552 (1997). 10.1557/JMR.1997.0079
3. S. M. George, Chem. Rev. 110, 111 (2010). 10.1021/cr900056b
4. R. L. Puurunen, Appl. Phys. Rev. 97, 121301 (2005). 10.1063/1.1940727 (Pubitemid 40940570)
5. V. Miikkulainen, M. Leskela, M. Ritala, and R. L. Puurunen, J. Appl. Phys. 113, 021301 (2013). 10.1063/1.4757907
6. C. Detavernier, J. Dendooven, S. P. Sree, K. F. Ludwig, and J. A. Martens, Chem. Soc. Rev. 40, 5242 (2011). 10.1039/c1cs15091j
7. E. L. Lakomaa, S. Haukka, and T. Suntola, Appl. Surf. Sci. 60-61, 742 (1992). 10.1016/0169-4332(92)90506-S
8. S. Haukka, E. L. Lakomaa, and T. Suntola, Thin Solid Films 225, 280 (1993). 10.1016/0040-6090(93)90170-T
9. M. Lindblad, L. P. Lindfors, and T. Suntola, Catal. Lett. 27, 323 (1994). 10.1007/BF00813919
10. E. L. Lakomaa, Appl. Surf. Sci. 75, 185 (1994). 10.1016/0169-4332(94) 90158-9
11. M. Lindblad, S. Haukka, A. Kytokivi, E. L. Lakomaa, A. Rautiainen, and T. Suntola, Appl. Surf. Sci. 121, 286 (1997). 10.1016/S0169-4332(97)00307-3
12. S. Haukka and T. Suntola, Interface Sci. 5, 119 (1997). 10.1023/A:1008601024870
13. S. Smeds, T. Salmi, L. P. Lindfors, and A. O. I. Krause, Appl. Catal. A 144, 177 (1996). 10.1016/0926-860X(96)00103-2
14. T. A. Kainulainen, M. V. Niemelä, and A. O. I. Krause, Catal. Lett. 53, 97 (1998). 10.1023/A:1019053805618
15. L. B. Backman, A. Rautiainen, A. O. I. Krause, and M. Lindblad, Catal. Today 43, 11 (1998). 10.1016/S0920-5861(98)00132-1
16. R. L. Puurunen, A. Root, P. Sarv, S. Haukka, E. I. Iiskola, M. Lindblad, and A. O. I. Krause, Appl. Surf. Sci. 165, 193 (2000). 10.1016/S0169-4332(00) 00440-2
17. L. B. Backman, A. Rautiainen, M. Lindblad, and A. O. I. Krause, Appl. Catal. A 191, 55 (2000). 10.1016/S0926-860X(99)00305-1
18. A. Hakuli, A. Kytokivi, and A. O. I. Krause, Appl. Catal. A 190, 219 (2000). 10.1016/S0926-860X(99)00310-5
19. R. L. Puurunen, A. Root, S. Haukka, E. I. Iiskola, M. Lindblad, and A. O. I. Krause, J. Phys. Chem. B 104, 6599 (2000). 10.1021/jp000454i
20. L. B. Backman, A. Rautiainen, M. Lindblad, O. J. T. Jylha, and A. O. I. Krause, Appl. Catal. A 208, 223 (2001). 10.1016/S0926-860X(00)00707-9
21. M. Lashdaf, T. Hatanpaa, A. O. I. Krause, J. Lahtinen, M. Lindblad, and M. Tiitta, Appl. Catal. A 241, 51 (2003). 10.1016/S0926-860X(02)00424-6
22. M. Lashdaf, A. O. I. Krause, M. Lindblad, M. Tiitta, and T. Venalainen, Appl. Catal. A 241, 65 (2003). 10.1016/S0926-860X(02)00423-4
23. R. L. Puurunen, S. M. K. Airaksinen, and A. O. I. Krause, J. Catal. 213, 281 (2003). 10.1016/S0021-9517(02)00016-7
24. M. Lashdaf, J. Lahtinen, M. Lindblad, T. Venalainen, and A. O. I. Krause, Appl. Catal. A 276, 129 (2004). 10.1016/j.apcata.2004.07.050
25. R. J. Silvennoinen, O. J. T. Jylha, M. Lindblad, J. P. Sainio, R. L. Puurunen, and A. O. I. Krause, Appl. Surf. Sci. 253, 4103 (2007). 10.1016/j.apsusc.2006.09.010 (Pubitemid 46204937)
26. L. B. Backman, A. Rautiainen, M. Lindblad, and A. O. I. Krause, Appl. Catal. A 360, 183 (2009). 10.1016/j.apcata.2009.03.020
27. H. Vuori, A. Pasanen, M. Lindblad, M. Valden, M. V. Niemelä, and A. O. I. Krause, Appl. Surf. Sci. 257, 4204 (2011). 10.1016/j.apsusc.2010.12.021
28. S. Haukka, E. L. Lakomaa, and T. Suntola, Adsorption and Its Applications in Industry and Environmental Protection (Elsevier, Amsterdam, 1999).
29. G. N. Parsons, J. Vac. Sci. Technol. A 31, 050818 (2013). 10.1116/1.4816548
30. J. D. Ferguson, A. W. Weimer, and S. M. George, Chem. Mater. 16, 5602 (2004). 10.1021/cm040008y (Pubitemid 40019068)
31. J. D. Ferguson, A. W. Weimer, and S. M. George, Appl. Surf. Sci. 162, 280 (2000). 10.1016/S0169-4332(00)00205-1
32. J. D. Ferguson, A. W. Weimer, and S. M. George, Thin Solid Films 413, 16 (2002). 10.1016/S0040-6090(02)00431-5 (Pubitemid 34772297)
33. J. D. Ferguson, A. W. Weimer, and S. M. George, J. Vac. Sci. Technol. A 23, 118 (2005). 10.1116/1.1821585 (Pubitemid 43126416)
34. J. D. Ferguson, A. W. Weimer, and S. M. George, Thin Solid Films 371, 95 (2000). 10.1016/S0040-6090(00)00973-1
35. J. D. Ferguson, A. W. Weimer, and S. M. George, Chem. Mater. 12, 3472 (2000). 10.1021/cm000313t (Pubitemid 32065734)
36. J. R. Wank, S. M. George, and A. W. Weimer, Powder Technol. 121, 195 (2001). 10.1016/S0032-5910(01)00337-0 (Pubitemid 33016313)
37. J. R. Wank, S. M. George, and A. W. Weimer, Powder Technol. 142, 59 (2004). 10.1016/j.powtec.2004.03.010 (Pubitemid 38748941)
38. J. R. Wank, S. M. George, and A. W. Weimer, J. Am. Ceram. Soc. 87, 762 (2004). 10.1111/j.1551-2916.2004.00762.x
39. L. F. Hakim, J. H. Blackson, S. M. George, and A. W. Weimer, Chem. Vapor Depos. 11, 420 (2005). 10.1002/cvde.200506392 (Pubitemid 41595628)
40. L. F. Hakim, J. H. Blackson, and A. W. Weimer, Chem. Eng. Sci. 62, 6199 (2007). 10.1016/j.ces.2007.07.013 (Pubitemid 47503141)
41. L. F. Hakim, S. M. George, and A. W. Weimer, Nanotechnology 16, S375 (2005). 10.1088/0957-4484/16/7/010 (Pubitemid 40878504)
42. L. F. Hakim, D. M. King, Y. Zhou, C. J. Gump, S. M. George, and A. W. Weimer, Adv. Funct. Mater. 17, 3175 (2007). 10.1002/adfm.200600877 (Pubitemid 350099948)
43. L. F. Hakim, J. A. McCormick, G. D. Zhan, A. W. Weimer, P. Li, and S. M. George, J. Am. Ceram. Soc. 89, 3070 (2006). 10.1111/j.1551-2916.2006.01216.x (Pubitemid 44434775)
44. L. F. Hakim, J. L. Portman, M. D. Casper, and A. W. Weimer, Powder Technol. 160, 149 (2005). 10.1016/j.powtec.2005.08.019 (Pubitemid 41581651)
45. L. F. Hakim, C. L. Vaughn, H. J. Dunsheath, C. S. Carney, X. H. Liang, P. Li, and A. W. Weimer, Nanotechnology 18, 345603 (2007). 10.1088/0957-4484/18/ 34/345603 (Pubitemid 47228449)
46. J. W. Klaus, S. J. Ferro, and S. M. George, Thin Solid Films 360, 145 (2000). 10.1016/S0040-6090(99)01076-7 (Pubitemid 30564551)
47. J. W. Klaus, S. J. Ferro, and S. M. George, Appl. Surf. Sci. 162, 479 (2000). 10.1016/S0169-4332(00)00237-3
48. J. W. Klaus, S. J. Ferro, and S. M. George, J. Electrochem. Soc. 147, 1175 (2000). 10.1149/1.1393332 (Pubitemid 30594850)
49. X. Du, Y. Du, and S. M. George, J. Vac. Sci. Technol. A 23, 581 (2005). 10.1116/1.1914810 (Pubitemid 43119172)
50. J. W. Elam, M. Schuisky, J. D. Ferguson, and S. M. George, Thin Solid Films 436, 145 (2003). 10.1016/S0040-6090(03)00533-9
51. J. D. Ferguson, A. R. Yoder, A. W. Weimer, and S. M. George, Appl. Surf. Sci. 226, 393 (2004). 10.1016/j.apsusc.2003.10.053
52. C. F. Herrmann, F. H. Fabreguette, D. S. Finch, R. Geiss, and S. M. George, Appl. Phys. Lett. 87, 123110 (2005). 10.1063/1.2053358 (Pubitemid 41717386)
53. J. A. McCormick, " Atomic layer deposition on nanoparticles in a rotary reactor.," Ph.D. dissertation, University of Colorado, 2007.
54. A. Roth, Vacuum Technology, 3rd ed. (JAI Press, Greenwich, CT, 1990).
55. R. G. Gordon, D. Hausmann, E. Kim, and J. Shepard, Chem. Vapor Depos. 9, 73 (2003). 10.1002/cvde.200390005
56. J. Dendooven, " Modeling and in situ characterization of the conformality of atomic layer deposition in high aspect ratio structures and nanoporous materials.," Ph.D. dissertation, Ghent University, 2012.
57. J. Dendooven, D. Deduytsche, J. Musschoot, R. L. Vanmeirhaeghe, and C. Detavernier, J. Electrochem. Soc. 156, 63 (2009). 10.1149/1.3072694
58. J. Dendooven, D. Deduytsche, J. Musschoot, R. L. Vanmeirhaeghe, and C. Detavernier, J. Electrochem. Soc. 157, G111 (2010). 10.1149/1.3301664
59. K. P. Hapgood, G. V. Franks, J. S. Curtis, and M. Rhodes, Introduction to Particle Technology, 2nd ed. (Wiley, New York, 2008).
60. J. Baeyens and D. Geldart, Chem. Eng. Sci. 29, 255 (1974). 10.1016/0009-2509(74)85051-7
61. R. D. Toomey and H. F. Johnstone, Chem. Eng. Prog. 48, 220 (1952).
62. A. R. Abrahamsen and D. Geldart, Powder Technol. 26, 35 (1980). 10.1016/0032-5910(80)85005-4
63. D. Geldart, Powder Technol. 7, 285 (1973). 10.1016/0032-5910(73)80037-3
64. D. Geldart, Powder Technol. 6, 201 (1972). 10.1016/0032-5910(72)83014-6
65. J. R. van Ommen, J. M. Valverde, and R. Pfeffer, J. Nanopart. Res. 14, 737 (2012). 10.1007/s11051-012-0737-4
66. J. M. Valverde and A. Castellanos, Phys. Rev. E 75, 031306 (2007). 10.1103/PhysRevE.75.031306 (Pubitemid 46494744)
67. J. M. Valverde, A. Castellanos, P. Mills, and M. A. S. Quintanilla, Phys. Rev. E 67, 051305 (2003). 10.1103/PhysRevE.67.051305
68. J. M. Valverde, M. A. S. Quintanilla, A. Castellanos, and P. Mills, Phys. Rev. E 67, 016303 (2003). 10.1103/PhysRevE.67.016303
69. J. M. Valverde, Fluidization of Fine Powders (Springer, Berlin, 2013).
70. J. M. Valverde and A. Castellanos, Chem. Eng. Sci. 62, 6947 (2007). 10.1016/j.ces.2007.08.050 (Pubitemid 47599491)
71. D. M. King, J. A. Spencer, II, X. H. Liang, L. F. Hakim, and A. W. Weimer, Surf. Coat. Technol. 201, 9163 (2007). 10.1016/j.surfcoat.2007.05.002 (Pubitemid 47209435)
72. C. H. Nam, R. Pfeffer, R. N. Dave, and S. Sundaresan, J. Amer. Inst. Chem. Eng. 50, 1776 (2004). 10.1002/aic.10237 (Pubitemid 38982119)
73. A. Goulas and J. R. van Ommen, J. Mater. Chem. A 1, 4647 (2013). 10.1039/c3ta01665j
74. R. Beetstra, U. Lafont, J. Nijenhuis, E. M. Kelder, and J. R. van Ommen, Chem. Vapor Depos. 15, 227 (2009). 10.1002/cvde.200906775
75. A. Goulas and J. R. van Ommen, " Scalable production of nanostructured particles using atomic layer deposition.," KONA Powder Part. J. (unpublished).
76. J. R. Scheffe, J. Li, and A. W. Weimer, Int. J. Hydrogen Energy 35, 3333 (2010). 10.1016/j.ijhydene.2010.01.140
77. X. H. Liang, L. B. Lyon, Y. B. Jiang, and A. W. Weimer, J. Nanopart. Res. 14, 943 (2012). 10.1007/s11051-012-0943-0
78. D. King, X. Liang, Y. Zhou, C. Carney, L. Hakim, P. Li, and A. W. Weimer, Powder Technol. 183, 356 (2008). 10.1016/j.powtec.2008.01.025
79. D. M. King, X. H. Liang, C. S. Carney, L. F. Hakim, P. Li, and A. W. Weimer, Adv. Funct. Mater. 18, 607 (2008). 10.1002/adfm.200700705 (Pubitemid 351363570)
80. D. M. King, S. I. Johnson, J. Li, X. Du, X. H. Liang, and A. W. Weimer, Nanotechnology 20, 195401 (2009). 10.1088/0957-4484/20/19/195401
81. D. M. King, J. H. Li, X. H. Liang, S. I. Johnson, M. M. Channel, and A. W. Weimer, Cryst. Growth Des. 9, 2828 (2009). 10.1021/cg9000939
82. M. K. Wiedmann, D. H. K. Jackson, Y. J. Pagan-Torres, E. Cho, J. A. Dumesic, and T. F. Kuech, J. Vac. Sci. Technol. A 30, 01A134 (2012). 10.1116/1.3664097
83. J. Li, X. H. Liang, D. M. King, Y. B. Jiang, and A. W. Weimer Appl. Catal. B 97, 220 (2010). 10.1016/j.apcatb.2010.04.003
84. X. H. Lian, J. Li, M. Yu, C. N. McMurray, J. L. Falconer, and A. W. Weimer, ACS Catal. 1, 1162 (2011). 10.1021/cs200257p
85. X. H. Lian, Y. Zhou, J. Li, and A. W. Weimer, J. Nanopart. Res. 13, 3781 (2011). 10.1007/s11051-011-0299-x
86. D. M. King, X. Liang, and A. W. Weimer, Powder Technol. 221, 13 (2012). 10.1016/j.powtec.2011.12.020
87. D. M. King, X. H. Liang, B. B. Burton, M. K. Akhtar, and A. W. Weimer, Nanotechnology 19, 255604 (2008). 10.1088/0957-4484/19/25/255604 (Pubitemid 351813705)
88. X. H. Liang, K. S. Barrett, Y. B. Jiang, and A. W. Weimer, ACS Appl. Mater. Interfaces 2, 2248 (2010). 10.1021/am100279v
89. D. M. King, X. H. Liang, P. Li, and A. W. Weimer, Thin Solid Films 516, 8517 (2008). 10.1016/j.tsf.2008.05.026
90. Y. Zhou, D. M. King, X. H. Liang, J. Li, and A. W. Weimer, Appl. Catal. B 101, 54 (2010). 10.1016/j.apcatb.2010.09.005
91. Y. Zhou, C. L. Muhich, B. T. Neltner, A. W. Weimer, and C. B. Musgrave, J. Phys. Chem. C 116, 12114 (2012). 10.1021/jp302273m
92. J. D. Ferguson, K. J. Buechler, A. W. Weimer, and S. M. George, Powder Technol. 156, 154 (2005). 10.1016/j.powtec.2005.04.009 (Pubitemid 41207710)
93. J. R. Scheffe, A. Francés, D. M. King, X. H. Liang, B. A. Branch A. S. Cavanagh, S. M. George, and A. W. Weimer, Thin Solid Films 517, 1874 (2009). 10.1016/j.tsf.2008.09.086
94. J. R. van Ommen, C. U. Yurteri, N. Ellis, and E. M. Kelder, Particuology 8, 572 (2010). 10.1016/j.partic.2010.07.010
95. O. J. Kilbury, K. S. Barrett, X. Fu, J. Yin, D. S. Dinair, C. J. Gump, A. W. Weimer, and D. M. King, Powder Technol. 221, 26 (2012). 10.1016/j.powtec. 2011.12.021
96. M. A. Weimer, A. W. Weimer, and W. Park, J. Appl. Phys. 104, 114516 (2008). 10.1063/1.3033489
97. M. A. Weimer, L. F. Hakim, D. M. King, X. H. Liang, A. W. Weimer, S. M. George, P. Li, and M. D. Groner, Appl. Phys. Lett. 92, 164101 (2008). 10.1063/1.2913763 (Pubitemid 351590756)
98. D. M. King, Y. Zhou, L. F. Hakim, X. H. Liang, P. Li, and A. W. Weimer, Ind. Eng. Chem. Res. 48, 352 (2009). 10.1021/ie800196h
99. B. Moghtaderi, I. Shames, and E. Doroodchi, Chem. Eng. Technol. 29, 97 (2006). 10.1002/ceat.200500244 (Pubitemid 43109600)
100. Y. Zhou, D. M. King, J. Li, K. S. Barrett, R. B. Goldfarb, and A. W. Weimer, Ind. Eng. Chem. Res. 49, 6964 (2010). 10.1021/ie901712q
101. P. Lichty, M. Wirz, P. Kreider, O. J. Kilbury, D. S. Dinair, D. King, A. Steinfeld, and A. W. Weimer, Int. J. Appl. Ceram. Technol. 10, 257 (2013). 10.1111/j.1744-7402.2012.02750.x
102. X. H. Liang, G. D. Zhan, D. M. King, J. A. McCormick, J. Zhang, S. M. George, and A. W. Weimer, Diam. Relat. Mater. 17, 185 (2008). 10.1016/j.diamond.2007.12.003
103. X. H. Liang, J. Am. Ceram. Soc. 90, 57 (2007). 10.1111/j.1551-2916.2006. 01359.x (Pubitemid 46087937)
104. X. H. Liang, D. M. King, M. D. Groner, J. H. Blackson, J. D. Harris, S. M. George, and A. W. Weimer, J. Membrane Sci. 322, 105 (2008). 10.1016/j.memsci.2008.05.037
105. P. Lichty, X. H. Lian, C. L. Muhich, B. Evanko, C. Bingham, and A. W. Weimer, Int. J. Hydrogen Energy 37, 16888 (2012). 10.1016/j.ijhydene.2012.08.004
106. X. H. Liang, K. D. M., P. Li, and A. W. Weimer, J. Am. Ceram. Soc. 92, 649 (2009). 10.1111/j.1551-2916.2009.02940.x
107. X. H. Liang, S. M. George, A. W. Weimer, N. H. Li, J. H. Blackson, J. D. Harris, and P. Li, Chem. Mater. 19, 5388 (2007). 10.1021/cm071431k (Pubitemid 350099807)
108. X. H. Liang, A. D. Lynn, D. M. King, S. J. Bryant and A. W. Weimer, ACS Appl. Mater. Interfaces 1, 1988 (2009). 10.1021/am9003667
109. X. H. Liang, N. H. Li, and A. W. Weimer, Micropor. Mesopor. Mater. 149, 106 (2012). 10.1016/j.micromeso.2011.08.025
110. G. D. Zhan, X. Du, K. D. M., L. F. Hakim, X. H. Liang, J. A. McCormick, and A. W. Weimer, J. Am. Ceram. Soc. 91, 831 (2008). 10.1111/j.1551-2916.2007. 02210.x (Pubitemid 351347491)
111. J. A. McCormick, B. L. Cloutier, A. W. Weimer, and S. M. George, J. Vac. Sci. Technol. A 25, 67 (2007). 10.1116/1.2393299 (Pubitemid 46094554)
112. C. A. Wilson, J. A. McCormick, A. S. Cavanagh, D. N. Goldstein, A. W. Weimer, and S. M. George, Thin Solid Films 516, 6175 (2008). 10.1016/j.tsf.2007.11.086
113. J. A. McCormick, K. P. Rice, D. F. Paul, A. W. Weimer, and S. M. George, Chem. Vapor Depos. 13, 491 (2007). 10.1002/cvde.200606563
114. D. N. Goldstein, J. A. McCormick, and S. M. George, J. Phys. Chem. C 112, 19530 (2008). 10.1021/jp804296a
115. C. A. Wilson, D. N. Goldstein, J. A. McCormick, A. W. Weimer, and S. M. George, J. Vac. Sci. Technol. A 26, 430 (2008). 10.1116/1.2902956 (Pubitemid 351620209)
116. A. S. Cavanagh, C. A. Wilson, A. W. Weimer, and S. M. George, Nanotechnology 20, 255602 (2009). 10.1088/0957-4484/20/25/255602
117. Y. S. Jung, A. S. Cavanagh, A. C. Dillon, M. D. Groner, S. M. George, and S. H. Lee, J. Electrochem. Soc. 157, A75 (2010). 10.1149/1.3258274
118. Y. S. Jung, A. S. Cavanagh, L. A. Riley, S. H. Kang, A. C. Dillon, M. D. Groner, S. M. George, and S. H. Lee, Adv. Mater. 22, 2172 (2010). 10.1002/adma.200903951
119. I. D. Scott, Y. S. Jung, A. S. Cavanagh, Y. Yan, A. C. Dillon, S. M. George, and S. H. Lee, Nano Lett. 11, 414 (2011). 10.1021/nl1030198
120. L. A. Riley, A. S. Cavanagh, S. M. George, Y. S. Jung, Y. Yan, S. H. Lee, and A. C. Dillon, ChemPhysChem 11, 2124 (2010). 10.1002/cphc.201000158
121. L. A. Riley, A. S. Cavanagh, S. M. George, S. H. Lee, and A. C. Dillon, Electrochem. Solid-State Lett. 14, A29 (2011). 10.1149/1.3529367
122. C. Detavernier, J. Haemers, and D. Deduytsche, WO 2010/046373.
123. D. Longrie, D. Deduytsche, J. Haemers, K. Driesen, and C. Detavernier, Surf. Coat. Technol. 213, 183 (2012). 10.1016/j.surfcoat.2012.10.045
124. D. Longrie, " Atomic layer deposition for surface engineering of powders.," Ph.D. dissertation, Ghent University, 2013.
125. S. E. Potts and W. M. M. Kessels, Coord. Chem. Rev. 257, 3254 (2013). 10.1016/j.ccr.2013.06.015
126. J. Musschoot, J. Dendooven, D. Deduytsche, J. Haemers, G. Buyle, and C. Detavernier, Surf. Coat. Technol. 206, 4511 (2012). 10.1016/j.surfcoat.2012.02. 038
127. P. Poodt, D. C. Cameron, E. Dickey, S. M. George, V. Kuznetsov, G. N. Parsons, F. Roozeboom, G. Sundaram, and A. Vermeer, J. Vac. Sci. Technol. A 30, 010802 (2012). 10.1116/1.3670745
128. J. R. van Ommen, AVS/ALD 2012 & BALD 2012-12th International Conference on Atomic Layer Deposition, p. 151.
129. J. R. van Ommen, WO 2010/100235 A1 (2010).