Black silicon: Fabrication methods, properties and solar energy applications

Energy and Environmental Science

Volumn 7, Issue 10, 2014, Pages 3223-3263

  Liu, Xiaogang ^a,b   Coxon, Paul R ^c   Peters, Marius ^b   Hoex, Bram ^b   Cole, Jacqueline M ^a,d   Fray, Derek J ^c  

^a UNIVERSITY OF CAMBRIDGE   (United Kingdom)

^b NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE   (Singapore)

^c UNIVERSITY OF CAMBRIDGE   (United Kingdom)

^d ARGONNE NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALUMINA; ALUMINUM OXIDE; ANTIREFLECTION COATINGS; ATOMIC LAYER DEPOSITION; FABRICATION; LIGHT EMISSION; NANOSTRUCTURED MATERIALS; REFLECTIVE COATINGS; SILICON WAFERS; SOLAR ENERGY;

ANTIBACTERIAL COATINGS; FABRICATION TECHNIQUE; FUNDAMENTAL PROPERTIES; LIGHT EMITTING DEVICES; METAL-ASSISTED CHEMICAL ETCHING; RENEWABLE ENERGY APPLICATIONS; SOLAR ENERGY APPLICATIONS; SOLAR-CELL APPLICATIONS;

SILICON SOLAR CELLS;

FUEL CELL; RENEWABLE RESOURCE; SILICON; SOLAR POWER;

EID: 84907967225     PISSN: 17545692     EISSN: 17545706     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c4ee01152j     Document Type: Review

References (322)

1. H. Föll M. Christophersen J. Carstensen G. Hasse Mater. Sci. Eng., R 2002 39 93 141
2. M. J. Sailor, Porous Silicon in Practice: Preparation, Characterization and Applications, Wiley, Weinheim, Germany, 2012
3. K. W. Kolasinski Curr. Opin. Solid State Mater. Sci. 2005 9 73 83
4. G. Barillaro A. Nannini M. Piotto Sens. Actuators, A 2002 102 195 201
5. A. Jane R. Dronov A. Hodges N. H. Voelcker Trends Biotechnol. 2009 27 230 239
6. M. P. Stewart J. Buriak Adv. Mater. 2000 12 859 869
7. L. De Stefano L. Moretti A. Lamberti O. Longo M. Rocchia A. M. Rossi P. Arcari I. Rendina IEEE Trans. Nanotechnol. 2004 3 49 54
8. A. Angelescu I. Kleps M. Mihaela M. Simion T. Neghina S. Petrescu N. Moldovan C. Paduraru A. Raducanu Rev. Adv. Mater. Sci. 2003 5 440 449
9. M. J. Sailor E. J. Lee Adv. Mater. 1997 9 783 793
10. M. Berger C. Dieker M. Thonissen L. Vescan H. Luth H. Munder W. Theiss M. Wernke P. Grosse J. Phys. D: Appl. Phys. 1994 27 1333 1336
11. C. Mazzoleni L. Pavesi Appl. Phys. Lett. 1995 67 2983 2985
12. M. Berger M. Thönissen R. Arens-Fischer H. Münder H. Lüth M. Arntzen W. Thei Thin Solid Films 1995 255 313 316
13. M. Araki H. Koyama N. Koshida Appl. Phys. Lett. 1996 69 2956 2958
14. L. Pavesi C. Mazzoleni A. Tredicucci V. Pellegrini Appl. Phys. Lett. 1995 67 3280 3282
15. M. Berger R. Arens-Fischer M. Thönissen M. Krüger S. Billat H. Lüth S. Hilbrich W. Theiss P. Grosse Thin Solid Films 1997 297 237 240
16. V. Torres-Costa R. J. Martín-Palma J. Mater. Sci. 2010 45 2823 2838
17. M. Steglich M. Zilk F. Schrempel A. Tünnermann E. B. Kley Appl. Phys. Lett. 2013 102 111110
18. M. Steglich M. Zilk A. Bingel C. Patzig T. Käsebier F. Schrempel E.-B. Kley A. Tünnermann J. Appl. Phys. 2013 114 183102
19. J.-H. Park L. Gu G. von Maltzahn E. Ruoslahti S. N. Bhatia M. J. Sailor Nat. Mater. 2009 8 331 336
20. J. Rong C. Masarapu J. Ni Z. Zhang B. Wei ACS Nano 2010 4 4683 4690
21. M. Ge X. Fang J. Rong C. Zhou Nanotechnology 2013 24 422001
22. A. Vu Y. Qian A. Stein Adv. Energy Mater. 2012 2 1056 1085
23. J. Oh T. G. Deutsch H.-C. Yuan H. M. Branz Energy Environ. Sci. 2011 4 1690 1694
24. E. P. Ivanova J. Hasan H. K. Webb G. Gervinskas S. Juodkazis V. K. Truong A. H. Wu R. N. Lamb V. A. Baulin G. S. Watson Nat. Commun. 2013 4 2838
25. D. Qi N. Lu H. Xu B. Yang C. Huang M. Xu L. Gao Z. Wang L. Chi Langmuir 2009 25 7769 7772
26. M. Barberoglou V. Zorba A. Pagozidis C. Fotakis E. Stratakis Langmuir 2010 26 13007 13014
27. P. Granitzer K. Rumpf Materials 2010 3 943 998
28. A. B. Christiansen J. S. Clausen N. A. Mortensen A. Kristensen Microelectron. Eng. 2014 121 47 50
29. J. Wei J. M. Buriak G. Siuzdak Nature 1999 399 243 246
30. S. Fan M. G. Chapline N. R. Franklin T. W. Tombler A. M. Cassell H. Dai Science 1999 283 512 514
31. A. Žukauskas M. Malinauskas A. Kadys G. Gervinskas G. Seniutinas S. Kandasamy S. Juodkazis Opt. Express 2013 21 6901 6909
32. J. Oh H. C. Yuan H. M. Branz Nat. Nanotechnol. 2012 7 743 748
33. Y. Wang Y. P. Liu T. Lai H. L. Liang Z. L. Li Z. X. Mei F. M. Zhang A. Kuznetsov X. L. Du RSC Adv. 2013 3 15483 15489
34. H. C. Yuan V. E. Yost M. R. Page P. Stradins D. L. Meier H. M. Branz Appl. Phys. Lett. 2009 95 123501
35. F. Toor H. M. Branz M. R. Page K. M. Jones H. C. Yuan Appl. Phys. Lett. 2011 99 103501
36. X. Ao X. Tong D. S. Kim L. Zhang M. Knez F. Müller S. He V. Schmidt Appl. Phys. Lett. 2012 101 111901
37. G. Masson, M. Latour, M. Rekinger, I. Theologitis and M. Papoutsi, Global Market Outlook for Photovoltaics 2013-2017, European Photovoltaic Industry Association, 2013
38. P. Menna G. Di Francia V. La Ferrara Sol. Energy Mater. Sol. Cells 1995 37 13 24
39. L. Stalmans J. Poortmans H. Bender M. Caymax K. Said E. Vazsonyi J. Nijs R. Mertens Prog. Photovolt. Res. Appl. 1998 6 233 246
40. V. Y. Yerokhov I. I. Melnyk Renewable Sustainable Energy Rev. 1999 3 291 322
41. R. Bilyalov R. Lüdemann W. Wettling L. Stalmans J. Poortmans J. Nijs L. Schirone G. Sotgiu S. Strehlke C. Lévy-Clément Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2000 60 391 420
42. M. D. Kelzenberg S. W. Boettcher J. A. Petykiewicz D. B. Turner-Evans M. C. Putnam E. L. Warren J. M. Spurgeon R. M. Briggs N. S. Lewis H. A. Atwater Nat. Mater. 2010 9 239 244
43. C. L. Cheng C. W. Liu J. T. Jeng B. T. Dai Y. H. Lee J. Electrochem. Soc. 2009 156 H356 H360
44. L. Tsakalakos J. Balch J. Fronheiser B. Korevaar O. Sulima J. Rand Appl. Phys. Lett. 2007 91 233117
45. Y. Li H. Yu J. Li S. M. Wong X. W. Sun X. Li C. Cheng H. J. Fan J. Wang N. Singh Small 2011 7 3138 3143
46. S. Chattopadhyay Y. F. Huang Y. J. Jen A. Ganguly K. H. Chen L. C. Chen Mater. Sci. Eng., R 2010 69 1 35
47. R. Memming G. Schwandt Surf. Sci. 1966 4 109 124
48. A. Cullis L. Canham Nature 1991 353 335 338
49. A. Cullis L. T. Canham P. Calcott J. Appl. Phys. 1997 82 909 965
50. K. Hirschman L. Tsybeskov S. Duttagupta P. Fauchet Nature 1996 384 338 341
51. L. T. Canham Appl. Phys. Lett. 1990 57 1046 1048
52. L. H. Lie M. Duerdin E. M. Tuite A. Houlton B. R. Horrocks J. Electroanal. Chem. 2002 538 183 190
53. Y. Chao L. Šiller S. Krishnamurthy P. R. Coxon U. Bangert M. Gass L. Kjeldgaard S. N. Patole L. H. Lie N. O'Farrell Nat. Nanotechnol. 2007 2 486 489
54. J. H. Ahire Q. Wang P. R. Coxon G. Malhotra R. Brydson R. Chen Y. Chao ACS Appl. Mater. Interfaces 2012 4 3285 3292
55. P. Kleimann J. Linnros R. Juhasz Appl. Phys. Lett. 2001 79 1727 1729
56. H. S. Jang H.-J. Choi B.-Y. Oh J. H. Kim Electrochem. Solid-State Lett. 2011 14 D5 D9
57. X. Zhang S. Collins R. Smith J. Electrochem. Soc. 1989 136 1561 1565
58. X. Zhang J. Electrochem. Soc. 2004 151 C69 C80
59. P. Kleimann X. Badel J. Linnros Appl. Phys. Lett. 2005 86 183108
60. V. Lehmann, Electrochemistry of Silicon: Instrumantation, Science, Materials and Applications, Wiley-VCH, Weinheim, 2002
61. S. Matthias F. MüLLER C. Jamois R. B. Wehrspohn U. Gösele Adv. Mater. 2004 16 2166 2170
62. C. Striemer P. Fauchet Appl. Phys. Lett. 2002 81 2980 2982
63. R. Bilyalov L. Stalmans J. Poortmans J. Electrochem. Soc. 2003 150 G216 G222
64. L. L. Ma Y. C. Zhou N. Jiang X. Lu J. Shao W. Lu J. Ge X. M. Ding X. Y. Hou Appl. Phys. Lett. 2006 88 171907
65. D. Ariza-Flores J. Pérez-Huerta Y. Kumar A. Encinas V. Agarwal Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2014 123 144 149
66. E. Osorio R. Urteaga L. N. Acquaroli G. García-Salgado H. Juaréz R. R. Koropecki Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2011 95 3069 3073
67. H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters, CRC Press, Boca Raton, FL, 4th edn, 2010
68. J. H. Selj T. T. Mongstad R. Søndenå E. S. Marstein Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2011 95 2576 2582
69. V. Y. Yerokhov R. Hezel M. Lipinski R. Ciach H. Nagel A. Mylyanych P. Panek Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2002 72 291 298
70. SEMSYSCO, http://www.semsysco.com/porous-silicon/, accessed June 30 2014
71. R. Smith S. Collins J. Appl. Phys. 1992 71 R1 R22
72. S. Shih K. Jung T. Hsieh J. Sarathy J. Campbell D. Kwong Appl. Phys. Lett. 1992 60 1863 1865
73. H. Robbins B. Schwartz J. Electrochem. Soc. 1959 106 505 508
74. H. Robbins B. Schwartz J. Electrochem. Soc. 1960 107 108 111
75. B. Schwartz H. Robbins J. Electrochem. Soc. 1961 108 365 372
76. B. Schwartz H. Robbins J. Electrochem. Soc. 1976 123 1903 1909
77. É. Vázsonyi E. Szilágyi P. Petrik Z. Horváth T. Lohner M. Fried G. Jalsovszky Thin Solid Films 2001 388 295 302
78. G. Kumaravelu M. M. Alkaisi A. Bittar D. Macdonald J. Zhao Curr. Appl. Phys. 2004 4 108 110
79. R. Khandelwal U. Plachetka B. Min C. Moormann H. Kurz Microelectron. Eng. 2013 111 220 223
80. Y.-T. Cheng J.-J. Ho S.-Y. Tsai Z.-Z. Ye W. Lee D.-S. Hwang S.-H. Chang C.-C. Chang K. L. Wang Sol. Energy 2011 85 87 94
81. D. Turner J. Electrochem. Soc. 1960 107 810 816
82. M. Winton S. Russell R. Gronsky J. Appl. Phys. 1997 82 436 441
83. M. Saadoun N. Mliki H. Kaabi K. Daoudi B. Bessais H. Ezzaouia R. Bennaceur Thin Solid Films 2002 405 29 34
84. M. B. Rabha W. Dimassi M. Bouaïcha H. Ezzaouia B. Bessais Sol. Energy 2009 83 721 725
85. M. Ben Rabha M. Saadoun M. Boujmil B. Bessais H. Ezzaouia R. Bennaceur Appl. Surf. Sci. 2005 252 488 493
86. A. Ben Jaballah M. Hassen M. Hajji M. Saadoun B. Bessais H. Ezzaouia Phys. Status Solidi A 2005 202 1606 1610
87. A. B. Jaballah M. Saadoun M. Hajji H. Ezzaouia B. Bessaïs Appl. Surf. Sci. 2004 238 199 203
88. M. Saadoun B. Bessaïs N. Mliki M. Ferid H. Ezzaouia R. Bennaceur Appl. Surf. Sci. 2003 210 240 248
89. M. B. Rabha H. Anouar B. Brahim Sol. Energy 2012 86 1411 1415
90. R. T. Collins P. M. Fauchet M. A. Tischler Phys. Today 1997 50 24 31
91. X. Li P. Bohn Appl. Phys. Lett. 2000 77 2572 2574
92. Z. Huang N. Geyer P. Werner J. De Boor U. Gösele Adv. Mater. 2011 23 285 308
93. K. Nishioka S. Horita K. Ohdaira H. Matsumura Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2008 92 919 922
94. S. Yae Y. Kawamoto H. Tanaka N. Fukumuro H. Matsuda Electrochem. Commun. 2003 5 632 636
95. S. K. Srivastava D. Kumar P. K. Singh M. Kar V. Kumar M. Husain Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2010 94 1506 1511
96. S. Koynov M. S. Brandt M. Stutzmann Appl. Phys. Lett. 2006 88 203107
97. Y. T. Lu A. R. Barron Phys. Chem. Chem. Phys. 2013 15 9862 9870
98. C. Y. Chen W. J. Li H. H. Chen ChemPhysChem 2012 13 1415 1420
99. Y. Li J. Zhang S. Zhu H. Dong Z. Wang Z. Sun J. Guo B. Yang J. Mater. Chem. 2009 19 1806 1810
100. W. Choi T. Liew M. Dawood H. I. Smith C. Thompson M. Hong Nano Lett. 2008 8 3799 3802
101. S. W. Chang V. P. Chuang S. T. Boles C. A. Ross C. V. Thompson Adv. Funct. Mater. 2009 19 2495 2500
102. C. F. Guo T. Sun Y. Wang J. Gao Q. Liu K. Kempa Z. Ren Small 2013 9 2415 2419
103. Y. Matsui S. Adachi J. Appl. Phys. 2013 113 173502
104. S. Koynov M. S. Brandt M. Stutzmann J. Appl. Phys. 2011 110 043537
105. S. K. Srivastava D. Kumar M. Sharma R. Kumar P. K. Singh Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2012 100 33 38
106. H. Jansen M. de Boer R. Legtenberg M. Elwenspoek J. Micromech. Microeng. 1995 5 115 120
107. R. Dussart T. Tillocher P. Lefaucheux M. Boufnichel J. Phys. D: Appl. Phys. 2014 47 123001
108. R. Dussart M. Boufnichel G. Marcos P. Lefaucheux A. Basillais R. Benoit T. Tillocher X. Mellhaoui H. Estrade-Szwarckopf P. Ranson J. Micromech. Microeng. 2004 14 190
109. R. Dussart X. Mellhaoui T. Tillocher P. Lefaucheux M. Boufnichel P. Ranson Microelectron. Eng. 2007 84 1128 1131
110. R. Dussart X. Mellhaoui T. Tillocher P. Lefaucheux M. Volatier C. Socquet-Clerc P. Brault P. Ranson J. Phys. D: Appl. Phys. 2005 38 3395
111. M. J. De Boer J. G. E. Gardeniers H. V. Jansen E. Smulders M. J. Gilde G. Roelofs J. N. Sasserath M. Elwenspoek J. Microelectromech. Syst. 2002 11 385 401
112. H. V. Jansen M. J. De Boer S. Unnikrishnan M. C. Louwerse M. C. Elwenspoek J. Micromech. Microeng. 2009 19 033001
113. X. Mellhaoui R. Dussart T. Tillocher P. Lefaucheux P. Ranson M. Boufnichel L. J. Overzet J. Appl. Phys. 2005 98 104901
114. M. Kroll, M. Otto, T. KŠsebier, K. Füchsel, R. Wehrspohn, E. B. Kley, A. Tunnermann and T. Pertsch, Proceedings of Photonics for Solar Energy Systems IV, Brussels, 2012, p. 843817
115. J. Yoo G. Yu J. Yi Mater. Sci. Eng., B 2009 159-160 333 337
116. J. S. Yoo I. O. Parm U. Gangopadhyay K. Kim S. K. Dhungel D. Mangalaraj J. Yi Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2006 90 3085 3093
117. S. M. Rossnagel, J. J. Cuomo and W. D. Westwood, Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions, William Andrew Inc., Norwich, New York, 1990
118. Y. Xia B. Liu S. Zhong C. Li J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 2012 184 589 592
119. Y. Xia B. Liu J. Liu Z. Shen C. Li Sol. Energy 2011 85 1574 1578
120. N. Cheung Mater. Chem. Phys. 1996 46 132 139
121. D. Murias C. Reyes-Betanzo M. Moreno A. Torres A. Itzmoyotl R. Ambrosio M. Soriano J. Lucas P. R. I. Cabarrocas Mater. Sci. Eng., B 2012 177 1509 1513
122. J. Gittleman E. Sichel H. Lehmann R. Widmer Appl. Phys. Lett. 1979 35 742 744
123. Y. Inomata K. Fukui K. Shirasawa Sol. Energy Mater. Sol. Cells 1997 48 237 242
124. J. Yoo Sol. Energy 2010 84 730 734
125. S. Kalem P. Werner Ö. Arthursson V. Talalaev B. Nilsson M. Hagberg H. Frederiksen U. Södervall Nanotechnology 2011 22 235307
126. K.-S. Lee M.-H. Ha J. H. Kim J.-W. Jeong Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2011 95 66 68
127. C.-H. Hsu H.-C. Lo C.-F. Chen C. T. Wu J.-S. Hwang D. Das J. Tsai L.-C. Chen K.-H. Chen Nano Lett. 2004 4 471 475
128. C. Hsu Y. Huang L. Chen S. Chattopadhyay K. Chen H. Lo C. Chen J. Vac. Sci. Technol., B 2006 24 308 311
129. Y.-F. Huang S. Chattopadhyay Y.-J. Jen C.-Y. Peng T.-A. Liu Y.-K. Hsu C.-L. Pan H.-C. Lo C.-H. Hsu Y.-H. Chang Nat. Nanotechnol. 2007 2 770 774
130. Y. Chen Z. Xu M. R. Gartia D. Whitlock Y. Lian G. L. Liu ACS Nano 2011 5 8002 8012
131. F. Laermer and A. Schlip, US Pat., US5501893, 1996
132. F. Laermer and A. Schlip, US Pat., US6284148, 2001
133. G. Kumaravelu, M. M. Alkaisi and A. Bittar, Proceedings of the 29th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, New Orleans, 2002, pp. 258-261
134. W. Nositschka C. Beneking O. Voigt H. Kurz Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2003 76 155 166
135. K. N. Nguyen P. Basset F. Marty Y. Leprince-Wang T. Bourouina J. Appl. Phys. 2013 113 194903
136. S. Schaefer R. Ludemann J. Vac. Sci. Technol., A 1999 17 749 754
137. S. H. Zaidi D. S. Ruby J. M. Gee IEEE Trans. Electron Devices 2001 48 1200 1206
138. A. Y. Vorobyev C. Guo Laser Photonics Rev. 2013 7 385 407
139. T.-H. Her R. J. Finlay C. Wu S. Deliwala E. Mazur Appl. Phys. Lett. 1998 73 1673 1675
140. T.-H. Her R. J. Finlay C. Wu E. Mazur Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2000 70 383 385
141. C. Wu C. Crouch L. Zhao J. Carey R. Younkin J. Levinson E. Mazur R. Farrell P. Gothoskar A. Karger Appl. Phys. Lett. 2001 78 1850 1852
142. C. H. Crouch J. E. Carey J. M. Warrender M. J. Aziz E. Mazur F. Y. Génin Appl. Phys. Lett. 2004 84 1850 1852
143. T. Sarnet, T. Derrien, R. Torres, P. Delaporte, F. Torregrosa, M. Sher, Y. Lin, B. Franta, G. Deng and E. Mazur, Proceedings of 28th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, Paris, 2013, pp. 1882-1886
144. T. Sarnet, J. E. Carey and E. Mazur, Proceedings of International Symposium on High Power Laser Ablation 2012, New Mexico, 2012, pp. 219-228
145. S. Sundaram E. Mazur Nat. Mater. 2002 1 217 224
146. J. E. Carey C. H. Crouch M. Shen E. Mazur Opt. Lett. 2005 30 1773 1775
147. M. A. Sheehy B. R. Tull C. M. Friend E. Mazur Mater. Sci. Eng., B 2007 137 289 294
148. I. Umezu J. M. Warrender S. Charnvanichborikarn A. Kohno J. S. Williams M. Tabbal D. G. Papazoglou X.-C. Zhang M. J. Aziz J. Appl. Phys. 2013 113 213501
149. K. Liu S. Qu X. Zhang F. Tan Y. Bi S. Lu Z. Wang Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2014 114 765 768
150. Q. Lü J. Wang C. Liang L. Zhao Z. Jiang Opt. Lett. 2013 38 1274 1276
151. M. Halbwax T. Sarnet P. Delaporte M. Sentis H. Etienne F. Torregrosa V. Vervisch I. Perichaud S. Martinuzzi Thin Solid Films 2008 516 6791 6795
152. T. Sarnet, M. Halbwax, R. Torres, P. Delaporte, M. Sentis, S. Martinuzzi, V. Vervisch, F. Torregrosa, H. Etienne and L. Roux, Proceedings of Commercial and Biomedical Applications of Ultrafast Lasers VIII, San Jose, 2008, p. 688119
153. Y. Peng Y. Wen D. Zhang S. Da Luo L. Chen Y. M. Zhu Appl. Opt. 2011 50 4765 4768
154. M. Huang F. Zhao Y. Cheng N. Xu Z. Xu Opt. Express 2010 18 A600 A619
155. M. Shen C. H. Crouch J. E. Carey E. Mazur Appl. Phys. Lett. 2004 85 5694 5696
156. R. Le Harzic H. Schuck D. Sauer T. Anhut I. Riemann K. König Opt. Express 2005 13 6651 6656
157. M. Shen C. Crouch J. Carey R. Younkin E. Mazur M. Sheehy C. Friend Appl. Phys. Lett. 2003 82 1715 1717
158. M. Pralle, J. Carey, H. Homayoon, S. Alie, J. Sickler, X. Li, J. Jiang, D. Miller, C. Palsule and J. McKee, Proceedings of Infrared Technology and Applications XXXVI, Orlando, 2010, p. 76600N
159. J. Sullivan C. Simmons J. Krich A. Akey D. Recht M. Aziz T. Buonassisi J. Appl. Phys. 2013 114 103701
160. J. E. Carey J. Sickler Laser Focus World 2009 45 39 44
161. G. Nava R. Osellame R. Ramponi K. C. Vishnubhatla Opt. Mater. Express 2013 3 612 623
162. G. Z. Chen D. J. Fray T. W. Farthing Nature 2000 407 361 364
163. T. Nohira K. Yasuda Y. Ito Nat. Mater. 2003 2 397 401
164. P. C. Pistorius D. J. Frayt J. South. Afr. Inst. Min. Metall. 2006 106 31 41
165. L. Burton A. Madjid Phys. Rev. 1969 185 1127
166. C. Spinella S. Lombardo F. Priolo J. Appl. Phys. 1998 84 5383 5414
167. G. Olson J. Roth Mater. Sci. Rep. 1988 3 1 77
168. S. K. Cho F.-R. F. Fan A. J. Bard Electrochim. Acta 2012 65 57 63
169. K. Yasuda T. Nohira K. Amezawa Y. H. Ogata Y. Ito J. Electrochem. Soc. 2005 152 D69 D74
170. K. Yasuda T. Nohira Y. Ito J. Phys. Chem. Solids 2005 66 443 447
171. K. Yasuda T. Nohira R. Hagiwara Y. H. Ogata Electrochim. Acta 2007 53 106 110
172. X. Jin P. Gao D. Wang X. Hu G. Z. Chen Angew. Chem., Int. Ed. 2004 43 733 736
173. E. Juzeliunas A. Cox D. J. Fray Electrochem. Commun. 2010 12 1270 1274
174. E. Juzeliunas A. Cox D. J. Fray Electrochim. Acta 2012 68 123 127
175. S. K. Cho F. R. F. Fan A. J. Bard Angew. Chem., Int. Ed. 2012 124 12912 12916
176. J. Zhao J. Li P. Ying W. Zhang L. Meng C. Li Chem. Commun. 2013 49 4477 4479
177. J. Zhao A. Wang M. A. Green F. Ferrazza Appl. Phys. Lett. 1998 73 1991
178. F. Priolo T. Gregorkiewicz M. Galli T. F. Krauss Nat. Nanotechnol. 2014 9 19 32
179. H.-P. Wang D.-H. Lien M.-L. Tsai C.-A. Lin H.-C. Chang K.-Y. Lai J.-H. He J. Mater. Chem. C 2014 2 3144 3171
180. J. Zhu Z. Yu S. Fan Y. Cui Mater. Sci. Eng., R 2010 70 330 340
181. A. Chu J. Wang Z. Tsai C. Lee Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2009 93 1276 1280
182. P. K. Basu D. Sarangi K. D. Shetty M. B. Boreland Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2013 113 37 43
183. K. Kim S. Dhungel S. Jung D. Mangalaraj J. Yi Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2008 92 960 968
184. B. González-Díaz R. Guerrero-Lemus B. Díaz-Herrera N. Marrero J. Méndez-Ramos D. Borchert Mater. Sci. Eng., B 2009 159 295 298
185. S. Zhong B. Liu Y. Xia J. Liu J. Liu Z. Shen Z. Xu C. Li Energy Procedia 2012 14 505 511
186. Y. Yao E. Brueckner L. Li R. Nuzzo Energy Environ. Sci. 2013 6 3071 3079
187. L. Chan D. Kang S.-M. Lee W. Li H. Hunter J. Yoon Appl. Phys. Lett. 2014 104 223905
188. A. Ingenito O. Isabella M. Zeman ACS Photonics 2014 1 270 278
189. M. Kroll, T. KŠsebier, M. Otto, R. Salzer, R. Wehrspohn, E.-B. Kley, A. Tünnermann and T. Pertsch, Proceedings of Photonics for Solar Energy Systems III, Brussels, 2010, p. 772505
190. H. K. Raut V. A. Ganesh A. S. Nair S. Ramakrishna Energy Environ. Sci. 2011 4 3779 3804
191. R. B. Stephens G. D. Cody Thin Solid Films 1977 45 19 29
192. K.-H. Kim Q.-H. Park Sci. Rep. 2013 3 1062
193. M.-L. Kuo D. J. Poxson Y. S. Kim F. W. Mont J. K. Kim E. F. Schubert S.-Y. Lin Opt. Lett. 2008 33 2527 2529
194. M. Chen H.-c. Chang A. S. P. Chang S.-Y. Lin J. Q. Xi E. F. Schubert Appl. Opt. 2007 46 6533 6538
195. H. M. Branz V. E. Yost S. Ward K. M. Jones B. To P. Stradins Appl. Phys. Lett. 2009 94 231121
196. P. Singh S. N. Sharma N. M. Ravindra JOM 2010 62 15 24
197. M.-J. Huang C.-R. Yang Y.-C. Chiou R.-T. Lee Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2008 92 1352 1357
198. W. Q. Xie J. I. Oh W. Z. Shen Nanotechnology 2011 22 065704
199. B. K. Nayak V. V. Iyengar M. C. Gupta Prog. Photovolt. Res. Appl. 2011 19 631 639
200. V. V. Iyengar B. K. Nayak M. C. Gupta Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2010 94 2251 2257
201. V. V. Iyengar B. K. Nayak K. L. More H. M. Meyer M. D. Biegalski J. V. Li M. C. Gupta Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2011 95 2745 2751
202. W.-C. Wang C.-W. Lin H.-J. Chen C.-W. Chang J.-J. Huang M.-J. Yang B. Tjahjono J.-J. Huang W.-C. Hsu M.-J. Chen ACS Appl. Mater. Interfaces 2013 5 9752 9759
203. W. K. Huang T.-S. Chen C.-T. Tsai M.-C. Kuo K.-S. Chang H.-M. Lin Y.-K. Chiou C.-C. Wang M.-C. Lin C.-S. Wu Energy Procedia 2011 8 435 442
204. Z. Shen B. Liu Y. Xia J. Liu J. Liu S. Zhong C. Li Scr. Mater. 2013 68 199 202
205. R. Martín-Palma L. Vázquez J. Martínez-Duart M. Schnell S. Schaefer Semicond. Sci. Technol. 2001 16 657 661
206. M. Ben Rabha B. Bessaïs Sol. Energy 2010 84 486 491
207. Y. Liu T. Lai H. Li Y. Wang Z. Mei H. Liang Z. Li F. Zhang W. Wang A. Y. Kuznetsov X. Du Small 2012 8 1392 1397
208. Z. Zhao B. Zhang P. Li W. Guo A. Liu Int. J. Photoenergy 2014 2014 683654
209. W. C. Hsu Y. S. Lu J. Y. Chyan J. A. Yeh Int. J. Photoenergy 2012 2012 197514
210. H.-C. Yuan, J. Oh, Y. Zhang, O. A. Kuznetsov, D. J. Flood and H. M. Branz, Proceedings of the 38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, Austin, 2012, pp. 686-689
211. Y. Liu A. Das Z. Lin I. B. Cooper A. Rohatgi C. P. Wong Nano Energy 2014 3 127 133
212. D. Z. Dimitrov C.-H. Du Appl. Surf. Sci. 2013 266 1 4
213. L. Yang Y. Liu Y. Wang X. Li W. Chen Y. Hua Q. Zhang J. Fu H. Liang Z. Mei X. Du RSC Adv. 2014 4 24458 24462
214. K. Füchsel, U. Schulz, N. Kaiser, T. Käsebier, E.-B. Kley and A. Tünnermann, Proceedings of Photonics for Solar Energy Systems III, Brussels, 2010, p. 772502
215. J. Yoo G. Yu J. Yi Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2011 95 2 6
216. P. Kwang Mook L. Myoung Bok J. Kyeong Su C. Sie Young Jpn. J. Appl. Phys. 2013 52 03BD01
217. J. Liu B. Liu S. Liu Z. Shen C. Li Y. Xia Surf. Coat. Technol. 2013 229 165 167
218. J.-M. Shim H.-W. Lee K.-Y. Cho J.-K. Seo J.-S. Kim E.-J. Lee J.-Y. Choi D.-J. Oh J.-E. Shin J.-S. Kim Int. J. Photoenergy 2012 2012 248182
219. D. Suwito U. Jager J. Benick S. Janz M. Hermle S. W. Glunz IEEE Trans. Electron Devices 2010 57 2032 2036
220. P. Repo J. Benick V. Vähänissi J. Schön G. von Gastrow B. Steinhauser M. C. Schubert M. Hermle H. Savin Energy Procedia 2013 38 866 871
221. J. Liu B. Liu Z. Shen S. Zhong S. Liu C. Li Y. Xia Sol. Energy 2012 86 3004 3008
222. G. Xiao B. Liu J. Liu Z. Xu Mater. Sci. Semicond. Process. 2014 22 64 68
223. M. Abbott J. Cotter Prog. Photovolt. Res. Appl. 2006 14 225 235
224. W. F. Liu J. M. Bian Z. C. Zhao Y. L. Luo Z. Yuan B. Y. Zhang A. M. Liu ECS Solid State Lett. 2013 2 Q17 Q20
225. S. Zhong B. Liu Y. Xia J. Liu J. Liu Z. Shen Z. Xu C. Li Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2013 108 200 204
226. C. H. Lin D. Z. Dimitrov C. H. Du C. W. Lan Phys. Status Solidi C 2010 7 2778 2784
227. M. Algasinger J. Paye F. Werner J. Schmidt M. S. Brandt M. Stutzmann S. Koynov Adv. Energy Mater. 2013 3 1068 1074
228. M. Otto M. Kroll T. KŠsebier R. Salzer A. Tünnermann R. B. Wehrspohn Appl. Phys. Lett. 2012 100 191603
229. J. Ayre, http://cleantechnica.com/2014/05/11/black-silicon-wafers-processed-solar-cells-actual-production-line-first-time/, accessed June 30 2014
230. Natcore Technology, http://www.natcoresolar.com/news/natcores-black-silicon-technology-projected-to-slash-solar-cell-production-costs-by-23-5/, accessed June 30 2014
231. JA Solar Holdings Co., Ltd., http://www.jasolar.com/webroot/company/activity.php?action=disp&newsid=295, accessed June 30 2014
232. D. Ponnampalam, http://pv.energytrend.com/knowledge/Black-Silicon.html, accessed June 30 2014
233. D. M. Powell M. T. Winkler H. J. Choi C. B. Simmons D. B. Needleman T. Buonassisi Energy Environ. Sci. 2012 5 5874 5883
234. H. Sai Y. Kanamori K. Arafune Y. Ohshita M. Yamaguchi Prog. Photovolt. Res. Appl. 2007 15 415 423
235. I. Moon K. Kim M. Thamilselvan Y. Kim K. Han D. Kyeong T. Kwon D. Vinh Ai J. Lee M. Ju K. Lee J. Yi Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2009 93 846 850
236. K. Füchsel, M. Kroll, T. KŠsebier, M. Otto, T. Pertsch, E. B. Kley, R. B. Wehrspohn, N. Kaiser and A. Tünnermann, Proceedings of Photonics for Solar Energy Systems IV, Brussels, 2012, p. 84380M
237. J. Shewchun J. Dubow A. Myszkowski R. Singh J. Appl. Phys. 1978 49 855 864
238. M. Otto M. Kroll T. KŠsebierb S. M. Lee M. Putkonen R. Salzer P. T. Miclea R. B. Wehrspohn Adv. Mater. 2010 22 5035 5038
239. M. Steglich A. Bingel G. Jia F. Falk Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2012 103 62 68
240. M. Otto M. Kroll T. KŠsebier R. Salzer R. B. Wehrspohn Energy Procedia 2012 27 361 364
241. K. M. Guenther A. L. Baumann T. Gimpel S. Kontermann W. Schade Energy Procedia 2012 27 555 560
242. S. Kontermann T. Gimpel A. L. Baumann K. M. Guenther W. Schade Energy Procedia 2012 27 390 395
243. M. Y. Ghannam A. A. Abouelsaood A. S. Alomar J. Poortmans Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2010 94 850 856
244. M. Grau N.-T. Nguyen A. Straboni M. Lemiti Energy Procedia 2011 10 8 13
245. C. S. Solanki R. R. Bilyalov J. Poortmans J. Nijs R. Mertens Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2004 83 101 113
246. S. Kajari-Schröder J. Käsewieter J. Hensen R. Brendel Energy Procedia 2013 38 919 925
247. H. S. Radhakrishnan M. Debucquoy F. Korsós K. Van Nieuwenhuysen V. Depauw I. Gordon R. Mertens J. Poortmans Energy Procedia 2013 38 950 958
248. H. S. Radhakrishnan R. Martini V. Depauw K. Van Nieuwenhuysen M. Debucquoy J. Govaerts I. Gordon R. Mertens J. Poortmans IEEE Journal of Photovoltaics 2014 4 70 77
249. E. V. Kerschaver G. Beaucarne Prog. Photovolt. Res. Appl. 2006 14 107 123
250. Applied Nanotech Holdings, Inc., http://www.appliednanotech.net/news/130103-Solexel-Achievement.php, accessed June 30 2014
251. Solexel, Inc., http://www.solexel.com/IntersolarNA2012.php, accessed June 30 2014
252. I. Gordon F. Dross V. Depauw A. Masolin Y. Qiu J. Vaes D. Van Gestel J. Poortmans Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2011 95 Suppl. 1 S2 S7
253. H. Mei C. Wang J. Yao Y. C. Chang J. Cheng Y. Zhu S. Yin C. Luo Opt. Commun. 2011 284 1072 1075
254. W. Wei Y. Zhu N. Wang H. Mei S. Yin Int. J. Thermophys. 2012 33 2179 2184
255. M. Hassen A. Ben Jaballah M. Hajji N. Khedher B. Bessais H. Ezzaouia H. Rahmouni F. Rziga Ouaja A. Selmi Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2005 87 493 499
256. N. Khedher M. Hajji M. Hassen A. Ben Jaballah B. Ouertani H. Ezzaouia B. Bessais A. Selmi R. Bennaceur Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2005 87 605 611
257. H. Nouri M. Bouaïcha B. Bessaïs Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2009 93 1823 1826
258. W. Dimassi M. Bouaïcha M. Kharroubi M. Lajnef H. Ezzaouia B. Bessaïs Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2008 92 1421 1424
259. H. S. Radhakrishnan C. Ahn J. Van Hoeymissen F. Dross N. Cowern K. Van Nieuwenhuysen I. Gordon R. Mertens J. Poortmans Phys. Status Solidi A 2012 209 1866 1871
260. H. S. Radhakrishnan F. Dross M. Debucquoy P. Rosenits K. Van Nieuwenhuysen I. Gordon J. Poortmans R. Mertens Prog. Photovolt. Res. Appl. 2013
261. M. A. Green Prog. Photovolt. Res. Appl. 2009 17 183 189
262. A. G. Aberle Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2001 65 239 248
263. J. Schmidt M. Kerr A. Cuevas Semicond. Sci. Technol. 2001 16 164
264. G. Dingemans E. Kessels J. Vac. Sci. Technol., A 2012 30 040802
265. B. Hoex J. Gielis M. Van de Sanden W. Kessels J. Appl. Phys. 2008 104 113703
266. B. Hoex S. Heil E. Langereis M. Van de Sanden W. Kessels Appl. Phys. Lett. 2006 89 042112
267. J. Schmidt M. Kerr Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2001 65 585 591
268. M. J. Kerr A. Cuevas Semicond. Sci. Technol. 2002 17 166
269. T. Lauinger J. Schmidt A. G. Aberle R. Hezel Appl. Phys. Lett. 1996 68 1232 1234
270. B. Liu S. Zhong J. Liu Y. Xia C. Li Int. J. Photoenergy 2012 2012 971093
271. S. De Wolf G. Beaucarne Appl. Phys. Lett. 2006 88 022104
272. J. Elmiger R. Schieck M. Kunst J. Vac. Sci. Technol., A 1997 15 2418 2425
273. S. Dauwe, J. Schmidt and R. Hezel, Preceedings of the 29th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, New Orleans, 2002, pp. 1246-1249
274. M. Taguchi K. Kawamoto S. Tsuge T. Baba H. Sakata M. Morizane K. Uchihashi N. Nakamura S. Kiyama O. Oota Prog. Photovolt. Res. Appl. 2000 8 503 514
275. M. Garin U. Rau W. Brendle I. Martin R. Alcubilla J. Appl. Phys. 2005 98 093711
276. S. Olibet E. Vallat-Sauvain C. Ballif Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2007 76 035326
277. B. Stegemann J. Kegel M. Mews E. Conrad L. Korte U. Stürzebecher H. Angermann Energy Procedia 2013 38 881 889
278. H. Jin K. Weber N. Dang W. Jellett Appl. Phys. Lett. 2007 90 262109
279. M. J. Kerr A. Cuevas Semicond. Sci. Technol. 2002 17 35
280. J. Zhao A. Wang P. P. Altermatt S. R. Wenham M. A. Green Sol. Energy Mater. Sol. Cells 1996 41 87 99
281. B. Hoex J. Schmidt P. Pohl M. Van de Sanden W. Kessels J. Appl. Phys. 2008 104 044903
282. O. Schultz S. Glunz G. Willeke Prog. Photovolt. Res. Appl. 2004 12 553 558
283. M. B. Rabha M. Salem M. A. El Khakani B. Bessais M. Gaidi Mater. Sci. Eng., B 2013 178 695 697
284. V. Naumann M. Otto R. B. Wehrspohn C. Hagendorf J. Vac. Sci. Technol., A 2012 30 04D106
285. G. Dingemans W. Beyer M. C. M. van de Sanden W. M. M. Kessels Appl. Phys. Lett. 2010 97 152106
286. D. Lei X. Yu L. Song X. Gu G. Li D. Yang Appl. Phys. Lett. 2011 99 052103
287. J. Schmidt A. Merkle R. Brendel B. Hoex M. v. de Sanden W. Kessels Prog. Photovolt. Res. Appl. 2008 16 461 466
288. B. Hoex J. Schmidt R. Bock P. Altermatt M. Van de Sanden W. Kessels Appl. Phys. Lett. 2007 91 112107
289. J. Benick B. Hoex M. Van de Sanden W. Kessels O. Schultz S. W. Glunz Appl. Phys. Lett. 2008 92 253504
290. L. E. Black T. Allen K. R. McIntosh A. Cuevas J. Appl. Phys. 2014 115 093707
291. B. Hoex M. C. M. van de Sanden J. Schmidt R. Brendel W. M. M. Kessels Phys. Status Solidi RRL 2012 6 4 6
292. L. Q. Zhu Y. H. Liu H. L. Zhang H. Xiao L. Q. Guo Appl. Surf. Sci. 2014 288 430 434
293. M. Otto M. Kroll T. KŠsebier J. Ziegler A. N. Sprafke R. B. Wehrspohn Energy Procedia 2013 38 862 865
294. P. Repo A. Haarahiltunen L. Sainiemi M. Yli-Koski H. Talvitie M. C. Schubert H. Savin IEEE Journal of Photovoltaics 2013 3 90 94
295. P. Repo J. Benick G. v. Gastrow V. Vähänissi F. D. Heinz J. Schön M. C. Schubert H. Savin Phys. Status Solidi RRL 2013 7 950 954
296. G. Dingemans M. Mandoc S. Bordihn M. Van de Sanden W. Kessels Appl. Phys. Lett. 2011 98 222102
297. S. Duttagupta F.-J. Ma B. Hoex A. G. Aberle Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2014 120 204 208
298. L. E. Black K. R. McIntosh IEEE Trans. Electron Devices 2010 57 1996 2004
299. S. Duttagupta F. Lin K. D. Shetty A. G. Aberle B. Hoex Prog. Photovolt. Res. Appl. 2013 21 760 764
300. J. Gjessing E. S. Marstein Energy Procedia 2013 38 348 354
301. Y. Xiu Y. Liu D. W. Hess C. Wong Nanotechnology 2010 21 155705
302. G. Sun T. Gao X. Zhao H. Zhang J. Micromech. Microeng. 2010 20 075028
303. X. Zhang Q. Di F. Zhu G. Sun H. Zhang Micro Nano Lett. 2011 6 947 950
304. A. Y. Vorobyev C. Guo Appl. Surf. Sci. 2011 257 7291 7294
305. K. X. Wang Z. Yu V. Liu Y. Cui S. Fan Nano Lett. 2012 12 1616 1619
306. J. Yoon A. J. Baca S.-I. Park P. Elvikis J. B. Geddes L. Li R. H. Kim J. Xiao S. Wang T.-H. Kim Nat. Mater. 2008 7 907 915
307. A. J. Baca K. J. Yu J. Xiao S. Wang J. Yoon J. H. Ryu D. Stevenson R. G. Nuzzo A. A. Rockett Y. Huang Energy Environ. Sci. 2010 3 208 211
308. J. Yoon L. Li A. V. Semichaevsky J. H. Ryu H. T. Johnson R. G. Nuzzo J. A. Rogers Nat. Commun. 2011 2 343
309. A. Mavrokefalos S. E. Han S. Yerci M. S. Branham G. Chen Nano Lett. 2012 12 2792 2796
310. R. Woehl J. Krause F. Granek D. Biro IEEE Electron Device Lett. 2011 32 345 347
311. P. J. Cousins, D. D. Smith, L. Hsin-Chiao, J. Manning, T. D. Dennis, A. Waldhauer, K. E. Wilson, G. Harley and W. P. Mulligan, Proceedings of the 35th Photovoltaic Specialists Conference, Honolulu, 2010, pp. 000275-000278
312. C. Gong E. Van Kerschaver J. Robbelein T. Janssens N. Posthuma J. Poortmans R. Mertens IEEE Electron Device Lett. 2010 31 576 578
313. R. Bock S. Mau J. Schmidt R. Brendel Appl. Phys. Lett. 2010 96 263507
314. S. Jeong M. D. McGehee Y. Cui Nat. Commun. 2013 4 3950
315. F. Granek M. Hermle D. M. Huljić O. Schultz-Wittmann S. W. Glunz Prog. Photovolt. Res. Appl. 2009 17 47 56
316. M. Hermle F. Granek O. Schultz S. W. Glunz J. Appl. Phys. 2008 103 054507
317. F. Granek C. Reichel Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2010 94 1734 1740
318. C. Trompoukis O. El Daif V. Depauw I. Gordon J. Poortmans Appl. Phys. Lett. 2012 101 103901
319. M. Peters M. Rüdiger H. Hauser M. Hermle B. Bläsi Prog. Photovolt. Res. Appl. 2012 20 862 873
320. X. Meng V. Depauw G. Gomard O. El Daif C. Trompoukis E. Drouard C. Jamois A. Fave F. Dross I. Gordon C. Seassal Opt. Express 2012 20 A465 A475
321. S. B. Mallick M. Agrawal P. Peumans Opt. Express 2010 18 5691 5706
322. A. Bozzola M. Liscidini L. C. Andreani Prog. Photovolt. Res. Appl. 2013 10.1002/pip.2385