Semiconductor nanowire fabrication by bottom-up and top-down paradigms

Chemistry of Materials

Volumn 24, Issue 11, 2012, Pages 1975-1991

  Hobbs, Richard G ^a,b   Petkov, Nikolay ^a   Holmes, Justin D ^a,b  

^a UNIVERSITY COLLEGE CORK   (Ireland)

^b TRINITY COLLEGE DUBLIN   (Ireland)

Author keywords

bottom up; fabrication; nanowires; semiconductors; top down

Indexed keywords

BOTTOM-UP; BOTTOM-UP AND TOP-DOWN; BOTTOM-UP FABRICATION; DEVICE-SCALING; FABRICATION ROUTES; FABRICATION TECHNIQUE; INTEGRATED DEVICE; INTENSIVE RESEARCH; MICROELECTRONIC SYSTEMS; RESEARCH FIELDS; SEMICONDUCTOR NANOWIRE; SENSOR DEVICE; TOP-DOWN FABRICATION; TOPDOWN; VERY LARGE SCALE INTEGRATED CIRCUIT;

FIELD EFFECT TRANSISTORS; LOGIC DEVICES; MICROELECTRONICS; NANOWIRES; SEMICONDUCTOR DEVICES; SEMICONDUCTOR MATERIALS; SENSORS;

FABRICATION;

EID: 84862236414     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm300570n     Document Type: Review

References (231)

1. Barth, S.; Hernandez-Ramirez, F.; Holmes, J. D.; Romano-Rodriguez, A. Prog. Mater. Sci. 2010, 55, 563
2. Lieber, C. M.; Wang, Z. L. MRS Bull. 2007, 32, 99
3. Hayden, O.; Agarwal, R.; Lieber, C. M. Nat. Mater. 2006, 5, 352
4. Fan, Z.; Ho, J. C.; Jacobson, Z. A.; Razavi, H.; Javey, A. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2008, 105, 11066
5. Soci, C.; Zhang, A.; Bao, X.-Y.; Kim, H.; Lo, Y.; Wang, D. J. Nanosci. Nanotechnol. 2010, 10, 1430
6. Fischer, K. E.; Alemán, B. J.; Tao, S. L.; Daniels, R. H.; Li, E. M.; Bünger, M. D.; Nagaraj, G.; Singh, P.; Zettl, A.; Desai, T. A. Nano Lett. 2009, 9, 716
7. Snyder, G. J.; Toberer, E. S. Nat. Mater. 2008, 7, 105
8. Chan, C. K.; Peng, H.; Liu, G.; McIlwrath, K.; Zhang, X. F.; Huggins, R. A.; Cui, Y. Nat. Nanotechnol. 2008, 3, 31
9. Liu, E.-S.; Nah, J.; Varahramyan, K. M.; Tutuc, E. Nano Lett. 2010, 10, 3297
10. Awschalom, D. D.; Flatte, M. E. Nat. Phys. 2007, 3, 153
11. Gould, C.; Pappert, K.; Schmidt, G.; Molenkamp, L. W. Adv. Mater. 2007, 19, 323
12. International Technology Roadmap for Semiconductors: 2010 Update Overview; International Technology Roadmap for Semiconductors, 2010.
13. Ford, D. Semiconductor Revenue Expands by Record Margin in 2010, IHS iSuppli, 2010. Available online: www.isuppli.com.
14. Ferain, I.; Colinge, C. A.; Colinge, J.-P. Nature 2011, 479, 310
15. Kuhn, K. J. Microelectron. Eng. 2011, 88, 1044
16. Kuhn, K. J. In Advanced Semiconductor Manufacturing Conference; IEEE: New York, 2010; Vol. 97124, p 241.
17. Law, M.; Goldberger, J.; Yang, P. Annu. Rev. Mater. Res. 2004, 34, 83
18. Cademartiri, L.; Ozin, G. A. Adv. Mater. 2008, 20, 1
19. Burda, C.; Chen, X.; Narayanan, R.; El-Sayed, M. A. Chem. Rev. 2005, 105, 1025
20. Thelander, C.; Agarwal, P.; Brongersma, S.; Eymery, J.; Feiner, L. F.; Forchel, A.; Scheffler, M.; Riess, W.; Ohlsson, B. J.; Gosele, U.; Samuelson, L. Mater. Today 2006, 9, 28
21. Fan, H. J.; Werner, P.; Zacharias, M. Small 2006, 2, 700
22. Wang, N.; Cai, Y.; Zhang, R. Q. Mater. Sci. Eng., R 2008, 60, 1
23. Wagner, R. S.; Ellis, W. C. Appl. Phys. Lett. 1964, 4, 89
24. Holmes, J. D.; Johnston, K. P.; Doty, R. C.; Korgel, B. A. Science 2000, 287, 1471
25. Dayeh, S. A.; Picraux, S. T. Nano Lett. 2010, 10, 4032
26. Barth, S.; Boland, J. J.; Holmes, J. D. Nano Lett. 2011, 11, 1550
27. Lee, D. C.; Hanrath, T.; Korgel, B. A. Angew. Chem., Int. Ed. 2005, 44, 3573
28. Tuan, H.-Y.; Korgel, B. A. Chem. Mater. 2008, 1, 6546
29. Lu, W.; Xiang, J.; Timko, B. P.; Wu, Y.; Lieber, C. M. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2005, 102, 10046
30. Chockla, A. M.; Korgel, B. A. J. Mater. Chem. 2009, 996
31. Hanrath, T.; Korgel, B. A. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 1424
32. Zaitseva, N.; Harper, J.; Gerion, D.; Saw, C. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 053105
33. Yuan, F.-W.; Tuan, H.-Y. Cryst. Growth Des. 2010, 10, 4741
34. Tuan, H.-Y.; Lee, D. C.; Hanrath, T.; Korgel, B. A. Chem. Mater. 2005, 17, 5705
35. Heitsch, A. T.; Fanfair, D. D.; Tuan, H.-Y.; Korgel, B. A. J. Am. Chem. Soc. 2008, 130, 5436
36. Chèze, C.; Geelhaar, L.; Trampert, A.; Brandt, O.; Riechert, H. Nano Lett. 2010, 10, 3426
37. Lensch-Falk, J. L.; Hemesath, E. R.; Lopez, F. J.; Lauhon, L. J. J. Am. Chem. Soc. 2007, 129, 10670
38. Zhang, R.-Q.; Lifshitz, Y.; Lee, S.-T. Adv. Mater. 2003, 15, 635
39. Wacaser, B. A.; Dick, K. A.; Johansson, J.; Borgstrom, M. T.; Deppert, K.; Samuelson, L. Adv. Mater. 2009, 21, 153
40. Hobbs, R. G.; Barth, S.; Petkov, N.; Zirngast, M.; Marschner, C.; Morris, M. A.; Holmes, J. D. J. Am. Chem. Soc. 2010, 132, 13742
41. Baxter, J. B.; Wu, F.; Aydil, E. S. Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 3797
42. Bierman, M. J.; Lau, Y. K. A.; Kvit, A. K.; Schmitt, A. L.; Jin, S. Science 2008, 320, 1060
43. Greene, L. E.; Law, M.; Tan, D. H.; Montano, M.; Goldberger, J. Nano Lett. 2005, 5, 1231
44. Greene, L. E.; Law, M.; Goldberger, J.; Kim, F.; Johnson, J. C.; Zhang, Y.; Saykally, R. J.; Yang, P. Angew. Chem., Int. Ed. 2003, 42, 3031
45. Woo, R. L.; Gao, L.; Goel, N.; Hudait, M. K.; Wang, K. L.; Kodambaka, S.; Hicks, R. F. Nano Lett. 2009, 6, 2207
46. Park, M.-S.; Wang, G.-X.; Kang, Y.-M.; Wexler, D.; Dou, S.-X.; Liu, H.-K. Angew. Chem. 2007, 119, 764
47. Stach, E. A.; Pauzauskie, P. J.; Kuykendall, T.; Goldberger, J.; He, R.; Yang, P. Nano Lett. 2003, 3, 867
48. Kim, B.-S.; Koo, T.-W.; Lee, J.-H.; Kim, D. S.; Jung, Y. C.; Hwang, S. W.; Choi, B. L.; Lee, E. K.; Kim, J. M.; Whang, D. Nano Lett. 2009, 9, 864
49. Collins, C. B.; Carlson, R. O.; Gallagher, C. J. Phys. Rev. 1957, 105, 1168
50. Fahey, P. M.; Griffin, P. B.; Plummer, J. D. Rev. Mod. Phys. 1989, 61, 289
51. Koren, E.; Elias, G.; Boag, A.; Hemesath, E. R.; Lauhon, L. J.; Rosenwaks, Y. Nano Lett. 2011, 11, 2499
52. Koch, R.; Hartstein, A. Phys. Rev. Lett. 1985, 54, 1848
53. Bradley, K.; Cumings, J.; Star, A.; Gabriel, J.-C. P.; Gruner, G. Nano Lett. 2003, 3, 639
54. Molnar, W.; Lugstein, A.; Pongratz, P.; Auner, N.; Bauch, C.; Bertagnolli, E. Nano Lett. 2010, 10, 3957
55. Kang, K.; Kim, D. A.; Lee, H.-S.; Kim, C.-J.; Yang, J.-E.; Jo, M.-H. Adv. Mater. 2008, 20, 4684
56. Schmidt, V.; Wittemann, J. V.; Senz, S.; Gosele, U. Adv. Mater. 2009, 21, 2681
57. Wang, Y.; Schmidt, V.; Senz, S.; Gosele, U. Nat. Nanotechnol. 2006, 1, 186
58. Baraff, G. A.; Schluter, M. Phys. Rev. B 1984, 30, 3460
59. Guha, S.; Narayanan, V. Annu. Rev. Mater. Res. 2009, 39, 181
60. Anstead, R. J.; Floyd, S. R. IEEE Trans. Electron Devices 1969, 16, 381
61. Duffy, R.; Shayesteh, M.; McCarthy, B.; Blake, A.; White, M.; Scully, J.; Yu, R.; Kelleher, A.-M.; Schmidt, M.; Petkov, N.; Pelaz, L.; Marqués, L. A. Appl. Phys. Lett. 2011, 99, 131910
62. Pradhan, N.; Xu, H.; Peng, X. Nano Lett. 2006, 6, 720
63. Cho, K.-S.; Talapin, D. V.; Gaschler, W.; Murray, C. B. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 7140
64. Noborisaka, J.; Motohisa, J.; Fukui, T. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 213102
65. Tomioka, K.; Motohisa, J.; Hara, S.; Fukui, T. Nano Lett. 2008, 8, 3475
66. Calarco, R.; Marso, M.; Richter, T.; Aykanat, A. I.; Meijers, R.; van der Hart, A.; Stoica, T.; Lüth, H. Nano Lett. 2005, 5, 981
67. Yan, Q.; Chen, H.; Zhou, W.; Hng, H. H.; Boey Yin Chiang, F.; Ma, J. Chem. Mater. 2008, 20, 6298
68. Sun, Y.; Gates, B.; Mayers, B.; Xia, Y. Nano Lett. 2002, 2, 165
69. Jun, Y.-wook; Choi, J.-sil; Cheon, J. Angew. Chem., Int. Ed. 2006, 45, 3414
70. Gates, B.; Mayers, B.; Cattle, B.; Xia, Y. Adv. Func. Mater. 2002, 12, 219
71. Kumar, S.; Nann, T. Small 2006, 2, 316
72. Liu, X.; Long, Y.-Z.; Liao, L.; Duan, X.; Fan, Z. ACS Nano 2012, 6, 1888
73. Ryan, K. M.; Mastroianni, A.; Stancil, K. A.; Liu, H.; Alivisatos, A. P. Nano Lett. 2006, 6, 1479
74. Lee, C. H.; Kim, D. R.; Zheng, X. Nano Lett. 2010, 10, 5116
75. Raychaudhuri, S.; Dayeh, S. A.; Wang, D.; Yu, E. T. Nano Lett. 2009, 9, 2260
76. Freer, E. M.; Grachev, O.; Duan, X.; Martin, S.; Stumbo, D. P. Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 525
77. Huang, Y.; Duan, X.; Wei, Q.; Lieber, C. M. Science 2001, 291, 630
78. Fan, Z.; Ho, J. C.; Jacobson, Z. A.; Yerushalmi, R.; Alley, R. L.; Razavi, H.; Javey, A. Nano Lett. 2008, 8, 20
79. Yan, H.; Choe, H. S.; Nam, S.; Hu, Y.; Das, S.; Klemic, J. F.; Ellenbogen, J. C.; Lieber, C. M. Nature 2011, 470, 240
80. Wong, W. S.; Raychaudhuri, S.; Lujan, R.; Sambandan, S.; Street, R. A. Nano Lett. 2011, 11, 2214
81. Sharma, R.; Strano, M. S. Adv. Mater. 2009, 21, 60
82. Zhang, C.; Zhang, X.; Zhang, X.; Fan, X.; Jie, J.; Chang, J. C.; Lee, C.-S.; Zhang, W.; Lee, S.-T. Adv. Mater. 2008, 20, 1716
83. Wang, Z.; Bao, R.; Zhang, X.; Ou, X.; Lee, C.-S.; Chang, J. C.; Zhang, X. Angew. Chem., Int. Ed. 2011, 50, 2811
84. Joyce, H. J.; Gao, Q.; Tan, H. H.; Jagadish, C.; Kim, Y.; Zhang, X.; Guo, Y.; Zou, J. Nano Lett. 2007, 7, 921
85. Kuykendall, T.; Pauzauskie, P. J.; Zhang, Y.; Goldberger, J.; Sirbuly, D.; Denlinger, J.; Yang, P. Nat. Mater. 2004, 3, 524
86. Woodruff, J. H.; Ratchford, J. B.; Goldthorpe, I. A.; McIntyre, P. C.; Chidsey, C. E. D. Nano Lett. 2007, 7, 1637
87. Sierra-Sastre, Y.; Dayeh, S. A.; Picraux, S. T.; Batt, C. A. ACS Nano 2010, 4, 1209
88. Jensen, L. E.; Bjork, M. T.; Jeppesen, S.; Persson, A. I.; Ohlsson, B. J.; Samuelson, L. Nano Lett. 2004, 4, 1961
89. Lugstein, A.; Steinmair, M.; Hyun, Y. J.; Hauer, G.; Bertagnolli, E. Nano Lett. 2008, 8, 2310
90. Shimizu, T.; Xie, T.; Nishikawa, J.; Shingubara, S.; Senz, S.; Gösele, U. Adv. Mater. 2007, 19, 917
91. Petkov, N.; Birjukovs, P.; Phelan, R.; Morris, M. A.; Erts, D.; Holmes, J. D. Chem. Mater. 2008, 20, 1902
92. Jessensky, O.; Müller, F.; Gösele, U. Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 1173
93. Lugstein, A.; Steinmair, M.; Henkel, C.; Bertagnolli, E. Nano Lett. 2009, 9, 1830
94. Manandhar, P.; Akhadov, E. A.; Tracy, C.; Picraux, S. T. Nano Lett. 2010, 10, 2126
95. Thelander, C.; Fröberg, L. E.; Rehnstedt, C.; Samuelson, L.; Wernersson, L.-E. IEEE Electron Device Lett. 2008, 29, 206
96. Bryllert, T.; Wernersson, L.-E.; Löwgren, T.; Samuelson, L. Nanotechnology 2006, 17, S227
97. Bryllert, T.; Wernersson, L.-E.; Fröberg, L. E.; Samuelson, L. IEEE Electron Device Lett. 2006, 27, 323
98. Ng, H. T.; Han, J.; Yamada, T.; Nguyen, P.; Chen, Y. P.; Meyyappan, M. Nano Lett. 2004, 4, 1247
99. Goldberger, J.; Hochbaum, A. I.; Fan, R.; Yang, P. Nano Lett. 2006, 6, 973
100. Schmidt, V.; Riel, H.; Senz, S.; Karg, S.; Riess, W.; Gçsele, U. Small 2006, 2, 85
101. Kavalieros, J.; Doyle, B.; Datta, S.; Dewey, G.; Doczy, M.; Jin, B.; Lionberger, D.; Metz, M.; Rachmady, W.; Radosavljevic, M.; Shah, U.; Zelick, N.; Chau, R. VLSI Tech. Dig. Tech. Pap. 2006, 50
102. Hu, J.; Wong, H.-S. P.; Saraswat, K. MRS Bull. 2011, 36, 112
103. Loh, W.-Y.; Coss, B. MRS Bull. 2011, 36, 97
104. Sze, S. M. Physics of Semiconductor Devices; 2 nd ed.; John Wiley & Sons, Ltd.: New York, 1981.
105. Shinada, T.; Okamoto, S.; Kobayashi, T.; Ohdomari, I. Nature 2005, 437, 2003
106. Perea, D. E.; Hemesath, E. R.; Schwalbach, E. J.; Lensch-Falk, J. L.; Voorhees, P. W.; Lauhon, L. J. Nat. Nanotechnol. 2009, 4, 315
107. Hanrath, T.; Korgel, B. A. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 5518-5524
108. Collins, G.; Fleming, P.; Dwyer, C. O.; Morris, M. A.; Holmes, J. D. Chem. Mater. 2011, 23, 1883
109. Collins, G.; Holmes, J. D. J. Mater. Chem. 2011, 21, 11052
110. Collins, G.; Fleming, P.; Barth, S.; O'Dwyer, C.; Boland, J. J.; Morris, M. A.; Holmes, J. D. Chem. Mater. 2010, 22, 6370
111. Wallace, R. M.; McIntyre, P. C.; Kim, J.; Nishi, Y. MRS Bull. 2009, 34, 493
112. Houssa, M.; Chagarov, E. MRS Bull. 2009, 34, 504
113. Morales, A. M.; Lieber, C. M. Science 1998, 279, 208
114. Lao, C. S.; Liu, J.; Gao, P.; Zhang, L.; Davidovic, D.; Tummala, R.; Wang, Z. L. Nano Lett. 2006, 6, 263
115. Meduri, P.; Pendyala, C.; Kumar, V.; Sumanasekera, G. U.; Sunkara, M. K. Nano Lett. 2009, 9, 612
116. Zhang, G.; Wang, W.; Li, X. Adv. Mater. 2008, 20, 3654
117. Li, L.; Yang, Z.; Gao, H.; Zhang, H.; Ren, J.; Sun, X.; Chen, T.; Kia, H. G.; Peng, H. Adv. Mater. 2011, 1-6
118. http://download.intel.com/newsroom/kits/22nm/pdfs/22nm-Announcement- Presentation.pdf (accessed: May 2, 2011).
119. Nguyen, P.; Ng, H. T.; Yamada, T.; Smith, M. K.; Li, J.; Han, J.; Meyyappan, M. Nano Lett. 2004, 4, 651
120. Wang, F.; Dong, A.; Sun, J.; Tang, R.; Yu, H.; Buhro, W. E. Inorg. Chem. 2006, 45, 2051
121. Wang, F.; Yu, H.; Jeong, S.; Pietryga, J. M.; Hollingsworth, J. A.; Gibbons, P. C.; Buhro, W. E. ACS Nano 2008, 2, 1903
122. Loscutoff, P. W.; Bent, S. F. Annu. Rev. Phys. Chem. 2006, 57, 467
123. Garnett, E. C.; Tseng, Y.-C.; Khanal, D. R.; Wu, J.; Bokor, J.; Yang, P. Nat. Nanotechnol. 2009, 4, 311
124. Hashemi, P.; Gomez, L.; Hoyt, J. L. IEEE Electron Device Lett. 2009, 30, 401
125. Hashemi, P. Gate-All-Around Silicon Nanowire MOSFETs: Top-Down Fabrication and Transport Enhancement Techniques; Massachusetts Institute of Technology: Cambridge, MA, 2010; pp 117-122.
126. Pease, R. F.; Chou, S. Y. Proc. IEEE 2008, 96, 248
127. Sewell, H.; Mulkens, J. Annu. Rev. Mater. Res. 2009, 39, 127
128. French, R. H.; Tran, H. V. Annu. Rev. Mater. Res. 2009, 39, 93
129. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication; Rai-Choudury, P., Ed.; SPIE-International Society for Optical Engineering: Bellingham, WA, 1997.
130. Altamirano-Sanchez, E.; Paraschiv, V.; Demand, M.; Boullart, W. Microelectron. Eng. 2011, 88, 2871-2878
131. Isoyan, A.; Wüest, A.; Wallace, J.; Jiang, F.; Cerrina, F. Opt. Express 2008, 16, 9106
132. Ekinci, Y.; Solak, H.; Padeste, C.; Gobrecht, J.; Stoykovich, M.; Nealey, P. Microelectron. Eng. 2007, 84, 700
133. Paivanranta, B.; Langner, A.; Kirk, E.; David, C.; Ekinci, Y. Nanotechnology 2011, 22, 375302
134. Noelscher, C.; Heller, M.; Markert, M.; Temmler, D.; Jauzion-Graverolle, F.; Morgana, N.; Scheler, U.; Bee-Kim, H.; Egger, U.; Timoshkov, V.; Vogt, M. J. Micro/Nanolithogr., MEMS, MOEMS 2009, 8, 011005
135. Jones, S. W. Photolithography; IC Knowledge LLC: Georgetown, MA, 2000; available online: www.icknowledge.com.
136. Fritze, M.; Tyrrell, B. M.; Astolfi, D. K.; Lambert, R. D.; Yost, D.-R. W.; Forte, A. R.; Cann, S. G.; Wheeler, B. D. Lincoln Lab. J. 2003, 14, 237-250
137. Kemp, K.; Wurm, S. C. R. Phys. 2006, 7, 875
138. Pan, C.; Luo, Z.; Xu, C.; Luo, J.; Liang, R.; Zhu, G.; Wu, W.; Guo, W.; Yan, X.; Xu, J.; Wang, Z. L.; Zhu, J. ACS Nano 2011, 5, 6629
139. Pennelli, G. Microelectron. Eng. 2009, 86, 2139
140. Colinge, J.-P.; Lee, C.-W.; Afzalian, A.; Akhavan, N. D.; Yan, R.; Ferain, I.; Razavi, P.; O'Neill, B.; Blake, A.; White, M.; Kelleher, A.-M.; McCarthy, B.; Murphy, R. Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 225
141. Trivedi, K.; Yuk, H.; Floresca, H. C.; Kim, M. J.; Hu, W. Nano Lett. 2011, 11, 1412
142. Costner, E. a.; Lin, M. W.; Jen, W.-L.; Willson, C. G. Annu. Rev. Mater. Res. 2009, 39, 155
143. Talin, A. A.; Hunter, L. L.; Léonard, F.; Rokad, B. Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 153102
144. Vladimirsky, Y.; Bourdillon, A.; Vladimirsky, O.; Jiang, W.; Leonard, Q. J. Phys. D: Appl. Phys. 1999, 32, 114
145. Bourdillon, A. J.; Boothroyd, C. B.; Williams, G. P.; Vladimirsky, Y. J. Phys. D: Appl. Phys. 2003, 36, 2471
146. Naulleau, P. P.; Anderson, C. N.; Denham, P.; George, S.; Goldberg, K. A.; Goldstein, M.; Hoef, B.; Jones, G.; Koh, C.; Fontaine, B. La; Montgomery, W.; Wallow, T. J. Vac. Sci. Technol., B 2009, 27, 2911
147. Veloso, A.; Demuynck, S.; Ercken, M.; Goethals, A. M.; Locorotondo, S.; Lazzarino, F.; Altamirano, E.; Huffman, C.; Keersgieter, A. D.; Brus, S.; Demand, M.; Struyf, H.; Backer, J. D.; Hermans, J.; Delvaux, C.; Baudemprez, B.; Vandeweyer, T.; Roey, F. V.; Baerts, C.; Goossens, D.; Dekkers, H.; Ong, P.; Heylen, N.; Kellens, K.; Volders, H.; Hikavyy, A.; Vrancken, C.; Rakowski, M.; Verhaegen, S.; Dusa, M.; Romijn, L.; Pigneret, C.; Dijk, A. V.; Schreutelkamp, R.; Cockburn, A.; Gravey, V.; Meiling, H.; Hultermans, B.; Lok, S.; Shah, K.; Rajagopalan, R.; Gelatos, J.; Richard, O.; Bender, H.; Vandenberghe, G.; Beyer, G. P.; Absil, P.; Hoffmann, T.; Ronse, K.; Biesemans, S. IEDM Tech. Dig. 2009, 27.1.1-27.1.4
148. Scappucci, G.; Capellini, G.; Johnston, B.; Klesse, W. M.; Miwa, J. A.; Simmons, M. Y. Nano Lett. 2011, 11, 2272
149. Sidorkin, V.; Veldhoven, E. van; Drift, E. van der; Alkemade, P.; Salemink, H.; Maas, D. J. Vac. Sci. Technol., B 2009, 27, 25
150. Winston, D.; Manfrinato, V. R.; Nicaise, S. M.; Cheong, L. L.; Duan, H.; Ferranti, D.; Marshman, J.; McVey, S.; Stern, L.; Notte, J.; Berggren, K. K. Nano Lett. 2011, 11, 4343
151. Yang, F.-L.; Chen, H.-Y.; Huang, C.-C. IEEE Solid-State Integr. Circuit Technol. 2010, 62
152. Sychugov, I.; Nakayama, Y.; Mitsuishi, K. Nanotechnology 2010, 21, 285307
153. Guan, Y.; Fowlkes, J. D.; Retterer, S. T.; Simpson, M. L.; Rack, P. D. Nanotechnology 2008, 19, 505302
154. Manfrinato, V. R.; Cheong, L. L.; Duan, H.; Winston, D.; Smith, H. I.; Berggren, K. K. Microelectron. Eng. 2011, 88, 3070
155. Yang, J. K. W.; Cord, B.; Duan, H.; Berggren, K. K.; Klingfus, J.; Nam, S.-W.; Kim, K.-B.; Rooks, M. J. J. Vac. Sci. Technol., B 2009, 27, 2622
156. Wu, C. S.; Makiuchi, Y.; Chen, C. In Lithography; Wang, M., Ed.; Intech: Vukovar, 2010; pp 241-266.
157. Sim, J. H.; Lee, S.-I.; Lee, H.-J.; Kasica, R.; Kim, H.-M.; Soles, C. L.; Kim, K.-B.; Yoon, D. Y. Chem. Mater. 2010, 22, 3021
158. Pain, L.; Tedesco, S.; Constancias, C. C. R. Phys. 2006, 7, 910
159. Lee, H.-S.; Kim, B.-S.; Kim, H.-M.; Wi, J.-S.; Nam, S.-W.; Jin, K.-B.; Arai, Y.; Kim, K.-B. Adv. Mater. 2007, 19, 4189
160. Seo, K.; Wober, M.; Steinvurzel, P.; Schonbrun, E.; Dan, Y.; Ellenbogen, T.; Crozier, K. B. Nano Lett. 2011, 11, 1851
161. Pevzner, A.; Engel, Y.; Elnathan, R.; Ducobni, T.; Ben-ishai, M.; Reddy, K.; Shpaisman, N.; Tsukernik, A.; Oksman, M.; Patolsky, F. Nano Lett. 2010, 10, 1202
162. Walavalkar, S. S.; Hofmann, C. E.; Homyk, A. P.; Henry, M. D.; Atwater, H. A.; Scherer, A. Nano Lett. 2010, 10, 4423
163. Tennant, D. M.; Bleier, A. R. In Handbook of Nanofabrication; Wiederrecht, G., Ed.; Elsevier B.V.: Amsterdam, 2010; pp 121-148.
164. Chang, T. H. P.; Mankos, M.; Lee, K. Y.; Muray, L. P. Microelectron. Eng. 2001, 57-58, 117
165. Loeschner, H.; Klein, C.; Platzgummer, E. Jpn J. Appl. Phys. 2010, 49, 06GE01
166. Kouwen, L. van; Botman, A.; Hagen, C. W. Nano Lett. 2009, 9, 2149
167. Winston, D.; Cord, B. M.; Ming, B.; Bell, D. C.; DiNatale, W. F.; Stern, L. A.; Vladar, A. E.; Postek, M. T.; Mondol, M. K.; Yang, J. K. W.; Berggren, K. K. J. Vac. Sci. Technol., B 2009, 27, 2702
168. Notte, J.; Rahman, F.; McVey, S.; Tan, S.; Livengood, R. H. Microsc. Microanal. 2010, 16, 28
169. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Zhang, W.; Guo, L.; Zhuang, L. J. Vac. Sci. Technol., B 1997, 15, 2897
170. Ro, H. W.; Jones, R. L.; Peng, H.; Hines, D. R.; Lee, H.-J.; Lin, E. K.; Karim, A.; Yoon, D. Y.; Gidley, D. W.; Soles, C. L. Adv. Mater. 2007, 19, 2919
171. Ro, H. W.; Soles, C. L. Mater. Today 2011, 14, 20
172. Gates, B. D.; Xu, Q.; Love, J. C.; Wolfe, D. B.; Whitesides, G. M. Annu. Rev. Mater. Res. 2004, 34, 339
173. Tseng, A. A.; Notargiacomo, A.; Chen, T. P. J. Vac. Sci. Technol., B 2005, 23, 877
174. Crommie, M. F.; Lutz, C. P.; Eigler, D. M. Science 1993, 262, 218
175. Vettiger, P.; Cross, G.; Despont, M.; Drechsler, U.; Durig, U.; Gotsmann, B.; Haberle, W.; Lantz, M. A.; Rothuizen, H. E.; Stutz, R.; Binnig, G. K. IEEE Trans. Nanotechnol. 2002, 1, 39
176. Darling, S. B. Prog. Polym. Sci. 2007, 32, 1152
177. Matsen, M. W.; Bates, F. S. Macromolecules 1996, 29, 1091
178. Park, S.-M.; Stoykovich, M. P.; Ruiz, R.; Zhang, Y.; Black, C. T.; Nealey, P. F. Adv. Mater. 2007, 19, 607-611
179. Herr, D. J. C. J. Mater. Res. 2011, 26, 122
180. Kim, S. O.; Solak, H. H.; Stoykovich, M. P.; Ferrier, N. J.; Pablo, J. J. De; Nealey, P. F. Nature 2003, 424, 411
181. Stoykovich, M. P.; Kang, H.; Daoulas, K. C.; Liu, G.; Liu, C.-C.; Pablo, J. J. D.; Müller, M.; Nealey, P. F. ACS Nano 2007, 1, 168
182. Jung, Y. S.; Chang, J. B.; Verploegen, E.; Berggren, K. K.; Ross, C. A. Nano Lett. 2010, 10, 1000
183. Jung, Y. S.; Ross, C. A. Nano Lett. 2007, 7, 2046
184. Jeong, S.-J.; Kim, S. O. J. Mater. Chem. 2011, 21, 5856
185. Yang, X.; Wan, L.; Xiao, S.; Xu, Y.; Weller, D. K. ACS Nano 2009, 3, 1844
186. Cheng, J. Y.; Rettner, C. T.; Sanders, D. P.; Kim, H.-C.; Hinsberg, W. D. Adv. Mater. 2008, 20, 3155
187. Liu, G.; Thomas, C. S.; Craig, G. S. W.; Nealey, P. F. Adv. Func. Mater. 2010, 20, 1251
188. Cheng, J. Y.; Sanders, D. P.; Truong, H. D.; Harrer, S.; Friz, A.; Holmes, S.; Colburn, M.; Hinsberg, W. D. ACS Nano 2010, 4, 4815
189. Chen, J.-K.; Hsieh, C.-Y.; Huang, C.-F.; Li, P.-M.; Kuo, S.-W.; Chang, F.-C. Macromolecules 2008, 41, 8729
190. Han, E.; Kim, M.; Gopalan, P. ACS Nano 2012, 6, 1823
191. Mansky, P.; Liu, Y.; Huang, E.; Russell, T. P.; Hawker, C. Science 1997, 275, 1458
192. Zhao, B.; Brittain, W. J. Prog. Polym. Sci. 2000, 25, 677
193. Hong, A. J.; Liu, C.-C.; Wang, Y.; Kim, J.; Xiu, F.; Ji, S.; Zou, J.; Nealey, P. F.; Wang, K. L. Nano Lett. 2010, 10, 224
194. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Chan, V. Z.-H.; Thomas, E. L.; Lammertink, R. G. H.; Vancso, G. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1174
195. Borstrom, M. T.; Immink, G.; Ketelaars, B.; Algra, R.; Bakkers, E. P. A. M. Nat. Nanotechnol. 2007, 2, 541
196. Bita, I.; Wang, J. K. W.; Jung, Y. S.; Ross, C. A.; Thomas, E. L.; Berggren, K. K. Science 2008, 321, 939
197. Kittitat, S.; Guder, F.; Zacharias, M. Nano Lett. 2011, 11, 3513
198. Auzelyte, V.; Dais, C.; Farquet, P.; Grützmacher, D.; Heyderman, L. J.; Luo, F.; Olliges, S.; Padeste, C.; Sahoo, P. K.; Thomson, T.; Turchanin, A.; David, C.; Solak, H. H. J. Micro/Nanolithogr., MEMS, MOEMS 2009, 8, 021204
199. Fuhrmann, B.; Leipner, H. S.; Höche, H.-R.; Schubert, L.; Werner, P.; Gösele, U. Nano Lett. 2005, 5, 2524
200. Wang, X.; Pey, K. L.; Choi, W. K.; Ho, C. K. F.; Fitzgerald, E.; Antoniadis, D. Electrochem. Solid-State Lett. 2009, 12, 37
201. Huang, B. Z.; Geyer, N.; Werner, P.; Boor, J. D.; Gösele, U. Adv. Mater. 2011, 23, 285
202. Heath, J. R. Acc. Chem. Res. 2008, 41, 1609
203. Huang, Z.; Fang, H.; Zhu, J. Adv. Mater. 2007, 19, 744
204. Mårtensson, T.; Carlberg, P.; Borgström, M.; Montelius, L.; Seifert, W.; Samuelson, L. Nano Lett. 2004, 4, 699
205. Kim, J.; Han, H.; Kim, Y. H.; Choi, S.-H.; Kim, J.-C.; Lee, W. ACS Nano 2011, 5, 3222
206. Geyer, N.; Huang, Z.; Fuhrmann, B.; Grimm, S.; Reiche, M.; Nguyen-Duc, T.-K.; Boor, J. D.; Leipner, H. S.; Werner, P.; Gosele, U. Nano Lett. 2009, 9, 3106
207. Ramayya, E. B.; Vasileska, D.; Goodnick, S. M.; Knezevic, I. J. Appl. Phys. 2008, 104, 063711
208. Park, M.-H.; Kim, M. G.; Joo, J.; Kim, K.; Kim, J.; Ahn, S.; Cui, Y.; Cho, J. Nano Lett. 2009, 9, 3844
209. Hochbaum, A. I.; Chen, R.; Delgado, R. D.; Liang, W.; Garnett, E. C.; Najarian, M. Nature 2008, 451, 163
210. Rauber, M.; Alber, I.; Muller, S.; Neumann, R.; Picht, O.; Roth, C.; Schokel, A.; Toimil-Molares, M. E.; Ensinger, W. Nano Lett. 2011, 11, 2304
211. Heyns, M.; Tsai, W. MRS Bull. 2009, 34, 485
212. Bennett, B. R.; Ancona, M. G.; Boos, J. B. MRS Bull. 2009, 34, 530
213. Service, R. F. Science 2009, 323, 1000
214. Craciun, M. F.; Russo, S.; Yamamoto, M.; Tarucha, S. Nano Today 2011, 6, 42
215. Hasegawa, H.; Akazawa, M.; Domanowska, A.; Adamowicz, B. Appl. Surf. Sci. 2010, 256, 5698
216. Schubert, E. F.; Kuo, J. M.; Kopf, R. F.; Jordan, A. S.; Luftman, H. S.; Hopkins, L. C. Phys. Rev. B 1990, 42, 1364
217. Shaporenko, A.; Adlkofer, K.; Johansson, L. S. O.; Tanaka, M.; Zharnikov, M. Langmuir 2003, 19, 4992
218. Buriak, J. M. Chem. Rev. 2002, 102, 1271
219. Stine, R.; Petrovykh, D. Y. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 2009, 172, 42
220. Ponce Ortiz, R.; Facchetti, A.; Marks, T. J. Chem. Rev. 2010, 110, 205
221. Singh, V.; Joung, D.; Zhai, L.; Das, S.; Khondaker, S. I.; Seal, S. Prog. Mater. Sci. 2011, 56, 1178
222. Lin, Y.-M.; Valdes-Garcia, A.; Han, S.-J.; Farmer, D. B.; Meric, I.; Sun, Y.; Wu, Y.; Dimitrakopoulos, C.; Grill, A.; Avouris, P.; Jenkins, K. A Science 2011, 332, 1294
223. Dai, H. Acc. Chem. Res. 2002, 35, 1035
224. Hu, J.; Odom, T. W.; Lieber, C. M. Acc. Chem. Res. 1999, 32, 435
225. Chu, M.; Sun, Y.; Aghoram, U.; Thompson, S. E. Annu. Rev. Mater. Res. 2009, 39, 203
226. Ieong, M.; Doris, B.; Kedzierski, J.; Rim, K.; Yang, M. Science 2004, 306, 2057
227. Goldthorpe, I. A.; Marshall, A. F.; McIntyre, P. C. Nano Lett. 2009, 9, 3715
228. Schmidt, V.; Wittemann, J. V.; Gosele, U. Chem. Rev. 2010, 110, 361
229. Chang, J.-B.; Son, J. G.; Hannon, A. F.; Alexander-Katz, A.; Ross, C. A.; Berggren, K. ACS Nano 2012, 6, 2071
230. Zhang, Z.; Shimizu, T.; Chen, L.; Senz, S.; Gosele, U. Adv. Mater. 2009, 21, 4701
231. Liu, L.; Zhang, Y.; Wang, W.; Gu, C.; Bai, X.; Wang, E. Adv. Mater. 2011, 23, 1246