Silicon vertically integrated nanowire field effect transistors

Nano Letters

Volumn 6, Issue 5, 2006, Pages 973-977

  Goldberger, Josh ^a   Hochbaum, Allon I ^a   Fan, Rong ^a   Yang, Peidong ^a  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

NANOELECTRONICS; NANOWIRE FIELD EFFECT; VERTICALLY INTEGRATED NANOWIRE FIELD EFFECT TRANSISTORS (VINFET);

NANOSTRUCTURED MATERIALS; OPTIMIZATION; POWER ELECTRONICS; SEMICONDUCTING SILICON; SINGLE CRYSTALS;

FIELD EFFECT TRANSISTORS;

EID: 33744822492     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl060166j     Document Type: Article

References (35)

1. Ieong, M.; Doris, B.; Kedzierski, J.; Rim, K.; Yang, M. Science 2004, 306, 2057.
2. Cui, Y.; Zhong, Z.; Wang, D.; Wang, W. U.; Lieber, C. M. Nano Lett. 2003, 3, 149.
3. Duan, X.; Niu, C.; Sahi, V.; Chen, J.; Parce, J. W.; Empedocles, S.; Goldman, J. L. Nature 2003, 425, 274.
4. Hisamoto, D.; Lee, W.-C.; Kedzierski, J.; Takeuchi, H.; Asano, K.; Kuo, C.; Anderson, E.; King, T.-J.; Bokor, J.; Hu, C. IEEE Trans. Electron Devices 2000, 47, 2320.
5. Yu, B.; Chang, L.; Ahmed, S.; Wang, H.; Bell, S.; Yang, C.-Y.; Tabery, C.; Ho, C.; Xiang, Q.; King, T.-J.; Bokor, J.; Hu, C.; Lin, M.-R.; Kyser, D. IEDM Technol. Dig. 2002, 251.
6. Kedzierski, J.; Ieong, M.; Kanarsky, T.; Zhang, Y.; Wong, H. S. P. IEEE Trans. Electron Devices 2004, 51, 2115.
7. Rosner, W.; Landgraf, E.; Kretz, J.; Dreeskornfeld, L.; Schafer, H.; Stadele, M.; Schulz, T.; Hofmann, F.; Luyken, R. J.; Specht, M.; Hartwich, J.; Pamler, W.; Risch, L. Solid-State Electron. 2004, 48, 1819.
8. Wu, Y.; Yang, P. J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 3165.
9. Wu, Y.; Fan, R.; Yang, P. Nano Lett. 2002, 2, 83.
10. Cui, Y.; Lieber, C. M. Science 2001, 291, 851.
11. Beckman, R.; Johnston-Halperin, E.; Luo, Y.; Green, J. E.; Heath, J. R. Science 2005, 310, 465.
12. Goldberger, J.; Sirbuly, D. J.; Law, M.; Yang, P. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 9.
13. Wang, D.; Chang, Y.-L.; Wang, Q.; Cao, J.; Farmer, D. B.; Gordon, R. G.; Dai, H. J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 11602.
14. Hergenrother, I. M.; Oh, S.-H.; Nigam, T.; Monroe, D.; Riemens, F. P.; Kornblit, A. Solid-State Electron. 2002, 46, 939.
15. Oh, S.-H. Physics and Technologies of Vertical Transistors. Thesis, Stanford, Palo Alto, CA, 2001.
16. Oh, S.-H.; Monroe, D.; Hergenrother, J. M. IEEE Electron Device Lett. 2000, 21, 397.
17. Sharma, A. K.; Zaidi, S. H.; Lucero, S.; Brueck, S. R. J.; Islam, N. E. IEE Proc-Circ. Dev. Syst. 2004, 151, 422.
18. Chen, J.; Klaumuenzer, S.; Lux-Steiner, M. C.; Koenenkamp, R. Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 1401.
19. Ng, H. T.; Han, J.; Yamada, T.; Nguyen, P.; Chen, Y. P.; Meyyappan, M. Nano Lett. 2004, 4, 1247.
20. Hochbaum, A. I.; Fan, R.; He, R.; Yang, P. Nano Lett. 2005, 5, 457.
21. Garnett, E.; Habas, S.; Yang, P. Unpublished data.
22. Sharma, S.; Kamins, T. I.; Williams, R. S. J. Cryst. Growth 2004, 267, 613.
23. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Science 1996, 272, 85.
24. Contreras, A. M.; Grunes, J.; Yan, X. M.; Liddle, A.; Somorjai, G. A. Catal. Lett. 2005, 100, 115.
25. Martensson, T.; Carlberg, P.; Borgstroem, M.; Montelius, L.; Seifert, W.; Samuelson, L. Nano Lett. 2004, 4, 699.
26. Cui, Y.; Bjork, M. T.; Liddle, J. A.; Sonnichsen, C.; Boussert, B.; Alivisatos, A. P. Nano Lett. 2004, 4, 1093.
27. Pierret, R. F., Semiconductor Device Fundamentals; Addison-Wesley Publishing Company, Inc.: Menlo Park, CA, 1996.
28. Mizuno, T.; Sugiyama, N.; Kurobe, A.; Takagi, S. IEEE Trans. Electron Devices 2001, 48, 1612.
29. Wu, Y.; Xiang, J.; Yang, C.; Lu, W.; Lieber, C. M. Nature 2004, 430, 61.
30. Jin, S.; Whang, D. M.; McAlpine, M. C.; Friedman, R. S.; Wu, Y.; Lieber, C. M. Nano Lett. 2004, 4, 915.
31. Hergenrother, J. M.; Wilk, G. D.; Nigara, T.; Klemens, F. P.; Monroe, D.; Silverman, P. J.; Sorsch, T. W.; Busch, B.; Green, M. L.; Baker, M. R.; Boone, T.; Bude, M. K.; Ciampa, N. A.; Ferry, E. J.; Fiory, A. T.; Hillenius, S. J.; Jacobson, D. C.; Johnson, R. W.; Kalavade, P.; Keller, R.; King, C. A.; Kornblit, A.; Krautter, H. W.; Lee, J. T.-C.; Mansfield, W. M.; Miner, J. F.; Morris, M. D.; Oh, S.-H.; Rosamilia, J. M.; Sapjeta, B. J.; Short, K.; Steiner, K.; Muller, D. A.; Voyles, P. M.; Grazul, J. L.; Shero, E.; Givens, M. E.; Pomarede, C.; Mazanec, M.; Werkhoven, C. IEDM Technol. Dig. 2001, 3.1.1
32. Koo, S. M.; Edelstein, M. D.; Li, Q.; Richter, C. A.; Vogel, E. M. Nanotechnology 2005, 16, 1482.
33. Yang, C.; Zhong, Z. H.; Lieber, C. M. Science 2005, 310, 1304.
34. King, T.-J. Electrochem. Soc. Interface 2005, 14, 38.
35. Horowitz, P.; Hill, W. The Art of Electronics; Cambridge University Press: New York. 2001.