SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Journal of Materials Chemistry

Volumn 21, Issue 16, 2011, Pages 5856-5859

Ultralarge-area block copolymer lithography via soft graphoepitaxy

(2) Jeong, Seong Jun a Kim, Sang Ouk a

a Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST) (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ARF LITHOGRAPHY; BLOCK COPOLYMER LITHOGRAPHY; BLOCK COPOLYMER THIN FILMS; CONVENTIONAL LITHOGRAPHY; FUNCTIONAL NANOSTRUCTURES; GRAPHOEPITAXY; I-LINE LITHOGRAPHY; LAMELLAR PATTERNS; MICRO-SCALES; NANO PATTERN; PHOTORESIST PATTERNS; SELF-ASSEMBLED; ULTRAFINE;

BLOCK COPOLYMERS; COPOLYMERIZATION; LITHOGRAPHY;

PHOTORESISTS;

EID: 79955597252 PISSN: 09599428 EISSN: 13645501 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/c0jm04248j Document Type: Article

Times cited : (39)

References (25)

1
- 0004245602
- Semiconductor industry association
- Semiconductor industry association, International Technology Roadmap for Semiconductor, 2009
- (2009) International Technology Roadmap for Semiconductor

2
- 1842289819
- M. Park C. Harrison P. M. Chaikin R. A. Register D. H. Adamson Science 1997 276 1401
- (1997) Science , vol.276 , pp. 1401
- Park, M.¹ Harrison, C.² Chaikin, P.M.³ Register, R.A.⁴ Adamson, D.H.⁵

3
- 54249145197
- C. Tang E. M. Lennon G. H. Fredrickson E. J. Kramer C. J. Hawker Science 2008 322 429
- (2008) Science , vol.322 , pp. 429
- Tang, C.¹ Lennon, E.M.² Fredrickson, G.H.³ Kramer, E.J.⁴ Hawker, C.J.⁵

4
- 77956450368
- S. Park D. H. Lee J. Xu B. Kim S. W. Hong U. Jeong T. Xu T. P. Russell Science 2009 20 1030
- (2009) Science , vol.20 , pp. 1030
- Park, S.¹ Lee, D.H.² Xu, J.³ Kim, B.⁴ Hong, S.W.⁵ Jeong, U.⁶ Xu, T.⁷ Russell, T.P.⁸

5
- 77950502262
- J. Bang U. Jeong D. Y. Rue T. P. Russell C. J. Hawker Adv. Mater. 2009 21 1
- (2009) Adv. Mater. , vol.21 , pp. 1
- Bang, J.¹ Jeong, U.² Rue, D.Y.³ Russell, T.P.⁴ Hawker, C.J.⁵

6
- 55049114834
- S.-J. Jeong G. Xia B. H. Kim D. O. Shin S.-H. Kwon S.-W. Kang S. O. Kim Adv. Mater. 2008 20 1898
- (2008) Adv. Mater. , vol.20 , pp. 1898
- Jeong, S.-J.¹ Xia, G.² Kim, B.H.³ Shin, D.O.⁴ Kwon, S.-H.⁵ Kang, S.-W.⁶ Kim, S.O.⁷

7
- 20244390643
- M. P. Stoykovich M. Muller S. O. Kim H. H. Solak E. W. Edwards J. J. de Pablo P. F. Nealey Science 2005 308 1442
- (2005) Science , vol.308 , pp. 1442
- Stoykovich, M.P.¹ Muller, M.² Kim, S.O.³ Solak, H.H.⁴ Edwards, E.W.⁵ De Pablo, J.J.⁶ Nealey, P.F.⁷

8
- 49649099742
- R. Ruiz H. Kang F. A. Detcheverry E. Dobisz D. S. Kercher T. R. Albrecht J. J. de Pablo P. F. Nealey Science 2008 321 936
- (2008) Science , vol.321 , pp. 936
- Ruiz, R.¹ Kang, H.² Detcheverry, F.A.³ Dobisz, E.⁴ Kercher, D.S.⁵ Albrecht, T.R.⁶ De Pablo, J.J.⁷ Nealey, P.F.⁸

9
- 49649127635
- I. Bita J. K. W. Yang Y. S. Jung C. A. Ross E. L. Thomas K. K. Berggren Science 2008 321 939
- (2008) Science , vol.321 , pp. 939
- Bita, I.¹ Yang, J.K.W.² Jung, Y.S.³ Ross, C.A.⁴ Thomas, E.L.⁵ Berggren, K.K.⁶

10
- 77950847801
- J. K. W. Yang Y. S. Jung J.-B. Chang R. A. Mickiewicz A. Alexander-Katz C. A. Ross K. K. Berggren Nat. Nanotechnol. 2010 5 256
- (2010) Nat. Nanotechnol. , vol.5 , pp. 256
- Yang, J.K.W.¹ Jung, Y.S.² Chang, J.-B.³ Mickiewicz, R.A.⁴ Alexander-Katz, A.⁵ Ross, C.A.⁶ Berggren, K.K.⁷

11
- 52649100977
- J. Y. Cheng C. T. Rettner D. P. Sanders H.-C. Kim W. D. Hinsberg Adv. Mater. 2008 20 3155
- (2008) Adv. Mater. , vol.20 , pp. 3155
- Cheng, J.Y.¹ Rettner, C.T.² Sanders, D.P.³ Kim, H.-C.⁴ Hinsberg, W.D.⁵

12
- 78650104650
- J. Y. Cheng D. P. Sanders H. D. Truong S. Harrer A. Friz S. Holmes M. Colburn W. D. Hinsberg ACS Nano 2010 4 4815
- (2010) ACS Nano , vol.4 , pp. 4815
- Cheng, J.Y.¹ Sanders, D.P.² Truong, H.D.³ Harrer, S.⁴ Friz, A.⁵ Holmes, S.⁶ Colburn, M.⁷ Hinsberg, W.D.⁸

13
- 72949122991
- S. H. Park D. O. Shin B. H. Kim D. K. Yoon K. Kim S. Y. Lee S.-H. Oh S.-W. Choi S. C. Jeon S. O. Kim Soft Matter 2010 6 120
- (2010) Soft Matter , vol.6 , pp. 120
- Park, S.H.¹ Shin, D.O.² Kim, B.H.³ Yoon, D.K.⁴ Kim, K.⁵ Lee, S.Y.⁶ Oh, S.-H.⁷ Choi, S.-W.⁸ Jeon, S.C.⁹ Kim, S.O.¹⁰

14
- 0042532330
- S. O. Kim H. H. Solak M. P. Stoykovich N. J. Ferrier J. J. de Pablo P. F. Nealey Nature 2003 424 411
- (2003) Nature , vol.424 , pp. 411
- Kim, S.O.¹ Solak, H.H.² Stoykovich, M.P.³ Ferrier, N.J.⁴ De Pablo, J.J.⁵ Nealey, P.F.⁶

15
- 0035800414
- R. A. Segalman H. Yokoyama E. J. Kramer Adv. Mater. 2001 13 1152
- (2001) Adv. Mater. , vol.13 , pp. 1152
- Segalman, R.A.¹ Yokoyama, H.² Kramer, E.J.³

16
- 1442299915
- D. Sundrani S. B. Darling S. J. Sibener Nano Lett. 2004 4 273
- (2004) Nano Lett. , vol.4 , pp. 273
- Sundrani, D.¹ Darling, S.B.² Sibener, S.J.³

17
- 8344275974
- J. Y. Cheng A. M. Mayes C. A. Ross Nat. Mater. 2004 3 823
- (2004) Nat. Mater. , vol.3 , pp. 823
- Cheng, J.Y.¹ Mayes, A.M.² Ross, C.A.³

18
- 34548312482
- R. Ruiz N. Ruiz Y. Zhang R. L. Sandstrom C. T. Black Adv. Mater. 2007 19 2157
- (2007) Adv. Mater. , vol.19 , pp. 2157
- Ruiz, R.¹ Ruiz, N.² Zhang, Y.³ Sandstrom, R.L.⁴ Black, C.T.⁵

19
- 77949474566
- Y. S. Jung J. B. Chang E. Verploegen K. K. Berggren C. A. Ross Nano Lett. 2010 10 1000
- (2010) Nano Lett. , vol.10 , pp. 1000
- Jung, Y.S.¹ Chang, J.B.² Verploegen, E.³ Berggren, K.K.⁴ Ross, C.A.⁵

20
- 66749176700
- S.-J. Jeong J. E. Kim H.-S. Moon B. H. Kim S. M. Kim J.-B. Kim S. O. Kim Nano Lett. 2009 9 2300
- (2009) Nano Lett. , vol.9 , pp. 2300
- Jeong, S.-J.¹ Kim, J.E.² Moon, H.-S.³ Kim, B.H.⁴ Kim, S.M.⁵ Kim, J.-B.⁶ Kim, S.O.⁷

21
- 77956428849
- S.-J. Jeong H. S. Moon J. H. Shin B. H. Kim D. O. Shin J. Y. Kim Y. H. Lee J. U. Kim S. O. Kim Nano Lett. 2010 10 3500
- (2010) Nano Lett. , vol.10 , pp. 3500
- Jeong, S.-J.¹ Moon, H.S.² Shin, J.H.³ Kim, B.H.⁴ Shin, D.O.⁵ Kim, J.Y.⁶ Lee, Y.H.⁷ Kim, J.U.⁸ Kim, S.O.⁹

22
- 77957304079
- S.-J. Jeong H. S. Moon B. H. Kim J. Y. Kim J. Yu S. Lee M. G. Lee H. Y. Cho S. O. Kim ACS Nano 2010 4 5181
- (2010) ACS Nano , vol.4 , pp. 5181
- Jeong, S.-J.¹ Moon, H.S.² Kim, B.H.³ Kim, J.Y.⁴ Yu, J.⁵ Lee, S.⁶ Lee, M.G.⁷ Cho, H.Y.⁸ Kim, S.O.⁹

23
- 40149109374
- Y.-R. Hong K. Asakawa D. H. Adamson P. M. Chaikin R. A. Register Opt. Lett. 2007 32 3125
- (2007) Opt. Lett. , vol.32 , pp. 3125
- Hong, Y.-R.¹ Asakawa, K.² Adamson, D.H.³ Chaikin, P.M.⁴ Register, R.A.⁵

24
- 0035800425
- J. Y. Cheng C. A. Ross V. Z.-H. Chan E. L. Thomas R. G. H. Lammerink G. J. Vancso Adv. Mater. 2001 13 1174
- (2001) Adv. Mater. , vol.13 , pp. 1174
- Cheng, J.Y.¹ Ross, C.A.² Chan, V.Z.-H.³ Thomas, E.L.⁴ Lammerink, R.G.H.⁵ Vancso, G.J.⁶

25
- 34948854470
- C. T. Black R. Ruiz G. Breyta J. Y. Cheng M. C. Colburn K. W. Guarini H.-C. Kim Y. Zhang IBM J. Res. Dev. 2007 51 605
- (2007) IBM J. Res. Dev. , vol.51 , pp. 605
- Black, C.T.¹ Ruiz, R.² Breyta, G.³ Cheng, J.Y.⁴ Colburn, M.C.⁵ Guarini, K.W.⁶ Kim, H.-C.⁷ Zhang, Y.⁸

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.