Integration of nanowire devices in out-of-plane geometry

Nano Letters

Volumn 10, Issue 6, 2010, Pages 2126-2132

  Manandhar, P ^a   Akhadov, E A ^a   Tracy, C ^b   Picraux, S T ^a  

^a LOS ALAMOS NATIONAL LABORATORY   (United States)

^b ARIZONA STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

Directed assembly; Germanium; Integration; Nanowires; Vertical devices

Indexed keywords

CHEMICAL RECOGNITION; DIRECTED ASSEMBLY; ELECTROPHORETIC METHODS; ELECTROSTATIC MODELS; GOLD NANOPARTICLES; NANOWIRE DEVICES; OUT-OF-PLANE; PATTERNED ARRAYS; PLANAR TECHNOLOGY; PRECISE CONTROL; THREE-DIMENSIONAL DEVICES; VAPOR-LIQUID-SOLID; VERTICAL DEVICES;

CHEMICAL ELEMENTS; FABRICATION; GERMANIUM; INTEGRATION; NANOPARTICLES;

NANOWIRES;

EID: 77953306384     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl100747w     Document Type: Article

References (48)

1. Lu, W.; Lieber, C. M. Nat. Mater. 2007, 6, 841
2. Hayden, O.; Agarwal, R.; Lu, W. Nano Today 2008, 3, 12
3. Dai, D.; He, S.. J. Nanophotonics 2008, 2 021780
4. Huang, M. H.; Mao, S.; Feick, H.; Yan, H.; Wu, Y.; Kind, H.; Weber, E.; Russo, R.; Yang, P. Science 2001, 292, 1897
5. Tsakalakos, L.; Balch, J.; Fronheiser, J.; Korevaar, B. A.; Sulima, O.; Rand, J. Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 233117
6. Tian, B.; Zheng, X.; Kempa, T. J.; Fang, Y.; Yu, N.; Yu, G.; Huang, J.; Lieber, C. M. Nature 2007, 449, 885
7. Chan, C. K.; Peng, H.; Liu, G.; McIlwrath, K.; Zhang, X. F.; Huggins, R. A.; Cui, Y. Nat. Nanotechnol. 2008, 3, 31
8. Dayeh, S. A.; Chen, P.; Jing, Y.; Yu, E. T.; Wang, D. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 203109
9. Suk, S. D.; Yeo, K. H.; Cho, K. H.; Li, M.; Yeoh, Y. Y.; Lee, S.-Y.; Kim, S. M.; Yoon, E. J.; Kim, M. S.; Oh, C. W.; Kim, S. H.; Kim, D.-W.; Park, D. IEEE Trans. Nanotechnol. 2008, 7, 181
10. Bao, X.-Y.; Soci, D.; Susac, D.; Bratvold, J.; Aplin, D. P. R.; Wei, W.; Chen, C.-Y.; Dayeh, S. A.; Kavanagh, K. L.; Wang, D. Nano Lett. 2008, 8, 3755
11. Roest, A. L.; Verheijen, M. A.; Wunnicke, O.; Scrafin, S.; Wondergem, H.; Bakkers, E. P. A. M. Nanotechnology 2006, 17, S271
12. Jin, S.; Whang, D.; McAlpine, M. C.; Friedman, R. S.; Wu, Y.; Lieber, C. M. Nano Lett. 2004, 4, 915
13. Quitoriano, J. N.; Kamins, T. I. Nano Lett. 2008, 8, 4410
14. Wang, D.; Bunimovich, Y.; Boukai, A.; Heath, J. R. Small 2007, 3, 2043
15. Morrow, T. J.; Li, M.; Kim, J.; Mayer, T. S.; Keating, C. D. Science 2009, 323, 352
16. Zhong, Z.; Wang, D.; Cui, Y.; Bockrath, M. W.; Lieber, C. M. Science 2003, 302, 1377
17. Beckman, R.; Johnston-Halperin, E.; Luo, Y.; Green, J. E.; Heath, J. R. Science 2005, 310, 465
18. Javey, A.; Nam, S.-W.; Friedman, R. S.; Yan, H.; Lieber, C. M. Nano Lett. 2007, 7, 773
19. Nam, S.-W.; Jiang, X.; Xiong, Q.; Ham, D.; Lieber, C. M. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2009, 106, 21035
20. Ahn, J.-H.; Kim, H.-S.; Lee, K. J.; Jeon, S.; Kang, S. J.; Sun, Y.; Nuzzo, R. G.; Rogers, J. A. Science 2006, 314, 1754
21. McAlpine, M. C.; Ahmad, H.; Wang, D.; Heath, J. R. Nat. Mater. 2007, 6, 379
22. Adhikari, H.; Marshall, A. F.; Chidsey, C. E. D.; McIntyre, P. C. Nano Lett. 2006, 6, 318
23. Dailey, J. W.; Taraci, J.; Clement, T.; Smith, D. J.; Drucker, J.; Picraux, S. T. J. Appl. Phys. 2004, 96, 7556
24. Dayeh, S. A.; Sutter, E.; Sutter, P.; Picraux, S. T. Submitted for publication.
25. Kayes, B. M.; Filler, M. A.; Putnam, M. C.; Kelzenberg, M. D.; Lewis, N. S.; Atwater, H. A. Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 103110
26. Martensson, T.; Borgstrom, M.; Seifert, W.; Ohlsson, B. J.; Samuelson, L. Nanotechnology 2003, 14, 1255
27. Martensson, T.; Carlberg, P.; Borgstrom, M.; Montelius, L.; Seifert, W.; Samuelson, L. Nano Lett. 2004, 4, 699
28. Tseng, C.-H.; Tambe, J. J.; Lim, S. K.; Smith, M. J.; Gradecak, S. Nanotechnology 2010, 21, 165605
29. Goldberger, J.; Hochbaum, A. I.; Fan, R.; Yang, P. Nano Lett. 2006, 6, 973
30. Schmidt, V.; Riel, H.; Senz, S.; Karg, S.; Riess, W.; Gosele, U. Small 2006, 2, 85
31. Bjork, M. T.; Hayden, O.; Schmid, H.; Riel, H.; Riess, W. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 142110
32. Bryllert, T.; Wernersson, L.-E.; Lowgren, T.; Samuelson, L. Nanotechnology 2006, 17, S227
33. Ng, H. T.; Han, J.; Yamada, T.; Nguyen, P.; Chen, Y. P.; Meyyappan, M. Nano Lett. 2004, 4, 1247
34. Nguyen, P.; Ng, H. T.; Yamada, T.; Smith, M. K.; Li, J.; Han, J.; Meyyappan, M. Nano Lett. 2004, 4, 651
35. Leu, P. W.; Adhikari, H.; Koto, M; Kim, K.-H.; de Rouffignac, P.; Marshall, A. F.; Gordon, R. G.; Chidsey, C. E. D.; McIntyre, P. C. Nanotechnology 2008, 19, 485705
36. Tien, J.; Terfort, A.; Whitesides, G. M. Langmuir 1997, 13, 5349
37. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Annu. Rev. Mater. Sci. 1998, 28, 153
38. Chandrasekharan, N.; Kamat, P. V. Nano Lett. 2001, 1, 67
39. Xiong, X.; Makaram, P.; Busnaina, A.; Bakhtari, K.; Somu, S.; McGruer, N.; Park, J. Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 193108
40. Xiong, X. G.; Busnaina, A. J. Nanopart. Res. 2008, 10, 947
41. Ma, L.-C.; Subramanian, R.; Huang, H.-W.; Ray, V.; Kim, C.-U.; Koh, S. J Nano Lett. 2007, 7, 439
42. 2 gas followed by dehydration bake on a hot plate at 120 °C for 5 min.
43. Hochbaum, A. I.; Fan, R.; Rongrul, H.; Yang, P. Nano Lett. 2005, 5, 457
44. 2O at 11 mTorr.
45. Sangrador, J.; Olivares, J.; Iborra, E.; Vergara, L.; Clement, M.; Sanz-Hervas, A. Proc. SPIE 2005, 5836, 1
46. Perea, D. E.; Wijaya, E.; Lensch-Falk, J. L.; Hemesath, E. R.; Lauhon, L. J. J. Solid State Chem. 2008, 181, 1642
47. Sierra-Sastre, Y.; Choi, S.; Picraux, S. T.; Batt, C. A. J. Am. Chem. Soc. 2008, 130, 10488
48. Sierra-Sastre, Y.; Dayeh, S. A.; Picraux, S. T.; Batt, C. ACS Nano 2010, 4, 1209