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Journal of Applied Physics

Volumn 101, Issue 12, 2007, Pages

Making waves: Kinetic processes controlling surface evolution during low energy ion sputtering

(2) Chan, Wai Lun a,b Chason, Eric a

a Brown University (United States)

b University of Illinois at Urbana Champaign (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

COLLIMATED BEAMS; LOW ENERGY ION SPUTTERING; SUBSTRATE MATERIALS; SURFACE EVOLUTION;

CRYSTALLINE MATERIALS; ION BEAMS; OPTICAL COLLIMATORS; PERIODIC STRUCTURES; PROCESS CONTROL; SURFACE ROUGHNESS;

SURFACE MORPHOLOGY;

EID: 34547308255 PISSN: 00218979 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1063/1.2749198 Document Type: Article

Times cited : (466)

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- Chason, E.¹ Erlebacher, J.² Aziz, M.J.³ Floro, J.A.⁴ Sinclair, M.B.⁵

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- R. van Gastel, E. Somfai, S. B. van Albada, W. van Saarloos, and J. W. M. Frenken, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.86.1562 86, 1562 (2001); R. van Gastel, E. Somfai, S. B. van Albada, W. van Saarloos, and J. W. M. Frenken, Surf. Sci. 521, 10 (2002).
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- R. van Gastel, E. Somfai, S. B. van Albada, W. van Saarloos, and J. W. M. Frenken, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.86.1562 86, 1562 (2001); R. van Gastel, E. Somfai, S. B. van Albada, W. van Saarloos, and J. W. M. Frenken, Surf. Sci. 521, 10 (2002).
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- M. V. R. Murty and B. H. Cooper, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.83.352 83, 352 (1999); M. V. R. Murty and B. H. Cooper, Surf. Sci. 539, 91 (2003).
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- T. M. Mayer, D. P. Adams, M. J. Vasile, and K. M. Archuleta, J. Vac. Sci. Technol. A 23, 1579 (2005).
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- Mayer, T.M.¹ Adams, D.P.² Vasile, M.J.³ Archuleta, K.M.⁴

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160
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- Ozaydin, G.¹ Ozcan, A.S.² Wang, Y.³ Ludwig, K.F.⁴ Zhou, H.⁵ Headrick, R.L.⁶ Siddons, D.P.⁷

161
- 14744284423
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- (2005) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.230 , pp. 551
- Toma, A.¹ De Mongeot, F.B.² Buzio, R.³ Firpo, G.⁴ Bhattacharyya, S.R.⁵ Boragno, C.⁶ Valbusa, U.⁷

162
- 0036608866
- D. Datta, S. R. Bhattacharyya, T. K. Chini, and M. K. Sanyal, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 193, 596 (2002).
- (2002) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.193 , pp. 596
- Datta, D.¹ Bhattacharyya, S.R.² Chini, T.K.³ Sanyal, M.K.⁴

163
- 0141564900
- T. Bobek, S. Facsko, H. Kurz, T. Dekorsy, M. Xu, and C. Teichert, Phys. Rev. B 68, 085324 (2003).
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- Bobek, T.¹ Facsko, S.² Kurz, H.³ Dekorsy, T.⁴ Xu, M.⁵ Teichert, C.⁶

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- 29744448120
- B. Ziberi, F. Frost, Th. Höche, and B. Rauschenbach, Phys. Rev. B 72, 235310 (2005).
- (2005) Phys. Rev. B , vol.72 , pp. 235310
- Ziberi, B.¹ Frost, F.² Höche, Th.³ Rauschenbach, B.⁴

165
- 14744288904
- P. Karmakar and D. Ghose, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 230, 539 (2005).
- (2005) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.230 , pp. 539
- Karmakar, P.¹ Ghose, D.²

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- Cui, B.¹ Cohen, P.I.² Dabiran, A.M.³

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- T. C. Kim, M. H. Jo, Y. Kim, D. Y. Noh, B. Kahng, and J.-S. Kim, Phys. Rev. B 73, 125425 (2006).
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- Kim, T.C.¹ Jo, M.H.² Kim, Y.³ Noh, D.Y.⁴ Kahng, B.⁵ Kim, J.-S.⁶

168
- 0034319951
- F. Frost, A. Schindler, and F. Bigl, Phys. Rev. Lett. 85, 4116 (2000).
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- Frost, F.¹ Schindler, A.² Bigl, F.³

169
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- Z. X. Liu and P. F. A. Alkemade, Appl. Phys. Lett. 79, 4334 (2001).
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- Michely, T.¹ Kalff, M.² Cosma, G.³ Strobel, M.⁴ Heinig, K.-H.⁵

198
- 0242362614
- C. Boragno, F. B. de Mongeot, G. Costantini, A. Molle, D. de Sanctis, U. Valbusa, F. Borgatti, R. Felici, and S. Ferrer, Phys. Rev. B 68, 094102 (2003).
- (2003) Phys. Rev. B , vol.68 , pp. 094102
- Boragno, C.¹ De Mongeot, F.B.² Costantini, G.³ Molle, A.⁴ De Sanctis, D.⁵ Valbusa, U.⁶ Borgatti, F.⁷ Felici, R.⁸ Ferrer, S.⁹

199
- 42749103704
- A. Molle, F. B. de Mongeot, A. Molinari, F. Xiaerding, C. Boragno, and U. Valbusa, Phys. Rev. Lett. 93, 256103 (2004).
- (2004) Phys. Rev. Lett. , vol.93 , pp. 256103
- Molle, A.¹ De Mongeot, F.B.² Molinari, A.³ Xiaerding, F.⁴ Boragno, C.⁵ Valbusa, U.⁶

200
- 33645821064
- A. Molle, F. B. de Mongeot, A. Molinari, C. Boragno, and U. Valbusa, Phys. Rev. B 73, 155418 (2006).
- (2006) Phys. Rev. B , vol.73 , pp. 155418
- Molle, A.¹ De Mongeot, F.B.² Molinari, A.³ Boragno, C.⁴ Valbusa, U.⁵

201
- 0037201726
- P. Broekmann, A. Mewe, H. Wormeester, and B. Poelsema, Phys. Rev. Lett. 89, 146102 (2002).
- (2002) Phys. Rev. Lett. , vol.89 , pp. 146102
- Broekmann, P.¹ Mewe, A.² Wormeester, H.³ Poelsema, B.⁴

202
- 14744300106
- A. Molle, F. B. de Mongeot, F. Granone, R. Buzio, G. Firpo, C. Boragno, and U. Valbusa, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 230, 555 (2005).
- (2005) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.230 , pp. 555
- Molle, A.¹ De Mongeot, F.B.² Granone, F.³ Buzio, R.⁴ Firpo, G.⁵ Boragno, C.⁶ Valbusa, U.⁷

203
- 0037438618
- J. Kim, D. G. Cahill, and R. S. Averback, Phys. Rev. B 67, 045404 (2003).
- (2003) Phys. Rev. B , vol.67 , pp. 045404
- Kim, J.¹ Cahill, D.G.² Averback, R.S.³

204
- 28644450390
- L. Ling, W.-Q. Li, L.-J. Qi, M. Lu, X. Yang, and C.-X. Gu, Phys. Rev. B 71, 155329 (2005).
- (2005) Phys. Rev. B , vol.71 , pp. 155329
- Ling, L.¹ Li, W.-Q.² Qi, L.-J.³ Lu, M.⁴ Yang, X.⁵ Gu, C.-X.⁶

205
- 12044253536
- J. Tersoff, A. W. Denier van der Gon, and R. M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 72, 266 (1994).
- (1994) Phys. Rev. Lett. , vol.72 , pp. 266
- Tersoff, J.¹ Van Der Gon, A.W.D.² Tromp, R.M.³

206
- 0001563679
- L. J. Gomez, S. Bourgeal, J. Libanez, and M. Salmeron, Phys. Rev. B 31, 2551 (1985).
- (1985) Phys. Rev. B , vol.31 , pp. 2551
- Gomez, L.J.¹ Bourgeal, S.² Libanez, J.³ Salmeron, M.⁴

207
- 0026917582
- H. J. Ernst, F. Fabre, and J. Lapujoulade, Surf. Sci. Lett. 275, L682 (1992).
- (1992) Surf. Sci. Lett. , vol.275 , pp. 682
- Ernst, H.J.¹ Fabre, F.² Lapujoulade, J.³

208
- 3342998763
- R. Kunkel, B. Poelsema, L. K. Verheij, and G. Comsa, Phys. Rev. Lett. 65, 733 (1990).
- (1990) Phys. Rev. Lett. , vol.65 , pp. 733
- Kunkel, R.¹ Poelsema, B.² Verheij, L.K.³ Comsa, G.⁴

209
- 0001012428
- B. Poelsema, L. K. Verheij, and G. Comsa, Phys. Rev. Lett. 53, 2500 (1984).
- (1984) Phys. Rev. Lett. , vol.53 , pp. 2500
- Poelsema, B.¹ Verheij, L.K.² Comsa, G.³

210
- 0029183746
- D. Cvetko, V. de Renzi, L. Floreano, A. Morgante, M. Peloi, F. Tommasini, V. Chab, and K. C. Prince, Surf. Sci. Lett. 323, L305 (1995).
- (1995) Surf. Sci. Lett. , vol.323 , pp. 305
- Cvetko, D.¹ De Renzi, V.² Floreano, L.³ Morgante, A.⁴ Peloi, M.⁵ Tommasini, F.⁶ Chab, V.⁷ Prince, K.C.⁸

211
- 0001241465
- P. Bedrossian, J. E. Houston, J. Y. Tsao, E. Chason, and S. T. Picraux, Phys. Rev. Lett. 67, 124 (1991).
- (1991) Phys. Rev. Lett. , vol.67 , pp. 124
- Bedrossian, P.¹ Houston, J.E.² Tsao, J.Y.³ Chason, E.⁴ Picraux, S.T.⁵

212
- 0000198532
- M. V. R. Murty, A. J. Couture, B. H. Cooper, A. R. Woll, J. D. Brock, and R. L. Headrick, J. Appl. Phys. 88, 597 (2000).
- (2000) J. Appl. Phys. , vol.88 , pp. 597
- Murty, M.V.R.¹ Couture, A.J.² Cooper, B.H.³ Woll, A.R.⁴ Brock, J.D.⁵ Headrick, R.L.⁶

213
- 0001514158
- 0003-6951 10.1063/1.115839
- H. Watanabe and M. Ichikawa, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.115839 68, 2514 (1996); H. Watanabe and M. Ichikawa, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2666 (1997).
- (1996) Appl. Phys. Lett. , vol.68 , pp. 2514
- Watanabe, H.¹ Ichikawa, M.²

214
- 4143131153
- H. Watanabe and M. Ichikawa, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.115839 68, 2514 (1996); H. Watanabe and M. Ichikawa, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2666 (1997).
- (1997) J. Vac. Sci. Technol. B , vol.15 , pp. 2666
- Watanabe, H.¹ Ichikawa, M.²

215
- 34547320742
- Brown University
- W. L. Chan, Ph.D thesis, Brown University, 2007.
- (2007)
- Chan, W.L.¹

216
- 0029341441
- P. Bedrossian, B. Poelsema, G. Rosenfeld, L. C. Jorritsma, N. N. Lipkin, and G. Comsa, Surf. Sci. 334, 1 (1995).
- (1995) Surf. Sci. , vol.334 , pp. 1
- Bedrossian, P.¹ Poelsema, B.² Rosenfeld, G.³ Jorritsma, L.C.⁴ Lipkin, N.N.⁵ Comsa, G.⁶

217
- 0026412742
- S. Heun, J. Falta, and M. Henzler, Surf. Sci. 243, 132 (1991).
- (1991) Surf. Sci. , vol.243 , pp. 132
- Heun, S.¹ Falta, J.² Henzler, M.³

218
- 0006258861
- I. Markov, Phys. Rev. B 56, 12544 (1997).
- (1997) Phys. Rev. B , vol.56 , pp. 12544
- Markov, I.¹

219
- 0001237070
- J. Krug, P. Politi, and T. Michely, Phys. Rev. B 61, 14037 (2000).
- (2000) Phys. Rev. B , vol.61 , pp. 14037
- Krug, J.¹ Politi, P.² Michely, T.³

220
- 0000545355
- R. Cuerno and A. L. Barabasi, Phys. Rev. Lett. 74, 4746 (1995).
- (1995) Phys. Rev. Lett. , vol.74 , pp. 4746
- Cuerno, R.¹ Barabasi, A.L.²

221
- 28344453189
- D. P. Datta and T. K. Chini, Phys. Rev. B 71, 235308 (2005).
- (2005) Phys. Rev. B , vol.71 , pp. 235308
- Datta, D.P.¹ Chini, T.K.²

222
- 18144432154
- M. Castro, R. Cuerno, L. Wázquez, and R. Gago, Phys. Rev. Lett. 94, 016102 (2005).
- (2005) Phys. Rev. Lett. , vol.94 , pp. 016102
- Castro, M.¹ Cuerno, R.² Wázquez, L.³ Gago, R.⁴

223
- 0037941875
- F. Family and T. Vicsek, J. Phys. A 18, L75 (1985).
- (1985) J. Phys. A , vol.18 , pp. 75
- Family, F.¹ Vicsek, T.²

224
- 4243332145
- C. Jayaprakash, F. Hayot, and R. Pandit, Phys. Rev. Lett. 71, 12 (1993).
- (1993) Phys. Rev. Lett. , vol.71 , pp. 12
- Jayaprakash, C.¹ Hayot, F.² Pandit, R.³

225
- 0000061553
- K. Sneppen, J. Krug, M. H. Jensen, C. Jayaprakash, and T. Bohr, Phys. Rev. A 46, R7351 (1992).
- (1992) Phys. Rev. A , vol.46 , pp. 7351
- Sneppen, K.¹ Krug, J.² Jensen, M.H.³ Jayaprakash, C.⁴ Bohr, T.⁵

226
- 4243979739
- M. Kardar, G. Parisi, and Y.-C. Zhang, Phys. Rev. Lett. 56, 889 (1986).
- (1986) Phys. Rev. Lett. , vol.56 , pp. 889
- Kardar, M.¹ Parisi, G.² Zhang, Y.-C.³

227
- 0001129382
- V. S. L'vov and I. Procaccia, Phys. Rev. Lett. 69, 3543 (1992).
- (1992) Phys. Rev. Lett. , vol.69 , pp. 3543
- L'Vov, V.S.¹ Procaccia, I.²

228
- 0000862893
- J. T. Drotar, Y. P. Zhao, T. M. Lu, and G. C. Wang, Phys. Rev. E 59, 177 (1999).
- (1999) Phys. Rev. e , vol.59 , pp. 177
- Drotar, J.T.¹ Zhao, Y.P.² Lu, T.M.³ Wang, G.C.⁴

229
- 4244175659
- J. G. Amar and F. Family, Phys. Rev. A 41, 3399 (1990).
- (1990) Phys. Rev. A , vol.41 , pp. 3399
- Amar, J.G.¹ Family, F.²

230
- 3242877310
- J. Krim, I. Heyvaert, C. VanHaesendonck, and Y. Bruynseraede, Phys. Rev. Lett. 70, 57 (1993).
- (1993) Phys. Rev. Lett. , vol.70 , pp. 57
- Krim, J.¹ Heyvaert, I.² Vanhaesendonck, C.³ Bruynseraede, Y.⁴

231
- 42749104127
- E. S. Tok, S. W. Ong, and H. C. Kang, Phys. Rev. E 70, 011604 (2004).
- (2004) Phys. Rev. e , vol.70 , pp. 011604
- Tok, E.S.¹ Ong, S.W.² Kang, H.C.³

232
- 4143154381
- D. E. Wolf, Phys. Rev. Lett. 67, 1783 (1991).
- (1991) Phys. Rev. Lett. , vol.67 , pp. 1783
- Wolf, D.E.¹

233
- 0000982060
- M. Siegert and M. Plischke, Phys. Rev. E 53, 307 (1996).
- (1996) Phys. Rev. e , vol.53 , pp. 307
- Siegert, M.¹ Plischke, M.²

234
- 33645756772
- R. Gago, L. Vázquez, O. Plantevin, J. A. Sánchez- García, M. Varela, M. C. Ballesteros, J. M. Albella, and T. H. Metzger, Phys. Rev. B 73, 155414 (2006).
- (2006) Phys. Rev. B , vol.73 , pp. 155414
- Gago, R.¹ Vázquez, L.² Plantevin, O.³ Sánchez-García, J.A.⁴ Varela, M.⁵ Ballesteros, M.C.⁶ Albella, J.M.⁷ Metzger, T.H.⁸

235
- 24144448989
- B. Ziberi, F. Frost, B. Rauschenbach, and Th. Hoche, Appl. Phys. Lett. 87, 033113 (2005).
- (2005) Appl. Phys. Lett. , vol.87 , pp. 033113
- Ziberi, B.¹ Frost, F.² Rauschenbach, B.³ Hoche, Th.⁴

236
- 23344454911
- W.-B. Fan, W.-Q. Li, L.-J. Qi, H.-T. Sun, J. Luo, Y.-Y. Zhao, and M. Lu, Nanotechnology 16, 1526 (2005).
- (2005) Nanotechnology , vol.16 , pp. 1526
- Fan, W.-B.¹ Li, W.-Q.² Qi, L.-J.³ Sun, H.-T.⁴ Luo, J.⁵ Zhao, Y.-Y.⁶ Lu, M.⁷

237
- 33646405782
- B. Ziberi, F. Frost, and B. Rauschenbach, Appl. Phys. Lett. 88, 173115 (2006).
- (2006) Appl. Phys. Lett. , vol.88 , pp. 173115
- Ziberi, B.¹ Frost, F.² Rauschenbach, B.³

238
- 4344680190
- M. Xu and C. Teichert, J. Appl. Phys. 96, 2244 (2004).
- (2004) J. Appl. Phys. , vol.96 , pp. 2244
- Xu, M.¹ Teichert, C.²

239
- 2942568036
- B. Ziberi, F. Frost, M. Tartz, H. Neumann, and B. Rauschenbach, Thin Solid Films 459, 106 (2004).
- (2004) Thin Solid Films , vol.459 , pp. 106
- Ziberi, B.¹ Frost, F.² Tartz, M.³ Neumann, H.⁴ Rauschenbach, B.⁵

240
- 0036051154
- A. Cuenat and M. J. Aziz, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 696, N2.8 (2002).
- (2002) Mater. Res. Soc. Symp. Proc. , vol.696 , pp. 28
- Cuenat, A.¹ Aziz, M.J.²

241
- 0001144569
- B. Kahng, H. Jeong, and A.-L. Barabasi, Appl. Phys. Lett. 78, 805 (2001).
- (2001) Appl. Phys. Lett. , vol.78 , pp. 805
- Kahng, B.¹ Jeong, H.² Barabasi, A.-L.³

242
- 42749107191
- S. Facsko, T. Bobek, A. Stahl, H. Kurz, and T. Dekorsy, Phys. Rev. B 69, 153412 (2004).
- (2004) Phys. Rev. B , vol.69 , pp. 153412
- Facsko, S.¹ Bobek, T.² Stahl, A.³ Kurz, H.⁴ Dekorsy, T.⁵

243
- 0001737309
- M. Paniconi and K. R. Elder, Phys. Rev. E 56, 2713 (1997).
- (1997) Phys. Rev. e , vol.56 , pp. 2713
- Paniconi, M.¹ Elder, K.R.²

244
- 5344254074
- J.-P. Bouchaud, M. E. Cates, J. R. Prakash, and S. F. Edwards, Phys. Rev. Lett. 74, 1982 (1995).
- (1995) Phys. Rev. Lett. , vol.74 , pp. 1982
- Bouchaud, J.-P.¹ Cates, M.E.² Prakash, J.R.³ Edwards, S.F.⁴

245
- 0032302145
- O. Terzidis, P. Claudin, and J.-P. Bouchaud, Eur. Phys. J. B 5, 245 (1998).
- (1998) Eur. Phys. J. B , vol.5 , pp. 245
- Terzidis, O.¹ Claudin, P.² Bouchaud, J.-P.³

246
- 0010457103
- A. Valance and F. Rioual, Eur. Phys. J. B 10, 543 (1999).
- (1999) Eur. Phys. J. B , vol.10 , pp. 543
- Valance, A.¹ Rioual, F.²

247
- 32644482352
- B. Andreotti, P. Claudin, and O. Pouliquen, Phys. Rev. Lett. 96, 028001 (2006).
- (2006) Phys. Rev. Lett. , vol.96 , pp. 028001
- Andreotti, B.¹ Claudin, P.² Pouliquen, O.³

248
- 21244450384
- T. Aste and U. Valbusa, New J. Phys. 7, 122 (2005).
- (2005) New J. Phys. , vol.7 , pp. 122
- Aste, T.¹ Valbusa, U.²

249
- 33644545415
- J. Munoz-Garcia, M. Castro, and R. Cuerno, Phys. Rev. Lett. 96, 086101 (2006).
- (2006) Phys. Rev. Lett. , vol.96 , pp. 086101
- Munoz-Garcia, J.¹ Castro, M.² Cuerno, R.³

250
- 0000581078
- M. J. Vasile, Z. Niu, R. Nassar, W. Zhang, and S. Liu, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2350 (1997).
- (1997) J. Vac. Sci. Technol. B , vol.15 , pp. 2350
- Vasile, M.J.¹ Niu, Z.² Nassar, R.³ Zhang, W.⁴ Liu, S.⁵

251
- 29144458220
- A. Cuenat, H. B. George, K.-C. Chang, J. M. Blakely, and M. J. Aziz, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 17, 2845 (2005).
- (2005) Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) , vol.17 , pp. 2845
- Cuenat, A.¹ George, H.B.² Chang, K.-C.³ Blakely, J.M.⁴ Aziz, M.J.⁵

252
- 0035976031
- I. Yamada, J. Matsuo, N. Toyoda, and A. Kirkpartrick, Mater. Sci. Eng., R. 34, 231 (2001).
- (2001) Mater. Sci. Eng., R. , vol.34 , pp. 231
- Yamada, I.¹ Matsuo, J.² Toyoda, N.³ Kirkpartrick, A.⁴

253
- 0031546211
- D. Takeuchi, K. Fukushima, J. Matsuo, and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 121, 493 (1997).
- (1997) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.121 , pp. 493
- Takeuchi, D.¹ Fukushima, K.² Matsuo, J.³ Yamada, I.⁴

254
- 0000126123
- I. Yamada, W. L. Brown, J. A. Norhby, and M. Sosnowski, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 79, 223 (1993).
- (1993) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.79 , pp. 223
- Yamada, I.¹ Brown, W.L.² Norhby, J.A.³ Sosnowski, M.⁴

255
- 58149209482
- Z. Insepov and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 99, 248 (1995).
- (1995) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.99 , pp. 248
- Insepov, Z.¹ Yamada, I.²

256
- 0033516087
- Z. Insepov and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 153, 199 (1999).
- (1999) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.153 , pp. 199
- Insepov, Z.¹ Yamada, I.²

257
- 0031546165
- H. Kitnai, N. Toyoda, J. Matsuo, and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 121, 489 (1997).
- (1997) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.121 , pp. 489
- Kitnai, H.¹ Toyoda, N.² Matsuo, J.³ Yamada, I.⁴

258
- 19944374107
- N. Toyoda, T. Matsuo, and I. Yamada, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 232, 212 (2005).
- (2005) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.232 , pp. 212
- Toyoda, N.¹ Matsuo, T.² Yamada, I.³

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.