Morphology evolution on diamond surfaces during ion sputtering

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 23, Issue 6, 2005, Pages 1579-1587

  Mayer, T M ^a   Adams, D P ^a   Vasile, M J ^a   Archuleta, K M ^a  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ION SPUTTERING; NONLINEAR PROCESSES;

ION BOMBARDMENT; MORPHOLOGY; RELAXATION PROCESSES; SINGLE CRYSTALS; SPUTTERING; SURFACE CHEMISTRY; TEMPERATURE DISTRIBUTION;

DIAMONDS;

EID: 31044452325     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2110386     Document Type: Article

References (42)

1. G. Carter, B. Navinsek, and J. L. Whitton, in Sputtering by Particle Bombardment, edited by, R. Behrisch, (Springer, Berlin, 1983), Vol. 2, pp. 231-269.
2. G. Carter, Vacuum 49, 285 (1998).
3. F. A. Stevie, P. M. Kohara, D. S. Simons, and P. Chi, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 2246 (1988).
4. E. H. Cirlin, J. J. Vajo, R. E. Doty, and T. C. Hasenberg, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 1395 (1991).
5. K. Wittmaack, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 2246 (1990).
6. Y. N. Picard, D. P. Adams, and M. J. Vasile, J. Precis. Eng. 27, 59 (2003).
7. M. J. Vasile, C. Biddick, and S. Schwalm, Proc. ASME, DSC 46, 81 (1993).
8. J. Li, D. Stein, C. McMullen, D. Branton, M. J. Aziz, and J. A. Golovchenko, Nature (London) 412, 166 (2001).
9. M. A. Makeev, R. Cuerno, and A. L. Barabasi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 197, 185 (2002).
10. M. B. Bradley and J. M. E. Harper, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 2390 (1988).
11. J. Erlebacher, M. J. Aziz, E. Chason, M. J. Sinclair, and J. A. Floro, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 115 (2000).
12. S. Habenicht, Phys. Rev. B 63, 125419 (2001).
13. J. J. Vajo, R. E. Doty, and E. H. Cirlin, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2709 (1996).
14. G. Carter, V. Vishnyakov, and M. J. Nobes, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 115, 440 (1996).
15. G. Carter, Surf. Interface Anal. 25, 952 (1996).
16. G. Carter, M. J. Nobes, and I. V. Katardjiev, Philos. Mag. B 68, 231 (1993).
17. I. Koponen, M. Hautala, and O. P. Sievanen, Phys. Rev. Lett. 78, 2612 (1997).
18. T. M. Mayer, E. Chason, and A. J. Howard, J. Appl. Phys. 76, 1633 (1994).
19. C. C. Umbach, R. L. Headrick, and K. C. Chang, Phys. Rev. Lett. 87, 246104 (2001).
20. J. Erlebacher, M. J. Aziz, E. Chason, M. B. Sinclair, and J. A. Floro, Phys. Rev. Lett. 84, 5800 (2000).
21. A. L. Barabasi, Comput. Mater. Sci. 6, 127 (1996).
22. R. Cuerno and A. L. Barabasi, Phys. Rev. Lett. 74, 4746 (1995).
23. S. Park, B. Kahng, H. Jeong, and A.-L. Barabasi, Phys. Rev. Lett. 83, 3486 (1999).
24. A. Datta, Y. R. Wu, and Y. L. Wang, Phys. Rev. B 63, 125407 (2001).
25. D. P. Adams, M. J. Vasile, T. M. Mayer, and V. C. Hodges, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2334 (2003).
26. D. P. Adams, T. M. Mayer, M. J. Vasile, and K. M. Archuleta, Appl. Surf. Sci. (in press).
27. L. Harriot, Proc. SPIE 773, 190 (1987).
28. P. E. Russell, T. J. Stark, D. P. Griffis, J. R. Phillips, and K. F. Jarausch, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 2494 (1998).
29. T. J. Stark, G. M. Shedd, J. Vitarelli, D. M. Griffis, and P. E. Russell, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2565 (1995).
30. J. P. Chang, J. C. Arnold, G. C. H. Zau, H.-S. Shin, and H. H. Sawin, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 1853 (1997).
31. T. M. Mayer, R. A. Barker, and L. J. Whitman, J. Vac. Sci. Technol. 18, 349 (1981).
32. T. Mizutani, C. J. Dale, W. K. Chu, and T. M. Mayer, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 7/8, 825 (1985).
33. D. Flamm, F. Frost, and D. Hirsch, Appl. Surf. Sci. 179, 95 (2001).
34. E. Chason, T. M. Mayer, B. K. Kellerman, D. T. McIlroy, and A. J. Howard, Phys. Rev. Lett. 72, 3040 (1994).
35. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, and U. Littmark, The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon, New York, 1985). See also: www.srim.org
36. M. A. Makeev and A. L. Barabasi, Appl. Phys. Lett. 71, 2800 (1997).
37. C. A. Volkert, J. Appl. Phys. 74, 2107 (1993).
38. L. Y. Chen and F. C. N. Hong, Diamond Relat. Mater. 12, 968 (2003).
39. V. K. Smirnov, D. S. Kibalov, S. A. Krivelevich, P. A. Lepshin, E. V. Potapov, R. A. Yankov, W. Skorupa, V. V. Makarov, and A. B. Danilin, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 147, 310 (1999).
40. G. Carter and V. Vishnyakov, Phys. Rev. B 54, 17647 (1996).
41. S. G. Mayr and R. S. Averback, Phys. Rev. Lett. 87, 196106 (2001).
42. D. J. Vitkavage, C. J. Dale, W. K. Chu, T. G. Finstad, and T. M. Mayer, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 13, 313 (1986).