The shape and ordering of self-organized nanostructures by ion sputtering

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

Volumn 216, Issue 1-4, 2004, Pages 9-19

  Frost, F ^a   Ziberi, B ^a   Hoche T ^a   Rauschenbach, B ^a  

^a LEIBNIZ INSTITUTE OF SURFACE ENGINEERING IOM   (Germany)

Author keywords

III V semiconductors; Ion beam; Nanostructuring; Self organization; Sputtering

Indexed keywords

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CRYSTALLINE MATERIALS; ION BEAMS; NANOSTRUCTURED MATERIALS; SEMICONDUCTOR MATERIALS; SPUTTERING; SURFACE ROUGHNESS; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

III-V SEMICONDUCTORS; NANOSTRUCTURING; SELF-ORGANIZATION;

NUCLEAR INSTRUMENTATION;

EID: 1042298615     PISSN: 0168583X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.nimb.2003.11.014     Document Type: Conference Paper

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