Non-destructive characterisation of carbon films

Tribology of Diamond-Like Carbon Films: Fundamentals and Applications

Volumn , Issue , 2008, Pages 25-82

  Ferrari, Andrea C ^a  

^a UNIVERSITY OF CAMBRIDGE   (United Kingdom)

Author keywords

characterization; diamond like carbon; Raman spectroscopy; structure

Indexed keywords

EID: 84889993593     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Book    
DOI: 10.1007/978-0-387-49891-1_2     Document Type: Chapter

References (221)

1. A. C. Ferrari, Surf. Coat. Technol. 180-181, 190 (2004).
2. Y. Lifshitz, G. D. Lempert, E. Grossman, Phys. Rev. Lett. 72, 2753 (1994).
3. A. Voevodin, M. S. Donley, J. S. Zabinski, Surf. Coat. Technol. 52, 42 (1997).
4. J. Schwan, S. Ulrich, H. Roth, et al., J. Appl. Phys. 79, 1416 (1996).
5. D. R. McKenzie, Rep. Prog. Phys. 59, 1611 (1996).
6. S. Anders, J. Diaz, J. W. Ager, R. Y. Lo, D. B. Bogy, Appl. Phys. Lett. 71, 3367 (1997).
7. P. J. Fallon, V. S. Veerasamy, C. A. Davis, J. Robertson, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, J. Koskinen, Phys. Rev. B, 48, 4777 (1993).
8. A. C. Ferrari, J. Robertson, M. Beghi, C. E. Bottani, R. Ferulano, R. Pastorelli, Appl. Phys. Lett., 75, 1893 (1999).
9. A. C. Ferrari, J. Robertson, Phys. Rev. B, 61, 14095 (2000).
10. A. C. Ferrari, J. Robertson, Phil. Trans. R. Soc. London A, 362, 2477 (2004).
11. A. C. Ferrari, J. Robertson, Phys. Rev. B, 64, 075414 (2001).
12. C. Casiraghi, A. C. Ferrari, J. Robertson, Phys. Rev. B, 72, 085401 (2005).
13. P. Koidl, C. Wagner, B. Discheler, J. Wagner, M. Ramsteiner, Mater. Sci. Forum, 52, 41 (1990).
14. M. A. Tamor, W. C. Vassell, K. R. Karduner, Appl. Phys. Lett., 58, 592 (1991).
15. S. F. Yoon, K. H. Tan, Rusli, J. Ahn, J. Appl. Phys. 91, 1634 (2002).
16. O. Durand-Drouhin, M. Lejeune, M. Benlahsen, J. Appl. Phys., 91, 867 (2002).
17. T. Schwarz-Sellinger, A. von Keudell, W. Jacob, J. Appl. Phys., 86, 3988 (1999).
18. B. Popescu, A. Tagliaferro, F. De Zan, E. A Davis, J. Non Cryst. Solids, 266-269, 803 (2000).
19. A. C. Ferrari, A. Libassi, B. K. Tanner, V. Stolojan, J. Yuan, L. M. Brown, S. E. Rodil, B. Kleinsorge, J. Robertson, Phys. Rev. B, 62, 11089 (2000).
20. N. A. Morrison, S. E. Rodil, A. C. Ferrari, J. Robertson, W. I. Milne, Thin Solid Films, 337, 71 (1999).
21. M. Weiler, K. Lang, E. Li, J. Robertson. Appl. Phys. Lett., 1314, 72 (1998).
22. M. Weiler, S. Sattel, T. Giessen, K. Jung, H. Ehrhardt, V. S. Veerasamy, J. Robertson. Phys. Rev. B, 53, 1594 (1996).
23. M. Weiler, S. Sattel, K. Jung, H. Ehrhardt, V. S. Veerasamy, J. Robertson, Appl. Phys. Lett., 64, 2797 (1994).
24. C. Ferrari, S. E. Rodil, J. Robertson, Phys. Rev. B, 67, 155306 (2003).
25. Hellgren N., Johansson M. P., Broitman E., Hultman L., Sundgren J. E., Phys. Rev. B, 59, 5162 (1999).
26. Jimenez I., Gago R., Albella J. M., Caceres D., Vergara I., Phys. Rev B, 62, 4261 (2000).
27. Gammon W. J., Malyarenko D. I., Kraft O., Hoatson G. L., Reilly A. C., Holloway B.C., Phys. Rev. B, 66, 153402 (2002).
28. Gammon W. J., Hoatson G. L., Holloway B. C., Vold R. L., Reilly A. C., Phys. Rev. B, 68, 195401 (2003).
29. K. J. Boyd, D. Marton, S. S. Todorov, A. H. Al-Bayati, J. Kulok, R. A. Zuhr J. W. Rabalais, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2110 (1995).
30. J. Hu, P. Yang, C. M. Lieber, Phys. Rev. B 57, 3185 (1998).
31. C. A. Davis, D. R. McKenzie, Y. Yin, Kravtchinskaia, G. A. J. Amaratunga, V.J. Veerasamy, Phil. Mag. B 69, 1133 (1994).
32. V. S. Veerasamy, J. Yuan, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, K. W. R. Gilkes, M. Weiler, L. M. Brown, Phys. Rev. B 48, 17954 (1993).
33. C. Spaeth, M. Kuhn, U. Kreissig, F. Richter, Diam. Relat. Mater. 6, 626 (1997).
34. B. Kleinsorge, A. C. Ferrari, J. Robertson, W. I. Milne, J. Appl. Phys. 88, 1149 (2000).
35. S. E. Rodil, W. I. Milne, J. Robertson, L.M. Brown, Appl. Phys. Lett. 77, 1458 (2000).
36. P. Hammer, N. M. Victoria, F. Alvarez, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 2941 (1998).
37. S. R. P. Silva, J. Robertson, G. A. J. Amaratunga, B. Rafferty, L. M. Brown, D. F. Franceschini, G. Mariotto, J. Appl. Phys. 81, 2626 (1997).
38. J. Schwan, V. Batori, S. Ulrich, H. Ehrhardt, S. R. P. Silva, J. Appl. Phys. 84, 2071 (1998).
39. S. E. Rodil, A. C. Ferrari, J. Robertson, W. I. Milne, J. Appl. Phys. 89, 5425 (2001).
40. S. E. Rodil, N. A. Morrison, J. Roberston, W. I. Milne, Phys. Stat. Solidi A 175, 25 (1999).
41. M. Zhang, L. Pan, T. Miyazaki, Y. Nakayama, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 4897 (1997).
42. S. Bhattacharyya, C. Cardinaud, G. Turban, J. Appl. Phys. 83, 4491 (1998);
43. S. Bhattacharyya, M. Hietschold, F. Richter, Diam. Relat. Mater. 9, 544 (2000).
44. J. Q. Zhang, Y. Setsuhara, S. Miyake, B. Kyoh, Jpn J. Appl. Phys. 36, 6894 (1997).
45. Grill A., 2001, Diam. Relat. Mater. 10, 234.
46. Racine B., Ferrari A. C., Morrison N. A., Hutchings I., Milne W. I., Robertson J., 2001, J. Appl. Phys. 90, 5002.
47. Matsuda A., Tanaka K., 1987, J. Non-Cryst. Solids 97, 1367.
48. Oguri K., Arai T., 1992, Thin Solid Films 208, 158.
49. Gangopadhyay A. K., Willermet P. A., Tamor M. A., Vassel W. C., 1997, Tribol. Int. 30, 9.
50. Voevodin A. A., Schneider J. M., Rebholz C., Matthews A., 1996, Tribol. Int. 29, 559 (1996).
51. Milani P., Ferretti M, Piseri P., Bottani C. E., Ferrari A. C., LiBassi A., Guizzetti G., Patrini M., J. Appl. Phys. 82, 5793 (1997).
52. A. Libassi, B. K. Tanner, A.C. Ferrari, X-ray reflectivity from amorphous carbon. In; Properties of Amorphous Carbon, IEE-EIMS datareview series 29, INSPEC, p. 179 (2003).
53. B. Lengeler, X-ray absorption and reflection in the hard x-ray range. In: M. Campagna and K.Rosei (eds) North Holland, Amsterdam, The Netherlands (1990).
54. V Holy, U. Pietsch, T Baumbach, High-Resolution X-ray Scattering from Thin Films and Multilayers. Springer, New York (1999).
55. V. Holy, T. Baumbach, Phys. Rev. B 49, 10668 (1994).
56. D.E. Savage et al. J. Appl. Phys. 69, 1411 (1991).
57. D.E. Savage, N. Schimke, Y.H. Pang, M.G. Legally, J. Appl. Phys. 71, 3283 (1992).
58. I. Pape, T.P.A.Hase, B.K.Tanner, M. Wormington, Physica B. 253, 278 (1998).
59. B.L. Henke, E.M. Gullikson, J.C. Davis, Atom. Data Nucl. Data. 54, 181 (1993).
60. L.G. Parrat, Phys. Rev. 95, 359 (1954).
61. M. Wormington et al., Phil. Trans. Roy. Soc. A 357, 2827 (1999).
62. M. Wormington et al., Phil. Mag. Lett. 74, 211 (1996).
63. E. Kondrashov et al., Diam. Relat. Mater. 6, 1784 (1997).
64. S. Logothetidis, G. Stergioudis, Appl. Phys. Lett. 71, 2463 (1997).
65. A. Lucas, T.D. Nguyen, J.B. Kortright, Appl. Phys. Lett. 59, 2100 (1991).
66. M.J. Grundy et al., Thin Solid Films 172, 269 (1989).
67. E. Findeisen et al., J. Appl. Phys. 76, 4636 (1994).
68. F. Toney, S. Brennan, J. Appl. Phys. 66, 1861 (1989).
69. Y. Huai et al., Appl. Phys. Lett. 65, 830 (1994).
70. Q. Zhang, S.F. Yoon, Rusli, J. Ahn, H. Yang, D. Bahr, J. Appl. Phys. 86, 289 (1999).
71. J. Martinez-Miranda, et al., Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 498, 55 (1998).
72. A. Libassi et al., Diam. Relat. Mater. 9, 771 (2000).
73. P. Patsalas, S. Logothedids, P. C. Kelires, Diam. Relat. Mater. 14, 1241 (2005).
74. E. Egerton, Electron Energy Loss Spectroscopy in the Electron Microscope. Plenum Press, New York (1986).
75. J. Fink, T. Muller-Heinzerling, A. Bubenzer, P. Koidl, G. Cercelius, Solid State Comm. 47, 687 (1983).
76. J. Fink, T. Muller-Heinzerling, J. Pfuger, B. Scheerer, B. Dishler, P. Koidl, A. Bubenzer, R. E. Sath, Phys. Rev. B 30, 4713 (1984).
77. S. D. Berger, D. R. McKenzie, P. J. Martin, Phil. Mag. Lett. 57, 285 (1988).
78. P. J. Fallon, L. M. Brown, Diam. Relat. Mater. 2, 1004 (1993).
79. J. Kulik, Y. Lifshitz, G. D. Lempert, I. W. Rabalais, D. Marton, J. Appl. Phys. 76, 5063 (1998).
80. C. A. Davis, K. M. Knowles, G. A.J. Amaratunga, Phys. Rev. Lett. 80, 3280 (1998).
81. S. Waidman, M. Knupfer, J. Fink, B. Kleisorge, J. Robertson, J. Appl. Phys. 89, 3783 (2001).
82. H. Pan, M. Pruski, B. C. Gerstein, F. Li, J. S. Lannin, Phys. Rev. B 44, 6741 (1991).
83. M. M. Golzan, D. R. McKenzie, P. B. Lukins, J. Hanna, A. M. Vassallo, Chem. Phys. 193, 167 (1995).
84. S. Kaplan, F. Jansen, M. Machonkin, Appl. Phys. Lett. 47, 750 (1985).
85. R. H. Jarman, G. J. Ray, R. W. Stadley, Appl. Phys. Lett. 49, 1065 (1986).
86. A. Grill, B. S. Meyerson, V. V. Patel, J. A. Reimer, M. A. Petrich, J. Appl. Phys. 61, 2874 (1987).
87. T. M. Alam, T. A. Friedmann, P. A. Schultz, D. Sebastiani. Phys. Rev. B 67, 245309 (2003).
88. C. Jager, J. Gottwald, H. W. Spiess, R. J. Newport, Phys. Rev. B 50, 846 (1994).
89. T. Blinc, D. Arcon, P. Cevc, I. Pocsik, M. Koos, Z. Trontelj, Z. Jaglicic, J. Phys. C. 10, 6813 (1998)
90. R. Kleber, K. Jung, H. Ehrhardt, I. Muhling, K. Breuer, H. Metz, F. Engelke, Thin Solid Films 205, 274 (1991).
91. C. Donnet, J. Fontaine, F. Lefebre, A. Grill, V. Patel, C. Jahnes, J. Appl. Phys. 85, 3264 (1999);
92. R. Ohr, C. Shug, M. Wahl, et al., Anal. Bioanal. Chem. 375, 43 (2003).
93. B.K. Tanner, A. LiBassi, A.C. Ferrari, J. Robertson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 675, W11.4 (2001).
94. R. Ohr, B. Jacoby, M.V. Gradowski, C. Schug, H. Hilgers, Surf. Coat. Technol. 173, 111 (2003).
95. W. C. Oliver, G. M. Pharr, J. Mat. Res. 7, 1564 (1992)
96. G.M. Pharr, D.L. Callahan, S.D. McAdams, T.Y. Tsui, S. Anders, J.W. Ager, I.G. Brown, C.S. Bhatia, S.R.P. Silva, J.Robertson, Appl. Phys. Lett., 68, 779 (1996).
97. S. Xu, D. Flynn, B.K. Tay, S. Prawer, K.W. Nugent, S.R.P. Silva Y. Lifshitz, W.I. Milne, Phil. Mag. B 76, 351 (1997).
98. T.A. Friedman, J.P. Sullivan, J.A. Knapp, D.R. Tallant, D.M. Follstaedt, D.L. Medlin, P.B. Mirkarimi, Appl. Phys. Lett. 71, 3820 (1997).
99. D. A. LaVan, R. J. Hohlfelder, J. P. Sullivan, T. A. Friedmann, M. Mitchell, C. I. H. Ashby, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 594, 295 (2000).
100. S. Cho, I. Chasiotis, T. A. Friedmann, J. P. Sullivan, J. Micromech. Microeng. 15, 728, (2005).
101. D. A. Czaplewski, J. P. Sullivan, T. A. Friedmann, J. R. Wendt, Appl. Phys. Lett. 87, 161915 (2005).
102. M.G. Beghi, A.C. Ferrari, K.B.K. Teo, et al., Appl. Phys. Lett. 81, 3804 (2002).
103. F. Nizzoli, J.R.Sandercock, Dynamical properties of solids. In: G. Horton and A. Maradudin (eds) North-Holland, Amsterdam, The Netherlands, p. 281 (1990).
104. M. G. Beghi, C. E. Bottani, A. C. Ferrari, Properties of Amorphous Carbon, In: S. R. P. Silva (ed.) EMIS Data Review Series No. 29, INSPEC (2003).
105. D. Schneider, P. Siemroth, T. Schulke, et al., Surf. Coat. Technol. 153, 252 (2002).
106. D. Schneider, Th. Witke, Th. Schwarz, B. Schneich, B. Schultrich, Surf. Coat. Technol. 126, 136 (2000).
107. J. D. Achenbach, Wave Propagation in Elastic Solids. North Holland, Amsterdam, The Netherlands (1990).
108. G. W. Farnell, E. L. Adler, Physical Acoustics, Vol. 9. In: W. P. Mason and R. N. Thurston (eds) Academic, New York, p. 35 (1972).
109. M. G. Cottam, A. A. Maradudin, Surface Excitations. In: V. M. Agranovitch, R. Loudon (eds) Elsevier Science, Amsterdam, The Netherlands, p. 1 (1984).
110. J. D. Comins, in Handbook of elastic properties of solids, liquids and gases, Vol. 1. In: M. Levy et al. (eds) Academic Press, Sidcup, UK (2000).
111. M. G. Beghi et al., J. Appl. Phys. 81, 672 (1997).
112. S. Makarov et al., J. Appl. Phys. 78, 5028 (1995).
113. R. Vogelgesang R. et al., Phys. Rev. B 54, 3989 (1996).
114. E. S. Zouboulis et al., Phys. Rev. B 57, 2889 (1998).
115. X. Jiang et al., Appl. Phys. Lett. 59, 1055 (1991).
116. J. K. Krüger et al., J. Appl. Phys. 87, 74 (2000).
117. D. Schneider et al., Thin Solid Films 295, 107-16 (1997);
118. D. Schneider et al., Thin Solid Films 332, 157-63 (1998);
119. Diam. Relat. Mater. 7, 973-80 (1998).
120. M. Grimsditch, J. Phys. C: Solid State Phys. 16, L143 (1983).
121. M. Grimsditch, Phys. Stat. Sol. B 193, K9 (1996).
122. S. A. Lee, S. M. Lindsay, Phys. Stat. Sol. B 157, K83 (1990).
123. X. Jiang et al., J. Appl. Phys. 66, 4729 (1989);
124. X. Jiang et al., J. Appl. Phys. 68, 1018 (1990);
125. Phys. Rev. B 43, 2372 (1991).
126. L. Valentini et al., J. Appl. Phys. 89, 1003 (2001).
127. Morath et al., J. Appl. Phys. 76, 2636 (1994).
128. Y. Kim et al., J. Vac. Sci. Technol. A 18, 1993 (2000).
129. T. Wittkowski et al., Thin Solid Films 368, 216 (2000).
130. R.Pastorelli et al., Diam. Relat. Mater. 9, 825 (2000).
131. M. Chirita et al., Phys. Rev. B 60, R5153 (1999).
132. C. E. Bottani et al., Europhys. Lett. 42, 431 (1998);
133. C. Casari et al., Phys. Rev. B 64, 085417 (2001).
134. D. Fioretto et al., Phys. Rev. B 52, R8707 (1995).
135. S. Piscanec, F. Mauri, A. C. Ferrari, M. Lazzeri, J. Robertson, Diam. Relat. Mater. 14, 1078 (2005).
136. K. W. R. Gilkes, S. Prawer, K. W. Nugent, J. Robertson, H. S. Sands, Y. Lifshitz, X. Shi, J. Appl. Phys. 87, 7283 (2000).
137. V. I. Merkulov, J. S. Lannin, C. H. Munro, S. A. Asher, V. S. Veerasamy, W. I. Milne, Phys. Rev. Lett. 78, 4869 (1997).
138. F. Tuinstra, J. L. Koenig, J. Chem. Phys. 53, 1126 (1970).
139. C. Castiglioni, E. Di Donato, M. Tommasini, F. Negri, G. Zerbi, Synth. Metals 139, 885 (2003).
140. S. Piscanec, M. Lazzeri, F. Mauri, A. C. Ferrari, J. Robertson, Phys. Rev. Lett. 93, 185503 (2004).
141. C. Mapelli, C. Castiglioni, G. Zerbi, K. Mullen, Phys. Rev. B 60, 12710 (2000).
142. A. C. Ferrari, J. C. Meyer, V. Scardaci, C. Casirgahi, M. Lazzeri, F. Mauri, S. Piscanec, D. Jiang, K. S. Novoselov, S. Roth, A. K. Geim, Phys Rev. Lett. 97, 187401 (2006).
143. Conway N. M. J., Ferrari A. C., Flewitt A. J., Robertson J., Milne W. I., Tagliaferro A., Beyer W., Diam. Relat. Mater. 9, 765 (2000).
144. Ilie A., Ferrari A. C., Yagi T., Robertson J., Appl. Phys. Lett. 76, 2627 (2000).
145. Kohler T., Frauenheim T., Jungnickel G., Phys. Rev. B 52, 11837 (1995).
146. Drabold D. A., Fedders P. A., Strumm P., Phys. Rev. B 49, 16415 (1994).
147. Lopinski G. P., Merkulov V. I., Lannin J. S., Appl. Phys. Lett. 69, 3348 (1996).
148. Mauri F., Del Corso A., Appl. Phys. Lett. 75, 644 (1999).
149. C. Casiraghi, A. C. Ferrari, J. Robertson, R. Ohr, M. v. Gradowski, D. Schneider, Diam. Relat. Mater. 13, 1480 (2004).
150. M. V. Gradowski, A. C. Ferrari, R. Ohr, B. Jacoby, H. Hilgers, H.H. Schneider, H. Adrian, Surf. Coat. Technol. 174-175, 246 (2003).
151. G. Fanchini, A. Tagliaferro, Appl. Phys. Lett. 85, 730 (2004).
152. A. C. Ferrari, B. Kleinsorge, N. A. Morrison, A. Hart, V. Stolojan, J. Robertson, J. Appl. Phys. 85, 7191 (1999).
153. B. Kleinsorge, S. E. Rodil, G. Adamopoulos, J. Robertson, D. Grambole, W. Fukarek, Diam. Relat. Mater. 10, 965 (2001).
154. R. A. Street, Hydrogenated Amorphous Silicon, Cambridge University Press, New York (1991).
155. A. Erdemir, O. L. Eryilmaz, I. B. Nilufer, G. R. Fenske, Diam. Relat. Mater. 9, 632 (2000).
156. A. Erdemir, O. L. Eryilmaz, G. R. Fenske, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 1987 (2000).
157. J. A. Johnson, J. B. Woodford, X. Chen, J. Andersson, A. Erdemir, G. R. Fenske, J. Appl. Phys. 95, 7765 (2004).
158. A. Erdemir, O. L. Eryilmaz, I. B. Nilufer, G. R. Fenske, Surf. Coat. Technol. 133-134, 448 (2000).
159. J. Fontaine, J. L. Loubet, T. Le Mogne, A. Grill, Tribol. Lett. 17, 709 (2004).
160. J. Fontaine, T. Le Mogne, J. L. Loubet, M. Belin, Thin Solid Films 482, 99 (2005).
161. A. Erdemir, Surf. Coat. Technol. 146-147, 292 (2001).
162. A. Erdemir, Tribol. Int. 37, 577 (2004).
163. Dollish F. R., W. G. Fateley, Bentley F. F., Characteristic Raman Frequencies of Organic Molecules. Wiley, New York, (1974).
164. Katkritzki A. R. (ed.),Physical Methods in Heterocycle Chemistry. Academic Press, New York, Vol II (1963), Vol IV (1971).
165. Wixom M. R., J. Am. Ceram. Soc. 73, 1973 (1990).
166. Chowdhury A. K. M. S., Cameron D. C., Hashimi M. S. J., Thin Solid Films 332, 62 (1998).
167. Fung M. K., Chan W. C., Gao Z. Q., Bello I., Lee S. T., Diam. Relat. Mater. 8, 472 (1999).
168. Yap Y. K., Kida S., Aoyama T., Mori Y., Sasaki T., App. Phys. Lett. 73, 915 (1998).
169. A. Wienss, G. Persch-Schuy, R. Hartmann, P. Joeris, U. Hartmann, J. Vac. Sci. Technol. A18, 2023 (2000);
170. Appl. Phys. Lett. 75, 1077 (1999).
171. J. Windeln, C. Bram, H. L. Eckes, D. Hammel, J. Huth, J. Marien, H. Rohl, C. Shug, M. Wahl, A. Wienss, Appl. Surf. Sci. 179, 167 (2001).
172. Marchon B., Gui J., Grannen K., Rauch G. C., Ager J. W., Silva S. R. P., Robertson J., IEEE Trans. Mag. 33, 3148 (1997).
173. J. Robertson, Phys. Rev. B 53, 16302 (1996).
174. Rusli, J. Robertson, G. A. J. Amaratunga, J. Appl. Phys. 80, 2998 (1996).
175. T. Heitz, C. Godet, J. E. Bouree, B. Drevillon, J. P. Conde, Phys. Rev. B 60, 6045 (1999).
176. S. J. Henley, J. D. Carey, S. R. P. Silva, Appl. Phys. Lett. 85, 6236 (2004).
177. S. E. Rodil, S. Muhl, S. Maca, A. C. Ferrari, Thin Solid Films 433, 119 (2003).
178. G. Fanchini, S. C. Ray, A. Tagliaferro, Diam. Relat. Mater. 12, 1084 (2003).
179. B. Dischler, A. Bubenzer, P. Koidl, Solid State Commun. 48, 105 (1983).
180. J. Ristein, R. T. Stief, L. Ley, W. Beyer, J. Appl. Phys. 84, 3836 (1998).
181. Weich F., Widany J., Frauenheim T., Phys. Rev. Lett. 78, 3326 (1997).
182. Frauenheim T., Jungnickel G., Sitch P., Kaukonen M., Weich F., Widany J., Porezag D., Diam. Relat. Mater. 7, 348 (1998).
183. Karch K., Pavone P., Windl W., Shutt O., Strauch D., Phys. Rev. B 50, 17045 (1994).
184. Lucovsky G., Nemanich R. J., Knights J., Phys. Rev. B 19, 2064 (1979).
185. C. S. Bathia, C. Y. Chen, W. Fong, D. B. Bogy, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 593, 397 (2000).
186. Bernhard, C. Ziethen, R. Ohr, H. Hilgers, G. Schonhense, Surf. Coat. Technol. 180-181, 621 (2004).
187. C. Casiraghi, J. Robertson, A. C. Ferrari, Mater. Today 10, 42 (2007)
188. C. Casiraghi, A. C. Ferrari, R. Ohr, A. J. Flewitt, D. P. Chu, J. Robertson, Phys. Rev. Lett. 91, 226104 (2003).
189. A.L. Barabasi, H. E. Stanley. Fractal Concepts in Surface Growth. Cambridge University Press, Cambridge (1995).
190. M. Moseler, P. Gumbsch, C. Casiraghi, A. C. Ferrari, J. Robertson, Science 309, 1545 (2005).
191. J. G. Buijnster, M. Camero, L. Vazquez, Phys. Rev. B. 74, 155417 (2006).
192. G. Capote, L. Prioli, F. L. Freire, J. Vac. Sci. Technol. 24, 2212 (2006).
193. I. Y. Kim, S. H. Hong, A. Consoli, J. Benedikt, A. Von Keudell, J. Appl. Phys. 100, 053302 (2006).
194. F. Family, J. Phys. A 18 L75 (1985).
195. K. B. K. Teo, S. E. Rodil, J. H. Tsai, A. C. Ferrari, S. E. Rodil, W. I. Milne, J. Appl. Phys. 89, 3707 (2001).
196. T. Witke, P. Siemroth, IEEE Trans. Plasma Sci. 27, 1039 (1999).
197. X. Shi, L. Cheah, J. R. Shi, S. Zun, B. K. Tay, J. Phys.: Condens. Matter. 11, 185 (1999).
198. S. Edwards, D. Wilkinson. Proc. R. Soc. London A 44, 1039 (1966).
199. S. Pisana, C. Casiraghi, A. C. Ferrari, J. Robertson, Diam. Relat. Mater. 15, 898 (2006).
200. M. Shamsa, W.L. Liu, A. A. Balandin, C. Casiraghi, W. I. Milne, A.C. Ferrari, Appl. Phys. Lett. 89, 161921 (2006).
201. J.P. Sulllivan, T.A. Friedmann, K. Hjort, MRS Bull. 26, 309 (2001).
202. J.K. Luo, A.J. Flewitt, S.M. Spearing, N.A. Fleck, W.I. Milne, Appl. Phys. Lett. 85, 5748 (2004);
203. J.K. Luo, J.H. He, Y.Q. Fu, A.J. Flewitt, S.M. Spearing, N.A. Fleck, W.I. Milne, J. Micromech. Microeng. 15, 1406 (2005).
204. E. Marotta, N. Bakhru, A. Grill, V. Patel, B. Meyerson, Thin Solid Films 206, 188 (1991).
205. C.D. Wright, M. Armand, M.M. Aziz, IEEE Trans. Nanotech. 5, 50 (2006).
206. D.A. Czaplewski, J.P. Sullivan, T.A. Friedmann, J.R. Wendt, Diam. Relat. Mater. 15, 309 (2006).
207. D. G. Cahill, Rev. Sci. Instrum. 61, 802 (1990).
208. S. Ahmed, R. Liske, T. Wunderer, M. Leonhardt, R. Ziervogel, C. Fansler, T. Grotjohn, J. Asmussen, T. Schuelke., Diam. Relat. Mater. 15, 389 (2006).
209. W. L. Liu, A. A. Balandin, Appl. Phys. Lett. 85, 5230 (2004);
210. J. Appl. Phys., 97, 073710 (2005).
211. M. Shamsa, W.L. Liu, A. A. Balandin, J.L. Liu, Appl. Phys. Lett. 87, 202105 (2005).
212. D.G. Cahill, R.O. Pohl, Solid State Commun. 70, 927 (1989).
213. J.J. Freeman, A.C. Anderson, Phys. Rev. B 34, 5684 (1986).
214. A. C. Victor, J. Chem. Phys. 36, 1903 (1962).
215. B.T. Kelly, Physics of Graphite. Applied Science Publisher, London (1981).
216. A.J. Bullen, K.E. O'Hara, D.G. Cahill, O. Monteiro, A. von Keudell, J. Appl. Phys. 88, 6317 (2000).
217. J.L. Feldman, M.D. Kluge, Phys. Rev. B 48, 12589 (1993).
218. P. C. Kelires, Phys. Rev. Lett. 73, 2460 (1994).
219. G. Chen, P. Hui, S. Xu, Thin Solid Films 366, 95 (2000).
220. W. Hurler, M. Pietralla, A. Hammerschmidt, Diam. Relat. Mater. 4, 954 (1995).
221. D.T. Morelli, T.A. Perry, J.W. Vandersande, J.W. Vandersande, Phys. Rev. B 48, 3037 (1993).