Thermal stability of amorphous hard carbon films produced by cathodic arc deposition

Applied Physics Letters

Volumn 71, Issue 23, 1997, Pages 3367-3369

  Anders, Simone ^a   Díaz, Javier ^a   Agerlll, Joel W ^a   Lo, Roger Yu ^b   Bogy, David B ^b  

^a LAWRENCE BERKELEY NATIONAL LABORATORY   (United States)

^b UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000032823     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120339     Document Type: Article

References (28)

1. A. A. Voevodin, M. S. Donley, J. S. Zabinski, and J. E. Bultman, Surf. Coat. Technol. 77, 534 (1995).
2. P. J. Fallon, V. S. Veerasamy, C. A. Davis, J. Robertson, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, and J. Koskinen, Phys. Rev. B 48, 4777 (1993).
3. D. R. McKenzie, D. Muller, B. A. Pailthorpe, Z. H. Wang, E. Kravtchinskaia, D. Segal, P. B. Lukins, P. D. Swift, P. J. Martin, G. Amaratunga, P. H. Gaskell, and A. Saeed, Diamond Relat. Mater. 1, 51 (1991).
4. V. E. Strel'nitskii, V. G. Padalka, and S. I. Vakula. Sov. Phys. Tech. Phys. 23, 222 (1978).
5. S. Anders, A. Anders, I. G. Brown, B. Wei, K. Komvopoulos, J. W. Ager III, and K. M. Yu, Surf. Coat. Technol. 68/69, 388 (1994).
6. Y. Lifshitz, G. D. Lempert, E. Grossman, I. Avigal, C. Uzan-Saguy, R. Kalish, J. Kulik, D. Marton, and J. W. Rabalais, Diamond Relat. Mater. 4, 318 (1995).
7. H. C. Hofsäss, J. Biegel, C. Ronning, R. G. Downing, and G. P. Lamaze, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 316, 881 (1994).
8. M. Weiler, S. Sattel, K. Jung, H. Ehrhardt, V. S. Veerasamy, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett. 64, 2797 (1994).
9. G. M. Pharr, D. L. Callahan, S. D. McAdams, T. Y. Tsui, S. Anders, A. Anders, J. W. Ager III, I. G. Brown, C. S. Bhatia, S. R. P. Silva, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett. 68, 779 (1996).
10. R. Lossy, D. L. Pappas, R. A. Roy, J. J. Cuomo, and V. M. Sura, Appl. Phys. Lett. 61, 171 (1992).
11. M. C. Salvadori, G. Galvao, O. R. Monteiro, and I. G. Brown, Thin Solid Films (to be published).
12. J. Cuomo, D. L. Pappas, J. Bruley, J. Doyle, and K. L. Saenger, J. Appl. Phys. 70, 1706 (1991).
13. J. Levoska and S. Leppävuori, Appl. Surf. Sci. 86, 180 (1995).
14. Y. Lifshitz, G. D. Lempert, E. Grossman, I. Avigal, C. Uzan-Saguy, R. Kalish, J. Kulik, D. Marton, and J. W. Rabalais, Diamond Relat. Mater. 4, 318 (1995).
15. J. J. Cuomo, J. Doyle, J. Bruley, and J. C. Liu, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2210 (1991).
16. C. A. Lucas, T. D. Nguyen, and J. B. Kortright, Appl. Phys. Lett. 59, 2100 (1991).
17. D. R. Tallant, J. E. Parmeter, M. P. Siegal, and R. L. Simpson, Diamond Relat. Mater. 4, 191 (1995).
18. R. L. C. Wu, K. Miyoshi, R. Vuppuladhadium, and H. E. Jackson, Surf. Coat. Teehnol. 54/55, 576 (1992).
19. A. Grill, V. Patel, and B. S. Meyerson, J. Mater. Res. 5, 2531 (1990).
20. J. Díaz, G. Paolicelli, S. Ferrer, and F. Comin. Phys. Rev. B 54, 8064 (1996).
21. D. P. McKenzie, Y. Yin, N. A. Marks, C. A. Davis, E. Kravchinskaia, B. A. Pailthorpe, and G. A. J. Amaratunga, J. Non-Cryst. Solids 164-166, 1101 (1993).
22. S. Anders, J. W. Ager III, G. M. Pharr, T. Y. Tsui, and I. G. Brown, Thin Solid Films (to be published).
23. A. Anders, S. Anders, and I. G. Brown, Plasma Sources Sci. Technol. 4, 1 (1995).
24. J. Stöhr and R. Jaeger, Phys. Rev. B 26, 4111 (1982).
25. F. L. Coffman, R. Cao, P. A. Pianetta, S. Kapoor, M. Kelly, and L. J. Terminello, Appl. Phys. Lett. 69, 568 (1996).
26. M. Jaouen, G. Tourillon, J. Delafond, N. Junqua, and G. Hug, Diamond Relat. Mater. 4, 200 (1995).
27. A. Gutiérrez, J. Díaz, and M. F. Lopez, Appl. Phys. A: Solids Surf. 61, 111 (1995).
28. J. Stöhr, NEXAFS Spectroscopy (Springer, Berlin, 1996), p. 123.