Properties of amorphous carbon-silicon alloys deposited by a high plasma density source

Journal of Applied Physics

Volumn 90, Issue 10, 2001, Pages 5002-5012

  Racine, B ^a   Ferrari, A C ^a   Morrison, N A ^a   Hutchings, I ^a   Milne, W I ^a   Robertson, J ^a  

^a UNIVERSITY OF CAMBRIDGE   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035890398     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1406966     Document Type: Article

References (79)

1. J. Bullot and M. P. Schmidt, Phys. Status Solidi B 143, 345 (1985).
2. Y. Tawada, K. Ysuge, M. Kondo, H. Okamaoto, and Y. Hamakawa, J. Appl. Phys. 53, 5273 (1982).
3. A. H. Mahan, D. L. Williamson, B. P. Nelson, and R. S. Crandall, Appl. Phys. Lett. 55, 783 (1989).
4. A. Matsuda and K. Tanaka, J. Non-Cryst. Solids 97, 1367 (1987).
5. W. A. Nevin, H. Yamagishi, M. Yamaguchi, and Y. Tawada, Nature (London) 368, 529 (1994).
6. T. Ma, J. Xu, J. Du, W. Li, X. Huang, and K. Chen, J. Appl. Phys. 88, 6408 (2000).
7. J. Robertson, Adv. Phys. 35, 317 (1986).
8. J. Robertson, Surf. Coat. Technol. 50, 185 (1992).
9. J. Robertson, Prog. Solid State Chem. 21, 199 (1991).
10. K. Enke, Thin Solid Films 217, 56 (1981).
11. M. A. Tamor, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 383, 423 (1995).
12. K. Enke, H. Dimigen, and K. Hübsch, Appl. Phys. Lett. 36, 291 (1980).
13. R. Memming, H. J. Tolle, and P. E. Wierenga, Thin Solid Films 143, 31 (1986).
14. B. Dischler, A. Bubenzer, and P. Koidl, Solid State Commun. 48. 105 (1983).
15. K. Oguri and T. Arai, J. Mater. Res. 5, 2567 (1990).
16. K. Oguri and T. Arai, Surf. Coat. Technol. 47, 710 (1991).
17. K. Oguri and T. Arai, J. Mater. Res. 7, 1313 (1992).
18. K. Oguri and T. Arai, Thin Solid Films 208, 158 (1992).
19. J. Meneve, E. Dekempeneer, R. Jacobs, L. Eersel, V. Van Den Bergh, and J. Smeets, Diamond Relat. Mater. 1, 553 (1992).
20. J. Meneve, E. Dekempeneer, and J. Smeets, Diamond Films Technol. 4, 23 (1994).
21. J. Meneve, E. Dekempeneer, W. Wegener, and J. Smeets, Surf. Coat. Technol. 86-87, 617 (1996).
22. A. K. Gangopadhyay, P. A. Willermet, M. A. Tamor, and W. C. Vassel, Tribol. Int. 30, 9 (1997).
23. S. S. Camargo, Jr., A. L. Baia Neto, R. A. Santos, F. L. Freire, Jr., R. Carius, and F. Finger, Diamond Relat. Mater. 7, 1155 (1998).
24. A. C. Ferrari, B. Racine, N. A. Morrison, I. Hutchings, W. I. Milne, and J. Robertson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 593, 523 (1999).
25. J. Robertson, Diamond Relat. Mater. 3, 361 (1994).
26. D. R. McKenzie, D. Muller, and B. A. Pailthorpe, Phys. Rev. Lett. 67, 773 (1991).
27. T. A. Friedmann, K. F. McCarty, J. C. Barbour, M. P. Siegal, and D. C. Dibble, Appl. Phys. Lett. 68, 1643 (1996).
28. A. C. Ferrari, B. Kleinsorge, N. A. Morrison, A. Hart, V. Stolojan, and J. Robertson, J. Appl. Phys. 85, 7191 (1999).
29. X. Jiang, W. Beyer, and K. Reichelt, J. Appl. Phys. 68, 1378 (1990).
30. Z. L. Akkerman, H. Efstathiadis, and F. W. Smith, J. Appl. Phys. 80, 3068 (1996).
31. A. Erdemir, O. L. Eryilmaz, and G. Fenske, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 1987 (2000).
32. C. Donnet, Surf. Coat. Technol. 100, 180 (1998).
33. A. A. Voevodin, A. W. Phelps, J. S. Zabinski, and M. S. Donley, Diamond Relat. Mater. 5, 1264 (1996).
34. X. Jiang, K. Reichelt, and B. Stritzker, J. Appl. Phys. 66, 5805 (1990).
35. M. Weiler, S. Sattel, K. Jung, H. Ehrhardt, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett. 64, 2797 (1994).
36. M. Weiler, S. Sattel, T. Giessen, K. Jung, H. Ehrhardt, V. S. Veerasamy, and J. Robertson, Phys. Rev. B 53, 1594 (1996).
37. M. Weiler, K. Lang, E. Li, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett. 72, 1314 (1998).
38. N. A. Morrison, S. Muhl, S. E. Rodil, A. C. Ferrari, M. Nesladek, W. I. Milne, and J. Robertson, Phys. Status Solidi A 172, 79 (1999).
39. A. C. Ferrari, J. Robertson, M. G. Beghi, C. E. Bottani, R. Ferulano, and R. Pastorelli, Appl. Phys. Lett. 75, 1893 (1999).
40. A. C. Ferrari, A. Libassi, B. K. Tanner, V. Stolojan, J. Yuan, L. M. Brown, S. E. Rodil, B. Kleinsorge, and J. Robertson, Phys. Rev. B 62, 11089 (2000).
41. X. Zhang, W. H. Weber, W. C. Vassell, T. J. Potter, and M. A. Tamor, J. Appl. Phys. 83, 2820 (1998).
42. W. K. Choi, Y. M. Chan, C. H. Ling, Y. Lee, R. Gopalakrishnan, and L. Tan, J. Appl. Phys. 77, 827 (1995).
43. L. Jiang, X. Chen, X. Wang, L. Xu, F. Stubhan, and K. Merkel, Thin Solid Films 352, 97 (1999).
44. F. DeMichelis, F. Giorgis, C. F. Pirri, and E. Tresso, Philos. Mag. B 71, 1015 (1995).
45. V. Chu, J. P. Conde, J. Jarego, P. Brogueira, J. Rodriguez, N. Barradas, and J. C. Soares, J. Appl. Phys. 78, 3164 (1995).
46. I. Solomon, M. P. Schmidt, and H. Tran-Quoc, Phys. Rev. B 38, 9895 (1988).
47. J. P. Conde, V. Chu, A. Kling, Z. Dai, J. C. Soares, S. Arekat, A. Fedorov, M. N. Berberan-Santos, F. Giorgis, and F. Pirri, J. Appl. Phys. 85, 3327 (1999).
48. S. F. Yoon and J. Ahn, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 1832 (1997).
49. R. W. B. Pease and A. G. Gaydon, Identification of Molecular Spectra (Chapman and Hall, London, 1963).
50. CRC Handbook of Chemistry and Physics, 80th ed., edited by D. Lide (CRC Boca Raton, FL, 1999), pp. 9-64 and 10-178.
51. R. J. Kee, F. M. Rupley, and J. A. Miller, Sandia Report No. SAND87-8215B, 1990 (unpublished), p. 10.
52. W. Beyer, J. Non-Cryst. Solids 97, 1027 (1987).
53. E. Gogolides, D. Mary, A. Rhallabi, and G. Turban, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 34, 261 (1995).
54. J. Ristein, R. T. Stief, L. Ley, and W. Beyer, J. Appl. Phys. 84, 3836 (1998).
55. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
56. G. Lucovsky, R. J. Nemanich, and J. Knights, Phys. Rev. B 19, 2064 (1979).
57. H. Wieder, M. Cardona, and C. R. Guarnieri, Phys. Status Solidi B 92, 99 (1979).
58. S. Akita, K. Wakita, Y. Nakayama, and T. Kawamura, in Amorphous and Crystalline Silicon Carbide, edited by G. L. Harris and C. Y. W. Yang (Springer, New York, 1989), p. 77.
59. M. Park, C. W. Teng, V. Sakhrani, M. B. Laurin, R. M. Kolbas, R. C. Sanwald, R. J. Nemanich, J. J. Hren, and J. J. Cuomo, J. Appl. Phys. 89, 1130 (2001).
60. G. Lucovsky, Solid State Commun. 29, 571 (1977).
61. N. M. J. Conway, A. C. Ferrari, A. J. Flewitt, J. Robertson, W. I. Milne, A. Tagliaferro, and W. Beyer, Diamond Relat. Mater. 9, 765 (2000).
62. A. C. Ferrari and J. Robertson, Phys. Rev. B 61, 14095 (2000).
63. S. German and S. A. Solin, Solid State Commun. 15, 761 (1974).
64. M. Ramsteiner, J. Wagner, C. Wild, and P. Koidl, Solid State Commun. 67, 15 (1988).
65. J. R. Shi, X. Shi, Z. Sun, E. Liu, H. S. Yang, L. K. Cheat, and X. Z. Jin, J. Phys.: Condens. Matter 11, 5111 (1999).
66. K. W. K. Gilkes, H. S. Sands, D. N. Batchelder, J. Robertson, and W. I. Milne, Appl. Phys. Lett. 70, 1980 (1997).
67. V. I. Merkulov, J. S. Lannin, C. H. Munro, S. A. Asher, V. S. Veerasamy, and W. I. Milne, Phys. Rev. Lett. 78, 4869 (1997).
68. A. C. Ferrari and J. Robertson, Phys. Rev. B 64, 075414 (2001).
69. K. Karch, P. Pavone, W. Windl, O. Shutt, and D. Strauch, Phys. Rev. B 50, 17054 (1994).
70. Y. Inoue, S. Nakashima, A. Mitsuishi, S. Tabata, and S. Tsuboi, Solid State Commun. 48, 1071 (1983).
71. A. Morimoto, T. Kataoka, M. Kumeda, and T. Shimizu, Philos. Mag. B 50, 517 (1984).
72. J. P. Gerault, R. Morancho, and G. Constant, Philos. Mag. B 49, 11 (1984).
73. F. Demichelis, C. F. Pirri, and E. Tresso, J. Appl. Phys. 74, 1327 (1992).
74. R. S. Sussman and R. Ogden, Philos. Mag. B 44, 137 (1981).
75. J. Robertson, Philos. Mag. B 66, 615 (1992).
76. A. Gangopadhyay, Tribol. Lett. 5, 25 (1998).
77. K. Miyoshi and D. H. Buckley, ASLE Trans. 22, 79 (1979).
78. K. Miyoshi, Surf. Coat. Technol. 43/44, 799 (1990).
79. T. Hioki, Y. Itoh, A. Itoh, S. Hibi, and J. Kawamoto, Surf. Coat. Technol. 46, 233 (1991).