Chemical and spectroscopic aspects of polymer ablation: Special features and novel directions

Chemical Reviews

Volumn 103, Issue 2, 2003, Pages 453-485

  Lippert, Thomas ^a   Dickinson, J Thomas ^b  

^a PAUL SCHERRER INSTITUTE   (Switzerland)

^b WASHINGTON STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DECOMPOSITION; FREE ELECTRON LASERS; LASER ABLATION; LASER PULSES; SPECTROSCOPIC ANALYSIS; SYNCHROTRON RADIATION;

POLYMER ABLATION;

ORGANIC POLYMERS;

EID: 0037329823     PISSN: 00092665     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cr010460q     Document Type: Review

References (397)

1. Kawamura, Y.; Toyoda, K.; Namba, S. Appl. Phys. Lett. 1982, 40, 374.
2. Srinivasan, R.; Mayne-Banton, S. Appl. Phys. Lett. 1982, 41, 576.
3. Bäuerle, D. Laser Processing and Chemistry; 3rd ed.; Springer-Verlag: Berlin, 2000.
4. Patel, R. S.; Wassick, T. A. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 1997, 2991, 217.
5. Aoki, H. U.S. Patent 5736999, 1998.
6. Dyer, P. E. Photochemical Processing of Materials; Academic Press: London, 1992; p 359.
7. Lazare, S.; Granier, V. Laser Chem. 1989, 10, 25.
8. Srinivasan, R.; Braren, B. Chem. Rev. 1989, 89, 1303.
9. Babu, S. V.; D'Couto, G. C.; Egitto, F. D. J. Appl. Phys. 1992, 692.
10. Himmelbauer, M.; Arenholz, E.; Bäuerle, D. Appl. Phys. A 1996, 63, 87.
11. Paraskevopoulos, G.; Singleton, D. L.; Irwin, R. S.; Taylor, R. S. J. Appl. Phys. 1987, 70, 1938.
12. Taylor, R. S.; Singleton, D. L.; Paraskevopoulos, G. Appl. Phys. Lett. 1987, 50, 1779.
13. Küper, S.; Brannon, J.; Brannon, K. Appl. Phys. A 1993, 56, 43.
14. Lippert, T.; David, C.; Dickinson, J. T.; Hauer, M.; Kogelschatz, U.; Langford, S. C.; Nuyken, O.; Phipps, C.; Robert, J.; Wokaun, A. J. Photochem. Photobiol. A Chem. 2001, 145, 145.
15. Ball, Z.; Hopp, B.; Csete, M.; Ignacz, F.; Racz, B.; Sauerbrey, R.; Szabo, G. Appl. Phys. A 1995, 61, 547.
16. Ball, Z.; Hopp, B.; Csete, M.; Ignacz, F.; Racz, B.; Szabo, G.; Sauerbrey, R. Appl. Phys. A 1995, 61, 575.
17. Lippert, T.; Bennett, L. S.; Nakamura, T.; Niino, H.; Ouchi, A.; Yabe, A. Appl. Phys. A 1996, 63, 257.
18. Srinivasan, R.; Hall, R. R.; Loehle, W. D.; Wilson, W. D.; Allbee, D. C. J. Appl. Phys. 1995, 78, 4881.
19. Lippert, T.; Nakamura, T.; Niino, H.; Yabe, A. Macromolecules 1996, 29, 6301.
20. Lu, J.; Deshpande, S. V.; Gulari, E.; Kanicki, J.; Warren, W. L. J. Appl. Phys. 1996, 80, 5028.
21. Schumann, M.; Sauerbrey, R.; Smayling, M. Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 428.
22. Wei, J.; Hoogen, N.; Lippert, T.; Nuyken, O.; Wokaun, A. J. Phys. Chem. B 2001, 105, 1267.
23. Arnold, N.; Luk'yanchuk, B.; Bityurin, N. Appl. Surf. Sci. 1998, 127, 184.
24. Schmidt, H.; Ihlemann, J.; Wolff-Rottke, B.; Luther, K.; Troe, J. J. Appl. Phys. 1998, 83, 5458.
25. Lazare, S.; Granier, V. Chem. Phys. Lett. 1990, 168, 593.
26. Deutsch, T. F.; Geis, M. W. J. Appl. Phys. 1988, 54, 7201.
27. Andrew, J. E.; Dyer, P. E.; Foster, D.; Key, P. H. Appl. Phys. Lett. 1983, 43, 717.
28. Sutcliffe, E.; Srinivasan, R. J. Appl. Phys. 1986, 60, 3315.
29. Mahan, G. D.; Cole, H. S.; Liu, Y. S.; Philipp, H. R. Appl. Phys. Lett. 1988, 53, 2377.
30. Pettit, G. H.; Sauerbrey, R. Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 793.
31. Pettit, G, H.; Ediger, M. N.; Hahn, D. W.; Brinson, B. E.; Sauerbrey, R. Appl. Phys. A 1994, 58, 573.
32. Pettit, G. H.; Sauerbrey, R., Appl. Phys. A 1993, 56, 51.
33. Cain, S. R.; Burns, F. C.; Otis, C. E. J. Appl. Phys. 1992, 71, 4107,
34. Cain, S. J. Phys. Chem. 1993, 97, 7572.
35. D'Couto, G. C.; Babu, S. V. J. Appl. Phys. 1994, 75, 3052.
36. Luk'yanchuk, B.; Bityurin, N.; Himmelbauer; M.; Arnold, N. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 1997, 122, 347.
37. Srinivasan, V.; Smrtic, M. A.; Babu, S. V. J. Appl. Phys. 1986, 59, 3861.
38. Luk'yanchuk, B.; Bityurin, N.; Anisimov, S.; Bäuerle, D. Appl. Phys. A 1993, 57, 367.
39. Luk'yanchuk, B.; Bityurin, N.; Anisimov, S.; Arnold, N.; Bäuerle, D. Appl. Phys. A 1996, 62, 397.
40. Bityurin, N.; Malyshev, A.; Luk'yanchuk, B.; Anisimov, S.; Bäuerle, D. Proc. SPIE, 1996; p 103.
41. Bityurin, N. Appl. Surf. Sci. 1999, 138-139, 354.
42. Treyz, G. V.; Scarmozzoni, R.; Osgood Jr., R. M. Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 346.
43. Anisimov, S. I.; Khokhlov, V. A. Instabilities in Laser-Matter Interaction; CRC-Press: Boca Raton, 1995.
44. Arnold, N.; Bityurin, N. Appl. Phys. A 1999, 68, 615.
45. Srinivasan, R. Appl. Phys. A 1993, 56, 417.
46. Fujiwara, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H. J. Phys. Chem. 1995, 99, 11844.
47. Fukumura, H.; Takahashi, E.-i.; Masuhara, H. J. Phys. Chem. 1995, 99, 750.
48. Fukumura, H.; Mibuka, N.; Eura, S.; Masuhara, H.; Nishi, N. J. Phys. Chem. 1993, 97, 13761.
49. Fujiwara, H.; Hayashi, T.; Fukumura, H.; Masuhara, H. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 2451.
50. Fukumura, H.; Masuhara, H. Chem. Phys. Lett. 1994, 221, 373.
51. Wu, X.; Sadeghi, M.; Vertes, A. J. Phys. Chem. B 1998, 102, 4770.
52. Dutkiewicz, L.; Johnson, R. E.; Vertes, A.; Pedrys, R. J. Phys. Chem. A 1999, 103, 2925.
53. Chang, T.-C.; Dlott, D. J. Phys. Chem. 1989, 90, 3590.
54. Zhigilei, L. V.; Kodali, P. B. S.; Garrison, B. J. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 2028.
55. Zhigilei, L. V.; Kodali, P. B. S.; Garrison, B. J. J. Phys. Chem. B 1998, 102, 2845.
56. Zhigilei, L. V.; Garrison, B. J. J. Appl. Phys. 2009, 88, 1281.
57. Zhigilei, L. V.; Kodali, P. B. S.; Garrison, B. J. Chem. Phys. Lett. 1997, 276, 269.
58. Zhigilei, L. V.; Garrison, B. J. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 551.
59. Zhigilei, L. V.; Garrison, B. J. Rapid Commun. Mass Spectrom. 1998, 12, 1273.
60. Zhigilei, L. V.; Garrison, B. J. Appl. Phys. Lett. 1999, 74, 1341.
61. Zhigilei, L. V.; Garrison, B. J. Appl. Phys. A 1999, 69, S75.
62. Afanasov, P. A.; Nedialkov, N. N.; Imamova, S. E.; Ruf, A.; Hugel, H.; Dausinger, F.; Berger, P. Appl. Surf. Sci. 2002, 186, 369.
63. Smirnova, J. A.; Zhigilei, L. V.; Garrison, B. J. Comput. Phys. Commun. 1999, 118, 11.
64. Dekel, E.; Eliezer, S.; Henis, Z.; Moshe, E.; Ludmirsky, A.; Goldberg, I. B. J. Appl. Phys. 1998, 84, 4851.
65. Lippert, T.; Wokaun, A.; Stebani, J.; Nuyken, O.; Ihlemann, J. J. Phys. Chem. 1993, 97, 12297.
66. Zeifman, M.; Garrison, B. J.; Zhigilei, L. V. J. Appl. Phys. 2002, 92, 2181.
67. Lippert, T.; Yabe, A.; Wokaun, A. Adv. Mater. 1997, 9, 105.
68. Lippert, T.; Stebani, J.; Ihlemann, J.; Nuyken, O.; Wokaun, A. Angew. Makromol. Chem. 1993, 213, 127.
69. Koubenakis, A.; Labrakis, J.; Georgiou, S. Chem. Phys. Lett. 2001, 346, 54.
70. Koubenakis, A.; Elmioti, T.; Georgiou, S. Appl. Phys. A 1999, 69, S637.
71. Georgiou, S.; Keubenakis, A.; Labrakis, J.; Lassithotaki, M. J. Chem. Phys. 1998, 109, 8591.
72. Koubenakis, A.; Labrakis, J.; Georgiou, S. J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1998, 94, 3427.
73. Atanassiou, A.; Andreou, E.; Fragouli, D.; Anglos, D.; Georgiou, S.; Fotakis, C. J. Photochem. Photobiol. A: Chem. 2001, 145, 229.
74. Atanassiou, A.; Lassithotaki, M.; Anglos, D.; Georgiou, S.; Fotakis, C. Appl. Surf. Sci. 2909, 154-155, 89.
75. Atanassiou, A.; Andreou, E.; Anglos, D.; Georgiou, S.; Fotakis, C. Appl. Phys. A 1999, 69, S285.
76. Lassithotaki, M.; Atanassiou, A.; Anglos, D.; Georgiou, S.; Fotakis, C. Appl. Phys. A 1999, 69, 363.
77. Lazare, S.; Granier, V. J. Appl. Phys. 1988, 63, 2110.
78. Kukreja, L. M.; Hess, P. Appl. Surf. Sci. 1994, 79-80, 158.
79. Sell, J. A.; Heffelfinger, D.; Ventzek, P. L. G.; Gilgenbach, R. L. J. Appl. Phys. 1991, 69, 1330.
80. Efthimiopoulos, T.; Kritsotakis, E.; Kiagias, H.; Savvakis, C.; Bertachas, Y. J. Phys. D: Appl. Phys. 1998, 31, 2648.
81. Zweig, A. D.; Venugopalan, V.; Deutsch, T. F. J. Appl. Phys. 1993, 74, 4181.
82. Diaci, J.; Mozina, J. Appl. Phys. A 1992, 55, 352.
83. Wang, J.; Niino, H.; Yabe, A. Jpn. J. Appl. Phys. 1999, 38, 871.
84. Lengl, G.; Plettl, A.; Ziemann, P.; Spatz, J. P.; Moeller, M. Appl. Phys. A 2001, 72, 679.
85. Sylvain, J.-F.; Niino, H.; Ono, S.; Nakaoka, S.; Yabe, A. Appl. Surf. Sci. 1999, 141, 25.
86. One, S.; Nakaoka, S.; Wang, J.; Niine, H.; Yabe, A. Appl. Surf. Sci. 1998, 127-129, 821.
87. Low, D. K. Y.; Schmidt, M. J. J.; Li, L. Appl. Surf. Sci. 2000, 168, 170.
88. Slocombe, A.; Taufik, A.; Li, L. Appl. Surf. Sci. 2000, 168, 17.
89. Davis, C. R.; Snyder, R. W.; Egitto, F. D.; D'Couto, G. C.; Babu, S. V. J. Appl. Phys. 1994, 76, 3049.
90. Lippert, T.; Kunz, T.; Hahn, C.; Wokaun, A. Recent Res. Devel. Macromol. Res. 1997, 2, 121.
91. Kunz, T.; Stebani, J.; Ihlemannn, J.; Wokaun, A. Appl. Phys. A 1998, 67, 347.
92. Suzuki, K.; Matsuda, M.; Ogino, T.; Hayashi, T.; Terabayashi, T.; Amemiya, K. Proc. SPIE, 1997; p 98.
93. Hayashi, N.; Suzuki, K.; Matsuda, M.; Ogino, T.; Tomita, Y. Proc. SPIE, 1997; p 129.
94. Suzuki, K.; Matsuda, M.; Hayashi, N. Appl. Surf. Sci. 1998, 127-129, 905.
95. Panitz, J.-C.; Lippert, T.; Stebani, J.; Nuyken, O.; Wokaun, A. J. Phys. Chem. 1993, 97, 5246.
96. Lippert, T.; Stebani, J.; Ihlemann, J.; Nuyken, O.; Wokaun, A. Angew. Makromol. Chem. 1993, 206, 97.
97. Stebani, J.; Nuyken, O.; Lippert, T.; Wokaun, A. Makromol Chem. Rapid Commun. 1993, 14, 365.
98. Nuyken, O.; Nobis, M.; Scherer, C.; Ihlemann, J.; Beinhorn, F. Macromol. Mater. Eng. 2090, 275, 1.
99. Nuyken, O.; Scherer, C.; Nobis, M. N.; Ihlemann, J. Polym. Mater. Sci. Eng 1997, 76, 206.
100. Kunz, T.; Hahn, C.; Wokaun, A. Adv. Mater. 1998, 10, 786,
101. Hahn, C.; Kunz, T.; Dahn, U.; Nuyken, O.; Wokaun, A. Appl. Surf. Sci. 1998, 127-129, 899.
102. Nuyken, O.; Dahn, U.; Wokaun, A.; Kunz, T.; Hahn, C.; Hessel, V.; Landsiedel, J. Acta Polym. 1998, 49, 427.
103. Nuyken, O.; Dahn, U.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Hesch, K.; Landsiedel, J.; Diebel, J. Chem. Mater. 1997, 9, 485.
104. Andrews, J. E.; Dyer, P. E.; D., F.; Key, P. H. Appl. Phys. Lett. 1983, 43, 717.
105. Srinivasan, R.; Braren, B. J. Polym. Sci. 1984, 22, 2601.
106. Lippert, T.; Ortelli, E.; Panitz, J.-C.; Raimondi, F.; Wambach, J.; Wei, J.; Wokaun, A. Appl Phys. A 1999, 69, S651.
107. Raimondi, F.; Abolhassani, S.; Brütsch, R.; Geiger, F.; Lippert, T.; Wambach, J.; Wei, J.; Wokaun, A. J. Appl. Phys. 2000, 88, 3659.
108. Lippert, T.; Bennett, L. S.; Nakamura, T.; Niino, H.; Yabe, A. Appl. Surf. Sci. 1996, 96-98, 601.
109. Lippert, T.; Dickinson, J. T.; Hauer, M.; Kopitkovas, G.; Langford, S. C.; Masuhara, H.; Nuyken, O.; Robert, J.; Salmio, H.; Tada, T.; Tomita, K.; Wokaun, A. Appl. Surf. Sci. 2002, 197-198, 746.
110. Srinivasan, R.; Braren, B.; Casey, K. G.; Yeh, M. J. Appl. Phys. 1990, 67, 1604.
111. Furutani, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H. J. Phys. Chem. 1996, 100, 6871.
112. Kim, H.; Postlewaite, J. C.; Zyung, T.; Dlott, D. D. J. Appl. Phys. 1988, 64, 2955.
113. Bennett, L. S.; Lippert, T.; Furutani, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H. Appl. Phys. A 1996, 63, 327.
114. Hauer, M.; Funk, D. J.; Lippert, T.; Wokaun, A. Appl. Phys. A, in press.
115. Furutani, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 3413.
116. Furutani, H.; Fukumura, H.; Masuhara, H.; Lippert, T.; Yabe, A. J. Phys. Chem. A 1997, 101, 5742.
117. Hauer, M.; Funk, D. J.; Lippert, T.; Wokaun, A. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 2002, 4760, 259.
118. Masabuchi, T.; Tada, T.; Nomura, E.; Hatanaka, K.; Fukumura, H.; Masuhara, H. J. Phys. Chem. A 2002, 106, 2180.
119. Lippert, T.; David, C.; Hauer, M.; Masabuchi, T.; Masuhara, H.; Nomura, E.; Nuyken, O.; Phipps, C.; Robert, J.; Tada, T.; Tomita, K.; Wokaun, A. Appl. Surf. Sci. 2002, 186, 14.
120. Lippert, T.; Wokaun, A.; Langford, S. C.; Dickinson, J. T. Appl. Phys. A 1999, 69, S655.
121. Lippert, T.; Langford, S. C.; Wokaun, A.; Georgiou, S.; Dickinson, J. T. J. Appl. Phys. 1999, 86, 7116.
122. Nuyken, O.; Stebani, J.; Lippert, T.; Wokaun, A.; Stasko, A. Macromol. Chem. Phys. 1995, 196, 751.
123. Langford, S. C.; Dickinson, J. T.; Hauer, M.; Lippert, T.; Wokaun, A., submitted.
124. Lippert, T.; Gerber, T.; Wokaun, A.; Funk, D. J.; Fukumura, H.; Goto, M. Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 1018.
125. David, C.; Wei, J.; Lippert, T.; Wokaun, A. Microlectr. Eng. 2001, 57-58, 453.
126. Lippert, T.; Wei, J.; Wokaun, A.; Hoogen, N.; Nuyken, O. Appl. Surf. Sci. 2000, 168, 270.
127. Lippert, T.; Wei, J.; Wokaun, A.; Hoogen, N.; Nuyken, O. Macromol. Mater. Eng. 2000, 283, 140.
128. Bachman, F. Chemtronics 1989, 4, 149.
129. Lankard, J. R.; Wolbold, G. Appl. Phys. A 1992, 54, 355.
130. Beuhler, A.; Tungare, A.; Savic, J. Circuit World 1998, 24, 36.
131. Inagaki, M.; Takichi, T.; Hishiyama, Y.; Obslei, A. Chemistry and Physics of Carbon; Marcel Dekker: New York, 1999; p 245.
132. Schnyder, B.; Wambach, J.; Kunz, T.; Hahn, C.; Koetz, R. J. Electron. Spectrosc. 1999, 105, 113.
133. Wesner, D. A.; Aden, M.; Gottmann, J.; Husmann, A.; Kreutz, E. W. Fresenius J. Anal. Chem. 1999, 105, 113.
134. Zeng, K. C.; Yung, K. C.; Xie, C. S. Surf. Coat. Technol. 2002, 153, 210.
135. Yung, K. C.; Zeng, D. W.; Yue, T. M. Appl. Surf. Sci. 2001, 173, 193.
136. Zeng, D. W.; Yung, K. C. Appl. Surf. Sci. 2001, 180, 280.
137. Ortelli, E. E.; Geiger, F.; Lippert, T.; Wei, J.; Wokaun, A. Macromolecules 2000, 33, 5090.
138. Ortelli, E. E.; Geiger, F.; Lippert, T.; Wokaun, A. Appl. Spectrosc. 2001, 55, 412.
139. Srinivasan, R.; Braren, B.; Seeger, D. E.; Dreyfus, R. W. Macromolecules 1986, 19, 916.
140. Singleton, D. L.; Paraskevopoulos, G.; Irwin, R. S. J. Appl. Phys. 1989, 66, 3324.
141. Lazare, S.; Guan, W.; Drilhole, D. Appl. Surf. Sci. 1996, 96-98, 605.
142. Schumann, M.; Sauerbrey, R.; Smayling, M. C. Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 428.
143. Feurer, T.; Sauerbrey, R.; Smayling, M. C.; Story, B. J. Appl. Phys. A 1993, 56, 275.
144. Philips, H. M.; Wahl, S.; Sauerbrey, R. Appl. Phys. Lett. 1995, 62, 2572.
145. Walther, H. G.; Kitzing, T.; Bozoki, Z.; Liakhou, G. L.; Paloni, S. J. Appl. Phys. 1999, 85, 7540.
146. Qin, Z. Y.; Du, B. Y.; Zhang, J.; He, T. B.; Qin, L.; Zhang, Y. S. Appl. Phys. A 2001, 72, 711.
147. Ball, Z.; Feurer, T.; Callahan, D. L.; Sauerbrey, R. Appl. Phys. A 1996, 62, 203.
148. Gu, J.; Tay, E.; Lim, P. K.; Lim, P. Appl. Phys. A 2002, 74, 487.
149. Reyna, L. G.; Sobehart, J. R. J. Appl. Phys. 1995, 78, 3423.
150. Burns, F. C.; Cain, S. R. J. Phys. D: Appl. Phys. 1996, 29, 1349.
151. Efthimiopoulos, T.; Kiagia, C.; Heliotis, G.; Helidonis, E. Can. J. Phys. 2000, 78, 509.
152. Costela, A.; Figuera, J. M.; Florido, F.; Garcia-Moreno, I.; Collar, E. P.; Sastre, R. Appl. Phys. A 1995, 60, 261.
153. Bityurin, N.; Muraviov, S.; Alexandrov, A.; Malyshev, A. Appl. Surf. Sci. 1997, 109-110, 270.
154. Schmidt, H.; Luther, K.; Troe, J. Appl. Surf. Sci. 1999, 138-139, 102.
155. Lade, R. J.; Morley, I. W.; May, P. W.; Rosser, K. N.; Ashfold, M. N. R. Diamond Relat. Mater. 1999, 8, 1654.
156. Küper, S.; Stuke, M. Appl. Phys. A 1989, 49, 211.
157. Srinivasan, R.; Braren, B.; Casey, K. G.; Yeh, M. J. Appl. Phys. 1990, 68, 1842.
158. Blanchet, G. C.; Cotts, P.; Fincher Jr., C. R. J. Appl. Phys. 2000, 88, 2975.
159. Lippert, T.; Webb, R. L.; Langford, S. C.; Dickinson, J. T. J. Appl. Phys. 1999, 85, 1838.
160. Baker, A. K.; Dyer, P. E. Appl. Phys. A 1993, 57, 543.
161. Hopp, B.; Csete, M.; Szabo, G.; Bor, Z. Appl. Phys. A 1995, 61, 339.
162. Srinivasan, R. J. Appl. Phys. 1993, 73, 2743.
163. Hare, D. E.; Dlott, D. D. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 715.
164. Hare, D. E.; Franken, J.; Dlott, D. D. J. Appl. Phys. 1995, 77, 5950.
165. Dyer, P. E.; Oldershaw, G. A.; Schudel, D. J. Phys. D: Appl. Phys. 1992, 25, 323.
166. Wagner, F.; Hoffmann, P. Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 627.
167. Wagner, F.; Hoffmann, P. Appl. Surf. Sci. 2000, 168, 158.
168. Wagner, F.; Hoffmann, P. Appl. Phys. A 1999, 69, S841.
169. Mansour, N.; Ghaleh, K. J. Appl. Phys. A 2002, 74, 63.
170. Klose, S.; Arenholz, E.; Heitz, J.; Bäuerle, D. Appl. Phys. A 1999, 69, S487.
171. Srinivasan, R.; Lazare, S. J. Phys. Chem. 1986, 90, 2124.
172. Lippert, T.; Zimmermann, F.; Wokaun, A. Appl. Spectrosc. 1993, 47, 1931.
173. Chtaib, M.; Roberfroid, E. M.; Novis, Y.; Pireaux, J. J.; Caudano, R.; Lutgen, P.; Feyder, G. J. Vac. Sci. Technol. 1989, A7, 3233.
174. Kokai, F.; Saito, H.; Fujioka, T. Macromolecules 1990, 23, 674.
175. Dyer, P. E.; Oldershaw, G. A.; Sidhu, J. J. Phys. Chem. 1991, 95, 10004.
176. Lazare, S.; Hoh, P. D.; Baker, J. M.; Srinivasan, R. J. Am. Chem. Soc. 1984, 106, 4288.
177. Watanabe, H.; Yamamoto, M. J. Appl. Polym. Sci. 1999, 71, 2027.
178. Rossier, J. S.; Bercier, P.; Scwarz, A.; Loridant, S.; Girault, H. H. Langmuir 1999, 15, 5173.
179. Huber, N.; Gruber, J.; Arnold, N.; Heitz, J.; Bäuerle, D. Europhys. Lett. 2000, 51, 674.
180. Blanchet, G. B.; Fincher Jr., C. R. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 1311.
181. Dickinson, J. T.; Shin, J.-J. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 1994, 91, 672.
182. Blanchet, G. B.; Fincher Jr., C. R. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 929.
183. Haba, B.; Morishige, Y.; Kishida, S. Appl. Phys. A 1995, 60, 27.
184. Skordoulis, C. D.; Makropoulou, M. I.; Bolovinos, A. L.; Serafetinides, A. A. Laser Med. Sci. 1997, 12, 313.
185. Smausz, T.; Kresz, N.; Hopp, B. Appl. Surf. Sci. 2001, 177, 66.
186. Hamada, Y.; Kawanishi, S.; Nishii, M.; Sugimoto, S.; Yamamoto, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 4764.
187. Izumi, Y.; Kawanishi, S.; Hara, S.; Yoshikawa, D.; Yamamoto, T. Bull. Chem. Soc. Jpn. 1998, 71, 2721.
188. Niino, H.; Okano, H.; Inui, K.; Yabe, A. Appl. Surf. Sci. 1997, 109-110, 259.
189. Niino, H.; Yabe, A. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 3527.
190. Okoshi, M.; Murahara, M.; Toyoda, K. J. Mater. Res. 1992, 7, 1912.
191. Murahara, M.; Toyoda, K. J. Adhes. Sci. Technol. 1995, 9, 1601.
192. Heitz, J.; Niino, H.; Yabe, A. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 2648.
193. Heitz, J.; Niino, H.; Yabe, A. Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 35, 4110.
194. Matienzo, L. J.; Zimmernmann, J. A.; Egitto, F. D. J. Vac. Sci. Technol A 1994, 12, 2662.
195. Hopp, B.; Smausz, T.; Tombacz, E.; Wittmann, T.; Ignacz, F. Opt. Commun. 2000, 181, 337.
196. Hopp, B.; Smausz, T.; Wittmann, T.; Ignacz, F. Appl. Phys. A 2000, 71, 315.
197. Dyer, P. E.; Karnakis, D. M. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 1344.
198. Feng, Y.; Liu, Z. Q.; Yi, X.-S. Appl. Surf. Sci. 2000, 156, 177.
199. Hopp, B.; Bor, Z.; Homolya, E.; Mihalik, E. Appl. Surf. Sci. 1997, 109-110, 232.
200. Devalckenaere, M.; Jadin, A.; Kolev, K.; Laude, L. D. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 1999, 151, 263.
201. Sabbert, D.; Landsiedel, J.; Bauer, A.-D.; Ehrfeld, W. Appl. Surf. Sci. 1999, 150, 185.
202. Laurens, P.; Sadras, B.; Decobert, F.; Arefei, F.; Amouroux, J. Appl. Surf. Sci. 1999, 138-139, 93.
203. Schmidt, M. J. J.; Li, L.; Spencer, J. T.; Key, P. H. Appl. Surf. Sci. 1999, 138-139, 418.
204. Skordoulis, C. D.; Makropoulou, M.; Serafetinides, A. A. Appl. Surf. Sci. 1995, 86, 239.
205. Laude, L. D.; Soudant, S.; Beauvois, S.; Renaut, D.; Jadin, A. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 1997, 131, 211.
206. Tsuboi, Y.; Goto, M.; Itaya, A. Chem. Lett. 1998, 521.
207. Tsuboi, Y.; Goto, M.; Itaya, A. J. Appl. Phys. 2001, 89, 7917.
208. Tsuboi, Y.; Ikejiri, T.; Yamada, K.; Itaya, A. Appl. Phys. A 2001, 73, 637.
209. Fuhr, G.; Ronacher, B.; Krahe, R.; Fest, S.; Shirley, S. G.; Rogaschewski, S. Appl. Phys. A 1999, 68, 379.
210. Küper, S.; Brannon, J.; Brannon, K. Appl. Phys. A 1993, 57, 255.
211. Okoshi, M.; Kuramatsu, M.; Inoue, N. Jpn. J. Appl. Phys. 2001, 40, L41.
212. Graubner, V.-M.; Jordan, R.; Nuyken, O.; Lippert, T.; Hauer, M.; Schnyder, B.; Wokaun, A. Appl. Surf. Sci. 2002, 197-198, 786.
213. Baumann, R.; Bargon, J. Appl. Surf. Sci. 1996, 106, 287.
214. Van Dyke, L. S.; Brumlik, C. J.; Martin, C. R.; Yu, Z.; Collins, G. J. Synth. Metals 1992, 52, 299.
215. Kay, E. Methods and Materials in Microelectronic Technology; Plenum: New York, 1984.
216. Lippert, T.; Raimondi, F.; Wambach, J.; Wei, J.; Wokaun, A. Appl Phys. A 1999, 63, S291.
217. Abdou, M. S. A.; Xie, Z. W.; Leung, A. M.; Holdcroft, S. Synth. Met. 1992, 52, 159.
218. Wong, T. K. S.; Gao, S.; Hu, X.; Liu, H.; Chan, Y. C.; Lam, Y. L. Mater. Sci. Engin. B 1998, 55, 71.
219. Tsunoda, K.; Ishii, T.; Tezuka, Y.; Yajima, H. J. Photochem. Photobiol. A: Chem. 1997, 106, 21.
220. Tsunoda, K.; Kakinuma, K.; Yajima, H.; Ishii, T. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 3381.
221. Himmelbauer, M.; Arenholz, E.; Bäuerle, D.; Schilcher, K. Appl. Phys. A 1990, 63, 337.
222. Bäuerle, D.; Himmelbauer, M.; Arenholz, E. J. Photochem. Photobiol. A: Chem. 1997, 106, 27.
223. Piglmayer, K.; Arenholz, E.; Ortwein, C.; Arnold, N.; Bäuerle, D. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 847.
224. Hansen, S. G.; Robitaille, T. E. J. Appl. Phys. 1988, 64, 2122.
225. Kokai, F.; Koga, Y.; Kakudate, Y.; Kawaguchi, M.; Fujiwara, S.; Kubota, M.; Fukuda, M. Appl. Phys. A 1994, 59, 299.
226. Estler, R. C.; Nogar, N. S. Appl. Phys, Lett. 1986, 49, 1175.
227. Krajnovich, D. J. J. Phys. Chem. A 1997, 101, 2033.
228. Dickinson, J. T.; Shin, J.-J.; Jiang, W.; Norton, M. G. J. Appl. Phys. 1993, 74, 4729.
229. Blanchet, G. B.; Fincher, J. C. R. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 929.
230. Hansen, S. G. J. Appl. Phys. 1989, 66, 1411.
231. Creasy, W. R.; Brenna, J. T. Chem. Phys. 1988, 126, 453.
232. Larciprete, R.; Stuke, M. Appl. Phys. B 1987, 42, 181.
233. Shibagaki, K.; Takada, N.; Sasaki, K.; K., K. J. Appl. Phys. 2002, 91, 2449.
234. Tsunekawa, M.; Nishio, S.; Sato, H. J. Appl. Phys. 1994, 76, 5598.
235. Tsunekawa, M.; Nishio, S.; Sato, H. Jpn. J. Appl. Phys. 1995, 34, 218.
236. Danielzik, B.; Fabricius, N.; Röwekamp, M.; Linde, D. v. d. Appl. Phys. Lett 1986, 48, 212.
237. Feldmann, D.; Kutzner, J.; Laukemper, J.; MacRobert, S.; Welge, K. H. Appl. Phys. B 1987, 44, 81.
238. Cefalas, A. C.; Sarantopoulou, E.; Argitis, P.; Gogolides, E. Appl Phys. A 1999, 69, S929.
239. Cefalas, A. C.; Vassilopoulos, N.; Sarantopoulou, E.; Kollia, Z.; Skordoulis, C. Appl. Phys. A 2000, 70, 21.
240. Hauer, M.; Dickinson, J. T.; Langford, S. C.; Lippert, T.; Wokaun, A. Appl. Surf. Sci. 2002, 197-198, 791.
241. Brannon, J. H.; Lankard, J. R.; Baise, A. I.; Burns, F.; Kaufman, J. J. Appl. Phys. 1985, 58, 2036.
242. Kelly, R. J. Chem. Phys. 1988, 92, 5047.
243. Grivas, C.; Niino, H.; Yabe, A. Appl Phys. A 1999, 69, S159.
244. Kelly, R.; Rothenberg, J. E. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 1985, 7-8, 755.
245. Kelly, R.; Dreyfus, R. W. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 1988, 32, 341.
246. Campbell, E. E. B.; Ulmer, G.; Bues, K.; Hertel, I. V. Appl Phys. A 1989, 48, 543.
247. Campbell, E. E. B.; Ulmer, G.; Hasselberger, B.; Hertel, I. V. Appl. Surf. Sci. 1989, 43, 346.
248. Press, W. H.; Flannery, B. P.; Teukolsky, S. A.; Vetterling, W. T. Numerical Recipies in Pascal; Cambridge University: Cambridge, 1989.
249. Dyer, P. E.; Jenkins, S. D.; Sidhu, J. Appl. Phys. Lett. 1986, 49, 453.
250. Dyer, P. E.; Jenkins, S. D.; Sidhu, J. Appl. Phys. Lett. 1988, 52, 1880.
251. Hopp, B.; Bor, Z.; Homolya, E.; Mihalik, E. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 1998, 3423, 389.
252. Wei, J.; Hoogen, N.; Lippert, T.; Hahn, C.; Nuyken, O.; Wokaun, A. Appl. Phys. A 1999, 69, S849.
253. Novis, Y.; Pireaux, J. J.; Brezini, A.; Petit, E.; Caudano, R.; Lutgen, P.; Feyder, G.; Lazare, S. J. Appl. Phys. 1988, 64, 365.
254. Bahners, T.; Schollmeyer, E. J. Appl. Phys. 1989, 66, 1884.
255. Arenholz, E.; Wagner, M.; Heitz, J.; Bäuerle, D. Appl. Phys. A 1992, 55, 119.
256. Tonyali, K.; Jensen, L. C.; Dickinson, J. T. J. Vac. Sci. Technol. A 1988, 6, 941.
257. Dyer, P. E.; Farley, R. J. Appl. Phys. Lett. 1990, 57, 765.
258. Niino, H.; Yabe, A. J. Photochem. Photobiol. A: Chem. 1992, 65, 303.
259. Emel'yanov, V. I.; Eriomin, K. I. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 1998, 3343, 1056.
260. Heitz, J.; Arenholz, E.; Bäuerle, D.; Schilcher, K. Appl. Surf. Sci. 1994, 81, 108.
261. Heitz, J.; Arenholz, E.; Bäuerle, D.; Hibst, H.; Hagemeyer, A.; Cox, G. Appl. Phys. A 1993, 56, 329.
262. Beleznai, C.; Vajtai, R.; Nanai, L. Fractals 1997, 5, 275.
263. Bolle, M.; Lazare, S.; Le Blanc, M.; Wilmes, A. Appl. Phys. Lett. 1992, 60, 674.
264. Bolle, M.; Lazare, S. J. Appl. Phys. 1993, 73, 3516.
265. Bolle, M.; Lazare, S. Appl. Surf. Sci. 1993, 65-66, 349.
266. Bolle, M.; Lazare, S. Appl. Surf. Sci. 1993, 69, 31.
267. Niino, H.; Kawabata, Y.; Yabe, A. Jpn. J. Appl. Phys. 1989, 28, L2225.
268. Lazare, S.; Drilhole, D. J. Photochem. Photobiol. A: Chem. 1997, 106, 15.
269. Lazare, S.; Bolle, M.; Cros, A.; Bellard, C. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 1995, 105, 159.
270. Hopp, B.; Csete, M.; Revesz, K.; Vinko, J.; Bor, Z. Appl. Surf. Sci. 1996, 96-98, 611.
271. Csete, M.; Marti, O.; Bor, Z. Appl. Phys. A 2001, 73, 521.
272. Sendova, M.; Hiraoka, H. Jpn. J. Appl. Phys. 1993, 32, 6182.
273. Hiraoka, H.; Lätsch, S.; Sendova, M. J. Photopolym. Sci. Technol. 1994, 7, 299.
274. Hiraoka, H.; Sendova, M. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 563.
275. Hiraoka, H. J. Photochem. Photobiol. A: Chem. 1995, 92, 129.
276. Sendova, M.; Hiraoka, H.; Lee, C.-H. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 7135.
277. Lazare, S.; Benet, P.; Guan, W.; Bolle, M.; Mihailov, S. Excimer Lasers; Kluwer Academic Publishers: Dordrecht, 1994; p 201.
278. Chan, C.-M.; Ko, T.-M.; Hiraoka, H. Surf. Sci. Rep. 1996, 24, 1.
279. Fourrier, T.; Schrems, G.; Muehlberger, T.; Heitz, J.; Arnoild, N.; Bäuerle, D.; Mosbacher, M.; Boneberg, J.; Leiderer, P. Appl. Phys. A 2001, 72, 1.
280. Gerenser, L. J. Metallization of Polymers; American Chemical Society: Washington, DC, 1990; p 443.
281. Ehrlich, D. J.; Tsao, J. Y. Laser Microfabrication: Thin Film Processes and Lithography; Academic Press: London, 1989.
282. Bauer, A.; Ganz, J.; Hesse, K.; Koehler, E. Appl. Surf. Sci. 1990, 46, 113.
283. Liebel, G. Galvanotechnik 1988, 79, 2883.
284. Hiraoka, H.; Lazare, S. Appl. Surf. Sci. 1990, 46, 246.
285. Wesner, D. A.; Weichenhain, R.; Pfleging, W.; Horn, H.; Kreutz, E. W. Fresenius J. Anal. Chem. 1997, 358, 248.
286. Horn, H.; Beil, S.; Wesner, D. A.; Weichenhein, R.; Kreutz, E. W. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 1999, 151, 279.
287. Zhao, G.; Philips, H. M.; Zheng, H.; Tam, S.; Li, W.; Wen, G.; Gong, Z,; Lam, Y. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 2000, 3933, 505.
288. Petit, S.; Laurens, P.; Amouroux, J.; Arefi-Khonsari, F. Appl. Surf. Sci. 2000, 168, 300.
289. Lazare, S.; Benet, P. J. Appl. Phys. 1993, 74, 4953.
290. Laurens, P.; Sadras, B.; Decobert, F.; Arefi-Khonsari, F.; Amouroux, J. Internat. J. Adhes. Adhes. 1998, 18, 19.
291. Watanabe, H.; Takata, T. Angew. Makromol. Chem. 1996, 235, 95.
292. Catry, C.; Jeuris, K.; Jackers, C.; Hofkens, J.; Bastin, L.; Gensch, T.; Grim, P. C. M.; De Schryver, F. C.; Van Damme, M. Langmuir 1999, 15, 1364.
293. Niino, H.; Yabe, A. Appl. Surf. Sci. 1996, 96-98, 572.
294. Niino, H.; Yabe, A. J. Photochem. Photobiol. A: Chem. 1997, 106, 9.
295. Srinivasan, R.; Lazare, S. Polymer 1985, 26, 1297.
296. Vasilets, V. N.; Yuranova, T. I.; Ponomarev, A. N. J. Photopolym. Sci. Technol. 1994, 7, 309.
297. Vasilets, V. N.; Nakamura, K.; Uyama, Y.; Ogata, S.; Ikada, Y. Polymer 1998, 39, 2875.
298. Vasilets, V. N.; Hirata, I.; Iwata, H.; Ikada, Y. J. Polym Sci., Part A: Polym. Chem. 1998, 36, 2215.
299. Zhang, J.-Y.; Boyd, I. W.; Esrom, H. Surf. Interface Anal. 1996, 24, 718.
300. Zhang, J.-Y.; Esrom, H.; Kogelschatz, U.; Emig, G. Appl. Surf. Sci. 1993, 69, 299.
301. Srinivasan, R.; Leigh, W. J. J. Am. Chem. Soc. 1982, 104, 6784.
302. Srinivasan, R. Polymer 1982, 23, 1863.
303. Shirai, M.; Yamamoto, T.; Tsunooka, M. Polym. Degrad. Stab. 1999, 63, 481.
304. Shinozuka, T.; Shirai, M.; Tsunooka, M. J. Photopolym. Sci. Technol. 2000, 13, 751.
305. Fuchs, F.; Goetzberger, O.; Henck, R.; Fogarassy, E. Appl. Phys. A 1995, 60, 505.
306. Srinivasan, R. Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 2895.
307. Srinivasan, R. J. Appl. Phys. 1992, 72, 1651.
308. Srinivasan, R. Appl. Phys. A 1992, 55, 269.
309. Srinivasan, R. J. Appl. Phys. 1991, 70, 7588.
310. Bozhevolnyi, S. I.; Potemkin, I. V.; Svetovoy, V. B. J. Appl. Phys. 1992, 71, 2030.
311. Bozhevolnyi, S. I.; Potemkin, I. V. J. Phys. D: Appl. Phys. 1994, 27, 19.
312. Bonlie, J. D.; Patterson, F.; Price, D.; White, B.; Springer, P. Appl. Phys. B 2000, 70, S155.
313. Bloembergen, N. IEEE J. Qaunt. Electron. 1974, QE-10, 375.
314. Stuart, B. C.; Feit, M. D.; Rubenchik, A. M.; Shore, B. W.; Perry, M. D. Phys. Rev. Lett. 1995, 74, 2248.
315. Haight, R.; Hayden, D.; Longo, P.; Neary, T.; Wagner, A. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 1998, 3546, 477.
316. Shani, Y.; Melnick, I.; Yoffe, S.; Sharon, Y.; Lieberman, K.; Terkel, H. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 1998, 3546, 112.
317. Srinivasan, R.; Sutcliffe, E.; Braren, B. Appl. Phys. Lett. 1987, 51, 1285.
318. Küper, S.; Stuke, M. Appl. Phys. B 1987, 44, 199.
319. Küper, S.; Stuke, M. Appl. Phys. Lett. 1989, 54, 4.
320. Küper, S.; Stuke, M. Mater. Res. Soc. Symp Proc. 1989, 129, 375.
321. Preuss, S.; Späth, M.; Zhang, Y.; Stuke, M. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 3049.
322. Preuss, S.; Späth, M.; Stuke, M. Microelectron. Eng. 1994, 25, 313.
323. Kautek, W.; Mitterer, S.; Krüger, J.; Husinsky, W.; Grabner, W. Appl. Phys. A 1994, 58, 513.
324. Kumagai, H.; Midorikawa, K.; Toyoda, K.; Nakamura, S.; Okamoto, T.; Obara, M. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 1850.
325. Nakamura, S.; Midorikawa, K.; Kumagai, H.; Obara, M.; Toyoda, K. Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 35, 101.
326. Zhang, Y.; Lowe, R. M.; Harvey, E.; Hannaford, P.; Endo, A. Appl. Surf. Sci. 2002, 186, 345.
327. Serafetinides, A. A.; Skordoulis, C. D.; Makropoulou, M. I.; Kar, A. K. Appl. Surf. Sci. 1998, 135, 276.
328. Serafetinides, A. A.; Skordoulis, C. D.; Makropoulou, M. I.; Kar, A. K. Appl. Surf. Sci. 2001, 180, 42.
329. Baudach, S.; Bonse, J.; Kautek, W. Appl. Phys. A 1999, 69, S395.
330. Baudach, S.; Bonse, J.; Krüger, J.; Kautek, W. Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 555.
331. Bonse, J.; Baudach, S.; Krüger, J.; Kautek, W. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 2000, 4065, 161.
332. Baudach, S.; Krüger, J.; Kautek, W. Rev. Laser Engin. 2001, 29, 705.
333. Heitz, J.; Arenholz, E.; Bäuerle, D.; Sauerbrey, R.; Phillips, H. M. Appl. Phys. A 1994, 59, 289.
334. Niino, H.; Ihlemann, J.; Ono, S.; Yabe, A. J. Photopolym Sci. Technol. 2000, 13, 167.
335. Niino, H.; Yabe, A. J. Photopolym Sci. Technol. 2001, 14, 197.
336. Yamasaki, K.; Juodkazis, S.; Lippert, T.; Watanabe, M.; Matsuo, S.; Misawa, H. Appl. Phys. A 2003, 76, 325.
337. Hopp, B.; Toth, Z.; Gal, K.; Mechler, A.; Bor, Z.; Moustaizis, S. D.; Georgiou, S.; Fotakis, C. Appl. Phys. A 1999, 69, S191.
338. Toth, Z.; Hopp, B.; Mechler, A.; Bor, Z.; Moustaizis, S. D.; Athanassiou, A.; Georgiou, S.; Kalpouzos, C.; Fotakis, C. Laser Phys. 2000, 10, 241.
339. Hosokawa, Y.; Yashiro, M.; Asahi, T.; Masuhara, H. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 2001, 4274, 78.
340. Hosokawa, Y.; Yashiro, M.; Asahi, T.; Masuhara, H.; Kadota, T.; Shirota, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 2001, 40, L1116.
341. Hahn, C.; Lippert, T.; Wokaun, A. J. Phys. Chem. B 1999, 103, 1287.
342. Wen, X.; Tolbert, W.; Dlott, D. D. Chem. Phys. Lett. 1992, 192, 315.
343. Kim, H.; Postlewaite, J. C.; Zhung, T.; Dlott, D. D. Appl. Phys. Lett. 1989, 54, 2274.
344. Zhung, T.; Kim, H.; Postlewaite, J. C.; Dlott, D. D. J. Appl. Phys. 1989, 65, 4548.
345. Wen, X.; Hare, D. E.; Dlott, D. D. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 184.
346. Sandy Lee, I.-Y.; Wen, X.; Tolbert, W. A.; Dlott, D. D.; Doxtader, M.; Arnold, D. R. J. Appl. Phys. 1992, 72, 2440.
347. Hare, D. E.; Franken, J.; Dlott, D. D.; Chronister, E. L.; Flores, J. J. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 3051.
348. Hare, D. E.; Rhea, S. T.; Dlott, D. D.; D'Amato, R. J.; Lewis, T. E. J. Imag. Sci. Technol. 1998, 42, 187.
349. Moore, D. S.; Gahagan, K. T.; Reho, J. H.; Funk, D. J.; Buelow, S. J.; Rabie, R. L.; Lippert, T. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 40.
350. Simon, P.; Bekesi, J.; Doelle, C.; Klein-Wiele, J.-H.; Marowsky, G.; Szatmari, S.; Wellegehausen, B. Appl. Phys. B 2002, 74, S189.
351. Henderson, D.; White, J. C.; Craighead, H. G.; Adesida, I. Appl. Phys. Lett. 1985, 45, 900.
352. Dyer, P. E.; Sidhu, J. J. Opt. Soc. Am. B 1986, 3, 792.
353. Wada, S.; Toshiro, H.; Toyoda, K.; Niino, H.; Yabe, A. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 211.
354. Herman, P. R.; Chen, B.; Moore, J. D. Mater. Res. Soc. Proc. 1993, 285, 163.
355. Herman, P. R.; Chen, B.; Moore, J. D. AIP. Conf. Proc. 1993, 288, 297.
356. Herman, P. R.; Chen, B.; Moore, J. D.; Canaga-Retnam, M. Mater. Res. Soc. Proc. 1992, 236, 53.
357. Costela, A.; Garcia-Moreno, I.; Florido, F.; Figuera, J. M.; Sastre, R.; Hooker, S. M.; Cashmore, J. S.; Webb, C. E. J. Appl. Phys. 1995, 77, 2343.
358. Padeletti, G.; Lapczyna, M.; Stuke, M. Mater. Res. Soc. Proc. 1999, 544, 3.
359. Lapczyna, M.; Stuke, M. Mater. Res. Soc. Proc. 1998, 526, 143.
360. Lapczyna, M.; Stuke, M. Appl. Phys. A 1998, 66, 473.
361. Museur, L.; Zheng, W. Q.; Kanaev, A. V.; Castex, M. C. IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 1995, 1, 900.
362. Riedel, D.; Castex, M. C. Proc. SPIE, 1998, p 234.
363. Riedel, D.; Castex, M. C. Appl. Phys. A 1999, 69, 375.
364. Castex, M. C.; Bityurin, N.; Olivero, C.; Muriaviov, S.; Bronnikova, N.; Riedel, D. Appl. Surf. Sci. 2000, 168, 175.
365. Katoh, T.; Zhang, Y. J. Synchrotron Rad. 1998, 5, 1153.
366. Katoh, T.; Yamaguchi, D.; Satoh, Y.; Ikeda, S.; Aoki, Y.; Washio, M.; Tabata, Y. Appl. Surf. Sci. 2002, 186, 24.
367. Zhang, Y.; Hori, T. Synchrotron Radiat. News 2000, 13, 32.
368. Zhang, Y.; Katoh, T.; Washio, M.; Yamada, H.; Hamada, S. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 872.
369. Katoh, T.; Nishi, N.; Fukagawa, M.; Ueno, H.; Sugiyama, S. Sens. Actuators A 2001, 89, 10.
370. Katoh, T.; Zhang, Y. Appl. Surf. Sci. 1999, 138-139, 165.
371. Zhang, Y.; Katoh, T.; Endo, E. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 2001, 119, 247.
372. Cozzens, R. F.; Fox, R. B. Polym. Eng. Sci. 1978, 18, 900.
373. Koren, G. Appl. Phys. Lett. 1984, 45, 10.
374. Brannon, J. H.; Lankard, J. R. Appl. Phys. Lett. 1986, 48, 1226.
375. Braun, R.; Nowak, R.; Hess, P.; Oetzmann, H.; Schmidt, C. Appl. Surf. Sci. 1989, 43, 352.
376. Sonnenschein, M. F.; Roland, C. M. Appl. Phys. Lett. 1990, 57, 425.
377. Dyer, P. E.; Oldershaw, G. A.; Sidhu, J. Appl. Phys. B 1989, 48, 489.
378. Sumiyoshi, T.; Ninomiya, Y.; Ogasawara, H.; Obara, M.; Tanaka, H. Appl. Phys. A 1994, 58, 475.
379. Dyer, P. E.; Karnakis, D. M.; Oldershaw, G. A.; Roberts, G. C. J. Appl. Phys. D: Appl. Phys. 1996, 26, 2554.
380. Dyer, P. E.; Waldeck, I.; Roberts, G. C. J. Appl. Phys. D: Appl. Phys. 1997, 30, L19.
381. Coupland, K.; Herman, P. R.; Gu, B. Appl. Surf. Sci. 1998, 127-129, 731.
382. Wong, K. H.; Tou, T. Y.; Low, K. S. J. Appl. Phys. 1998, 83, 2286.
383. Tolsopyatov, E. M.; Ivanov, L. F.; Grakovich, P. N.; Krasovsky, A. M. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 1998, 3343, 1010.
384. Ionin, A.; Klimachev, Y.; Kobsa, H.; Sinistyn, D. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 1998, 3343, 1032.
385. Freund, H. P.; Neill, G. R. Proc. IEEE 1999, 87, 782.
386. Kelly, M. J. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 2001, 617, J5.7.
387. Bubb, D. M.; Toftmann, B.; Haglund Jr., R. F.; Horowitz, J. S.; Papantonakis, M. R.; McGill, R. A.; Wu, P. W.; Chrisey, D. B. Appl. Phys. A 2002, 74, 123.
388. Bubb, D. M.; Papantonakis, M. R.; Toftmann, B.; Horowitz, J. S.; McGill, R. A.; Chrisey, D. B.; Haglund Jr., R. F. 2002, 91, 9809.
389. Silverstein, M. S.; Visoly, I.; Kesler, O.; Janai, M.; Cassuto, Y. J. Vac. Sci. Tchnol. B 1998, 16, 2957.
390. Egami, C.; Kawata, Y.; Aoshima, Y.; Takeyama, H.; Iwata, F.; Sugihara, O.; Tsuchimori, M.; Watanabe, O.; Fujimura, H.; Okamoto, N. Opt. Commun. 1998, 157, 150.
391. Hu, A. CircuiTree 1998, 11, 86.
392. Owen, M.; Roelants, E.; Van Pyumbroeck, J. Circuit World 1997, 24, 45.
393. Maryniuk, J. AMP J. Technol. 1995, 4, 77.
394. Yung, W. K. C.; Liu, J. S.; Man, H. C. Circuit World 1999, 25, 13.
395. Illy, E. K.; Brown, D. J. W.; Withford, M. J.; Piper, J. A. IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 1999, 5, 1543.
396. Glover, A. C. J.; Illy, E. K.; Piper, J. A. IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 1995, 1, 830.
397. Yung, K. C.; Zeng, D. W.; Yue, T. M. Surf. Coat. Technol. 2002, 160. 1.