Let there be chip - Towards rapid prototyping of microfluidic devices: One-step manufacturing processes

Analytical Methods

Volumn 3, Issue 12, 2011, Pages 2681-2716

  Waldbaur, Ansgar ^a   Rapp, Holger ^b   Länge, Kerstin ^a   Rapp, Bastian E ^a  

^a KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Germany)

^b KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

3-D PRINTING; ACADEMIC RESEARCH; ANALYTICAL APPLICATIONS; APPLICATION EXAMPLES; BIOCHEMICAL ANALYSIS; BIOCHEMICAL ASSAY; CHEMICAL SYNTHESIS; COMMERCIAL POTENTIAL; COMMUNITY PROJECT; DIGITAL DATAS; GOLD STANDARDS; INDUSTRIAL SCALE; MANUFACTURING EQUIPMENT; MANUFACTURING IS; MANUFACTURING PROCESS; MANUFACTURING TECHNIQUES; MASK LESS; MICRO-FLUIDIC DEVICES; MICROFLUIDIC STRUCTURES; POLYDIMETHYLSILOXANE PDMS; PROCESS STEPS; REPLICATION MASTER; REPLICATION TECHNIQUES; SAMPLE HANDLING; SCIENTIFIC FIELDS; SOFT ELASTOMERS; THREE-DIMENSIONAL MODEL;

BIOSENSORS; CHEMICAL ANALYSIS; FLUIDIC DEVICES; GOLD DEPOSITS; INDUSTRIAL RESEARCH; INJECTION MOLDING; MANUFACTURE; RAPID PROTOTYPING; SILICONES; STRUCTURAL DESIGN; SYNTHESIS (CHEMICAL); THREE DIMENSIONAL;

MICROFLUIDICS;

EID: 82555200840     PISSN: 17599660     EISSN: 17599679     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c1ay05253e     Document Type: Review

References (338)

1. K. E. Petersen A. Shartel N. F. Raley IEEE Trans. Electron Devices 1982 29 23 27
2. P. L. Chen R. S. Muller A. P. Andrews Sens. Actuators 1984 5 119 126
3. E. Bassous H. H. Taub L. Kuhn Appl. Phys. Lett. 1977 31 135 137
4. D. B. Tuckerman R. F. W. Pease IEEE Electron Device Lett. 1981 5 126 129
5. S. C. Terry J. H. Jerman J. B. Angell IEEE Trans. Electron Devices 1979 26 1880 1886
6. A. Manz N. Graber H. M. Widmer Sens. Actuators, B 1990 1 244 248
7. H. M. Widmer TrAC, Trends Anal. Chem. 1983 2 R8 R10
8. P. Gravesen J. Branebjerg O. S. Jensen J. Micromech. Microeng. 1993 3 168 182
9. G. M. Whitesides Nature 2006 442 368 373
10. H. Becker Lab Chip 2009 9 1659 1660
11. H. Becker Lab Chip 2009 9 2119 2122
12. H. Becker Lab Chip 2009 9 2759 2762
13. H. Becker Lab Chip 2009 9 3327 3329
14. H. Becker Lab Chip 2010 10 1894 1897
15. H. Becker Lab Chip 2010 10 813 815
16. H. Becker Lab Chip 2010 10 271 273
17. K. W. Oh C. H. Ahn J. Micromech. Microeng. 2006 16 R13 R39
18. D. J. Laser J. G. Santiago J. Micromech. Microeng. 2004 14 R35 R64
19. N. T. Nguyen Z. G. Wu J. Micromech. Microeng. 2005 15 R1 R16
20. T. M. Squires S. R. Quake Rev. Mod. Phys. 2005 77 977 1026
21. G. G. Guilbault M. Pravda M. Kreuzer C. K. O'Sullivan Anal. Lett. 2004 37 1481 1496
22. A. Bange H. B. Halsall W. R. Heineman Biosens. Bioelectron. 2005 20 2488 2503
23. E. Verpoorte N. F. De Rooij Proc. IEEE 2003 91 930 953
24. P. Abgrall A. M. Gue J. Micromech. Microeng. 2007 17 R15 R49
25. H. Becker C. Gärtner Electrophoresis 2000 21 12 26
26. H. Becker C. Gärtner Anal. Bioanal. Chem. 2008 390 89 111
27. H. Becker L. E. Locascio Talanta 2002 56 267 287
28. A. Valero T. Braschler P. Renaud Lab Chip 2010 10 2216 2225
29. K. Länge B. E. Rapp M. Rapp Anal. Bioanal. Chem. 2008 391 1509 1519
30. N. Salk T. Seemann A. Rota M. Schluter M. Hoffmann C. Harms Chem. Eng. Commun. 2007 194 859 866
31. U. Kogelschatz Contrib. Plasma Phys. 2007 47 80 88
32. G. M. Whitesides Lab Chip 2011 11 191 193
33. A. Nagaki H. Kim Y. Moriwaki C. Matsuo J. Yoshida Chem.-Eur. J. 2010 16 11167 11177
34. K. Torigoe Y. Watanabe T. Endo K. Sakai H. Sakai M. Abe J. Nanopart. Res. 2010 12 951 960
35. W. Ehrfeld, V. Hessel and H. Lehr, in Microsystem Technology in Chemistry and Life Science, Springer-Verlag, Berlin, 1998, vol. 194, pp. 233-252
36. C. G. Frost L. Mutton Green Chem. 2010 12 1687 1703
37. KERN, KERN Riweta Material Selector, www.kern.de, accessed 06 February 2011, 2002
38. Wheaton, Chemical Compatibility, http://www.wheatonsci.com/b2cwhn/ wheatonsci/pdfs/Tech-Chemcomp.pdf, accessed 08 March 2011, 2011
39. M. Limam L. Tighzert F. Fricoteaux G. Bureau Polym. Test. 2005 24 395 402
40. Carbide, Specialty Coating Systems SCS, 2006
41. M. Archer M. Christophersen P. M. Fauchet Sens. Actuators, B 2005 106 347 357
42. Cole-Parmer, Chemical Compatability Database, www.coleparmer.com, accessed 08 March 2011, 2011
43. P. Wägli A. Homsy N. F. de Rooij Sens. Actuators, B 2011 2 994 1001
44. Norland, Chemical resistance of Norland optical and electronic adhesives, www.norlandprod.com, accessed 08 March 2011, 2011
45. B. Améduri B. Boutevin G. Kostov Prog. Polym. Sci. 2001 26 105 187
46. C. Hannig, M. Dirschka, K. Länge, S. Neumaier and B. E. Rapp, Eurosensors 2010, Linz, Austria, 2010
47. B. W. Kristensen J. Noraberg P. Thiébaud M. Koudelka-Hep J. Zimmer Brain Res. 2001 896 1 17
48. G. Voskerician M. S. Shive R. S. Shawgo H.v. Recum J. M. Anderson M. J. Cima R. Langer Biomaterials 2003 24 1959 1967
49. C.v. Schreibers, Beyträge zur Geschichte und Kenntniss meteorischer Stein und Metallmassen, und der Erscheinungen, welche deren Niederfall zu begleiten pflegen, Wien, 1820
50. G. Delapierre Sens. Actuators 1989 17 123 138
51. A. Manz J. C. Fettinger E. Verpoorte H. Lüdi H. M. Widmer D. J. Harrison TrAC, Trends Anal. Chem. 1991 10 144 149
52. K. Sugioka, Y. Cheng, M. Masuda and K. Midorikawa, in Photon Processing in Microelectronics and Photonics Iii, ed., P. R. Herman, J. Fieret, A. Pique, T. Okada, F. G. Bachmann, W. Hoving, K. Washio, X. Xu, J. J. Dubowski, D. B. Geohegan, and, F. Trager, Spie-Int Soc Optical Engineering, Bellingham, 2004, vol. 5339, pp. 205-213
53. T. Boone Z. H. Fan H. Hooper A. Ricco H. D. Tan S. Williams Anal. Chem. 2002 74 78A 86A
54. D. Braun, Polymer Synthesis: Theory and Practice - Fundamentals, Methods, Experiments, Springer, Berlin; New York, 4th edn, 2005
55. K. Matyjaszewski and T. P. Davis, Handbook of Radical Polymerization, Wiley-Interscience, Hoboken, 2002
56. T. Nisisako T. Torii Lab Chip 2008 8 287 293
57. J. J. Shah J. Geist L. E. Locascio M. Gaitan M. V. Rao W. N. Vreeland Electrophoresis 2006 27 3788 3796
58. J. K. Liu X. F. Sun M. L. Lee Anal. Chem. 2005 77 6280 6287
59. A. Priola R. Bongiovanni G. Malucelli A. Pollicino C. Tonelli G. Simeone Macromol. Chem. Phys. 1997 198 1893 1907
60. M. P. Cuchiara A. C. B. Allen T. M. Chen J. S. Miller J. L. West Biomaterials 2010 31 5491 5497
61. C. M. Hwang W. Y. Sim S. H. Lee A. M. Foudeh H. Bae S.-H. Lee A. Khademhosseini Biofabrication 2010 2 045001
62. J. A. Champion Y. K. Katare S. Mitragotri Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 2007 104 11901 11904
63. D. Belder A. Deege F. Kohler M. Ludwig Electrophoresis 2002 23 3567 3573
64. L. Yu C. M. Li Q. Zhou J. H. T. Luong Bioconjugate Chem. 2007 18 281 284
65. R. Liska F. Schwager C. Maier R. Cano-Vives J. Stampfl J. Appl. Polym. Sci. 2005 97 2286 2298
66. G. Jeffrey, US Pat., 4882245, 1989
67. K. Y. Lee N. LaBianca S. A. Rishton S. Zolgharnain J. D. Gelorme J. Shaw T. H. P. Chang J. Vac. Sci. Technol., B: Microelectron. Nanometer Struct.-Process., Meas., Phenom. 1995 13 3012 3016
68. J. L. Dektar N. P. Hacker J. Am. Chem. Soc. 1990 112 6004 6015
69. H. Lorenz M. Despont N. Fahrni N. LaBianca P. Renaud P. Vettiger J. Micromech. Microeng. 1997 7 121 124
70. B. E. Rapp L. Carneiro K. Länge M. Rapp Lab Chip 2009 9 354 356
71. T. Posner Chem. Ber. 1905 38 646 657
72. M. J. Kade D. J. Burke C. J. Hawker J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2010 48 743 750
73. C. R. Morgan F. Magnotta A. D. Ketley J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. 1977 15 627 645
74. M. Uygun M. A. Tasdelen Y. Yagci Macromol. Chem. Phys. 2010 211 103 110
75. C. E. Hoyle T. Y. Lee T. Roper J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2004 42 5301 5338
76. R. A. Prasath M. T. Gokmen P. Espeel F. E. Du Prez Polym. Chem. 2010 1 685 692
77. S. H. Kim Y. Yang M. Kim S. W. Nam K. M. Lee N. Y. Lee Y. S. Kim S. Park Adv. Funct. Mater. 2007 17 3493 3498
78. E. P. Dupont R. Luisier M. A. M. Gijs Microelectron. Eng. 2010 87 1253 1255
79. R. Arayanarakool S. Le Gac A. van den Berg Lab Chip 2010 10 2115 2121
80. O. Bayer, DE Pat., 728981, 1942
81. Y. N. Xia E. Kim G. M. Whitesides Chem. Mater. 1996 8 1558 1567
82. E. Piccin W. K. T. Coltro J. A. Fracassi da Silva S. C. Neto L. H. Mazo E. Carrilho J. Chromatogr., A 2007 1173 151 158
83. A. Kumar G. M. Whitesides Appl. Phys. Lett. 1993 63 2002 2004
84. W. H. Chen P. C. Chen S. C. Wang J. T. Yeh C. Y. Huang K. N. Chen J. Polym. Res. 2009 16 601 610
85. K. M. Choi J. A. Rogers J. Am. Chem. Soc. 2003 125 4060 4061
86. K. Tsougeni A. Tserepi E. Gogolides Microelectron. Eng. 2007 84 1104 1108
87. G. S. Fiorini R. M. Lorenz J. S. Kuo D. T. Chiu Anal. Chem. 2004 76 4697 4704
88. M. Worgull, Hot Embossing: Theory and Technology of Microreplication, William Andrew, Oxford, UK [u.a.], 2009
89. M. Worgull M. Heckele W. Schomburg Microsyst. Technol. 2005 12 110 115
90. S. Begolo G. Colas J.-L. Viovy L. Malaquin Lab Chip 2011 11 508 512
91. M. Heckele W. K. Schomburg J. Micromech. Microeng. 2004 14 R1 R14
92. R. Truckenmüller et al. J. Micromech. Microeng. 2002 12 375
93. U. M. Attia S. Marson J. R. Alcock Microfluid. Nanofluid. 2009 7 1 28
94. A. Reichert J. Felbel M. Kielpinski M. Urban B. Steinbrecht T. Henkel J. Bionic Eng. 2008 5 291 298
95. J. Wang M. Pumera M. P. Chatrathi A. Escarpa R. Konrad A. Griebel W. Dorner H. Lowe Electrophoresis 2002 23 596 601
96. G. B. Lee S. H. Chen G. R. Huang W. C. Sung Y. H. Lin Sens. Actuators, B. 2001 75 142 148
97. A. Piruska I. Nikcevic S. H. Lee C. Ahn W. R. Heineman P. A. Limbach C. J. Seliskar Lab Chip 2005 5 1348 1354
98. T. J. Johnson D. Ross L. E. Locascio Anal. Chem. 2002 74 45 51
99. J. N. Yang Y. J. Liu C. B. Rauch R. L. Stevens R. H. Liu R. Lenigk P. Grodzinski Lab Chip 2002 2 179 187
100. A. Gerlach G. Knebel A. E. Guber M. Heckele D. Herrmann A. Muslija T. Schaller Sens. Mater. 2002 14 119 128
101. S. W. Rhee A. M. Taylor C. H. Tu D. H. Cribbs C. W. Cotman N. L. Jeon Lab Chip 2005 5 102 107
102. A. M. Taylor S. W. Rhee C. H. Tu D. H. Cribbs C. W. Cotman N. L. Jeon Langmuir 2002 19 1551 1556
103. W. W. Yang Y. C. Lu Z. Y. Xiang G. S. Luo React. Funct. Polym. 2007 67 81 86
104. J. Deng L. Wang L. Liu W. Yang Prog. Polym. Sci. 2009 34 156 193
105. H. Mühlberger W. Hwang A. E. Guber V. Saile W. Hoffmann IEEE Sens. J. 2008 8 572 579
106. J. Astorga-Wells H. Jornvall T. Bergman Anal. Chem. 2003 75 5213 5219
107. Z. Y. Wu N. Xanthopoulos F. Reymond J. S. Rossier H. H. Girault Electrophoresis 2002 23 782 790
108. R. Irawan, P. Aparajita, S. Swaminathan and T. Swee Chuan, International Conference on Biomedical and Pharmaceutical Engineering, ICBPE 2006, 2006
109. Á. Végvári S. Hjertén Electrophoresis 2002 23 3479 3486
110. R. Nagahata J. J. Sugiyama M. Goyal M. Goto K. Honda M. Asai M. Ueda K. Takeuchi Polymer 2001 42 1275 1279
111. K. W. Ro J. Liu D. R. Knapp J. Chromatogr., A 2006 1111 40 47
112. D. S. Kim S. H. Lee C. H. Ahn J. Y. Lee T. H. Kwon Lab Chip 2006 6 794 802
113. P. S. Nunes P. D. Ohlsson O. Ordeig J. P. Kutter Microfluid. Nanofluid. 2010 9 145 161
114. S. Vengasandra Y. Cai D. Grewell J. Shinar R. Shinar Lab Chip 2010 10 1051 1056
115. N. Petersen H. Jensen S. Hansen S. Foss D. Snakenborg S. Pedersen-Bjergaard Microfluid. Nanofluid. 2010 9 881 888
116. K. A. Mauritz R. B. Moore Chem. Rev. 2004 104 4535 4586
117. F. Haehnel R. Bertram G. Reisse R. Boettcher S. Weissmantel Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2010 101 491 495
118. N. Fukutake N. Miyoshi Y. Takasawa T. Urakawa T. Gowa K. Okamoto A. Oshima S. Tagawa M. Washio Jpn. J. Appl. Phys. 2010 49 5
119. J. M. Engel, J. Chen, D. Bullen and C. Liu, 18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2005, 2005
120. J. P. Rolland R. M. Van Dam D. A. Schorzman S. R. Quake J. M. DeSimone J. Am. Chem. Soc. 2004 126 8349
121. J. P. Rolland, E. C. Hagberg, K. R. Carter and J. M. DeSimone, Emerging Lithographic Technologies IX, 2005
122. P. A. Willis F. Greer M. C. Lee J. A. Smith V. E. White F. J. Grunthaner J. J. Sprague J. P. Rolland Lab Chip 2008 8 1024 1026
123. B. R. Lazarenko N. L. Lazarenko Stanki Instrum. 1946 17 8 11
124. P. C. Pandey S. T. Jilani Precis. Eng. 1986 8 104 110
125. D. Wang W. S. Zhao L. Gu X. M. Kang J. Mater. Process. Technol. 2011 211 3 11
126. T. Masuzawa C. L. Kuo M. Fujino CIRP Annals-Manufacturing Technology 1994 43 189 192
127. E. Uhlmann S. Piltz U. Doll J. Mater. Process. Technol. 2005 167 488 493
128. H. Löwe W. Ehrfeld Electrochim. Acta 1999 44 3679 3689
129. T. H. Maiman Nature 1960 187 493 494
130. K. Ke E. F. Hasselbrink A. J. Hunt Anal. Chem. 2005 77 5083 5088
131. M. A. Roberts J. S. Rossier P. Bercier H. Girault Anal. Chem. 1997 69 2035 2042
132. D. Sabbert J. Landsiedel H.-D. Bauer W. Ehrfeld Appl. Surf. Sci. 1999 150 185 189
133. M. F. Jensen J. E. McCormack B. Helbo L. H. Christensen T. R. Christensen O. Geschke Lab Chip 2004 4 391 395
134. M. Atkin, K. Poetter, R. Cattrall and E. Harvey, in Microfluidics, BioMEMS, and Medical Microsystems II, ed., P. Woias, and, I. Papautsky, Spie-Int Soc Optical Engineering, Bellingham, 2004, vol. 5345, pp. 138-146
135. J. R. Andrews and B. Gerner, Microfluidics, BioMEMS, and Medical Microsystems II, San Jose, CA, USA, 2004
136. C. K. N. Patel Phys. Rev. 1964 136 A1187
137. H. Klank J. P. Kutter O. Geschke Lab Chip 2002 2 242 246
138. T. F. Hong W. J. Ju M. C. Wu C. H. Tai C. H. Tsai L. M. Fu Microfluid. Nanofluid. 2010 9 1125 1133
139. J. M. Fernández-Pradas D. Serrano P. Serra J. L. Morenza Appl. Surf. Sci. 2009 255 5499 5502
140. K. Sugioka Y. Hanada K. Midorikawa Laser Photonics Rev. 2010 4 386 400
141. H. Yu, O. Balogun, B. Li, T. W. Murray and X. Zhang, in MEMS 2005 Miami: Technical Digest, 2005, pp. 654-657
142. J. Rossier F. Reymond P. E. Michel Electrophoresis 2002 23 858 867
143. P. P. Shiu G. K. Knopf M. Ostojic S. Nikumb J. Micromech. Microeng. 2008 18 8
144. P. P. Shiu G. K. Knopf M. Ostojic Microsyst. Technol. 2010 16 477 485
145. H. W. Choi S. Bong D. F. Farson C. M. Lu L. J. Lee J. Laser Appl. 2009 21 196 204
146. F. Bianchi Y. Chevolot H. J. Mathieu H. H. Girault Anal. Chem. 2001 73 3845 3853
147. T. J. Johnson D. Ross M. Gaitan L. E. Locascio Anal. Chem. 2001 73 3656 3661
148. J. Y. Cheng C. W. Wei K. H. Hsu T. H. Young Sens. Actuators, B 2004 99 186 196
149. H. Thissen et al. Smart Mater. Struct. 2002 11 792
150. U. A. Russek, A. Palmen, H. Staub, J. Pohler, C. Wenzlau, G. Otto, M. Poggel, A. Koeppe and H. Kind, in Photon Processing in Microelectronics and Photonics II, ed., A. Pique, K. Sugioka, P. R. Herman, J. Fieret, F. G. Bachmann, J. J. Dubowski, W. Hoving, K. Washio, D. B. Geohegan, F. Trager, and, K. Murakami, 2003, vol. 4977, pp. 458-472
151. C. G. K. Malek Anal. Bioanal. Chem. 2006 385 1351 1361
152. C. G. K. Malek Anal. Bioanal. Chem. 2006 385 1362 1369
153. T. S. Hug, T. Biss, N. F. de Rooij and Q. Staufer, Transducers '05, New York, 2005
154. A. Imre L. E. Ocola L. Rich J. Klingfus J. Vac. Sci. Technol., B: Microelectron. Nanometer Struct.-Process., Meas., Phenom. 2010 28 304 309
155. L. Guan K. W. Peng Y. L. Yang X. H. Qiu C. Wang Nanotechnology 2009 20 5
156. D. M. Cannon B. R. Flachsbart M. A. Shannon J. V. Sweedler P. W. Bohn Appl. Phys. Lett. 2004 85 1241 1243
157. H. J. Bai M. L. Shao H. L. Gou J. J. Xu H. Y. Chen Langmuir 2009 25 10402 10407
158. W. Schrott M. Svoboda Z. Slouka D. Snita Microelectron. Eng. 2009 86 1340 1342
159. L. Szekely R. Freitag Anal. Chim. Acta 2004 512 39 47
160. Y. Kakinuma N. Yasuda T. Aoyama J. Adv. Mech. Des. Syst. Manuf. 2008 2 560 569
161. K. Popov S. Dimov D. T. Pham A. Ivanov Proc. Inst. Mech. Eng., Part C 2006 220 1677 1684
162. J. S. Mecomber D. Hurd P. A. Limbach Int. J. Mach. Tools Manuf. 2005 45 1542 1550
163. E. Rodrigues R. A. S. Lapa Anal. Sci. 2009 25 443 448
164. M. L. Hupert W. J. Guy S. D. Llopis H. Shadpour S. Rani D. E. Nikitopoulos S. A. Soper Microfluid. Nanofluid. 2007 3 1 11
165. J. Park J. R. Li A. Han Biomed. Microdevices 2010 12 345 351
166. M. Focke F. Stumpf G. Roth R. Zengerle F. von Stetten Lab Chip 2010 10 3210 3212
167. H. J. Kang S. H. Ahn Proc. Inst. Mech. Eng., Part B 2007 221 231 240
168. P. L. Young T. P. Brackbill S. G. Kandlikar Heat Transfer Eng. 2009 30 78 90
169. J. Do J. Y. Zhang C. M. Klapperich Robot. Comput. Integrated Manuf. 2010 27 245 248
170. M. H. Sorouraddin M. Amjadi M. Safi-Shalamzari Anal. Chim. Acta 2007 589 84 88
171. D. Taylor D. Dyer V. Lew M. Khine Lab Chip 2010 10 2472 2475
172. P. Nath D. Fung Y. A. Kunde A. Zeytun B. Branch G. Goddard Lab Chip 2010 10 2286 2291
173. P. K. Yuen V. N. Goral Lab Chip 2010 10 384 387
174. G. T. A. Kovacs N. I. Maluf K. E. Petersen Proc. IEEE 1998 86 1536 1551
175. A. Senefelder, Der Steindruck, Thienemann, München, 1818
176. A. Senefelder, The Invention of Lithography, Fuchs & Lang, New York, 1911
177. R. H. Stulen D. W. Sweeney IEEE J. Quantum Electron. 1999 35 694 699
178. L. Hornbeck, W. E. Nelson and J. Carlo, US Pat., 4571603, 1986
179. L. Hornbeck and W. E. Nelson, EP Pat., 0417523, 1991
180. L. Hornbeck and W. E. Nelson, US Pat., 5096279, 1992
181. D. Kattipparambil Rajan J. Lekkala Procedia Engineering 2010 5 331 334
182. S. W. Zhao H. L. Cong T. R. Pan Lab Chip 2009 9 1128 1132
183. H. Sato, T. Kakinuma, G. Jeung Sang and S. Shoji, Micro Electro Mechanical Systems, 2003, MEMS-03, 2003
184. J. O. Brien et al. J. Micromech. Microeng. 2001 11 353
185. P. Abgrall V. Conedera H. Camon A. M. Gue N. T. Nguyen Electrophoresis 2007 28 4539 4551
186. C. H. Lin G. B. Lee B. W. Chang G. L. Chang J. Micromech. Microeng. 2002 12 590 597
187. R. Delille M. G. Urdaneta S. J. Moseley E. Smela J. Microelectromech. Syst. 2006 15 1108 1120
188. J. Hammacher A. Fuelle J. Flaemig J. Saupe B. Loechel J. Grimm Microsyst. Technol. 2008 14 1515 1523
189. P. Vulto N. Glade L. Altomare J. Bablet L. Del Tin G. Medoro I. Chartier N. Manaresi M. Tartagni R. Guerrieri Lab Chip 2005 5 158 162
190. U. Stöhr P. Vulto P. Hoppe G. Urban H. Reinecke J. Micro/Nanolithogr., MEMS, MOEMS 2008 7 033009
191. P. Vulto T. Huesgen B. Albrecht G. A. Urban J. Micromech. Microeng. 2009 19 S139 S144
192. M. E. Sandison H. Morgan J. Micromech. Microeng. 2005 15 S139 S144
193. D. J. Beebe J. S. Moore Q. Yu R. H. Liu M. L. Kraft B. H. Jo C. Devadoss Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 2000 97 13488 13493
194. D. J. Beebe G. A. Mensing G. M. Walker Annu. Rev. Biomed. Eng. 2002 4 261
195. B. C. Berry C. M. Stafford M. Pandya L. A. Lucas A. Karim M. J. Fasolka Rev. Sci. Instrum. 2007 78 072202
196. S. Chen T. Hu Y. Tian L. Chen J. A. Pojman J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2007 45 873 881
197. N. S. Pujari S. R. Inamdar S. Ponrathnam B. D. Kulkarni Macromol. Rapid Commun. 2007 28 109 115
198. V. G. Viner J. A. Pojman D. Golovaty Phys. D 2010 239 838 847
199. J. T. Cabral S. D. Hudson C. Harrison J. F. Douglas Langmuir 2004 20 10020 10029
200. J. McKechnie D. Sinton J. Microelectromech. Syst. 2007 16 1145 1151
201. J. Atencia S. Barnes J. Douglas M. Meacham L. E. Locascio Lab Chip 2007 7 1567 1573
202. S. H. Ng R. T. Tjeung Z. F. Wang A. C. W. Lu I. Rodriguez N. F. de Rooij Microsyst. Technol. 2008 14 753 759
203. B. Y. Pemg C. W. Wu Y. K. Shen Y. Lin Polym. Adv. Technol. 2010 21 457 466
204. S. H. Ng Y. X. Wu Z. F. Wang Z. P. Wang Microsyst. Technol. 2010 16 1181 1186
205. Y. Luo Z. B. Zhang X. D. Wang Y. S. Zheng Microelectron. Eng. 2010 87 2429 2436
206. N. Y. Lee B. H. Chung Langmuir 2009 25 3861 3866
207. P. Abgrall C. Lattes V. Conederal X. Dollat S. Colin A. M. Gue J. Micromech. Microeng. 2006 16 113 121
208. J. Carlier S. Arscott V. Thomy J. C. Fourrier F. Caron J. C. Camart C. Druon P. Tabourier J. Micromech. Microeng. 2004 14 619 624
209. S. Talaei, O. Frey, P. D. van der Wal, N. F. de Rooij and M. Koudelka-Hep, in Proceedings of the Eurosensors XXIII Conference, ed., J. Brugger, and, D. Briand, Elsevier Science Bv, Amsterdam, 2009, vol. 1, pp. 381-384
210. B. Bilenberg T. Nielsen B. Clausen A. Kristensen J. Micromech. Microeng. 2004 14 814 818
211. S. Tuomikoski S. Franssila Sens. Actuators, A 2005 120 408 415
212. H. Sato H. Matsumura S. Keino S. Shoji J. Micromech. Microeng. 2006 16 2318 2322
213. X. Q. Bao T. Dargent E. Cattan J. Micromech. Microeng. 2010 20 025005
214. A. H. Ma, S. H. Tsang, M. Parameswaran and A. M. Leung, 2007 Canadian Conference on Electrical and Computer Engineering, 2007, vol. 1-3, pp. 288-291
215. D. Paul A. Pallandre S. Miserere J. Weber J. L. Viovy Electrophoresis 2007 28 1115 1122
216. M. Mahalanabis J. Do H. Almuayad J. Y. Zhang C. M. Klapperich Biomed. Microdevices 2010 12 353 359
217. M. Y. Zhang J. B. Wu L. M. Wang K. Xiao W. J. Wen Lab Chip 2010 10 1199 1203
218. L. W. Luo C. Y. Teo W. L. Ong K. C. Tang L. F. Cheow L. Yobas J. Micromech. Microeng. 2007 17 N107 N111
219. N. Ibáñez-García C. S. Martinez-Cisneros F. Valdes J. Alonso TrAC, Trends Anal. Chem. 2008 27 24 33
220. N. Ibáñez-García R. D. M. Goncalves Z. M. da Rocha M. R. Gongora-Rubio A. C. Seabra J. A. Chamarro Sens. Actuators, B 2006 118 67 72
221. C. S. Henry M. Zhong S. M. Lunte M. Kim H. Bau J. J. Santiago Anal. Commun. 1999 36 305 307
222. X. Llopis N. Ibáñez-García S. Alegret J. Alonso Anal. Chem. 2007 79 3662 3666
223. J. M. Dykes, D. K. Poon, J. Wang, D. Sameoto, J. T. K. Tsui, C. Choo, G. H. Chapman, A. M. Parameswaren and B. L. Gray, in Microfluidics, BioMEMS, and Medical Microsystems V, ed., I. Paputsky, and, W. Wang, 2007, vol. 6465, pp. N4650-N4650
224. F. E. H. Tay J. A. van Kan F. Watt W. O. Choong J. Micromech. Microeng. 2001 11 27 32
225. Y. Hirai Y. Nakai K. Sugano T. Tsuchiya O. Tabata Procedia Engineering 2010 5 854 857
226. C. Hull, Pat., US4575330/EP0171069, 1986
227. A. Bertsch, S. Jiguet, P. Bernhard and P. Renaud, in Rapid Prototyping Technologies, ed., A. Pique, A. S. Holmes, and, D. B. Dimos, Materials Research Society, Warrendale, 2003, vol. 758, pp. 3-15
228. A. Bertsch P. Renaud C. Vogt P. Bernhard Rapid Prototyping Journal 2000 6 259 266
229. M. Biernat G. Rokicki Polimery 2005 50 633 645
230. A. Shkolnik, Pat., WO0172501/JP4371829/DE19929199/US2003205849, 2008
231. K. Ikuta and K. Hirowatari, Micro Electro Mechanical Systems, 1993, MEMS '93, Proceedings An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, IEEE, 1993
232. T. Takagi and N. Nakajima, Micro Electro Mechanical Systems, 1993, MEMS '93, Proceedings An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, IEEE, 1993
233. J. W. Lee P. X. Lan B. Kim G. Lim D. W. Cho Microelectron. Eng. 2007 84 1702 1705
234. J. W. Choi E. MacDonald R. Wicker Int. J. Adv. Manuf. Technol. 2010 49 543 551
235. K. Arcaute B. Mann R. Wicker Acta Biomater. 2010 6 1047 1054
236. J. W. Choi, Y. M. Ha, K. H. Choi and S. H. Lee, in Progress of Precision Engineering and Nano Technology, ed., S. Dong, and, Y. X. Yao, Trans Tech Publications Ltd, Stafa-Zurich, 2007, vol. 339, pp. 473-478
237. J. W. Choi R. Wicker S. H. Lee K. H. Choi C. S. Ha I. Chung J. Mater. Process. Technol. 2009 209 5494 5503
238. J. Hendrik, Pat., DE20106887/US7052263/JP2003039564, 2008
239. J. Hendrik, Pat., EP1849587/US7783371, 2010
240. J. Hendrik, Pat., DE10256672, 2004
241. H. Y. Yang, J. Segal, M. Turitto and S. Ratchev, 4m/ICOMM 2009-the Global Conference on Micro Manufacture, Westminister, 2009
242. M. E. Snowden P. H. King J. A. Covington J. V. Macpherson P. R. Unwin Anal. Chem. 2010 82 3124 3131
243. R. Mülhaupt, WO Pat., 0178968, 2001
244. G. V. Kaigala S. Ho R. Penterman C. J. Backhouse Lab Chip 2007 7 384 387
245. W. Wang S. W. Zhao T. R. Pan Lab Chip 2009 9 1133 1137
246. K. L. A. Chan X. Z. Niu A. J. de Mello S. G. Kazarian Lab Chip 2010 10 2170 2174
247. A. Bonyár H. Sántha B. Ring M. Varga J. Gábor Kovács G. Harsányi Procedia Engineering 2010 5 291 294
248. P. S. Maher R. P. Keatch K. Donnelly Rapid Prototyping Journal 2007 16 116 123
249. J. C. McDonald M. L. Chabinyc S. J. Metallo J. R. Anderson A. D. Stroock G. M. Whitesides Anal. Chem. 2002 74 1537 1545
250. W. Leventon IEEE Spectrum 2002 39 28 33
251. S. H. Ko H. Pan C. P. Grigoropoulos C. K. Luscombe J. M. J. Frechet D. Poulikakos Nanotechnology 2007 18 345202
252. N. K. Tolochko T. Laoui Y. V. Khlopkov S. E. Mozzharov V. I. Titov M. B. Ignatiev Rapid Prototyping Journal 2000 6 155 160
253. J. M. Williams A. Adewunmi R. M. Schek C. L. Flanagan P. H. Krebsbach S. E. Feinberg S. J. Hollister S. Das Biomaterials 2005 26 4817 4827
254. S. S. Crump, Pat., US5340433/EP0426363/EP0426363/US5121329/DE69033809 1994
255. S. S. Crump, Pat., EP0833237/EP0833237, 1994
256. R. Karania and D. Kazmer, ASME, Low Volume Plastics Manufacturing Strategies, Amer Soc Mechanical Engineers, New York, 2005
257. W. Zhong F. Li Z. Zhang L. Song Z. Li Mater. Sci. Eng., A 2001 301 125 130
258. M. Allahverdi S. C. Danforth M. Jafari A. Safari J. Eur. Ceram. Soc. 2001 21 1485 1490
259. M. K. Agarwala R. van Weeren A. Bandyopadhyay P. J. Whalen A. Safari S. C. Danforth Solid Freeform Fabr. Symp. Proc. September 1996 1996 385 392
260. R. Lenk Adv. Eng. Mater. 2000 2 40 47
261. A. Bandyopadhyay R. K. Panda V. E. Janas M. K. Agarwala S. C. Danforth A. Safari J. Am. Ceram. Soc. 1997 80 1366 1372
262. D. Espalin K. Arcaute D. Rodriguez F. Medina M. Posner R. Wicker Rapid Prototyping Journal 2010 16 164 173
263. C. S. Wang, T. R. Chang, W. H. A. Wang and M. C. Lin, in Advances in Materials Processing Ix, ed., J. Wang, P. Mathew, X. P. Li, C. Z. Huang, and, H. T. Zhu, Trans Tech Publications Ltd, Stafa-Zurich, 2010, vol. 443, pp. 522-527
264. A. Yamada, F. Niikura and K. Ikuta, Fabrication of Biodegradable Microdevices Toward Medical Application, IEEE, New York, 2007
265. E. Y. Teo S. Y. Ong M. S. K. Chong Z. Y. Zhang J. Lu S. Moochhala B. Ho S. H. Teoh Biomaterials 2011 32 279 287
266. F. Wang L. Shor A. Darling S. Khalil W. Sun S. Guceri A. Lau Rapid Prototyping Journal 2004 10 42 49
267. T. B. F. Woodfield J. Malda J. de Wijn F. Péters J. Riesle C. A. van Blitterswijk Biomaterials 2004 25 4149 4161
268. J. Son G. Kim S. A. Park W. Kim Polymer (Korea) 2008 32 163 168
269. S. H. Ahn M. Montero D. Odell S. Roundy P. K. Wright Rapid Prototyping Journal 2002 8 248 257
270. H. Z. Wang, M. Syed, P. Iovenitti and E. Harvey, in Biomems and Smart Nanostructures, ed., L. B. Kish, SPIE-Int Soc Optical Engineering, Bellingham, 2001, vol. 4590, pp. 213-220
271. M. E. Hott C. A. Megerian R. Beane L. J. Bonassar Laryngoscope 2004 114 1290 1295
272. W.-Y. Yeong C.-K. Chua K.-F. Leong M. Chandrasekaran Trends Biotechnol. 2004 22 643 652
273. G. Vozzi A. Previti D. De Rossi A. Ahluwalia Tissue Eng. 2002 8 1089 1098
274. T. H. Ang F. S. A. Sultana D. W. Hutmacher Y. S. Wong J. Y. H. Fuh X. M. Mo H. T. Loh E. Burdet S. H. Teoh Mater. Sci. Eng., C 2002 20 35 42
275. Z. Xiong Y. Yan R. Zhang L. Sun Scr. Mater. 2001 45 773 779
276. S. J. Hollister Nat. Mater. 2006 5 590
277. Z. Xiong Y. Yan S. Wang R. Zhang C. Zhang Scr. Mater. 2002 46 771 776
278. D. Therriault S. R. White J. A. Lewis Nat. Mater. 2003 2 265 271
279. M. Goeppert-Mayer Ann. Phys. 1931 9 273
280. W. Kaiser C. G. B. Garrett Phys. Rev. Lett. 1961 7 229
281. I. D. Abella Phys. Rev. Lett. 1962 9 453
282. M. Malinauskas, V. Purlys, A. Zukauskas, G. Bickauskaite, T. Gertus, P. Danilevicius, D. Paipulas, M. Rutkauskas, H. Gilbergs, D. Baltriukiene, L. Bukelskis, R. Sirmenis, V. Bukelskiene, R. Gadonas, V. Sirvydis and A. Piskarskas, in Biophotonics: Photonic Solutions for Better Health Care Ii, ed., J. Popp, V. V. Tuchin, and, D. L. Matthews, SPIE-Int Soc Optical Engineering, Bellingham, 2010, vol. 7715
283. R. J. Narayan A. Doraiswamy D. B. Chrisey B. N. Chichkov Mater. Today 2010 13 42 48
284. Y. H. Liu, L. J. Pyrak-Nolte and D. D. Nolte, Large-Scale 3D Microporous Structures by Two-photon Laser Machining, IEEE, New York, 2008
285. Y. H. Liu, L. Pyrak-Nolte and D. Nolte, in Microfluidics, Biomems, and Medical Microsystems Vi, ed., W. Wang, and, C. Vauchier, Spie-Int Soc Optical Engineering, Bellingham, 2008, vol. 6886, pp. Y8860-Y8860
286. G. Kumi C. O. Yanez K. D. Belfield J. T. Fourkas Lab Chip 2010 10 1057 1060
287. Y. H. Liu, L. J. Pyrak-Nolte and D. Nolte, Toward 3D Microfluidic Structures Fabricated with Two-photon Laser Machining, IEEE, New York, 2007
288. D. Wu Q. D. Chen L. G. Niu J. N. Wang J. Wang R. Wang H. Xia H. B. Sun Lab Chip 2009 9 2391 2394
289. C. Reinhardt, A. Ovsianikov, S. Passinger and B. N. Chichkov, in MOEMS and Miniaturized Systems VI, ed., D. L. Dickensheets, B. P. Gogoi, and, H. Schenk, Spie-Int Soc Optical Engineering, Bellingham, 2007, vol. 6466, pp. M4660-M4660
290. C. A. Coenjarts C. K. Ober Chem. Mater. 2004 16 5556 5558
291. D. Kim and P. T. C. So, in Multiphoton Microscopy in the Biomedical Sciences X, eds., A. Periasamy, P. T. C. So, and, K. Konig, Spie-Int Soc Optical Engineering, Bellingham, 2010, vol. 7569
292. J. Serbin A. Egbert A. Ostendorf B. N. Chichkov R. Houbertz G. Domann J. Schulz C. Cronauer L. Frohlich M. Popall Opt. Lett. 2003 28 301 303
293. C. Reinhardt R. Kiyan S. Passinger A. L. Stepanov A. Ostendorf N. Chichkov Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2007 89 321 325
294. W. Denk J. Strickler W. Webb Science 1990 248 73 76
295. S. W. Yi and H. J. Kong, in Micromachining Technology for Micro-Optics and Nano-Optics V and Microfabrication Process Technology XII, ed., M. A. Maher, H. D. Stewart, J. C. Chiao, T. J. Suleski, E. G. Jonhson, and, G. P. Nordin, Spie-Int Soc Optical Engineering, Bellingham, 2007, vol. 6462, pp. 46206-46206
296. A. Ostendorf B. N. Chichkov Photonics Spectra 2006 40 72
297. D. C. Duffy J. C. McDonald O. J. A. Schueller G. M. Whitesides Anal. Chem. 1998 70 4974 4984
298. M. Abdelgawad A. R. Wheeler Adv. Mater. 2007 19 133
299. C. L. do Lago H. D. T. da Silva C. A. Neves J. G. A. Brito-Neto J. A. F. da Silva Anal. Chem. 2003 75 3853 3858
300. W. K. T. Coltro J. A. F. da Silva H. D. T. da Silva E. M. Richter R. Furlan L. Angnes C. L. do Lago L. H. Mazo E. Carrilho Electrophoresis 2004 25 3832 3839
301. W. K. T. Coltro D. P. de Jesus J. A. F. da Silva C. L. do Lago E. Carrilho Electrophoresis 2010 31 2487 2498
302. A. L. Liu F. Y. He K. Wang T. Zhou Y. Lu X. H. Xia Lab Chip 2005 5 974 978
303. A. M. Tan K. Rodgers J. P. Murrihy C. O'Mathuna J. D. Glennon Lab Chip 2001 1 7 9
304. M. S. Thomas J. M. Clift B. Millare V. I. Vullev Langmuir 2009 26 2951 2957
305. M. S. Thomas B. Millare J. M. Clift D. Bao C. Hong V. I. Vullev Ann. Biomed. Eng. 2010 38 21 32
306. C. Hong D. Bao M. S. Thomas J. M. Clift V. I. Vullev Langmuir 2008 24 8439 8442
307. H. Hwang G. Kang J. H. Yeon Y. Nam J. K. Park Lab Chip 2009 9 167 170
308. Z. M. Redha S. J. Baldock P. R. Fielden N. J. Goddard B. J. T. Brown B. G. D. Haggett R. Andres B. J. Birch Electroanalysis 2009 21 422 430
309. A. Grimes D. N. Breslauer M. Long J. Pegan L. P. Lee M. Khine Lab Chip 2008 8 170 172
310. K. Sollier C. A. Mandon K. A. Heyries L. J. Blum C. A. Marquette Lab Chip 2009 9 3489 3494
311. A. Martinez S. Phillips M. Butte G. Whitesides Angew. Chem., Int. Ed. 2007 46 1318 1320
312. K. Abe K. Suzuki D. Citterio Anal. Chem. 2008 80 6928 6934
313. A. W. Martinez S. T. Phillips B. J. Wiley M. Gupta G. M. Whitesides Lab Chip 2008 8 2146 2150
314. A. W. Martinez S. T. Phillips G. M. Whitesides Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 2008 105 19606 19611
315. C. M. Cheng A. D. Mazzeo J. L. Gong A. W. Martinez S. T. Phillips N. Jain G. M. Whitesides Lab Chip 2010 10 3201 3205
316. M. Watanabe Sens. Actuators, B 2006 114 296 300
317. M. Watanabe Sens. Actuators, B 2007 122 141 147
318. S. Bouaidat O. Hansen H. Bruus C. Berendsen N. K. Bau-Madsen P. Thomsen A. Wolff J. Jonsmann Lab Chip 2005 5 827 836
319. "Print me a Stradivarius" in The Economist, 15.02.2011
320. "The printed world" in The Economist, 15.02.2011
321. LinuxCNC, LinuxCNC - Online project documentation, http://LinuxCNC.org, accessed 06 April 2011, 2011
322. DIYLILCNC, Homepage of DIYLILCNC, http://diylilcnc.org, accessed 03 April 2011, 2011
323. B. Oltrogge, CNCBMO online project documentation, http://www.grunblau. com/CNCBMO.htm, accessed 04 April 2011, 2011
324. Lasersaur, Lasersaur online project documentation, http://labs.nortd.com/ lasersaur, accessed 06 April 2011, 2011
325. RepRap, RepRap online project documentation, http://www.reprap.org, accessed 02 April 2011, 2011
326. UltiMachine, UltiMachine company webpage, http://ultimachine.com, accessed 30 March 2011, 2011
327. MakerBot, MakerBot company website, http://www.makerbot.org, accessed 06 April 2011, 2011
328. Ultimaker, Ultimaker company website, http://blog.ultimaker.com/, accessed 06 April 2011, 2011
329. Unfold∼fab, Unfold∼fab - official project documentation, http://unfoldfab.blogspot.com/, accessed 02 April 2011, 2011
330. Thingiverse, Thingiverse - official project website, http://www. thingiverse.com, accessed 06 April 2011, 2011
331. P. Jansen, Peter Jansen - personal website, http://cogsci.mcmaster.ca/ ∼peter/#other%20projects, accessed 25 March 2011, 2011
332. P. Jansen, Reciprocating laser cutting, http://builders.reprap.org/2010/ 08/selective-laser-sintering-part-8.html, accessed 25 March 2011, 2011
333. RepRap, RepRap builders blog, http://builders.reprap.org, accessed 02. April 2011, 2011
334. Solheim, Solheim Rapid Prototyping Lab blog, http://open3dp.me. washington.edu/, accessed 06 April 2011, 2011
335. A. M. Fogassa, Online project documentation, http://homemade3dprinter. blogspot.com/, accessed 06 April 2011, 2011
336. HM3DP, HM3DP - official project forum, http://tech.groups.yahoo.com/ group/diy-3d-printing-and-fabrication/messages, accessed 06 April 2011, 2011
337. J. Veloso, Official online project documentation, http://3dhomemade. blogspot.com/, accessed 06 April 2011, 2011
338. S. M. Ragan, Homemade high resolution DLP 3D printer, http://blog.makezine.com/archive/2010/10/homemade-high-resolution-dlp-3d-pri. html, accessed 06 April 2011, 2011