Three-dimensional fabrication at small size scales

Small

Volumn 6, Issue 7, 2010, Pages 792-806

  Leong, Timothy G ^a   Zarafshar, Aasiyeh M ^a   Gracias, David H ^a  

^a Whiting School of Engineering   (United States)

Author keywords

Nanoscale engineering; Patterned structures; Self assembly; Three dimensional structures

Indexed keywords

3D FABRICATION; 3D STRUCTURE; BIOLOGICALLY INSPIRED; ENGINEERED STRUCTURES; FOLDING METHODS; MACRO SCALE; NANO SCALE; NANOSCALE ENGINEERING; PATTERNED STRUCTURE; SMALL SIZE; SUBMILLIMETERS; THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE;

FABRICATION; NANOSTRUCTURED MATERIALS; SELF ASSEMBLY;

THREE DIMENSIONAL;

NANOMATERIAL;

CHEMISTRY; ELECTRONICS; METHODOLOGY; NANOTECHNOLOGY; REVIEW; ULTRASTRUCTURE;

MINIATURIZATION; NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY;

EID: 77950614298     PISSN: 16136810     EISSN: 16136829     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/smll.200901704     Document Type: Review

References (194)

1. MC molding processed products. http://www.iriso-seimitsu.co.jp/mcitem/ smallpart.html (accessed December 2009).
2. The world's smallest cast of the dice. http://allabout.co.jp/game/ cardgame/closeup/CU20041205A/index2.htm (accessed December 2009).
3. E. V. Shevchenko, D. V. Talapin, A. L. Rogach, A. Kornowski, M. Haase, H. Weller, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 11480.
4. Y. Liu, S.Wang, J. W. Lee, N. A. Kotov, Chem. Mater. 2005, 17, 4918.
5. Y. Yin, Y. Xia, Adv. Mater. 2001, 13, 267.
6. A. Rogach, A. Susha, F. Caruso, G. Sukhorukov, A. Kornowski, S. Kershaw, H. Möhwald, A. Eychmüller, H. Weller, Adv. Mater. 2000, 12, 333.
7. E. W. Seelig, B. Tang, A. Yamilov, H. Cao, R. P. H. Chang, Mater. Chem. Phys. 2003, 80, 257.
8. K. J. Stebe, E. Lewandowski, M. Ghosh, Science 2009, 325, 159.
9. C. J. Brinker, Y. Lu, A. Sellinger, H. Fan, Adv. Mater. 1999, 11, 579.
10. X. Liu, L. Fu, S. Hong, V. P. Dravid, C. A. Mirkin, Adv. Mater. 2002, 14, 231.
11. D. Wang, H. Möhwald, J. Mater. Chem. 2004, 14, 459.
12. H. Zhang, R. Jin, C. A. Mirkin, Nano Lett. 2004, 4, 1493.
13. Y. Huang, X. Duan, Q. Wei, C. M. Lieber, Science 2001, 291, 630.
14. J. Y. Cheng, C. A. Ross, H. I. Smith, E. L. Thomas, Adv. Mater. 2006, 18, 2505.
15. A. van Blaaderen, R. Ruel, P. Wiltzius, Nature 1997, 385, 321.
16. Z. Li, C. S.-W. Chung, J.-M. Nam, D. S. Ginger, C. A. Mirkin, Angew. Chem. 2003, 115, 2408.
17. Angew. Chem. Int. Ed. 2003, 42, 2306.
18. N. L. Rosi, C. S. Thaxton, C. A. Mirkin, Angew. Chem. 2004, 116, 5616.
19. Angew. Chem. Int. Ed. 2004, 43, 5500.
20. G. Yu, X. Li, C. M. Lieber, A. Cao, J. Mater. Chem. 2008, 18, 728.
21. K. J. Bishop, C. E. Wilmer, S. Soh, B. A. Grzybowski, Small 2009, 5, 1600.
22. J. J. Storhoff, R. C. Mucic, C. A. Mirkin, J. Cluster Sci. 1997, 8, 179.
23. C. Lin, Y. Liu, S. Rinker, H. Yan, ChemPhysChem 2006, 7, 1641.
24. M. D. Linette, S.-J. Park, T. A. Taton, Z. Li, C. A. Mirkin, Angew. Chem. 2001, 113, 3161.
25. Angew. Chem. Int. Ed. 2001, 40, 3071.
26. S. Zhang, D. M. Marini, W. Hwang, S. Santoso, Curr. Opin. Chem. Biol. 2002, 6, 865.
27. P. Wu, W. Shui, B. L. Carlson, N. Hu, D. Rabuka, J. Lee, C. R. Bertozzi, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2009, 106, 3000.
28. E. S. Andersen, M. Dong, M. M. Nielsen, K. Jahn, R. Subramani, W. Mamdouh, M. M. Golas, B. Sander, H. Stark, C. L. P. Oliveira, J. S. Pedersen, V. Birkedal, F. Besenbacher, K. V. Gothelf, J. Kjems, Nature 2009, 459, 73.
29. F. Huo, A. K. R. Lytton-Jean, C. A. Mirkin, Adv. Mater. 2006, 18, 2304.
30. C. A. Mirkin, Inorg. Chem. 2000, 39, 2258.
31. D. Nykypanchuk, M. M. Maye, D. van der Lelie, O. Gang, Nature 2008, 451, 549.
32. H. Akiyama, A. Ito, Y. Kawabe, M. Kamihira, Biomed. Microdevices 2009, 11, 713.
33. T. D. Clark, J. Tien, D. C. Duffy, K. E. Paul, G. M. Whitesides, J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 7677.
34. D. H. Gracias, J. Tien, T. L. Breen, C. Hsu, G. M. Whitesides, Science 2000, 289, 1170.
35. H. O. Jacobs, A. R. Tao, A. Schwartz, D. H. Gracias, G. M. Whitesides, Science 2002, 296, 323.
36. M. Boncheva, D. H. Gracias, H. O. Jacobs, G. M. Whitesides, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2002, 99, 4937.
37. G. M. Whitesides, B. Grzybowski, Science 2002, 295, 2418.
38. T. L. Breen, J. Tien, S. R. J. Oliver, T. Hadzic, G. M. Whitesides, Science 1999, 284, 948.
39. S. Park, J.-H. Lim, S.-W. Chung, C. A. Mirkin, Science 2004, 303, 348.
40. S. H. Kim, F. Nederberg, L. Zhang, C. G. Wade, R. M. Waymouth, J. L. Hedrick, Nano Lett. 2008, 8, 294.
41. H. Cui, Z. Chen, S. Zhong, K. L. Wooley, D. J. Pochan, Science 2007, 317, 647.
42. S. C. Warren, L. C. Messina, L. S. Slaughter, M. Kamperman, Q. Zhou, S. M. Gruner, F. J. DiSalvo, U. Wiesner, Science 2008, 320, 1748.
43. M. Mastrangeli, S. Abbasi, C. Varel, C. V. Hoof, J.-P. Celis, K. F. Bohringer, J. Micromech. Microeng. 2009, 19, 083001.
44. G. T. A. Kovacs, N. I. Maluf, K. E. Petersen, Proc. IEEE 1998, 86, 1536.
45. J. M. Bustillo, R. T. Howe, R. S. Muller, Proc. IEEE 1998, 86, 1552.
46. R. T. Howe, presented at 13th Sensor Symposium, Tokyo, Japan, 7-9 June, 1995.
47. K. W. Markus, D. A. Koester, A. Cowen, R. Mahadevan, V. R. Dhuler, D. Roberson, L. Smith, presented at SPIE Micromachining and Microfabrication Process Technology Austin, TX, 23 October, 1995.
48. M. S. Rogers, J. J. Sniegowski, S. L. Miller, C. C. Barron, P. J. McWhorter, presented at SPIE Micromachined Devices and Components III, Austin, TX, 29 September, 1997.
49. A. Mehra, X. Zhang, A. A. Ayon, I. A. Waitz, M. A. Schmidt, C. M. Spadaccini, J. Microelectromech. Syst. 2000, 9, 517.
50. N. Miki, X. Zhang, R. Khanna, A. A. Ayón, D. Ward, S. M. Spearing, Sens. Actuators, A 2003, 103, 194.
51. E. W. Becker, W. Ehrfeld, D. Münchmeyer, H. Betz, A. Heuberger, S. Pongratz, W. Glashauser, H. J. Michel, R. Vonsiemens, Naturwissenschaften 1982, 69, 520.
52. W. Ehrfeld, A. Schmidt, J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 3526.
53. C. Fu, H. Huang, Microsyst. Technol. 2007, 13, 293.
54. W. M. Qu, C. Wenzel, A. Jahn, J. Micromech. Microeng. 1998, 8, 279.
55. W. Qu, C. Wenzel, A. Jahn, D. Zeidler, presented at Conference on Optoelectronic and Microelectronic Materials and Devices, Perth, Australia, 14-15 December, 1998.
56. A. A. Ayón, R. L. Bayt, K. S. Breuer, Smart Mater. Struct. 2001, 10, 1135.
57. F. Laermer, A. Urban, Microelectron. Eng. 2003, 67-68, 349.
58. F. Romanato, L. Businaro, M. Tormen, F. Perennes, M. Matteucci, B. Marmiroli, S. Balslev, E. Di Fabrizio, J. Phys.: Conf. Ser. 2006, 34, 904.
59. G. Feiertag, W. Ehrfeld, H. Freimuth, H. Kolle, H. Lehr, M. Schmidt, M. M. Sigalas, C. M. Soukoulis, G. Kiriakidis, T. Pedersen, J. Kuhl, W. Koenig, Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 1441.
60. Y.-K. Yoon, J.-H. Park, M. G. Allen, J. Microelectromech. Syst. 2006, 15, 1121.
61. M. Han, W. Lee, S.-K. Lee, S. S. Lee, Sens. Actuators, A 2004, 111, 14.
62. H. Yu, B. Li, X. Zhang, Sens. Actuators, A 2006, 125, 553.
63. S. S. Crump, United States Patent 5121329, 1992.
64. T. Boland, T. Xu, B. Damon, X. Cui, Biotechnol. J. 2006, 1, 910.
65. J. A. Lewis, G. M. Gratson, Mater. Today 2004, 7, 32.
66. T. Xu, J. Jin, C. Gregory, J. J. Hickman, T. Boland, Biomaterials 2005, 26, 93.
67. W. Hu, K. Sarveswaran, M. Lieberman, G. H. Bernstein, J. Vac. Sci. Technol. B 2004, 22, 1711.
68. J. Fujita, M. Ishida, T. Ichihashi, Y. Ochiai, T. Kaito, S. Matsui, J. Vac. Sci. Technol. B 2003, 21, 2728.
69. C. Enkrich, F. Pérez-Willard, D. Gerthsen, J. F. Zhou, T. Koschny, C. M. Soukoulis, M. Wegener, S. Linden, Adv. Mater. 2005, 17, 2547.
70. S. Matsui, T. Kaito, J. Fujita, M. Komuro, K. Kanda, Y. Haruyama, J. Vac. Sci. Technol. B 2000, 18, 3181.
71. K. Watanabe, T. Morita, R. Kometani, T. Hoshino, K. Kondo, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Tajima, S. Matsui, J. Vac. Sci. Technol. B 2004, 22, 22.
72. J.-Y. Igaki, K. Kanda, Y. Haruyama, M. Ishida, Y. Ochiai, J. Fujita, T. Kaito, S. Matsui, Microelectron. Eng. 2006, 83, 1225.
73. M. F. Crommie, C. P. Lutz, D. M. Eigler, Science 1993, 262, 218.
74. R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. Hong, C. A. Mirkin, Science 1999, 283, 661.
75. A. A. Tseng, A. Notargiacomo, T. P. Chen, J. Vac. Sci. Technol. B 2005, 23, 877.
76. S. Hong, J. Zhu, C. A. Mirkin, Science 1999, 286, 523.
77. P. Vettiger, M. Despont, U. Drechsler, U. Durig, W. Haberle, M. I. Lutwyche, H. E. Rothuizen, R. Stutz, R. Widmer, G. K. Binnig, IBM J. Res. Dev. 2000, 44, 323.
78. M. Zhang, D. Bullen, S.-W. Chung, S. Hong, S. Ryu, Z. Fan, C. A. Mirkin, C. Liu, Nanotechnology 2002, 13, 212.
79. C. N. LaFratta, J. T. Fourkas, T. Baldacchini, R. A. Farrer, Angew. Chem. 2007, 119, 6352.
80. Angew. Chem. Int. Ed. 2007, 46, 6238.
81. S. Kawata, H.-B. Sun, T. Tanaka, K. Takada, Nature 2001, 412, 697.
82. L. J. Li, J. T. Fourkas, Mater. Today 2007, 10, 30.
83. W. Haske, V. W. Chen, J. M. Hales, W. Dong, S. Barlow, S. R. Marder, J. W. Perry, Opt. Express 2007, 15, 3426.
84. S. M. Kuebler, M. Rumi, T. Watanabe, K. Braun, B. H. Cumpston, A. A. Heikal, L. L. Erksine, S. Thayumanavan, S. Barlow, S. R.Marder, J. W. Perry, J. Photopolym. Sci. Technol. 2001, 14, 657.
85. S. Maruo, J. T. Fourkas, Laser Photonics Rev. 2008, 2, 100.
86. C. N. LaFratta, T. Baldacchini, R. A. Farrer, J. T. Fourkas, M. C. Teich, B. E. A. Saleh, M. J. Naughton, J. Phys. Chem. B 2004, 108, 11256.
87. C. N. LaFratta, L. J. Li, J. T. Fourkas, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2006, 103, 8589.
88. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom, J. Vac. Sci. Technol. B 1996, 14, 4129.
89. S. Zankovych, T. Hoffmann, J. Seekamp, J.-U. Bruch, C. M. Sotomayor Torres, Nanotechnology 2001, 12, 91.
90. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114.
91. A. L. Cohen, in The MEMS Handbook: MEMS, Design and Fabrication (Ed: M. Gad-el-Hak), CRC Press, Boca Raton, FL 2002.
92. A. L. Cohen, U. Frodis, F.-G. Tseng, G. Zhang, F. Mansfeld, P. M. Will, presented at Micromachining and Microfabrication Process Technology V, Santa Clara, CA, 20 September, 1999.
93. K. Ogai, S. Matsui, Y. Kimura, R. Shimizu, Jpn. J. Appl. Phys. 1993, 32, 5988.
94. M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, A. J. Turberfield, Nature 2000, 404, 53.
95. Y. K. Pang, J. Lee, H. Lee, W. Y. Tam, C. Chan, P. Sheng, Opt. Express 2005, 13, 7615.
96. S. Jeon, J.-U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2004, 101, 12428.
97. D. Chanda, L. Abolghasemi, P. R. Herman, Opt. Express 2006, 14, 8568.
98. I. Bita, T. Choi, M. E. Walsh, H. I. Smith, E. L. Thomas, Adv. Mater. 2007, 19, 1403.
99. D. J. Shir, S. Jeon, H. Liao, M. Highland, D. G. Cahill, M. F. Su, I. F. El-Kady, C. G. Christodoulou, G. R. Bogart, A. V. Hamza, J. A. Rogers, J. Phys. Chem. B 2007, 111, 12945.
100. S. Jeon, V. Malyarchuk, J. A. Rogers, G. P. Wiederrecht, Opt. Express 2006, 14, 2300.
101. D. J. Filipiak, A. Azam, T. G. Leong, D. H. Gracias, J. Micromech. Microeng. 2009, 19, 075012.1.
102. A. Azam, T. G. Leong, A. M. Zarafshar, D. H. Gracias, PLoS ONE 2009, 4, e4451.
103. B. A. Grzybowski, C. E. Wilmer, J. Kim, K. Browne, K. J. M. Bishop, Soft Matter 2009, 5, 1110.
104. S. Kusuda, S. Sawano, S. Konishi, presented at IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 21-25 January, 2007.
105. Y.-W. Lu, C.-J. Kim, Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 164101.
106. E. Iwase, I. Shimoyama, J. Microelectromech. Syst. 2005, 14, 1265.
107. Y. W. Yi, C. Liu, J. Microelectromech. Syst. 1999, 8, 10.
108. J. W. Judy, R. S. Muller, J. Microelectromech. Syst. 1997, 6, 249.
109. Y. W. Yi, C. Liu, Sens. Actuators, A 1999, 78, 205.
110. C. Liu, T. Tsao, Y.-C. Tai, T.-S. Leu, C.-M. Ho, W.-L. Tang, D. K. Miu, presented at IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Amsterdam, The Netherlands, 30 January-3 February, 1995.
111. A. J. Nichol, W. J. Arora, G. Barbastathis, J. Vac. Sci. Technol. B 2006, 24, 3128.
112. H. J. In, H. Lee, A. J. Nichol, S.-G. Kim, G. Barbastathis, J. Vac. Sci. Technol. B 2008, 26, 2509.
113. M. Boncheva, S. A. Andreev, L. Mahadevan, A. Winkleman, D. R. Reichman, M. G. Prentiss, S. Whitesides, G. M. Whitesides, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2005, 102, 3924.
114. S. J. Kim, H. I. Kim, S. J. Park, I. Y. Kim, S. H. Lee, T. S. Lee, S. I. Kim, Smart Mater. Struct. 2005, 14, 511.
115. J. Guan, H. He, D. J. Hansford, L. J. Lee, J. Phys. Chem. B 2005, 109, 23134.
116. M. Shahinpoor, Y. Bar-Cohen, J. O. Simpson, J. Smith, Smart Mater. Struct. 1998, 7, R15.
117. E. Smela, O. Inganas, I. Lundstrom, Science 1995, 268, 1735.
118. E. W. H. Jager, E. Smela, O. Inganäs, Science 2000, 290, 1540.
119. E. W. H. Jager, O. Inganäs, I. Lundström, Science 2000, 288, 2335.
120. H.-L. Wang, J. Gao, J.-M. Sansiñena, P. McCarthy, Chem. Mater. 2002, 14, 2546.
121. S. J. Kim, K. J. Lee, S. I. Kim, Y. M. Lee, T. D. Chung, S. H. Lee, J. Appl. Polym. Sci. 2003, 89, 2301.
122. Y. Bar-Cohen, Handbook on Biomimetics, NTS, Inc., Tokyo 2000.
123. G. Liu, X. Zhao, J. Macromol. Sci. A 2005, 42, 51.
124. S. J. Kim, S. G. Yoon, K. B. Lee, Y. D. Park, S. I. Kim, Solid State Ionics 2003, 164, 199.
125. J. K. Luo, J. H. He, Y. Q. Fu, A. J. Flewitt, S. M. Spearing, N. A. Fleck, W. I. Milne, J. Micromech. Microeng. 2005, 15, 1406.
126. J. K. Luo, R. Huang, J. H. He, Y. Q. Fu, A. J. Flewitt, S. M. Spearing, N. A. Fleck, W. I. Milne, Sens. Actuators, A 2006, 132, 346.
127. K. Suzuki, H. Yamada, H. Miura, H. Takanobu, Microsyst. Technol. 2007, 13, 1047.
128. T. Ebefors, E. Kälvesten, G. Stemme, Sens. Actuators, A 1998, 67, 199.
129. A. P. Lee, D. R. Ciarlo, P. A. Krulevitch, S. Lehew, J. Trevino, M. A. Northrup, Sens. Actuators, A 1996, 54, 755.
130. P. Krulevitch, A. P. Lee, P. B. Ramsey, J. C. Trevino, J. Hamilton, M. A. Northrup, J. Microelectromech. Syst. 1996, 5, 270.
131. J. H. Comtois, V. M. Bright, Sens. Actuators, A 1997, 58, 19.
132. J. Varona, M. Tecpoyotl-Torres, A. A. Hamoui, presented at Electronics, Robotics and Automotive Mechanics Conference (CERMA), 25-28 September, 2007.
133. V. Kaajakari, S. Rogers, A. Lal, presented at The 13th Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Miyiazaki, Japan, 23-27 January, 2000.
134. V. Kaajakari, A. Lal, presented at Transducers '99: The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Sendai, Japan, 7-10 June, 1999.
135. J. C. Maxwell, Philos. Trans. R. Soc. London 1879, 170, 231.
136. O. Reynolds, Nature 1879, 19, 435.
137. V. Kaajakari, A. Lal, J. Microelectromech. Syst. 2003, 12, 425.
138. J. Xi, J. J. Schmidt, C. D. Montemagno, Nat. Mater. 2005, 4, 180.
139. A. W. Feinberg, A. Feigel, S. S. Shevkoplyas, S. Sheehy, G. M. Whitesides, K. K. Parker, Science 2007, 317, 1366.
140. W. J. Arora, A. J. Nichol, H. I. Smith, G. Barbastathis, Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 053108.
141. C. L. Chua, D. K. Fork, K. Van Schuylenbergh, J. P. Lu, J. Microelectromech. Syst. 2003, 12, 989.
142. E. Moiseeva, Y. M. Senousy, S. McNamara, C. K. Harnett, J. Micromech. Microeng. 2007, 17, N63.
143. Y. Ho, M. Wu, H. Lin, W. Fang, presented at IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS, Lugano, Switzerland, 20-23 August, 2002.
144. H. J. In, W. J. Arora, T. Buchner, S. M. Jurga, H. I. Smith, G. Barbastathis, presented at 4th IEEE Conference on Nanotechnology, Munich, Germany, 16-19 August, 2004.
145. K. Kubota, T. Fleischmann, S. Saravanan, P. O. Vaccaro, T. Aida, Jpn. J. Appl. Phys, Part 1 2003, 42, 4079.
146. M. Sasaki, D. Briand, W. Noell, N. F. de Rooij, K. Hane, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 2004, 10, 455.
147. N. Bassik, G. M. Stern, M. Jamal, D. H. Gracias, Adv. Mater. 2008, 20, 4760.
148. N. Bassik, G. M. Stern, D. H. Gracias, Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 091901.
149. T. G. Leong, C. L. Randall, B. R. Benson, N. Bassik, G. M. Stern, D. H. Gracias, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2009, 106, 703.
150. J. S. Randhawa, T. G. Leong, N. Bassik, B. R. Benson, M. T. Jochmans, D. H. Gracias, J. Am. Chem. Soc. 2008, 130, 17238.
151. J. S. Randhawa, M. D. Keung, P. Tyagi, D. H. Gracias, Adv. Mater. 2010, 22, 407.
152. V. Y. Prinz, Russ. Phys. J. 2003, 46, 568.
153. L. Zhang, S. V. Golod, E. Deckardt, V. Prinz, D. Grützmacher, Phys. E 2004, 23, 280.
154. O. G. Schmidt, K. Eberl, Nature 2001, 410, 168.
155. Y. F. Mei, G. S. Huang, A. A. Solovev, E. B. Ureña, I. Mönch, F. Ding, T. Reindl, R. K. Y. Fu, P. K. Chu, O. G. Schmidt, Adv. Mater. 2008, 20, 4085.
156. Y. F. Mei, D. J. Thurmer, C. Deneke, S. Kiravittaya, Y. F. Chen, A. Dadgar, F. Bertram, B. Bastek, A. Krost, J. Christen, T. Reindl, M. Stoffel, E. Coric, O. G. Schmidt, ACS Nano 2009, 3, 1663.
157. T. G. Leong, C. L. Randall, B. R. Benson, A. M. Zarafshar, D. H. Gracias, Lab Chip 2008, 8, 1621.
158. T. G. Leong, B. R. Benson, E. K. Call, D. H. Gracias, Small 2008, 4, 1605.
159. C. Py, P. Reverdy, L. Doppler, J. Bico, B. Roman, C. N. Baroud, Phys. Rev. Lett. 2007, 98, 156103.
160. G. W. Dahlmann, E. M. Yeatman, P. Young, I. D. Robertson, S. Lucyszyn, Sens. Actuators, A 2002, 97-8, 215.
161. D. H. Gracias, V. Kavthekar, J. C. Love, K. E. Paul, G. M. Whitesides, Adv. Mater. 2002, 14, 235.
162. P. W. Green, R. R. A. Syms, E. M. Yeatman, J. Microelectromech. Syst. 1995, 4, 170.
163. K. F. Harsh, V. M. Bright, Y. C. Lee, Sens. Actuators A 1999, 77, 237.
164. K. F. Harsh, Y. C. Lee, presented at SPIE Micro-Optics Integration and Assemblies, San Jose, CA, 24-30 January, 1998.
165. Y. K. Hong, R. R. A. Syms, K. S. J. Pister, L. X. Zhou, J. Micromech. Microeng. 2005, 15, 663.
166. E. E. Hui, R. T. Howe, M. S. Rodgers, presented at 13th IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop (MEMS 2000), Miyazaki, Japan, 23-27 January, 2000.
167. R. J. Linderman, P. E. Kladitis, V. M. Bright, Sens. Actuators, A 2002, 95, 135.
168. B. McCarthy, V. M. Bright, J. A. Neff, Sens. Actuators, A 2003, 103, 187.
169. P. R. Patterson, D. Hah, H. Nguyen, H. Toshiyoshi, R.-M. Chao, M. C. Wu, presented at 15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 20-24 January, 2002.
170. R. R. A. Syms, J. Microelectromech. Syst. 1995, 4, 177.
171. R. R. A. Syms, J. Microelectromech. Syst. 1999, 8, 448.
172. R. R. A. Syms, IEEE Photonics Technol. Lett. 2000, 12, 1519.
173. R. R. A. Syms, E. M. Yeatman, Electron. Lett. 1993, 29, 662.
174. R. R. A. Syms, E. M. Yeatman, V. M. Bright, G. M. Whitesides, J. Microelectromech. Syst. 2003, 12, 387.
175. M. Fialkowski, A. Bitner, B. A. Grzybowski, Nat. Mater. 2005, 4, 93.
176. T. G. Leong, P. A. Lester, T. L. Koh, E. K. Call, D. H. Gracias, Langmuir 2007, 23, 8747.
177. J.-H. Cho, D. H. Gracias, Nano Lett. 2009, 9, 4049.
178. H. K. Ye, C. L. Randall, T. G. Leong, D. A. Slanac, E. K. Call, D. H. Gracias, Angew. Chem. 2007, 119, 5079.
179. Angew. Chem. Int. Ed. 2007, 46, 4991.
180. J. Wang, M. Patel, D. H. Gracias, NANO 2009, 4, 1.
181. C. L. Randall, T. G. Leong, N. Bassik, D. H. Gracias, Adv. Drug Delivery Rev. 2007, 59, 1547.
182. C. L. Randall, A. Gillespie, S. Singh, T. G. Leong, D. H. Gracias, Anal. Bioanal. Chem. 2009, 393, 1217.
183. B. Gimi, T. Leong, Z. Y. Gu, M. Yang, D. Artemov, Z. M. Bhujwalla, D. H. Gracias, Biomed. Microdevices 2005, 7, 341.
184. B. Gimi, D. Artemov, T. Leong, D. H. Gracias, Z. M. Bhujwalla, Magn. Reson. Med. 2007, 58, 1283.
185. B. Gimi, D. Artemov, T. Leong, D. H. Gracias, W. Gilson, M. Stuber, Z. M. Bhujwalla, Cell Transplantaion 2007, 16, 403.
186. T. G. Leong, Z. Y. Gu, T. Koh, D. H. Gracias, J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 11336.
187. J.-R. Park, D. Slanac, T. Leong, H. Ye, D. Nelson, D. H. Gracias, J. Microelectromech. Syst. 2008, 17, 265.
188. J. H. Cho, S. Hu, D. H. Gracias, Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 043505/1.
189. A. Azam, K. Laflin, M. Jamal, J. S. Randhawa, D. H. Gracias, unpublished.
190. J. B. Pendry, D. Schurig, D. R. Smith, Science 2006, 312, 1780.
191. R. P. Feynman, J. Microelectromech. Syst. 1992, 1, 60.
192. R. Fernandes, D. H. Gracias, Mater. Today 2009, 12, 14.
193. Sandia National Laboratories, http://www.mems.sandia.gov/tech-info/mems- overview.html (accessed December, 2009).
194. Lawrence Livermore National Laboratory, https://www.llnl.gov/str/ Mariella.html (accessed December, 2009).