PECVD growth of carbon nanotubes: From experiment to simulation

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 30, Issue 3, 2012, Pages

  Neytsa, Erik C ^a  

^a UNIVERSITY OF ANTWERP   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS CARBON; CARBON NANOTUBES; YARN;

CARBON NANO-MATERIALS; COMPUTATIONAL APPROACH; COMPUTATIONAL CHALLENGES; CURRENT STATUS; ENHANCED GROWTH; GROWTH MECHANISMS; METALLOFULLERENES; NANOSTRUCTURED CARBON MATERIALS;

GROWTH (MATERIALS);

EID: 84937705716     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.3702806     Document Type: Article

References (178)

1. A. Bogaerts, E. Neyts, R. Gijbels, and J. van der Mullen, Spectrochim. Acta, Part B 57, 609 (2002).
2. A. Grill, Cold Plasma in Materials Fabrication: From Fundamentals to Applications (IEEE, New York, 1994).
3. K. Ostrikov, Plasma Nanoscience (Wiley-VCH, Weinheim, 2008).
4. B. Chapman, Glow Discharge Processes (Wiley, New York, 1980).
5. T. Kato and R. Hatakeyama, Chem. Vap. Deposition 12, 345 (2006).
6. E. C. Neyts, A. C. T. van Duin, and A. Bogaerts, J. Am. Chem. Soc. 134, 1256 (2012).
7. M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (Wiley, New York, 1994).
8. L. Delzeit, I. McAninch, B. A. Cruden, D. Hash, B. Chen, J. Han, and M. Meyyappan, J. Appl. Phys. 91, 6027 (2002).
9. K. Matthews, B. Cruden, B. Chen, M. Meyyappan, and L. Delzeit, J. Nanosci. Nanotechnol. 2, 475 (2002).
10. S. Xu, K. N. Ostrikov, Y. Li, E. L. Tsakadze, and I. R. Jones, Phys. Plasmas 8, 2549 (2001).
11. T. Yuji and Y. M. Sung, IEEE Trans. Plasma Sci. 35, 1027 (2007).
12. S. H. Tsai, C. W. Chao, C. L. Lee, and H. C. Shih, Appl. Phys. Lett. 74, 3462 (1999).
13. Y. C. Choi, Y. H. Lee, B. S. Lee, G. Park, W. B. Choi, N. S. Lee, and J. M. Kim, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 1864 (2000).
14. J. Y. Lee and B. S. Lee, Thin Solid Films 418, 85 (2002).
15. S. K. Srivastava, A. K. Shukla, V. D. Vankar, and V. Kumar, Thin Solid Films 492, 124 (2005).
16. A. Malesevic, H. Chen, T. Hauffman, A. Vanhulsel, H. Terryn, and C. Van Haesendonck, Nanotechnology 18, 455602 (2007).
17. L. Qu, F. Du, and L. Dai, Nano Lett. 8, 2682 (2008).
18. E. J. Bae, Y.-S. Min, D. Kang, J.-H. Ko, and W. Part, Chem. Mater. 17, 5141 (2005).
19. T. Nozaki, S. Yoshida, T. Karatsu, and K. Okazaki, J. Phys. D: Appl. Phys. 44, 174007 (2011).
20. M. Meyyappan, J. Phys. D: Appl. Phys. 44, 174002 (2011).
21. S. Iijima, Nature (London) 354, 56 (1991).
22. S. Iijima and T. Ichihashi, Nature (London) 363, 603 (1993).
23. D. S. Bethune, C. H. Riang, M. S. de Vries, G. Gorman, R. Savoy, J. Vazquez, and R. Beyers, Nature (London) 363, 605 (1993).
24. P. M. Ajayan, J. M. Lambert, P. Bemier, L. Barbedette, C. Colliex, and J. M. Planeix, Chem. Phys. Lett. 215, 509 (1993).
25. M. S. Dresselhaus and Ph. Avouris, Carbon Nanotubes: Synthesis, Structure, Properties and Applications, edited by M. S. Dresselhaus, G. Dresselhaus, and Ph. Avouris (Springer, Heidelberg, 2001), pp. 3-6.
26. M.-F. Yu, O. Lourie, M. J. Dyer, K. Moloni, T. F. Kelly, and R. S. Ruoff, Science 287, 637 (2000).
27. B. G. Demczyk, Y. M. Wang, J. Cumings, M. Hetman, W. Han, A. Zettl, and R. O. Ritchie, Mater. Sci. Eng., A 334, 173 (2002).
28. M. Popov, M. Kyotani, R. J. Nemanich, and Y. Koga, Phys. Rev. B 65, 033408 (2002).
29. S. Hong and S. Myung, Nat. Nanotechnol. 2, 207 (2007).
30. K. Mizuno, J. Ishii, H. Kishida, Y. Hayamizu, S. Yasuda, D. N. Futaba, M. Yumura, and K. Hata, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 106, 6044 (2009).
31. E. Pop, D. Mann, Q. Wang, K. Goodson, and H. Dai, Nano Lett. 6, 96 (2006).
32. R. H. Baughman, A. A. Zahkidov, and W. A. de Heer, Science 297, 787 (2002).
33. R. Hatakeyama, T. Kaneko, T. Kato, and Y. F. Li, J. Phys. D: Appl. Phys. 44, 174004 (2011).
34. A. Thess et al., Science 273, 483 (1996).
35. J.-C. Charlier, H. Amara, and Ph. Lambin, ACS Nano 1, 202 (2007).
36. R. S. Wagner and W. C. Ellis, Appl. Phys. Lett. 4, 89 (1964).
37. R. T. K. Baker, M. A. Barber, P. S. Harris, and R. J. Waite, J. Catal. 26, 51 (1972).
38. A. J. Page, K. R. S. Chandrakumar, S. Irle, and K. Morokuma, J. Am. Chem. Soc. 133, 621 (2011).
39. S. Hofmann, C. Ducati, J. Robertson, and B. Kleinsorge, Appl. Phys. Lett. 83, 135 (2003).
40. S. Hofmann, G. Csanyi, A. C. Ferrari, M. C. Payne, and J. Robertson, Phys. Rev. Lett. 95, 036101 (2005).
41. F. Ding, A. R. Harutyunyan, and B. I. Yakobson, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 106, 2506 (2009).
42. R. M. Sankaran, J. Phys. D: Appl. Phys. 44, 174005 (2011).
43. M. Meyyappan, J. Phys. D: Appl. Phys. 42, 213001 (2009).
44. K. B. K. Teo et al., Nano Lett. 4, 921 (2004).
45. S. Hofmann, C. Ducati, B. Kleinsorge, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett. 83, 4661 (2003).
46. S. Hofmann, B. Kleinsorge, C. Ducati, A. C. Ferrari, and J. Robertson, Diamond Relat. Mater. 13, 1171 (2004).
47. S. M. Bachilo, L. Balzano, J. E. Herrera, F. Pompeo, D. E. Resasco, and R. B. Weisman, J. Am. Chem. Soc. 125, 11186 (2003).
48. Y. H. Miyauchi, S. H. Chiashi, Y. Murakami, Y. Hayashida, and S. Maruyama, Chem. Phys. Lett. 387, 198 (2004).
49. X. L. Li, X. M. Tu, S. Zaric, K. Welsher, W. S. Seo, W. Zhao, and H. J. Dai, J. Am. Chem. Soc. 129, 15770 (2007).
50. Z. Ghorannevis, T. Kato, T. Kaneko, and R. Hatakeyama, J. Am. Chem. Soc. 132, 9570 (2010).
51. M. Cantoro et al., Nano Lett. 6, 1107 (2006).
52. M. Cantoro et al., J. Appl. Phys. 105, 064304 (2009).
53. C. Ducati, I. Alexandrou, M. Chhowalla, J. Robertson, and G. A. J. Amaratunga, J. Appl. Phys. 95, 6387 (2004).
54. A. Badzian and T. Badzian, Diamond Relat. Mater. 5, 93 (1996).
55. W.-H. Chiang and R. M. Sankaran, Nature Mater. 8, 882 (2009).
56. S. Reich, L. Li, and J. Robertson, Chem. Phys. Lett. 421, 469 (2006).
57. Y. Shibuta, Diamond Relat. Mater. 20, 334 (2011).
58. G. Zhang et al., Science 314, 974 (2006).
59. M. Chhowalla, K. B. K. Teo, C. Ducati, N. L. Rupesinghe, G. A. J. Amaratunga, A. C. Ferrari, D. Roy, J. Robertson, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 90, 5308 (2001).
60. C. Bower, W. Zhu, S. Jin, and O. Zhou, Appl. Phys. Lett. 77, 830 (2000).
61. J.-M. Ting and K.-H. Liao, Chem. Phys. Lett. 396, 469 (2004).
62. T. Kato, G.-H. Jeong, T. Hirata, R. Hatakeyama, K. Tohji, and K. Motomiya, Chem. Phys. Lett. 381, 422 (2003).
63. A. Gohier, T. M. Minea, A. M. Djouadi, A. Granier, and M. Dubosc, Chem. Phys. Lett. 421, 242 (2006).
64. A. Gohier, T. M. Minea, S. Point, J.-Y. Mevellec, J. Jimenez, M. A. Djouadi, and A. Granier, Diamond Relat. Mater. 18, 61 (2009).
65. Z. Luo, S. Lim, Y. You, J. Miao, H. Gong, J. Zhang, S. Wang, J. Lin, and Z. Shen, Nanotechnology 19, 255607 (2008).
66. Y. Y. Wang, S. Gupta, and R. J. Nemanich, Appl. Phys. Lett. 85, 2601 (2004).
67. Y. Li et al., Nano Lett. 4, 317 (2004).
68. Y. S. Min, E. J. Bae, B. S. Oh, D. Kang, and W. Park, J. Am. Chem. Soc. 127, 12498 (2005).
69. Z. Ghorannevis, T. Kato, T. Kaneko, and R. Hatakeyama, Jpn. J. Appl. Phys. 49, 02BA01 (2010).
70. M. Mao and A. Bogaerts, J. Phys. D: Appl. Phys. 43, 315203 (2010).
71. M. Mao and A. Bogaerts, J. Phys. D: Appl. Phys. 43, 205201 (2010).
72. D. Hash, D. Bose, T. R. Govindan, and M. Meyyappan, J. Appl. Phys. 93, 6284 (2003).
73. A. Okita, Y. Suda, A. Ozeki, H. Sugawara, Y. Sakai, A. Oda, and J. Nakamura, J. Appl. Phys. 99, 014302 (2006).
74. K. Ostrikov and H. Mehdipour, ACS Nano 5, 8372 (2011).
75. I. B. Denysenko, S. Xu, J. D. Long, P. P. Rutkevych, N. A. Azarenkov, and K. Ostrikov, J. Appl. Phys. 95, 2713 (2004).
76. D. B. Hash and M. Meyyappan, J. Appl. Phys. 93, 750 (2003).
77. I. Levchenko, K. Ostrikov, M. Keidar, and U. Cvelbar, J. Phys. D: Appl. Phys. 41, 132004 (2008).
78. M. S. Bell, K. B. K. Teo, and W. I. Milne, J. Phys. D: Appl. Phys. 40, 2285 (2007).
79. M. Grujicic, G. Cao, and B. Gersten, J. Mater. Sci. 38, 1819 (2003).
80. D. B. Hash, M. S. Bell, K. B. K. Teo, B. A. Cruden, W. I. Milne, and M. Meyyappan, Nanotechnology 16, 925 (2005).
81. R. Car and M. Parrinello, Phys. Rev. Lett. 55, 2471 (1985).
82. J. Gavillet, A. Loiseau, C. Journet, F. Willaime, F. Ducastelle, and J.-C. Charlier, Phys. Rev. Lett. 87, 275504 (2001).
83. S. Irle, Y. Ohta, Y. Okamote, A. J. Page, Y. Wang, and K. Morokuma, Nano Res. 2, 755 (2009).
84. J.-Y. Raty, F. Gygi, and G. Galli, Phys. Rev. Lett. 95, 096103 (2005).
85. Y. Ohta, Y. Okamoto, A. J. Page, S. Irle, and K. Morokuma, ACS Nano 3, 3413 (2009).
86. A. J. Page, Y. Ohta, S. Irle, and K. Morokuma, Acc. Chem. Res. 43, 1375 (2010).
87. Y. Ohta, Y. Okamoto, S. Irle, and K. Morokuma, ACS Nano 2, 1437 (2008).
88. A. J. Page, Y. Ohta, Y. Okamoto, S. Irle, and K. Morokuma, J. Phys. Chem. C 113, 20198 (2009).
89. A. Borjesson and K. Bolton, J. Phys. Chem. C 114, 18045 (2010).
90. A. J. Page, H. Yamane, Y. Ohta, S. Irle, and K. Morokuma, J. Am. Chem. Soc. 132, 15699 (2010).
91. S. Karoui, H. Amara, C. Bichara, and F. Ducastelle, ACS Nano 4, 6114 (2010).
92. E. C. Neyts, Y. Shibuta, A. C. T. van Duin, and A. Bogaerts, ACS Nano 4, 6665 (2010).
93. E. C. Neyts, A. C. T. van Duin, and A. Bogaerts, J. Am. Chem. Soc. 133, 17225 (2011).
94. M. Moors, H. Amara, T. Visart de Bocarmé, C. Bichara, F. Ducastelle, N. Kruse, and J.-C. Charlier, ACS Nano 3, 511 (2009).
95. H. Amara, J.-M. Roussel, C. Bichara, J.-P. Gaspard, and F. Ducastelle, Phys. Rev. B 79, 014109 (2009).
96. H. Amara, C. Bichara, and F. Ducastelle, Phys. Rev. Lett. 100, 056105 (2008).
97. X. Fan, R. Buczko, A. A. Puretzky, D. B. Geohegan, J. Y. Howe, S. T. Pantelides, and S. J. Pennycook, Phys. Rev. Lett. 90, 145501 (2003).
98. Y. H. Lee, S. G. Kim, and D. Tomanek, Phys. Rev. Lett. 78, 2393 (1998).
99. A. N. Andriotis, M. Menon, and G. Froudakis, Phys. Rev. Lett. 85, 3193 (2000).
100. W. Zhu, A. Börjesson, and K. Bolton, Carbon 48, 470 (2010).
101. D. Kondo, S. Sato, and Y. Awano, Chem. Phys. Lett. 422, 481 (2006).
102. A. G. Nasibulin, P. V. Pikhitsa, H. Jiang, and E. Kauppinen, Carbon 43, 2251 (2005).
103. F. Abild-Pedersen, J. K. Nørskov, J. R. Rostrup-Nielsen, J. Sehested, and S. Helveg, Phys. Rev. B 73, 115419 (2006).
104. D. L. Trimm, Catal. Rev. - Sci. Eng. 16, 155 (1977).
105. Q. Wang, K. H. Lim, S.-W. Yang, Y. Yang, and Y. Chen, Theor. Chem. Acc. 128, 17 (2011).
106. S. Helveg, C. Lopez-Cartes, J. Sehested, P. L. Hansen, B. S. Clausen, J. R. Rostrup-Nielsen, F. Abild-Pedersen, and J. Nørskov, Nature (London) 427, 426 (2004).
107. Q. Wang, M.-F. Ng, S.-W. Yang, Y. Yang, and Y. Chen, ACS Nano 4, 939 (2010).
108. D. A. Gomez-Gualdron, J. Zhao, and P. B. Balbuena, J. Chem. Phys. 134, 014705 (2011).
109. F. Ding, A. Rosén, and K. Bolton, Carbon 43, 2215 (2005).
110. J. Zhao, A. Martinez-Limia, and P. B. Balbuena, Nanotechnology 16, S575 (2005).
111. M. A. Ribas, F. Ding, P. B. Balbuena, and B. I. Yakobson, J. Chem. Phys. 131, 224501 (2009).
112. Y. Shibuta and S. Maruyama, Physica B 323, 187 (2002).
113. Y. Shibuta and S. Maruyama, Chem. Phys. Lett. 382, 381 (2003).
114. W. E. Alvarez, F. Pompeo, J. E. Herrera, L. Balzano, and D. E. Resasco, Chem. Mater. 14, 1853 (2002).
115. F. Ding, A. Rosén, and K. Bolton, J. Chem. Phys. 121, 2775 (2004).
116. F. Ding, A. Rosén, and K. Bolton, Chem. Phys. Lett. 393, 309 (2004).
117. F. Ding, K. Bolton, and A. Rosén, Appl. Surf. Sci. 252, 5254 (2006).
118. F. Ding, K. Bolton, and A. Rosén, Comput. Mater. Sci. 35, 243 (2006).
119. J. C. Burgos, H. Reyna, B. I. Yakobson, and P. B. Balbuena, J. Phys. Chem. C 114, 6952 (2010).
120. E. C. Neyts, A. C. T. van Duin, and A. Bogaerts, "Enhanced carbon nanotube nucleation by low energy ion bombardment", (unpublished).
121. A. A. Puretzky, D. B. Geohegan, S. Jesse, I. N. Ivanov, and G. Eres, Appl. Phys. A 81, 223 (2005).
122. D. H. Lee, S. O. Kim, and W. J. Lee, J. Phys. Chem. C 114, 3454 (2010).
123. Y. Zhang and K. J. Smith, J. Catal. 231, 354 (2005).
124. S. Naha, S. Sen, A. K. De, and I. K. Puri, Proc. Combust. Inst. 31, 1821 (2007).
125. S. Naha and I. K. Puri, J. Phys. D: Appl. Phys. 41, 065304 (2008).
126. I. Denysenko and K. Ostrikov, Appl. Phys. Lett. 90, 251501 (2007).
127. I. Denysenko and K. Ostrikov, J. Phys. D: Appl. Phys. 42, 015208 (2009).
128. N. Latorre, E. Romeo, F. Cazaña, T. Ubieto, C. Royo, J. I. Villacampa, and A. Monzón, J. Phys. Chem. C 114, 4773 (2010).
129. M. Grujicic, G. Cao, and B. Gersten, Appl. Surf. Sci. 199, 90 (2002).
130. A. C. Lysaght and W. K. S. Chiu, Nanotechnology 19, 165607 (2008).
131. A. C. Lysaght and W. K. S. Chiu, Nanotechnology 20, 115605 (2009).
132. M. R. Hosseini, N. Jalili, and D. A. Bruce, AIChE J. 55, 3152 (2009).
133. I. Levchenko and K. Ostrikov, Appl. Phys. Lett. 92, 063108 (2008).
134. I. Levchenko, K. Ostrikov, D. Mariotti, and A. B. Murphy, J. Appl. Phys. 104, 073308 (2008).
135. I. Levchenko, K. Ostrikov, J. Khachan, and S. V. Vladimirov, Phys. Plasmas 15, 103501 (2008).
136. E. Tam and K. Ostrikov, Nanotechnology 20, 375603 (2009).
137. A. Bogaerts, M. Eckert, M. Mao, and E. Neyts, J. Phys. D: Appl. Phys. 44, 174030 (2011).
138. K. S. Novoselov, A. K. Geim, S. V. Morozov, D. Jiang, Y. Zhang, S. V. Dubonos, I. V. Grigorieva, and A. A. Firsov, Science 306, 666 (2004).
139. Y. Zhang, Y. W. Tan, H. L. Stormer, and P. Kim, Nature (London) 438, 201 (2005).
140. M. Y. Han, B. Oezyilmaz, Y. Zhang, and P. Kim, Phys. Rev. Lett. 98, 206805 (2007).
141. K. I. Bolotin, K. J. Sikes, Z. Jiang, M. Klima, G. Fudenberg, J. Hone, P. Kim, and H. L. Stormer, Solid State Commun. 146, 351 (2008).
142. J. S. Bunch, A. M. van der Zande, S. S. Verbridge, I. W. Frank, D. M. Tanenbaum, J. M. Parpia, H. G. Craighead, and P. L. McEuen, Science 315, 490 (2008).
143. K. S. Kim et al., Nature (London) 457, 706 (2009).
144. X. Li, G. Y. Zhang, X. D. Bai, X. M. Sun, X. R. Wang, E. Wang, and H. J. Dai, Nat. Nanotechnol. 3, 538 (2008).
145. G. Eda, G. Fanchini, and M. Chhowalla, Nat. Nanotechnol. 3, 270 (2008).
146. M. Xu, D. Fujita, K. Sagisaka, E. Watanabe, and N. Hanagata, ACS Nano 5, 1522 (2011).
147. H. Amara, C. Bichara, and F. Ducastelle, Phys. Rev. B 73, 113404 (2006).
148. H. Amara, C. Bichara, and F. Ducastelle, Surf. Sci. 602, 77 (2008).
149. J. Gao, Q. Yuan, H. Hu, J. Zhao, and F. Ding, J. Phys. Chem. C 115, 17695 (2011).
150. S. Aisenberg and R. Chabot, J. Appl. Phys. 42, 2953 (1971).
151. J. Robertson, Mater. Sci. Eng. R 37, 129 (2002).
152. E. D. de Rooij, A. W. Kleyn, and W. J. Goedheer, Phys. Chem. Chem. Phys. 12, 14067 (2010).
153. P. Träskelin, E. Salonen, A. V. Krasheninnikov, and J. Keinonen, J. Appl. Phys. 93, 1826 (2003).
154. A. R. Sharma, R. Schneider, U. Toussaint, and K. Nordlund, J. Nucl. Mater. 363, 1283 (2007).
155. P. Träskelin, O. Saresoja, and K. Nordlund, J. Nucl. Mater. 375, 270 (2008).
156. E. Neyts, M. Tacq, and A. Bogaerts, Diamond Relat. Mater. 15, 1663 (2006).
157. E. Neyts, A. Bogaerts, and M. C. M. van de Sanden, J. Appl. Phys. 99, 014902 (2006).
158. E. Neyts, A. Bogaerts, R. Gijbels, J. Benedikt, and M. C. M. van de Sanden, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 228, 315 (2005).
159. M. Eckert, E. Neyts, and A. Bogaerts, J. Phys. D: Appl. Phys. 41, 032006 (2008).
160. H. U. Jäger and A. Belov, Phys. Rev. B 68, 1 (2003).
161. A. Belov and H. U. Jäger, Comput. Mater. Sci. 24, 16 (2003).
162. N. Marks, J. Phys.: Condens. Mater. 14, 2901 (2002).
163. W. L. Quan, H. X. Li, F. Zhao, L. Ji, W. Du, H. D. Zhou, and J. M. Chen, Phys. Lett. A 374, 2150 (2010).
164. W. L. Quan, H. X. Li, F. Zhao, L. Ji, W. Du, H. D. Zhou, and J. M. Chen, Chin. Phys. Lett. 27, 088102 (2010).
165. E. Neyts, M. Mao, M. Eckert, and A. Bogaerts, Plasma Processing of Nanomaterials, edited by R. M. Sankaran (CRC Press, Boca Raton, FL, 2012), pp. 245-290.
166. E. Neyts, A. Bogaerts, R. Gijbels, J. Benedikt, and M. C. M. van de Sanden, Diamond Relat. Mater. 13, 1873 (2004).
167. A.-L. Hamon, J. Verbeeck, D. Schryvers, J. Benedikt, and R. M. C. M. van de Sanden, J. Mater. Chem. 14, 2030 (2004).
168. E. Neyts, A. Bogaerts, and M. C. M. van de Sanden, Appl. Phys. Lett. 88, 141922 (2006).
169. E. Neyts, M. Eckert, and A. Bogaerts, Chem. Vap. Deposition 13, 312 (2007).
170. Z. Wan, J. F. Christian, and S. L. Anderson, Phys. Rev. Lett. 69, 1352 (1992).
171. Y. Basir and S. L. Anderson, J. Chem. Phys. 107, 8370 (1997).
172. S. Watanabe, N. S. Ishioka, T. Sekine, A. Osa, M. Koizumi, H. Shimomura, K. Yoshikawa, and H. Muramatsu, J. Radioanal. Nucl. Chem. 255, 495 (2003).
173. A. Kaplan, A. Bekkerman, B. Tsipinyuk, and E. J. Kolodney, J. Chem. Phys. 117, 3484 (2002).
174. E. Neyts and A. Bogaerts, Carbon 47, 1028 (2009).
175. E. Neyts, A. Maeyens, G. Pourtois, and A. Bogaerts, Carbon 49, 1013 (2011).
176. T. Umakoshi, H. Ishida, T. Kaneko, and R. Hatakeyama, Plasma Fusion Res.: Rapid Commun. 6, 1206015 (2011).
177. J. A. Elliott, M. Hamm, and Y. Shibuta, J. Chem. Phys. 130, 034704 (2009).
178. A. C. T. van Duin, S. Dasgupta, F. Lorant, and W. A. Goddard, III, J. Phys. Chem. A 105, 9396 (2001).