Growth of carbon nanocone arrays on a metal catalyst: The effect of carbon flux ionization

Physics of Plasmas

Volumn 15, Issue 10, 2008, Pages

  Levchenko, I ^a   Ostrikov, K ^a,b   Khachan, J ^a   Vladimirov, S V ^a  

^a UNIVERSITY OF SYDNEY   (Australia)

^b CSIRO   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CARBON NANOTUBES; CATALYSIS; CATALYSTS; GROWTH KINETICS; IONIZATION; IONIZATION OF GASES; NANOSTRUCTURES; PLASMA DEPOSITION; SEMICONDUCTING SILICON;

CARBON FLUXES; CARBON NANO STRUCTURES; CARBON NANOCONES; DEGREE OF IONIZATIONS; METAL CATALYSTS; MULTISCALE; NANOCONE ARRAYS; NEUTRAL GASSES; NUMERICAL SIMULATIONS; TEMPERATURE PLASMAS; UNIFORM ARRAYS;

CARBON;

EID: 55149089893     PISSN: 1070664X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2988781     Document Type: Article

References (44)

1. M. Keidar, Y. Raitses, A. Knapp, and A. M. Waas, Carbon 44, 1022 (2006).
2. A. Okita, Y. Suda, A. Oda, J. Nakamura, A. Ozeki, K. Bhattacharyya, H. Sugawara, and Y. Sakaia, Carbon 45, 1518 (2007).
3. I. Levchenko, K. Ostrikov, A. E. Rider, E. Tam, and S. V. Vladimirov, Phys. Plasmas 14, 063502 (2007).
4. J. D. Long, S. Xu, S. Y. Huang, P. P. Rutkevych, M. Xu, and C. Diong, IEEE Trans. Plasma Sci. 33, 240 (2005).
5. K. Ostrikov, J. D. Long, and S. Xu, Vacuum 80, 1126 (2006).
6. Z. L. Tsakadze, I. Levchenko, K. Ostrikov, and S. Xu, Carbon 45, 2022 (2007).
7. K. Ostrikov and A. B. Murphy, J. Phys. D 40, 2223 (2007).
8. S. H. Jeong, H. Y. Hwang, and K. H. Lee, Appl. Phys. Lett. 78, 2052 (2001).
9. U. Cvelbar, K. Ostrikov, A. Drenik, and M. Mozetic, Appl. Phys. Lett. 92, 133505 (2008).
10. K. Bradley, J. C. P. Gabriel, A. Star, and G. Grüner, Appl. Phys. Lett. 83, 3821 (2003).
11. K. Ostrikov, Rev. Mod. Phys. 77, 489 (2005).
12. I. Levchenko, K. Ostrikov, and E. Tam, Appl. Phys. Lett. 89, 223108 (2006).
13. M. Keidar, A. M. Waas, Y. Raitses, and E. Waldorff, J. Nanosci. Nanotechnol. 6, 1309 (2006).
14. S. Y. Xu, J. D. Long, L. N. Sim, C. H. Diong, and K. Ostrikov, Plasma Processes Polym. 2, 373 (2005).
15. K. N. Ostrikov, M. Y. Yu, and H. Sugai, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.371071 86, 2425 (1999); S. V. Vladimirov, K. N. Ostrikov, M. Y. Yu, and L. Stenflo, Phys. Rev. E 58, 8046 (1998).
16. I. B. Denysenko, S. Xu, J. D. Long, P. P. Rutkevych, N. A. Azarenkov, and K. Ostrikov, J. Appl. Phys. 95, 2713 (2004).
17. A. Okita, Y. Suda, A. Ozeki, H. Sugawara, Y. Sakai, A. Oda, and J. Nakamura, J. Appl. Phys. 99, 014302 (2006).
18. I. Levchenko and K. Ostrikov, Appl. Phys. Lett. 92, 063108 (2008).
19. I. Levchenko, K. Ostrikov, and A. Murphy, J. Phys. D 41, 092001 (2008).
20. B. B. Wang and B. Zhang, Carbon 44, 1949 (2006).
21. F. J. Gordillo-Vazquez and J. Gonzalo, J. Appl. Phys. 94, 7427 (2003).
22. U. Cvelbar and M. Mozetic, J. Phys. D 40, 2300 (2007).
23. K. N. Ostrikov, S. Xu, and A. B. M. S. Azam, J. Vac. Sci. Technol. A 0734-2101 10.1116/1.1430426 20, 251 (2002); S. Xu, K. N. Ostrikov, Y. Li, E. L. Tsakadze, and I. R. Jones, Phys. Plasmas 8, 2549 (2001).
24. V. Vahedi, G. DiPeso, C. K. Birdsall, M. A. Lieberman, and T. D. Rognlien, Plasma Sources Sci. Technol. 2, 261 (1993).
25. M. Keidar, I. Beilis, R. L. Boxman, and S. Goldsmith, J. Phys. D 29, 1973 (1996).
26. M. Keidar and A. M. Waas, Nanotechnology 15, 1571 (2004).
27. M. Keidar, J. Appl. Phys. 103, 053309 (2008).
28. H. Rau and F. Picht, J. Phys. D 26, 1260 (1993).
29. A. Barna, M. Menyhard, L. Kotis, Gy. J. Kovacs, G. Radnoczi, A. Zalar, and P. Panjan, J. Appl. Phys. 98, 024901 (2005).
30. H. L. Bay and J. Bohdansky, Appl. Phys. 19, 421 (1979).
31. E. Hechtl, H. L. Bay, and J. Bohdansky, Appl. Phys. 16, 147 (1978).
32. B. Guzman de la Mata, M. G. Dowsett, and D. Twitchen, Appl. Surf. Sci. 252, 6444 (2006).
33. J. Roth, J. Bohdansky, and W. Ottenberger, J. Nucl. Mater. 165, 193 (1989).
34. A. Anders, J. Phys. D 40, 2272 (2007).
35. I. Levchenko, K. Ostrikov, M. Keidar, and S. Xu, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.2040000 98, 064304 (2005); K. N. Ostrikov, M. Y. Yu, S. V. Vladimirov, and O. Ishihara, Phys. Plasmas 6, 737 (1999).
36. I. Levchenko and K. Ostrikov, J. Phys. D 40, 2308 (2007).
37. I. Levchenko, K. Ostrikov, M. Keidar, and S. Xu, Appl. Phys. Lett. 89, 033109 (2006).
38. I. Levchenko and O. Baranov, Vacuum 72, 205 (2003).
39. I. Levchenko, K. Ostrikov, J. D. Long, and S. Xu, Appl. Phys. Lett. 91, 113115 (2007).
40. I. Levchenko, A. E. Rider, and K. Ostrikov, Appl. Phys. Lett. 90, 193110 (2007).
41. I. Levchenko and K. Ostrikov, Nanotechnology 19, 335703 (2008).
42. I. Levchenko, K. Ostrikov, M. Keidar, and S. V. Vladimirov, Phys. Plasmas 1070-664X 10.1063/1.2806329 14, 113504 (2007); K. N. Ostrikov, M. Y. Yu, and L. Stenflo, Phys. Rev. E 61, 782 (2000).
43. Z. L. Tsakadze, K. Ostrikov, and S. Xu, Surf. Coat. Technol. 191, 49 (2005).
44. A. Moisala, A. G. Nasibulin, and E. I. Kauppinen, J. Phys.: Condens. Matter 15, S3011 (2003).