Fundamental science and lithographic applications of scanning probe oxidation

Scanning Probe Microscopy

Volumn 2, Issue , 2007, Pages 858-879

  Dagata, J A ^a  

^a NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84891470475     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Book    
DOI: 10.1007/978-0-387-28668-6_32     Document Type: Chapter

References (82)

1. J. A. Dagata, J. Schneir, H. H. Harary, C. J. Evans, M. T. Postek, and J. Bennett, Appl. Phys. Lett. 56, 2001(1990).
2. S. C. Minne, H. T. Soh, P. Flueckiger, and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. 66, 703(1995).
3. P. M. Campbell, E. S. Snow, and P. J. McMarr, Appl. Phys. Lett. 67, 3144(1995).
4. K. Matsumoto M. Ishii, K. Segawa, Y. Oka, B. J. Vartanian, and J. S. Harris, Appl. Phys. Lett. 68, 34(1996).
5. A. E. Gordon, R. T. Fayfield, D. D. Litfin, and T. K. Higman, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2805(1995).
6. T. Teuschler, K. Mahr, S. Miyazaki, M. Hundhausen, and L. Ley, Appl. Phys. Lett. 67, 3144(1995).
7. D. Stievenard, P. A. Fontaine, and E. Dubois, Appl. Phys. Lett. 70, 3272(1997).
8. Ph. Avouris, T. Hertel, and R. Martel, Appl. Phys. Lett. 71, 287(1997).
9. J. A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, K. Matsumoto and H. Yokoyama, J. Appl. Phys. 84, 6891(1998).
10. H. H. Uhlig, Acta Metallurgica 4, 541(1956).
11. F. P. Fehlner and N. F. Mott, Oxid. Met. 2, 59(1970);
12. F. P. Fehlner, Philos. Mag. B 55, 633(1987).
13. A. T. Fromhold, Jr., Space-charge effects on anodic oxide formation, in Oxides and Oxide Films, vol. 3, J. W. Diggle and A. K. Vijh, eds. (Dekker, NY 1976) p. 1.
14. (a) J. A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, K. Matsumoto and H. Yokoyama, J. Appl. Phys. 84, 6891(1998);
15. (b) K. Morimoto, F. Pérez-Murano, and J. A. Dagata, Appl. Surf. Science 158, 205(2000);
16. (c) F. Pérez-Murano, K. Birkelund, K. Morimoto, and J. A. Dagata. Appl. Phys. Lett. 75, 199(1999);
17. (d) J. A. Dagata, F. Pérez-Murano, G. Abadal, K. Morimoto, T. Inoue, J. Itoh, and H. Yokoyama, Appl. Phys. Lett. 76, 2710(2000);
18. (e) J. A. Dagata, F. Pérez-Murano, G. Abadal, K. Morimoto, T. Inoue, J. Itoh, and H. Yokoyama, Appl. Phys. Lett. 76, 2710(2000).
19. E. Dubois and J. L. Bubendorff, J. Appl. Phys. 87, 8148(2000).
20. D. R. Wolters and A. T. A. Zegers-Van Duynhoven, J. Appl. Phys. 65, 5126(1989).
21. A. Plonka, Progress in Reaction Kinetics 16, 157(1991).
22. N. Farkas, G. Zhang, E. A. Evans, R. D. Ramsier, and J. A. Dagata, J. Vac. Sci. Technol. A 21, 1188(2003).
23. N. Farkas, G. Zhang, K. M. Donnelly, E. A. Evans, R. D. Ramsier, and J. A. Dagata, Thin Solid Films 447-448, 468(2004).
24. N. Farkas, J. C. Tokash, G. Zhang, E. A. Evans, R. D. Ramsier, and J. A. Dagata, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 1879(2004).
25. K. Morimoto, F. Pérez-Murano, and J. A. Dagata, Appl. Surf. Science 158, 205(2000).
26. K. Morimoto, K. Araki, Y. Yamashita, K. Morita, M. Niwa, Appl. Surf. Sci. 117/118, (1997) 652.
27. F. Pérez-Murano, G. Abadal, N. Barniol, X. Aymerich, J. Servat, P. Gorostiza, and F. Sanz, J. Appl. Phys. 78, 6797(1995).
28. R. Garćýa, M. Calleja, and F. Pérez-Murano, Appl. Phys. Lett. 72, 2295(1998).
29. R. Garcia, M. Calleja, and H. Rohrer, J. Appl. Phys. 86, 1898(1999);
30. M. Calleja and R. Garcia, Appl. Phys. Lett. 76, 3427(2000);
31. M. Tello and R. Garcia, Appl. Phys. Lett. 79, 424(2001).
32. (a) J. A. Dagata, F. Perez-Murano, C. Martin, H. Kuramochi, and H. Yokoyama, J. Appl. Phys. 96, 2386(2004);
33. (b) J. Appl. Phys. 96, 2393(2004).
34. H. Kuramochi, F. Perez-Murano, J. A. Dagata, and H. Yokoyama, Nanotechnology 15, 297(2004).
35. R. M. Noyes, Progress in Reaction Kinetics 1, 1129(1961).
36. B. J. Zwolinski and H. Eyring, J. Am. Chem. Soc. 69, 2702(1947).
37. E. S. Snow and P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 64, 1932(1994).
38. R. A. Alberty and W. G. Miller, J. Chem. Phys. 26, 1231(1957).
39. T. T. Hartley and C. F. Lorenzo, Nonlinear Dynamics 29, 201(2002).
40. I. M. Sokolov, J. Klafter, and A. Blumen, Physics Today (November 2002), p. 48.
41. R. Metzler and J. Klafter, Phys. Rep. 339, 1(2000).
42. R. Metzler and J. Klafter, J. Phys. A 37, R161(2004).
43. K. B. Oldham and J. Spanier, The Fractional Calculus (Academic Pr., NY, 1974).
44. J. A. Dagata, J. R. Comer, N. Farkas, R. D. Ramsier, and F. Perez-Murano, J. Appl. Phys., unpublished.
45. J. C. Wiemeri, T. A. Spencer, and S. K. Banerjee, J. Appl. Phys. 97, 084319(2005).
46. L. Pellegrino, E. Bellingeri, I. Pallecchi, A. S. Siri, and D. Marre, J. Electroceramics 13, 331(2004).
47. R. Nemutudi, M. Kataoka, C. J. B. Ford, N. S. Appleyard, M. Pepper, D. A. Ritchie, and G. A. C. Jones, J. Appl. Phys. 95, 2557(2004).
48. Z. Jiao, M. H. Wu, L. Y. Shi, Z. Li, and Y. L. Yang, Chin. J. Inorganic Chem. 20, 1325(2004).
49. M. Sigrist, A. Fuhrer, T. Ihn, K. Ensslin, D. C. Driscoll, and A. C. Gossard, Appl. Phys. Lett. 85, 3558(2004).
50. J. Shirakashi and Y. Takemura, IEEE Trans. Magnetics 40, 2640(2004).
51. J. C. Amato, Appl. Phys. Lett. 85, 103(2004).
52. J. I. Shirakashi and Y. Takemura, J. Magnetism Magnetic Mat. 272, 1581(2004).
53. L. Pellegrino, E. Bellingeri, I. Pallecchi, A. S. Siri, and D. Marre, Solid-state Electronics 47, 2193(2003).
54. L. Pellegrino, I. Pallecchi, D. Marre, and A. S. Siri, Appl. Phys. Lett. 81, 3849(2002).
55. S. Sasa, A. Nakashima, T. Kita, and M. Inoue, Inst. of Phys. Conf. series 170, 595(2002).
56. N. Clement, D. Tonneau, H. Dallaporta, V. Bouchiat, D. Fraboulet, D. Mariole, J. Gautier, and S. Safarov, Physica E 13, 999(2002).
57. M. Tachiki, H. Seo, T. Banno, Y. Sumikawa, H. Umezawa, and H. Kawarada, Appl. Phys. Lett. 81, 2854(2002).
58. A. Fuhrer, A. Dorn, S. Luscher T. Ihn, K. Ensslin, W. Wegscheider, and M. Bichler, Superlattices and Microstructures 31, 19(2002).
59. T. Akai, T. Abe, M. Ishibashi et al., Jap. J. Appl. Phys. 41, 4883(2002).
60. V. Bouchiat, M. Faucher, T. Fournier, B. Pannetier, C. Thirion, W. Wennsdorfer, N. Clement, D. Tonneau, H. Dallaporte, S. Safarov, J. C. Villeigier, D. Fraboulet, and D. Mariolle, Microelectronic Engineering 61, 517(2002).
61. B. Legrand, D. Deresmes, and D. Stievenard, JVST B 20, 862(2002).
62. S. Sasa, A. Nakashima, S. Yodogawa, T. Kita, and M. Inoue, Physica B 314, 95(2002).
63. M. Faucher, T. Fournier, B. Pannetier, C. Thirion, W. Wennsdorfer, J. C. Villegier, and V. Bouchiat, Physica C 368, 211(2002).
64. A. Dorn, M. Sigrist, A. Fuhrer, T. Ihn, H. Heinzel, K. Ensslin, W. Wegscheider, and M. Bichler, Appl. Phys. Lett. 80, 252(2002).
65. R. Nemutudi, N. J. Curson, N. J. Appleyard, D. A. Ritchie, and G. A. C. Jones, Microelectronic Engineering 57, 967(2001).
66. S. Sasa, S. Yodogawa, A. Ohya, and M. Inoue, Jap. J. Appl. Phys. 40, 2026(2001);
67. V. Bouchiat, M. Faucher, C. Thirion et al., Appl. Phys. Lett. 79, 123(2001).
68. G. Abadal, Z. J. Davis, A. Boisen, F. Pérez-Murano, X. Borrisé, and N. Barniol, Probe Microscopy 2, 121(2001);
69. Z. J. Davis, G. Abadal, B. Helbo, O. Hansen, F. Campabadal, F. Pérez-Murano, J. Esteve, E. Figueras, R. Ruiz, N. Barniol, and A. Boisen, Transducers'01 Conference Technical Digest, p. 72(2001).
70. T. Onuki, T. Tokizaki, Y. Watanabe, T. Tsuchiya, and T. Tani, Appl. Phys. Lett. 80, 4629(2002).
71. C. F. Chen, S. D. Tzeng, H. Y. Chen, and S. Gwo, Optics Lett. 30, 652(2005).
72. Y. Takemura, J. Shirakashi, Adv. Eng. Mat. 7, 170(2005).
73. H. Kuramochi, T. Tokizaki, T. Onuki, J. Obayashi, M. Mizuguchi, F. Takano, H. Oshima, T. Manago, H. Akinaga, and H. Yokoyama, Surf. Sci. 566, 349(2004).
74. M. Hirooka, H. Tanaka, R. Li, and T. Kawai, Appl. Phys. Lett. 85, 1811(2004).
75. R. W. Li, T. Kanki, H. A. Tohyama, J. Zhang, H. Tanaka, A. Takagi, T. Matsumoto, and T. Kawai, J. Appl. Phys. 95, 7091(2004).
76. N. Farkas, J. R. Comer, G. Zhang, E. A. Evans, R. D. Ramsier, S. Wight, and J. A. Dagata, Appl. Phys. Lett. 85 5691(2004).
77. N. Farkas, G. Zhang, K. M. Donnelly, E. A. Evans, R. D. Ramsier, and J. A. Dagata, Thin Solid Films 447, 468(2004).
78. V. D. Frolov, V. I. Konov, S. M. Pimenov, and V. I. Kuzkin, Diamond and related materials 13, 2160(2004).
79. C. Manfredotti, E. Vittone, C. Paolini, A. Lo Guidice, P. Olivero, R. Barrett, and V. Rigato, Surf. Eng. 19, 441(2003);
80. M. Tachiki, Y. Kaibara, Y. Sumikawa, M. Shigano, T. Banno, K. S. Song, H. Umezawa, and H. Karada, Physica status solidi A 199, 39(2003).
81. H. Sugimura, Jap. J. Appl. Phys. 43, 4477(2004).
82. S. M. Kim and H. Lee, JVST B 21, 2398(2003).