Control of hydrogenation patterning for CVD diamond surfaces by AFM local anodic oxidation

Surface Engineering

Volumn 19, Issue 6, 2003, Pages 441-446

  Manfredotti, C ^a   Vittone, E ^a   Paolini, C ^a   Bianco, L ^a   Fizzotti, F ^a   Lo Giudice, A ^a   Olivero, P ^a  

^a UNIVERSITY OF TURIN   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANODIC OXIDATION; ATMOSPHERIC HUMIDITY; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CARRIER MOBILITY; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; ELECTRIC CONDUCTIVITY; ELECTRIC FIELDS; ELECTRON TUNNELING; FIELD EFFECT TRANSISTORS; HALL EFFECT; HYDROGENATION; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; SURFACE TOPOGRAPHY; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

HALL MOBILITY; LOCAL ANODIC OXIDATION (LAO); SCANNING PROBE MICROSCOPY (SPM);

DIAMONDS;

EID: 1542363604     PISSN: 02670844     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1179/026708403225010091     Document Type: Article

References (38)

1. R. HELD, T. HEINZEL, P. STUDERUS, K. ENSSLIN and M. HOLLAND: Appl. Phys. Lett., 1997, 71, 2689.
2. K. MATSUMOTO, Y. GOTOH, T. MAEDA, J. A. DAGATA and J. S. HARRIS: Appl. Phys. Lett., 2000, 76, 239.
3. T. ONUKI, T. TOKIZAKI, Y. WATANABE, T. TSUCHIYA and T. TANI: Appl. Phys. Lett., 2002, 80, 4629.
4. G. ABADAL, Z. J. DA VIS, A. BOISEN, F. PEREZ-MURANO, X. BORRISE and N. BARNIOL: Probe Microsc., 2001, 2, 121.
5. N. BARNIOL, F. PEREZ-MURANO and X. AYMERICH: Appl. Phys. Lett., 1993, 61, 462.
6. H. C. DAY and D. R. ALLE: Appl. Phys. Lett., 1993, 62, 2691.
7. H. SUGIMURA, N. KITAMURA and H. MASUHARA: Jpn. J. Appl. Phys., 1994, 33, L143.
8. H. T. SOH, K. WILDER GUARINI and C. F. QUATE: 'Scanning probe lithography'; 2001, Dordrecht, Kluwer Academic Press.
9. K. MATSUMOTO, M. ISHII, K. SEGAWA, B. J. VARTANIAN and J. S. HARRIS: Appl. Phys. Lett., 1996, 68, 34.
10. J. A. DAGATA, J. SCHNEIR, H. H. HARARY, C. J. EVANS, M. T. POSTEK and J. BHNNETT: Appl. Phys. Lett., 1990, 56, 2001.
11. E. S. SNOW and P. M. CAMPBELL: Appl. Phys. Lett., 1995, 64, 2010.
12. E. S. SNOW and P. M. CAMPBELL: Science, 1995, 270, 1639.
13. PH. AVOURIS, T. HERTEL and R. MARTEL: Appl. Phys. Lett., 1997, 71, 285.
14. M. I. LANDSTRASS and K. V. RAVI: Appl. Phys. Lett., 1989, 55, 975.
15. K. HAYASHI, H. WATANABE, S. YAMANAKA, T. SEKIGUCHI, H. OKUSHI and K. KAJIMURA: Diam. Relat. Mater., 1997, 6, 303.
16. H. J. LOOI, L. Y. S. PANG, A. B. MOLLOY, J. S. FOORD and R. B. JACKMANN: Diam. Relat. Mater., 1998, 7, 550.
17. F. MAIER, M. RIEDEL, B. MANTEL, J. RISTEIN and L. LEY: Phys. Rev. Lett., 2000, 85, 3472.
18. M. TACHIKI, H. SEO, T. BANNO, Y. SUMIKAWA, H. UMEZAWA and H. KAWARADA: Appl. Phys. Lett., 2002, 81, (15), 2854.
19. M. TACHIKI, T. FUKUDA, K. SUGATA, H. SEO, H. UMEZAWA and H. KAWARADA: Jpn. J. Appl. Phys., 2000, 39, 4631.
20. K. SUGATA, M. TACHIKI, T. FUKUDA, H. SEO and H. KAWARADA: Jpn. J. Appl. Phys., 2002, 41, 4983.
21. M. TACHIKI, T. FUKUDA, K. SUGATA, H. SEO, H. UMEZAWA and H. KAWARADA: Appl. Surf. Sci., 2000, 159-160, 578.
22. K. P. LOH, X. N. XIE, Y. H. LIM, E. J. TEO, J. C. ZHENG and T. ANDO: Surf. Sci., 2002, 505, 93.
23. B. REZEK, C. SAUERER, J. A. GARRIDO, C. E. NEBEL, M. STUTZMANN, E. SNIDERO and P. BERGONZO: Appl. Phys. Lett., 2003, 82, 3336.
24. B. REZEK, J. A. GARRIDO, M. STUTZMANN, C. E. NEBEL, E. SNIDERO and P. BERGONZO: Phys. Status Solidi (a), 2002, 193, 523.
25. H. SEO, M. TACHIKI, T. BANNO, Y. SUMIKAWA, H. UMEZAWA and H. KAWARADA: Jpn. J. Appl. Phys., 2002, 41, 4980.
26. H. UMEZAWA, K. TSUGAWA, S. YAMANAKA, D. TAKEUCHI, H. OKUSHI and H. KAWARADA: Jpn. J. Appl. Phys., 1999, 38, L1222.
27. K. TSUGAWA, H. UMEZAWA and H. KAWARADA: Jpn. J. Appl. Phys., 2001, 40, 3101.
28. T. BANNO, M. TACHIKI, H. SEO, H. UMEZAWA and H. KAWARADA: Diam. Relat. Mater., 2002, 11, 387.
29. J. A. GARRIDO, C. E. NEBEL, R. TODT, G. RÖSEL, M.-C. AMANN, M. STUTZMANN, E. SNIDERO and P. BERGONZO: Appl. Phys. Lett., 2003, 82, 988.
30. H. KAWARADA: Surf. Sci. Rep., 1996, 26, (7), 205.
31. J. C. ZHENG, X. N. XIE, A. T. S. WEE and K. P. LOH: Diam. Relat. Mater., 2001, 10, 500.
32. T. ANDO, K. YAMAMOTO, M. ISHII, M. KAMO and Y. SATO: J. Chem. Soc., Faraday Trans., 1993, 83, 3635.
33. D. K. MILNE, P. G. ROBERTS, P. JOHN, M. G. JUBBER, M. LIEH and J. I. B. WILSON: Diam. Relat. Mater., 1995, 4, 394.
34. P. JOHN, D. K. MILNE, W. C. VIJAYARAJAH, M. G. JUBBER and J. I. B. WILSON: Diam. Relat. Mater., 1994, 3, 388.
35. P. JOHN, N. POLWART, C. E. TROUPE and J. I. B. WILSON: Diam. Relat. Mater., 2002, 11, 861.
36. L. OSTROVSKAYA, V. PEREVERTAILO, V. RALCHENKO, A. DEMENTJEV and O. LOGINOVA: Diam. Relat. Mater., 2002, 11, 845.
37. Y. KAIBARA, K. SUGATA, M. TACHIKI, H. UMEZAWA and H. KAWARADA: Diam. Relat. Mater., 2003, 12, 560.
38. C. GUILLEMOT, P. BUDAU, J. CHEVRIER, F. MARCHI, F. COMIN, C. ALANDI, F. BERTIN, N. BUFFET, CH. WYON and P. MUR: Europhys. Lett., 2002, 59, (4), 566.