Nano-oxidation of silicon surfaces by noncontact atomic-force microscopy: Size dependence on voltage and pulse duration

Applied Physics Letters

Volumn 76, Issue 23, 2000, Pages 3427-3429

  Calleja, Montserrat ^a   García, Ricardo ^a  

^a Inst Microlectron Madrid   (Spain)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000605663     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.126856     Document Type: Article

References (23)

1. J. A. Dagata, J. Schneir, H. H. Harary, C. J. Evans, M. T. Postek, and J. Bennet, Appl. Phys. Lett. 56, 2001 (1990).
2. R. Held, T. Vancura, T. Heinzel, K. Ensslin, M. Holland, and W. Wegscheider, Appl. Phys. Lett. 73, 262 (1998).
3. H Sugimura, T. Uchida, N. Kitamura, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 63, 1288 (1993).
4. J. Shirakashi, M. Ishii, K. Matsumoto, N. Miura, and M. Konagai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 35, L1524 (1996).
5. K. Matsumoto, Proc. IEEE 85, 612 (1997).
6. E. S. Snow, P. M. Campbell, F. A. Buot, D. Park, C. R. K. Marrian, and R. Magno, Appl. Phys. Lett. 72, 3071 (1998).
7. G. Abadal, A. Boisen, Z. J. Davis, O. Hansen, and F. Grey, Appl. Phys. Lett. 74, 3206 (1999).
8. F. S. Cien, C.-L. Wu, Y.-C. Thou, T. T. Chen, S. Gwo, and W.-F. Hsieh, Appl. Phys. Lett. 75, 2429 (1999).
9. S. C. Minne, J. D. Adams, G. Yaralioglu, S. R. Manalis, A. Atalar, and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. 73, 1742 (1998).
10. R. García, M. Calleja, and F. Pérez-Murano, Appl. Phys. Lett. 72, 2295 (1998).
11. R. García, M. Calleja, and H. Rohrer, J. Appl. Phys. 86, 1898 (1999).
12. K. Morimoto, K. Araki, K. Yamashita, and M. Niwa, Appl. Surf. Sci. 117/118, 652 (1997).
13. P. Avouris, T. Hertel, and R. Martel, Appl. Phys. Lett. 71, 285 (1997).
14. P. A. Fontaine, E. Dubois, and D. Stievenard, J. Appl. Phys. 84, 1776 (1998).
15. T. Teuschler, K. Mahr, S. Miyazaki, M. Hundhausen, and L. Levy, Appl. Phys. Lett. 67, 3144 (1995).
16. J. A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, K. Matsumoto, and H. Yokoyama, J. Appl. Phys. 84, 6891 (1998).
17. F. Pérez-Murano, K. Birkelund, G. Abadal, K. Morimoto, and J. Dagata, Appl. Phys. Lett. 75, 199 (1999).
18. M. Calleja, J. Anguita, R. García, K. Birkelund, F. Pérez-Murano, and J. Dagata, Nanotechnology 1, 10 (1999).
19. F. Marchi, V. Bouchiat, H. Dallaporta, V. Safarov, D. Tonneau, and D. Poppelt, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 1 (1998).
20. R. García and A. San Paulo, Phys. Rev. B 60, 4961 (1999).
21. E. S. Snow, P. M. Campbell, and F. K. Perkins, Appl. Phys. Lett. 75, 1476 (1999).
22. 20) [see M. Zinke-Allmang and L. C. Feldman, Appl. Surf. Sci. 33134, 395 (1988)].
23. 20) [see M. Zinke-Allmang and L. C. Feldman, Appl. Surf. Sci. 33134, 395 (1988)].