Cobalt(III) diazabutadiene precursors for metal deposition: Nanoparticle and thin film growth

Inorganic Chemistry

Volumn 52, Issue 23, 2013, Pages 13719-13729

  Pugh, Thomas ^a   Cosham, Samuel D ^a   Hamilton, Jeff A ^a   Kingsley, Andrew J ^b   Johnson, Andrew L ^a  

^a University of Bath   (United Kingdom)

^b SAFC Hitech   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84889254922     PISSN: 00201669     EISSN: 1520510X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ic402317g     Document Type: Article

References (114)

1. Kodas, T. T., Hampden-Smith, M. J., Eds.; The chemistry of metal CVD; VCH: Weinheim, Germany, 1994.
2. Pratt, W. P.; Lee, S. F.; Holody, P.; Yang, Q.; Loloee, R.; Bass, J.; Schroeder, P. A. J. Magn., Magn. Mater. 1993, 126, 406
3. Pratt, W. P.; Lee, S. F.; Yang, Q.; Holody, P.; Loloee, R.; Schroeder, P. A.; Bass, J. J. Appl. Phys. 1993, 73, 5326
4. Balke, B.; Wurmehl, S.; Fecher, G. H.; Felser, C.; Kubler, J. Sci. Technol. Adv. Mater. 2008, 9
5. Ernult, F.; Yakushiji, K.; Mitani, S.; Takanashi, K. J. Phys.: Condens. Matter 2007, 19
6. Tsymbal, E. Y.; Belashchenko, K. D.; Velev, J. P.; Jaswal, S. S.; van Schilfgaarde, M.; Oleynik, I. I.; Stewart, D. A. Prog. Mater. Sci. 2007, 52, 401
7. Yakushiji, K.; Mitani, S.; Ernult, F.; Takanashi, K.; Fujimori, H. Phys. Rep. 2007, 451, 1
8. Gay, J. G.; Richter, R. In Ultrathin Magnetic Structures; Bland, J. A. C.; Heinrich, B., Eds.; Springer: Berlin, Germany, 1994; p 21.
9. Lee, H.-B.-R.; Kim, H. J. Cryst. Growth 2010, 312, 2215
10. Londergan, A. R.; Nuesca, G.; Goldberg, C.; Peterson, G.; Kaloyeros, A. E.; Arkles, B.; Sullivan, J. J. J. Electrochem. Soc. 2001, 148, C21
11. Kutschera, M.; Groth, T.; Kentsch, C.; Shumay, I. L.; Weinelt, M.; Fauster, T. J. Phys.: Condens. Matter 2009, 21
12. Gross, M. E.; Kranz, K. S.; Brasen, D.; Luftman, H. J. Vac. Sci. Technol. B 1988, 6, 1548
13. Rhee, H. S.; Ahn, B. T.; Sohn, D. K. J. Appl. Phys. 1999, 86, 3452
14. Rhee, H. S.; Ahn, B. T. J. Electrochem. Soc. 1999, 146, 2720
15. Rhee, H. S.; Ahn, B. T. Appl. Phys. Lett. 1999, 74, 3176
16. Rhee, H. S.; Jang, T. W.; Ahn, B. T. Appl. Phys. Lett. 1999, 74, 1003
17. Rhee, H. S.; Sohn, D. K.; Ahn, B. T. Mater. Res. Soc., Symp. Proc. 1999, 564, 145
18. Henderson, L. B.; Ekerdt, J. G. Microelectron. Eng. 2010, 87, 588
19. Khan, R. A.; Bhatti, A. S. J. Magn. Magn. Mater. 2010, 323, 340
20. Olivier, S.; Decorps, T.; Calvo-Munoz, M.-L.; Da Silva, S.; Cayron, C.; Haumesser, P.-H.; Passemard, G. Thin Solid Films 2010, 518, 4773
21. Zhang, L.; Ho, P. S.; Aubel, O.; Hennesthal, C.; Zschech, E. J. Mater. Res. 2011, 26, 2757
22. Yang, C. C.; Flaitz, P.; Li, B.; Chen, F.; Christiansen, C.; Lee, S. Y.; Ma, P.; Edelstein, D. Microelectron. Eng. 2012, 92, 79
23. Yang, C. C.; Baumann, F.; Wang, P. C.; Lee, S. Y.; Ma, P.; AuBuchon, J.; Edelstein, D. Microelectron. Eng. 2013, 106, 214
24. Cobo, S.; Heidkamp, J.; Jacques, P. A.; Fize, J.; Fourmond, V.; Guetaz, L.; Jousselme, B.; Ivanova, V.; Dau, H.; Palacin, S.; Fontecave, M.; Artero, V. Nat. Mater. 2012, 11, 802
25. Ohzuku, T.; Ueda, A. Solid State Ionics 1994, 69, 201
26. Ritchie, A. G. J. Power Sources 2004, 136, 285
27. Wu, H. B.; Chen, J. S.; Hng, H. H.; Lou, X. W. Nanoscale 2012, 4, 2526
28. Woo, J. H.; Trevey, J. E.; Cavanagh, A. S.; Choi, Y. S.; Kim, S. C.; George, S. M.; Oh, K. H.; Lee, S.-H. J. Electrochem. Soc. 2012, 159, A1120
29. Scott, I. D.; Jung, Y. S.; Cavanagh, A. S.; Yan, Y.; Dillon, A. C.; George, S. M.; Lee, S.-H. Nano Lett. 2011, 11, 414
30. Jung, Y. S.; Cavanagh, A. S.; Gedvilas, L.; Widjonarko, N. E.; Scott, I. D.; Lee, S.-H.; Kim, G.-H.; George, S. M.; Dillon, A. C. Adv. Energy Mater. 2012, 2, 1022
31. Donders, M. E.; Arnoldbik, W. M.; Knoops, H. C. M.; Kessels, W. M. M.; Notten, P. H. L. J. Electrochem. Soc. 2013, 160, A3066
32. Thurn-Albrecht, T.; Schotter, J.; Kastle, C. A.; Emley, N.; Shibauchi, T.; Krusin-Elbaum, L.; Guarini, K.; Black, C. T.; Tuominen, M. T.; Russell, T. P. Science 2000, 290, 2126
33. Sellmyer, D. J.; Zheng, M.; Skomski, R. J. Phys.: Condens. Matter 2001, 13, R433
34. Zhang, J.; Lima, F. H. B.; Shao, M. H.; Sasaki, K.; Wang, J. X.; Hanson, J.; Adzic, R. R. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 22701
35. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Chan, V. Z. H.; Thomas, E. L.; Lammertink, R. G. H.; Vancso, G. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1174
36. New, R. M. H.; Pease, R. F. W.; White, R. L. J. Vac. Sci. Technol., B 1994, 12, 3196
37. Ko, Y. K.; Park, D. S.; Seo, B. S.; Yang, H. J.; Shin, H. J.; Kim, J. Y.; Lee, J. H.; Lee, W. H.; Reucroft, P. J.; Lee, J. G. Mater. Chem. Phys. 2003, 80, 560
38. Alameda, J. M.; Carmona, F.; Salas, F. H.; AlvarezPrado, L. M.; Morales, R.; Perez, G. T. J. Magn. Magn. Mater. 1996, 154, 249
39. Sarkar, A.; Adhikari, R.; Das, A. K. Phys. B 2012, 407, 4148
40. Boyd, E. P.; Ketchum, D. R.; Deng, H.; Shore, S. G. Chem. Mater. 1997, 9, 1154
41. Charles, R. G.; Haverlac., Pg J. Inorg. Nucl. Chem. 1969, 31, 995
42. Chioncel, M. F.; Haycock, P. W. Chem. Vap. Deposition 2005, 11, 235
43. Dormans, G. J. M.; Meekes, G. J. B. M.; Staring, E. G. J. J. Cryst. Growth 1991, 114, 364
44. Lane, P. A.; Oliver, P. E.; Wright, P. J.; Reeves, C. L.; Pitt, A. D.; Cockayne, B. Chem. Vap. Deposition 1998, 4, 183
45. Lee, J.; Lee, J. G. J. Korean Phys. Soc. 2006, 49, S697
46. Lee, J.; Park, H.; Lee, J. Diffus. Defect Data, Pt. B 2007, 124-126, 531
47. Lee, K.; Park, T.; Lee, J.; Kim, J.; Kim, J.; Kwak, N.; Yeom, S.; Jeon, H. Jpn. J. Appl. Phys. 2008, 47, 5396
48. Maruyama, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1997, 36, L705
49. Mordi, C. U.; Eleruja, M. A.; Taleatu, B. A.; Egharevba, G. O.; Adedeji, A. V.; Akinwunmi, O. O.; Olofinjana, B.; Jeynes, C.; Ajayi, E. O. B. J. Mater. Sci. Technol. 2009, 25, 85
50. Papadopoulos, N.; Karayianni, C.-S.; Tsakiridis, P.; Sarantopoulou, E.; Hristoforou, E. Chem. Vap. Deposition 2011, 17, 211
51. Papadopoulos, N. D.; Illekova, E.; Karayanni, H. S.; Hristoforou, E. J. Optoelectron. Adv. Mater. 2008, 10, 1098
52. Ye, D. X.; Pimanpang, S.; Jezewski, C.; Tang, F.; Senkevich, J. J.; Wang, G. C.; Lu, T. M. Thin Solid Films 2005, 485, 95
53. Ivanova, A. R.; Nuesca, G.; Chen, X. M.; Goldberg, C.; Kaloyeros, A. E.; Arkles, B.; Sullivan, J. J. J. Electrochem. Soc. 1999, 146, 2139
54. West, G. A.; Beeson, K. W. Appl. Phys. Lett. 1988, 53, 740
55. Choi, H.; Park, S. Chem. Mater. 2003, 15, 3121
56. Bandoli, G.; Barreca, D.; Gasparotto, A.; Maccato, C.; Seraglia, R.; Tondello, E.; Devi, A.; Fischer, R. A.; Winter, M. Inorg. Chem. 2009, 48, 82
57. Odedra, R.; Boag, N.; Anthis, J.; Kanjolia, R.; (Sigma-Aldrich Co., U.S.A.). Patent Application: WO 2011017068, 2011.
58. Kim, K.; Lee, K.; Han, S.; Jeong, W.; Jeon, H. J. Electrochem. Soc. 2007, 154, H177
59. Lee, H.-B.-R.; Kim, H. Electrochem. Solid State Lett. 2006, 9, G323
60. Lee, H.-B.-R.; Park, Y. J.; Baik, S.; Kim, H. Chem. Vap. Deposition 2012, 18, 41
61. Diskus, M.; Nilsen, O.; Fjellvag, H. Chem. Vap. Deposition 2011, 17, 135
62. Lee, H.-B.-R.; Kim, H. Electrochem. Solid State Trans. 2008, 16, 219
63. Kwon, J.; Saly, M.; Halls, M. D.; Kanjolia, R. K.; Chabal, Y. J. Chem. Mater. 2012, 24, 1025
64. Li, Z.; Lee, D. K.; Coulter, M.; Rodriguez, L. N. J.; Gordon, R. G. Dalton Trans. 2008, 2592
65. Lim, B. S.; Rahtu, A.; Park, J.-S.; Gordon, R. G. Inorg. Chem. 2003, 42, 7951
66. Wu, J.; Li, J.; Zhou, C.; Lei, X.; Gaffney, T.; Norman, J. A. T.; Li, Z.; Gordon, R.; Cheng, H. Organometallics 2007, 26, 2803
67. Lim Booyong, S.; Rahtu, A.; Gordon Roy, G. Nat. Mater. 2003, 2, 749
68. Kim, H. Microelectron. Eng. 2013, 106, 69
69. Knisley, T. J.; Saly, M. J.; Heeg, M. J.; Roberts, J. L.; Winter, C. H. Organometallics 2011, 30, 5010
70. Donders, M. E.; Knoops, H. C. M.; van, M. C. M.; Kessels, W. M. M.; Notten, P. H. L. J. Electrochem. Soc. 2011, 158, G92
71. Han, B.; Choi, K. H.; Park, J. M.; Park, J. W.; Jung, J.; Lee, W.-J. J. Vac. Sci. Technol. A 2013, 31, 01A145/1
72. Klepper, K. B.; Nilsen, O.; Fjellvag, H. J. Cryst. Growth 2007, 307, 457
73. Klepper, K. B.; Nilsen, O.; Fjellvag, H. Thin Solid Films 2007, 515, 7772
74. Dieck, H. T.; Haarich, M. J. Organomet. Chem. 1985, 291, 71
75. Sgro, M. J.; Stephan, D. W. Dalton Trans. 2010, 39, 5786
76. Adams, R. D. J. Am. Chem. Soc. 1980, 102, 7476
77. Zoet, R.; Vankoten, G.; Stufkens, D. J.; Vrieze, K.; Stam, C. H. Organometallics 1988, 7, 2118
78. Zoet, R.; Jastrzebski, J. T. B. H.; Vankoten, G.; Mahabiersing, T.; Vrieze, K.; Heijdenrijk, D.; Stam, C. H. Organometallics 1988, 7, 2108
79. Zoet, R.; Vankoten, G.; Muller, F.; Vrieze, K.; Vanwijnkoop, M.; Goubitz, K.; Vanhalen, C. J. G.; Stam, C. H. Inorg. Chim. Acta 1988, 149, 193
80. Staal, L. H.; Vankoten, G.; Vrieze, K.; Vansanten, B.; Stam, C. H. Inorg. Chem. 1981, 20, 3598
81. Staal, L. H.; Keijsper, J.; Polm, L. H.; Vrieze, K. J. Organomet. Chem. 1981, 204, 101
82. Staal, L. H.; Vankoten, G.; Vrieze, K.; Ploeger, F.; Stam, C. H. Inorg. Chem. 1981, 20, 1830
83. Staal, L. H.; Vankoten, G.; Vrieze, K. J. Organomet. Chem. 1981, 206, 99
84. Staal, L. H.; Keijsper, J.; Vankoten, G.; Vrieze, K.; Cras, J. A.; Bosman, W. P. Inorg. Chem. 1981, 20, 555
85. Greulich, S.; Kaim, W.; Strange, A. F.; Stoll, H.; Fiedler, J.; Zalis, S. Inorg. Chem. 1996, 35, 3998
86. Overbosch, P.; Vankoten, G.; Overbeek, O. Inorg. Chem. 1982, 21, 2373
87. Overbosch, P.; Vankoten, G.; Spek, A. L.; Roelofsen, G.; Duisenberg, A. J. M. Inorg. Chem. 1982, 21, 3908
88. Lenges, C. P.; White, P. S.; Marshall, W. J.; Brookhart, M. Organometallics 2000, 19, 1247
89. Ni, C. B.; Stich, T. A.; Long, G. J.; Power, P. P. Chem. Commun. 2010, 46, 4466
90. Barral, M. C.; Delgado, E.; Gutierrezpuebla, E.; Jimenezaparicio, R.; Monge, A.; Delpino, C.; Santos, A. Inorg. Chim. Acta 1983, 74, 101
91. Laine, T. V.; Klinga, M.; Maaninen, A.; Aitola, E.; Leskela, M. Acta Chem. Scand. 1999, 53, 968
92. Rosa, V.; Gonzalez, P. J.; Aviles, T.; Gomes, P. T.; Welter, R.; Rizzi, A. C.; Passeggi, M. C. G.; Brondino, C. D. Eur. J. Inorg. Chem. 2006, 4761
93. Tanabiki, M.; Sunada, Y.; Nagashima, H. Organometallics 2007, 26, 6055
94. Rosa, V.; Carabineiro, S. A.; Aviles, T.; Gomes, P. T.; Welter, R.; Campos, J. M.; Ribeiro, M. R. J. Organomet. Chem. 2008, 693, 769
95. Khusniyarov, M. M.; Harms, K.; Burghaus, O.; Sundermeyer, J. Eur. J. Inorg. Chem. 2006, 2985
96. Sieger, M.; Hubler, K.; Scheiring, T.; Sixt, T.; Zalis, S.; Kaim, W. Z. Anorg. Allg. Chem. 2002, 628, 2360
97. Pronin, I. I.; Valdaitsev, D. A.; Voronchikhin, A. S.; Gomoyunova, M. V.; Contri, S. F.; Benedetti, S.; Lukes, P.; Valeri, S. Tech. Phys. Lett. 2005, 31, 494
98. Paranjape, M. A.; Mane, A. U.; Raychaudhuri, A. K.; Shalini, K.; Shivashankar, S. A.; Chakravarty, B. R. Thin Solid Films 2002, 413, 8
99. Aprilesi, G.; Mazzega, E.; Michelini, M.; Nava, F.; Queirolo, G.; Meda, L. J. Appl. Phys. 1986, 60, 310
100. Gruyters, M. Surf. Sci. 2002, 515, 53
101. Wiemer, C.; Tallarida, G.; Bonera, E.; Ricci, E.; Fanciulli, M.; Mastracchio, G. F.; Pavia, G.; Marangon, S. Microelectron. Eng. 2003, 70, 233
102. Pan, J. S.; Liu, R. S.; Zhang, Z.; Poon, S. W.; Ong, W. J.; Tok, E. S. Surf. Sci. 2006, 600, 1308
103. Liu, F. M.; Ye, J. H.; Ren, B.; Yang, Z. L.; Liao, Y. Y.; See, A.; Chan, L.; Tian, Z. Q. Thin Solid Films 2005, 471, 257
104. Owen, E. A.; Jones, D. M. Proc. Phys. Soc., London B 1954, 67, 456
105. Geller, S. Acta Crystallogr. 1955, 8, 83
106. Cheng, F. X.; Jiang, C. H.; Wu, J. S. Mater. Trans. 2004, 45, 2471
107. Li, Y. J.; Seidel, P.; Machalett, F.; Linzen, S.; Schmidl, F. J. Mater. Res. 1997, 12, 2072
108. Wakatsuki, Y.; Yamazaki, H. Inorg. Synth. 1989, 26, 189
109. O'Reilly, R. K.; Shaver, M. P.; Gibson, V. C.; White, A. J. P. Macromolecules 2007, 40, 7441
110. Sheldrick, G. M. SHELX-86, Computer Program for Crystal Structure Determination; University of Göttingen: Göttingen, Germany, 1986.
111. Sheldrick, G. M. SHELX-97, Computer Program for Crystal Structure Refinement; Univerity of Göttingen: Göttingen, Germany, 1997
112. Sheldrick, G. M. Acta Crystallogr. Sect. A 2008, 64, 112
113. Otwinowski, Z.; Minor, W. Processing of X-ray Diffraction Data Collected in Oscillation Mode. In Methods in Enzymology; Carter, C. W., Jr.; Sweet, R. M., Eds.; Academic Press: New York, 1997; Vol. 276, Macromolecular Crystallography, part A, pp 307-326. (Pubitemid 27085611)
114. Farrugia, L. J. J. Appl. Crystallogr. 2012, 45, 849