-
17
-
-
33748273924
-
-
J. Y. Igaki K. Kanda Y. Haruyama M. Ishida Y. Ochiai J. I. Fujita T. Kaito S. Matsui Microelectron. Eng. 2006 83 1225 1228
-
(2006)
Microelectron. Eng.
, vol.83
, pp. 1225-1228
-
-
Igaki, J.Y.1
Kanda, K.2
Haruyama, Y.3
Ishida, M.4
Ochiai, Y.5
Fujita, J.I.6
Kaito, T.7
Matsui, S.8
-
18
-
-
24644455497
-
-
T. Fujii K. Iwasaki M. Muekane T. Takeuchi M. Hasuda Y. Asahata M. Kyohara T. Kogure Y. Kijima T. Kaito J. Micromech. Microeng. 2005 15 S286 S291
-
(2005)
J. Micromech. Microeng.
, vol.15
-
-
Fujii, T.1
Iwasaki, K.2
Muekane, M.3
Takeuchi, T.4
Hasuda, M.5
Asahata, Y.6
Kyohara, M.7
Kogure, T.8
Kijima, Y.9
Kaito, T.10
-
28
-
-
77952961265
-
-
J. D. Wnuk J. M. Gorham S. G. Rosenberg T. E. Madey C. W. Hagen D. H. Fairbrother J. Vac. Sci. Technol., B 2010 28 527 537
-
(2010)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.28
, pp. 527-537
-
-
Wnuk, J.D.1
Gorham, J.M.2
Rosenberg, S.G.3
Madey, T.E.4
Hagen, C.W.5
Fairbrother, D.H.6
-
55
-
-
33847672706
-
-
W.-L. Yim T. Nowitzki M. Necke H. Schnars P. Nickut J. Biener M. Biener V. Zielasek K. Al-Shamery T. Kluner M. Baumer J. Phys. Chem. B 2007 111 445 451
-
(2007)
J. Phys. Chem. B
, vol.111
, pp. 445-451
-
-
Yim, W.-L.1
Nowitzki, T.2
Necke, M.3
Schnars, H.4
Nickut, P.5
Biener, J.6
Biener, M.7
Zielasek, V.8
Al-Shamery, K.9
Kluner, T.10
Baumer, M.11
-
56
-
-
65549136185
-
-
C. J. Westgate E. Lundgren J. N. Andersen E. D. L. Rienks A. C. Gluhoi J. W. Bakker I. M. N. Groot B. E. Nieuwenhuys Surf. Sci. 2009 603 2152 2157
-
(2009)
Surf. Sci.
, vol.603
, pp. 2152-2157
-
-
Westgate, C.J.1
Lundgren, E.2
Andersen, J.N.3
Rienks, E.D.L.4
Gluhoi, A.C.5
Bakker, J.W.6
Groot, I.M.N.7
Nieuwenhuys, B.E.8
-
60
-
-
84874059292
-
-
X. Li K. A. Wepasnick X. Tang Y. Wang K. H. Bowen D. H. Fairbrother J. Vac. Sci. Technol., B 2012 30 031806
-
(2012)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.30
, pp. 031806
-
-
Li, X.1
Wepasnick, K.A.2
Tang, X.3
Wang, Y.4
Bowen, K.H.5
Fairbrother, D.H.6
-
61
-
-
0035803906
-
-
C. Rincon G. Zambrano A. Carvajal P. Prieto H. Galindo E. Martinez A. Lousa J. Esteve Surf. Coat. Technol. 2001 148 277 283
-
(2001)
Surf. Coat. Technol.
, vol.148
, pp. 277-283
-
-
Rincon, C.1
Zambrano, G.2
Carvajal, A.3
Prieto, P.4
Galindo, H.5
Martinez, E.6
Lousa, A.7
Esteve, J.8
-
70
-
-
0001060599
-
-
K. T. K. vonPlaten J. Chlebek M. Weiss K. Reimer H. Oertel W. H. Brunger J. Vac. Sci. Technol., B 1993 11 2219 2223
-
(1993)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.11
, pp. 2219-2223
-
-
Vonplaten, K.T.K.1
Chlebek, J.2
Weiss, M.3
Reimer, K.4
Oertel, H.5
Brunger, W.H.6
-
78
-
-
72849124957
-
-
A. Botman C. W. Hagen J. Li B. L. Thiel K. A. Dunn J. J. L. Mulders S. J. Randolph M. Toth J. Vac. Sci. Technol., B 2009 27 2759 2763
-
(2009)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.27
, pp. 2759-2763
-
-
Botman, A.1
Hagen, C.W.2
Li, J.3
Thiel, B.L.4
Dunn, K.A.5
Mulders, J.J.L.6
Randolph, S.J.7
Toth, M.8
|