Dissociative electron attachment to Pt(PF3)4-a precursor for Focused Electron Beam Induced Processing (FEBIP)

Physical Chemistry Chemical Physics

Volumn 14, Issue 9, 2012, Pages 2979-2982

  May, Olivier ^a   Kubala, Dušan ^a   Allan, Michael ^a  

^a UNIVERSITY OF FRIBOURG   (Switzerland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84867345768     PISSN: 14639076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c2cp23268e     Document Type: Article

References (24)

1. I. Utke, P. Hoffmann, J. Melngailis J. Vac. Sci. Technol., B, 2008, 26, 1197.
2. M. Ervin, J. Molstad, A. Wickenden, T. Brintlinger, P. Hoffman, J. Meingailis J. Vac. Sci. Technol. B, 2006, 24, 3165-3168
3. K. Landheer, S. G. Rosenberg, L. Bernau, P. Swiderek, I. Utke, C. W. Hagen, D. H. Fairbrother J. Phys. Chem. C, 2011, 115, 17452-17463
4. K. L. Kompa Angew. Chem., Int. Ed. Engl., 1988, 27, 1314-1325
5. M. Allan J. Chem. Phys., 2011, 134, 204309.
6. G. J. Schulz Rev. Mod. Phys., 1973, 45, 423.
7. O. May, J. Fedor, M. Allan Phys. Rev. A, 2009, 80, 012706.
8. N. D. Gibson, B. J. Davies, D. J. Larson J. Chem. Phys., 1993, 98, 5104.
9. G. L. Gutsev J. Chem. Phys., 1993, 98, 444.
10. D. Rapp, D. D. Briglia J. Chem. Phys., 1965, 43, 1480-1490
11. K. Aflatooni, P. D. Burrow J. Chem. Phys., 2000, 113, 1455.
12. S. Engmann, M. Stano, Š. Matejčík, O. Ingólfsson Angew. Chem., Int. Ed., 2011, 50, 9475-9477
13. L. G. Christophorou, Electron-Molecule Interactions and Their Applications, Academic Press, Orlando, 1984, vol. 1
14. V. I. Khvostenko, Y. S. Nekrasov, I. I. Furley, N. I. Vasyukova, G. A. Tolstikov J. Organomet. Chem., 1981, 212, 369-372
15. Y. S. Nekrasov, V. I. Khvostenko, I. I. Furley, N. I. Vasyukova, V. K. Mavrodiev, A. S. Sultanov, G. A. Tolstikov J. Organomet. Chem., 1981, 212, 373-376
16. R. Dressler, M. Allan, M. Tronc J. Phys. B: At. Mol. Phys., 1987, 20, 393.
17. V. I. Khvostenko, A. S. Vorob’yov, O. G. Khvostenko J. Phys. B: At., Mol. Opt. Phys., 1990, 23, 1975.
18. O. May, J. Fedor, B. C. Ibănescu, M. Allan Phys. Rev. A, 2008, 77, 040701(R).
19. M. Zlatar, O. May, and M. Allan, in preparation
20. P. J. Bassett, B. R. Higginson, D. R. Lloyd, N. Lynaugh, P. J. Roberts J. Chem. Soc., Dalton Trans., 1974, 1974, 2316.
21. M. Akbulut, T. E. Madey, L. Parenteau, L. Sanche J. Chem. Phys., 1996, 105, 6043-6051
22. S. T. Chourou, A. E. Orel Phys. Rev. A, 2008, 77, 042709.
23. S. T. Chourou, A. E. Orel Phys. Rev. A, 2009, 80, 034701.
24. J. F. Friedman, T. M. Miller, J. K. Friedman-Schaffer, A. A. Viggiano, G. K. Rekha, A. E. Stevens J. Chem. Phys., 2008, 128, 104303.