Growth and properties of hybrid organic-inorganic metalcone films using molecular layer deposition techniques

Advanced Functional Materials

Volumn 23, Issue 5, 2013, Pages 532-546

  Lee, Byoung H ^a   Yoon, Byunghoon ^a   Abdulagatov, Aziz I ^a   Hall, Robert A ^a   George, Steven M ^a  

^a UNIVERSITY OF COLORADO   (United States)

Author keywords

atomic layer deposition; functional properties; hybrid films; molecular layer deposition; organic inorganic films

Indexed keywords

ATOMIC LEVEL CONTROL; CONFORMAL FILMS; DIETHYLZINC; FUNCTIONAL FILMS; FUNCTIONAL PROPERTIES; HYBRID FILM; HYBRID ORGANIC-INORGANIC MATERIALS; METAL ALKOXIDES; METAL PRECURSOR; MOLECULAR LAYER DEPOSITION; ORGANIC-INORGANIC; PARENT METAL; RELATIVE FRACTION; THIN-FILM PROPERTIES; TRIMETHYLALUMINUM; ULTRA-THIN;

ELECTRIC PROPERTIES; ETHYLENE GLYCOL; HYBRID MATERIALS; METALLIC COMPOUNDS; ULTRATHIN FILMS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84873356095     PISSN: 1616301X     EISSN: 16163028     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.201200370     Document Type: Article

References (96)

1. C. R. Kagan, D. B. Mitzi, C. D. Dimitrakopoulos, Science 1999, 286, 945.
2. D. B. Mitzi, Chem. Mater. 2001, 13, 3283.
3. E. Holder, N. Tessler, A. L. Rogach, J. Mater. Chem. 2008, 18, 1064.
4. C. Sanchez, B. Lebeau, F. Chaput, J. P. Boilot, Adv. Mater. 2003, 15, 1969.
5. T. P. Chou, C. Chandrasekaran, S. J. Limmer, S. Seraji, Y. Wu, M. J. Forbess, C. Nguyen, G. Z. Cao, J. Non-Cryst. Solids 2001, 290, 153.
6. S. Inagaki, S. Guan, Y. Fukushima, T. Ohsuna, O. Terasaki, J. Am. Chem. Soc. 1999, 121, 9611.
7. A. P. Wight, M. E. Davis, Chem. Rev. 2002, 102, 3589.
8. S. D. Evans, S. R. Johnson, Y. L. L Cheng, T. H. Shen, J. Mater. Chem. 2000, 10, 183.
9. A. Walcarius, Chem. Mater. 2001, 13, 3351.
10. C. Sanchez, F. Ribot, New J. Chem. 1994, 18, 1007.
11. J. Y. Wen, G. L. Wilkes, Chem. Mater. 1996, 8, 1667.
12. M. ClementeLeon, B. Agricole, C. Mingotaud, C. J. GomezGarcia, E. Coronado, P. Delhaes, Langmuir 1997, 13, 2340.
13. M. ClementeLeon, C. Mingotaud, B. Agricole, C. J. GomezGarcia, E. Coronado, P. Delhaes, Angew. Chem. Int. Ed. 1997, 36, 1114.
14. S. W. Keller, H. N. Kim, T. E. Mallouk, J. Am. Chem. Soc. 1994, 116, 8817.
15. H. Lee, L. J. Kepley, H. G. Hong, T. E. Mallouk, J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 618.
16. D. A. Loy, K. J. Shea, Chem. Rev. 1995, 95, 1431.
17. A. Sellinger, P. M. Weiss, A. Nguyen, Y. F. Lu, R. A. Assink, W. L. Gong, C. J. Brinker, Nature 1998, 394, 256.
18. N. Tillman, A. Ulman, T. L. Penner, Langmuir 1989, 5, 101.
19. S. M. George, Chem. Rev. 2010, 110, 111.
20. S. M. George, A. W. Ott, J. W. Klaus, J. Phys. Chem. 1996, 100, 13121.
21. M. Ritala, Leskelä, M., J.-P. Dekker, C. Mutsaers, P. J. Soininen, J. Skarp, Chem. Vap. Deposition 1999, 5, 7.
22. J. W. Elam, D. Routkevitch, P. P. Mardilovich, S. M. George, Chem. Mater. 2003, 15, 3507.
23. P. F. Carcia, R. S. McLean, M. D. Groner, A. A. Dameron, S. M. George, J. Appl. Phys. 2009, 106, 023533.
24. M. D. Groner, J. W. Elam, F. H. Fabreguette, S. M. George, Thin Solid Films 2002, 413, 186.
25. R. L. Puurunen, J. Appl. Phys. 2005, 97, 121301.
26. A. C. Dillon, A. W. Ott, J. D. Way, S. M. George, Surf. Sci. 1995, 322, 230.
27. M. D. Groner, F. H. Fabreguette, J. W. Elam, S. M. George, Chem. Mater. 2004, 16, 639.
28. A. W. Ott, J. W. Klaus, J. M. Johnson, S. M. George, Thin Solid Films 1997, 292, 135.
29. M. Juppo, A. Rahtu, M. Ritala, Chem. Mater. 2002, 14, 281.
30. M. Ritala, M. Leskela, E. Rauhala, P. Haussalo, J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 2731.
31. S. M. George, B. Yoon, A. A. Dameron, Acc. Chem. Res. 2009, 42, 498.
32. T. Yoshimura, S. Tatsuura, W. Sotoyama, Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 482.
33. T. Yoshimura, S. Tatsuura, W. Sotoyama, A. Matsuura, T. Hayano, Appl. Phys. Lett. 1992, 60, 268.
34. H.-I. Shao, S. Umemoto, T. Kikutani, N. Okui, Polymer 1997, 38, 459.
35. A. Kubono, N. Yuasa, H.-L. Shao, S. Umemoto, N. Okui, Thin Solid Films 1996, 289, 107.
36. N. M. Adamczyk, A. A. Dameron, S. M. George, Langmuir 2008, 24, 2081.
37. Y. Du, S. M. George, J. Phys. Chem. C 2007, 111, 8509.
38. M. Putkonen, J. Harjuoja, T. Sajavaara, L. Niinisto, J. Mater. Chem. 2007, 17, 664.
39. A. Kim, M. A. Filler, S. Kim, S. F. Bent, J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 6123.
40. J. S. Lee, Y.-J. Lee, E. L. Tae, Y. S. Park, K. B. Yoon, Science 2003, 127, 818.
41. P. W. Loscutoff, H. Zhou, S. B. Clendenning, S. F. Bent, ACS Nano 2010, 4, 331.
42. P. W. Loscutoff, H.-B.-R. Lee, S. F. Bent, Chem. Mater. 2010, 22, 5563.
43. Y. Li, D. Wang, J. M. Buriak, Langmuir 2010, 26, 1232.
44. A. Kubono, N. Okui, Prog. Polym. Sci. 1994, 19, 389.
45. S. M. George, B. H. Lee, B. Yoon, A. I. Abdulagatov, R. A. Hall, J. Nanosci. Nanotechnol. 2011, 11, 7956.
46. A. A. Dameron, D. Seghete, B. B. Burton, S. D. Davidson, A. S. Cavanagh, J. A. Bertrand, S. M. George, Chem. Mater. 2008, 20, 3315.
47. Q. Peng, B. Gong, R. M. VanGundy, G. N. Parsons, Chem. Mater. 2009, 21, 820.
48. B. Yoon, J. L. O'Patchen, D. Seghete, A. S. Cavanagh, S. M. George, Chem. Vap. Deposition 2009, 15, 112.
49. D. Seghete, R. A. Hall, B. Yoon, S. M. George, Langmuir 2010, 26, 19045.
50. B. Yoon, D. Seghete, A. S. Cavanagh, S. M. George, Chem. Mater. 2009, 21, 5365.
51. K. B. Klepper, O. Nilsen, P.-A. Hansen, H. Fjellvag, Dalton Trans. 2011, 40, 4036.
52. K. B. Klepper, O. Nilsen, H. Fjellvag, Dalton Trans. 2010, 39, 11628.
53. B. H. Lee, M. K. Ryu, S. Choi, K. H. Lee, S. Im, M. M. Sung, J. Am. Chem. Soc. 2007, 129, 16034.
54. B. H. Lee, K. H. Lee, S. Im, M. M. Sung, J. Nanosci. Nanotechnol 2009, 9, 6962.
55. B. H. Lee, K. H. Lee, S. Im, M. M. Sung, Org. Electron. 2008, 9, 1146.
56. B. H. Lee, K. K. Im, K. H. Lee, S. Im, M. M. Sung, Thin Solid Films 2009, 517, 4056.
57. B. H. Lee, B. Yoon, V. R. Anderson, S. M. George, J. Phys. Chem. C 2012, 116, 3250.
58. T. Bitzer, N. V. Richardson, Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 662.
59. S. Haq, N. V. Richardson, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 5256.
60. B. G. Frederick, N. V. Richardson, W. N. U. A. E. Farrash, Surf. Interface Anal. 1993, 20, 434.
61. X. Liang, D. M. King, P. Li, S. M. George, A. W. Weimer, AIChE J. 2009, 55, 1030.
62. X. Liang, M. Yu, J. Li, Y.-B. Jiang, A. W. Weimer, Chem. Commun. 2009, 7140.
63. M. Yu, H. H. Funke, R. D. Noble, J. L. Falconer, J. Am. Chem. Soc. 2011, 133, 1748.
64. R. A. Hall, S. M. George, unpublished.
65. S. K. Kim, C. S. Hwang, S.-H. K. Park, S. J. Yun, Thin Solid Films 2005, 478, 103.
66. J. W. Elam, Z. A. S. S. M. George, Thin Solid Films 2002, 414, 43.
67. B. Yoon, B. H. Lee, S. M. George, ECS Trans. 2011, 41, 271.
68. B. Yoon, Y. Lee, D. Derk, C. B. Musgrave, S. M. George, ECS Trans. 2011, 33, 191.
69. C. K. Chiang, C. R. Fincher, Y. W. Park Jr., A. J. Heeger, H. Shirakawa, E. J. Louis, S. C. Gau, A. G. MacDiarmid, Phys. Rev. Lett. 1977, 39, 1098.
70. S. Cho, G. Han, K. Kim, M. M. Sung, Angew. Chem. Int. Ed. 2011, 50, 2742.
71. A. I. Abdulagatov, R. A. Hall, J. L. Sutherland, B. H. Lee, A. S. Cavanagh, S. M. George, Chem. Mater. 2012, 24, 2854.
72. A. L. Linsebigler, G. Lu, J. T. Yates, Chem. Rev. 1995, 95, 735.
73. B. H. Lee, V. R. Anderson, S. M. George, ECS Trans. 2011, 41, 131.
74. J. P. Chang, Y. S. Lin, S. Berger, A. Kepten, R. Bloom, S. Levy, J. Vac. Sci. Technol. B 2001, 19, 2137.
75. R. A. Synowicki, T. E. Tiwald, Thin Solid Films 2004, 455, 248.
76. B. H. Lee, S. M. George, unpublished.
77. T. M. Phung, J. M. Jensen, D. C. Johnson, J. J. Donovan, B. G. McBurnett, X-Ray Spectrom. 2008, 37, 608.
78. Y. Y. Huang, A. Sarkar, P. C. Schultz, J. Non-Cryst. Solids 1977, 27, 29.
79. W. C. Oliver, G. M. Pharr, J. Mater. Res. 2004, 19, 3.
80. D. L. Joslin, W. C. Oliver, J. Mater. Res. 1990, 5, 123.
81. D. C. Miller, R. R. Foster, S. Jen, J. A. Bertrand, D. Seghete, B. Yoon, Y. Lee, S. M. George, M. L. Dunn, Acta Mater. 2009, 57, 5083.
82. K. Tapily, J. E. Jakes, D. S. Stone, P. Shrestha, D. Gu, H. Baumgart, A. A. Elmustafa, J. Electrochem. Soc. 2008, 155, H545.
83. M. K. Tripp, C. Stampfer, D. C. Miller, T. Helbling, C. F. Herrmann, C. Hierold, K. Gall, S. M. George, V. M. Bright, Sens. Actuators A 2006, 130-131, 419.
84. J. W. Elam, D. Routkevitch, S. M. George, J. Electrochem. Soc. 2003, 150, G339.
85. T. L. Yang, D. H. Zhang, J. Ma, H. L. Ma, Y. Chen, Thin Solid Films 1998, 326, 60.
86. U. Bach, D. Lupo, P. Comte, J. E. Moser, F. Weissortel, J. Salbeck, H. Spreitzer, M. Gratzel, Nature 1998, 395, 583.
87. W. Gopel, K. D. Schierbaum, Sens. Actuators B 1995, 26, 1.
88. N. Yamazoe, Sens. Actuators B 1991, 5, 7.
89. S. L. Brock, N. G. Duan, Z. R. Tian, O. Giraldo, H. Zhou, S. L. Suib, Chem. Mater. 1998, 10, 2619.
90. E. A. Mamedov, V. C. Corberan, Appl. Catal. A 1995, 127, 1.
91. J. Q. Xi, M. F. Schubert, J. K. Kim, E. F. Schubert, M. F. Chen, S. Y. Lin, W. Liu, J. A. Smart, Nat. Photonics 2007, 1, 176.
92. L. Han, P. Mandlik, J. Gartside, S. Wagner, J. A. Silvernail, R. Q. Ma, M. Hack, J. J. Brown, J. Electrochem. Soc. 2009, 156, H106.
93. T. W. Kim, M. Yan, G. Erlat, P. A. McConnelee, M. Pellow, J. Deluca, T. P. Feist, A. R. Duggal, M. Schaepkens, J. Vac. Sci. Technol. A 2005, 23, 971.
94. J. R. Cho, D. Y. Ha, Mater. Sci. Eng. A 2002, 334, 147.
95. K. S. Ravichandran, Mater. Sci. Eng. A 1995, 201, 269.
96. N. Cordero, J. Yoon, Z. G. Suo, Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 111910.