Alucone alloys with tunable properties using alucone molecular layer deposition and Al 2O 3 atomic layer deposition

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 116, Issue 5, 2012, Pages 3250-3257

  Lee, Byoung H ^a   Yoon, Byunghoon ^a   Anderson, Virginia R ^a   George, Steven M ^a,b  

^a UNIVERSITY OF COLORADO   (United States)

^b University of Colorado at Boulder   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALLOY FILM; FUNCTIONAL FILMS; IN-SITU; MASS GAIN; MOLECULAR LAYER DEPOSITION; ORGANIC-INORGANIC; PURE AL; REACTANT EXPOSURES; REACTION SEQUENCES; SURFACE SPECIES; TRIMETHYLALUMINUM; TUNABLE PROPERTIES; ULTRA-THIN;

ALUMINUM; ATOMIC LAYER DEPOSITION; ELASTIC MODULI; ETHYLENE GLYCOL; FILM GROWTH; FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY; HARDNESS; METALLIC FILMS; REFRACTIVE INDEX;

ALLOYS;

EID: 84863118243     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp209003h     Document Type: Article

References (46)

1. Suntola, T. Thin Solid Films 1992, 216, 84
2. Kim, H.; Lee, H.-B.-R.; Maeng, W.-J. Thin Solid Films 2009, 517, 2563
3. George, S. M.; Ott, A. W.; Klaus, J. W. J. Phys. Chem. 1996, 100, 13121
4. George, S. M. Chem. Rev. 2010, 110, 111
5. Leskela, M.; Ritala, M. Thin Solid Films 2002, 409, 138
6. Ritala, M.; Leskela, M. In Handbook of Thin Film Materials; Nalwa, H. S., Ed.; Academic Press: San Diego, CA, 2001; Vol. 1.
7. George, S. M.; Yoon, B.; Dameron, A. A. Acc. Chem. Res. 2009, 42, 498
8. Shao, H.-I.; Umemoto, S.; Kikutani, T.; Okui, N. Polymer 1997, 38, 459
9. Adamczyk, N. M.; Dameron, A. A.; George, S. M. Langmuir 2008, 24, 2081
10. Putkonen, M.; Harjuoja, J.; Sajavaara, T.; Niinisto, L. J. Mater. Chem. 2007, 17, 664
11. Yoshimura, T.; Tatsuura, S.; Sotoyama, W.; Matsuura, A.; Hayano, T. Appl. Phys. Lett. 1992, 60, 268
12. Dameron, A. A.; Seghete, D.; Burton, B. B.; Davidson, S. D.; Cavanagh, A. S.; Bertrand, J. A.; George, S. M. Chem. Mater. 2008, 20, 3315
13. Klepper, K. B.; Nilsen, O.; Fjellvag, H. Dalton Trans. 2010, 39, 11628
14. Klepper, K. B.; Nilsen, O.; Hansen, P. A.; Fjellvag, H. Dalton Trans. 2011, 40, 4636
15. Lee, B. H.; Lee, K. H.; Im, S.; Sung, M. M. Org. Electron. 2008, 9, 1146
16. Lee, B. H.; Ryu, M. K.; Choi, S. Y.; Lee, K. H.; Im, S.; Sung, M. M. J. Am. Chem. Soc. 2007, 129, 16034
17. Seghete, D.; Hall, R. A.; Yoon, B.; George, S. M. Langmuir 2010, 26, 19045
18. Yoon, B.; Patchen, J. L. O.; Seghete, D.; Cavanagh, A. S.; George, S. M. Chem. Vap. Deposition 2009, 15, 112
19. Yoon, B.; Seghete, D.; Cavanagh, A. S.; George, S. M. Chem. Mater. 2009, 21, 5365
20. George, S. M.; Lee, B. H.; Yoon, B.; Abdulagatov, A. I.; Hall, R. A. J. Nanosci. Nanotechnol. 2011, 11, 7948
21. Peng, Q.; Gong, B.; VanGundy, R. M.; Parsons, G. N. Chem. Mater. 2009, 21, 820
22. Dillon, A. C.; Ott, A. W.; Way, J. D.; George, S. M. Surf. Sci. 1995, 322, 230
23. Groner, M. D.; Fabreguette, F. H.; Elam, J. W.; George, S. M. Chem. Mater. 2004, 16, 639
24. Ott, A. W.; Klaus, J. W.; Johnson, J. M.; George, S. M. Thin Solid Films 1997, 292, 135
25. Elam, J. W.; Groner, M. D.; George, S. M. Rev. Sci. Instrum. 2002, 73, 2981
26. Ferguson, J. D.; Weimer, A. W.; George, S. M. Thin Solid Films 2000, 371, 95
27. Miller, D. C.; Foster, R. R.; Jen, S.; Bertrand, J. A.; Seghete, D.; Yoon, B.; Lee, Y.; George, S. M.; Dunn, M. L. Acta Mater. 2009, 57, 5083
28. Oliver, W. C.; Pharr, G. M. J. Mater. Res. 2004, 19, 3
29. Joslin, D. L.; Oliver, W. C. J. Mater. Res. 1990, 5, 123
30. Bobji, M. S.; Biswas, S. K.; Pethica, J. B. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 1059
31. Tadjiev, D. R.; Hand, R. J.; Hayes, S. A. Philos. Mag. 2010, 90, 1819
32. Jian, S. R.; Jang, J. S. C.; Chen, G. J.; Chen, H. G.; Chen, Y. T. J. Alloys Compd. 2009, 479, 348
33. Saha, R.; Nix, W. D. Acta Mater. 2002, 50, 23
34. Dillon, A. C.; Ott, A. W.; Way, J. D.; George, S. M. Surf. Sci. 1995, 322, 230
35. Ferguson, J. D.; Yoder, A. R.; Weimer, A. W.; George, S. M. Appl. Surf. Sci. 2004, 226, 393
36. Ferguson, J. D.; Weimer, A. W.; George, S. M. J. Vac. Sci. Technol., A 2005, 23, 118
37. Wind, R. A.; George, S. M. J. Phys. Chem. A 2010, 114, 1281
38. Holy, V.; Pietsch, U.; Baumbach, T. High Resolution X-ray Scattering from Thin Films and Multilayers; Springer-Verlag: Berlin, 1999.
39. Phung, T. M.; Jensen, J. M.; Johnson, D. C.; Donovan, J. J.; McBurnett, B. G. X-Ray Spectrom. 2008, 37, 608
40. Huang, Y. Y.; Sarkar, A.; Schultz, P. C. J. Non-Cryst. Solids 1977, 27, 29
41. Tapily, K.; Jakes, J. E.; Stone, D. S.; Shrestha, P.; Gu, D.; Baumgart, H.; Elmustafa, A. A. J. Electrochem. Soc. 2008, 155, H545
42. Callister, W. D., Jr.; Rethwisch, D. G. Materials Science and Engineering: An Introduction, 8 th ed.; John Wiley & Sons, Inc.: Hoboken, NJ, 2010.
43. Tripp, M. K.; Stampfer, C.; Miller, D. C.; Helbling, T.; Herrmann, C. F.; Hierold, C.; Gall, K.; George, S. M.; Bright, V. M. Sens. Actuators, A 2006, 130-131, 419
44. Cordero, N.; Yoon, J.; Suo, Z. G. Appl. Phys. Lett. 2007, 90
45. Miller, D. C.; Foster, R. R.; Zhang, Y. D.; Jen, S. H.; Bertrand, J. A.; Lu, Z. X.; Seghete, D.; O'Patchen, J. L.; Yang, R. G.; Lee, Y. C.; George, S. M.; Dunn, M. L. J. Appl. Phys. 2009, 105
46. Graff, G. L.; Williford, R. E.; Burrows, P. E. J. Appl. Phys. 2004, 96, 1840