Deposition of ultrathin polythiourea films by molecular layer deposition

Chemistry of Materials

Volumn 22, Issue 19, 2010, Pages 5563-5569

  Loscutoff, Paul W ^a   Lee, Han Bo Ram ^a   Bent, Stacey F ^a  

^a Stanford University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL COMPOSITIONS; CONFORMAL COATINGS; CONSTANT GROWTH RATES; COUPLING CHEMISTRY; ETHYLENE DIAMINE; FREE FILMS; GROWTH TECHNIQUES; LAYER-BY-LAYERS; MOLECULAR LAYER DEPOSITION; ORGANIC FILMS; ORGANIC INTERFACES; PHENYLENE DIISOTHIOCYANATE; PRECURSOR MOLECULES; SATURATION BEHAVIOR; THERMAL STABILITY STUDIES; TRANSMISSION ELECTRON MICROGRAPH; ULTRA-THIN;

DENSITY FUNCTIONAL THEORY; DEPOSITION; DESORPTION; FILM GROWTH; FUNCTIONAL GROUPS; INFRARED SPECTROSCOPY; OXYGEN; SELF ASSEMBLY; SILICON COMPOUNDS; SURFACE CHEMISTRY; THIOUREAS; UREA; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

ULTRATHIN FILMS;

EID: 77957798201     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm1016239     Document Type: Article

References (37)

1. George, S. M.; Yoon, B.; Dameron, A. A. Acc. Chem. Res. 2009, 42, 498
2. DiBenedetto, S. A.; Facchetti, A.; Ratner, M. A.; Marks, T. J. Adv. Mater. 2009, 21, 1407
3. Roberts, M. E.; Sokolov, A. N.; Bao, Z. J. Mater. Chem. 2009, 19, 3351
4. Nakazawa, M.; Kosugi, T.; Nagatsuka, H.; Maezawa, A.; Nakamura, K.; Ueha, S. IEEE Trans. 2007, 54, 2165
5. Evans-Nguyen, K. M.; Tolles, L. R.; Gorkun, O. V.; Lord, S. T.; Schoenfisch, M. H. Biochemistry 2005, 44, 15561
6. Im, S. G.; Bong, K. W.; Lee, C. H.; Doyle, P. S.; Gleason, K. K. Lab Chip 2009, 9, 411
7. Gandhi, D. D.; Lane, M.; Zhou, Y.; Singh, A. P.; Nayak, S.; Tisch, U.; Eizenberg, M.; Ramanath, G. Nature 2007, 447, 299
8. Adamczyk, N. M.; Dameron, A. A.; George, S. M. Langmuir 2008, 24, 2081
9. Caro, A. M.; Maes, G.; Borghs, G.; Whelan, C. M. Microelectron. Eng. 2008, 85, 2047
10. Gandhi, D. D.; Ganesan, P. G.; Chandrasekar, V.; Gan, Z.; Mhaisalkar, S. G.; Li, H.; Ramanath, G. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 163507
11. Ganesan, P. G.; Singh, A. P.; Ramanath, G. Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 579
12. Loscutoff, P. W.; Clendenning, S. B.; Bent, S. F. MRS Symp. Proc. 2010, 1249, F02
13. Ritala, M.; Leskela, M. Atomic Layer Deposition. In Handbook of Thin Film Materials; Nalwa, H. S., Ed.; Academic Press: San Diego, 2002; Vol. 1.
14. Du, Y.; George, S. M. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 8509
15. Bitzer, T.; Richardson, N. V. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 662
16. Yoshimura, T.; Kudo, Y. Appl. Phys. Express 2009, 2, 015502
17. Lee, J. S.; Lee, Y. J.; Tae, E. L.; Park, Y. S.; Yoon, K. B. Science 2003, 301, 818
18. Loscutoff, P. W.; Zhou, H.; Clendenning, S. B.; Bent, S. F. ACS Nano 2010, 4, 331
19. Kim, A.; Filler, M. A.; Kim, S.; Bent, S. F. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 6123
20. Dameron, A. A.; Seghete, D.; Burton, B. B.; Davidson, S. D.; Cavanagh, A. S.; Bertrand, J. A.; George, S. A. Chem. Mater. 2008, 20, 3315
21. Lee, B. H.; Im, K. K.; Lee, K. H.; Im, S.; Sung, M. M. Thin Solid Films 2009, 517, 4056
22. Lee, B. H.; Lee, K. H.; Im, S.; Sung, M. M. Org. Electron. 2008, 9, 1146
23. Liang, X.; King, D. M.; Li, P.; George, S. M.; Weimer, A. W. AIChE J. 2009, 55, 1030
24. Peng, Q.; Gong, B.; VanGundy, R. M.; Parsons, G. N. Chem. Mater. 2009, 21, 820
25. Yoon, B.; O'Patchen, J. L.; Seghete, D.; Cavanagh, A. S.; George, S. M. Chem. Vap. Deposition 2009, 15, 112
26. Yoon, B.; Seghete, D.; Cavanagh, A. S.; George, S. M. Chem. Mater. 2009, 21, 5365
27. Haller, I. J. Am. Chem. Soc. 1978, 100, 8050
28. Howarter, J. A.; Youngblood, J. P. Langmuir 2006, 22, 11142
29. Vandenberg, E. T.; Bertilsson, L.; Liedberg, B.; Uvdal, K.; Erlandsson, R.; Elwing, H.; Lundstroem, I. J. Colloid Interface Sci. 1991, 147, 103
30. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, J., J. A.; Vreven, T.; Kudin, K. N.; Burant, J. C., et al. Gaussian 03, revision D.01; Gaussian, Inc.: Wallingford, CT, 2004.
31. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648
32. Lee, C. T.; Yang, W. T.; Parr, R. G. Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 1988, 37, 785
33. Scott, A. P.; Radom, L. J. Phys. Chem. 1996, 100, 16502
34. Kurth, D. G.; Bein, T. Langmuir 1993, 9, 2965
35. Pasternack, R. M.; Amy, S. R.; Chabal, Y. J. Langmuir 2008, 24, 12963
36. Senkevich, J. J.; Yang, G. R.; Lu, T. M. Colloids. Surf., A 2002, 207, 139
37. Gandhi, D. D.; Tisch, U.; Singh, B.; Eizenberg, M.; Ramanath, G. Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 143503