SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Chemical Vapor Deposition

Volumn 5, Issue 1, 1999, Pages 7-9

Perfectly conformal TiN and Al2O3 films deposited by atomic layer deposition

(6) Ritala, Mikko a Leskelä, Markku a Dekker, Jan Pieter b Mutsaers, Cees b Soininen, Pekka J c Skarp, Jarmo c

a UNIVERSITY OF HELSINKI (Finland)

b PHILIPS RESEARCH LABORATORIES (Netherlands)

c Microchemistry Ltd (Finland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0040218501 PISSN: 09481907 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1002/(SICI)1521-3862(199901)5:1<7::AID-CVDE7>3.0.CO;2-J Document Type: Article

Times cited : (338)

References (22)

1
- 31944442603
- T. Suntola, Mater. Sci. Rep. 1989, 4, 261.
- (1989) Mater. Sci. Rep. , vol.4 , pp. 261
- Suntola, T.¹

2
- 0002572435
- T. Suntola, Thin Solid Films 1992, 216, 84.
- (1992) Thin Solid Films , vol.216 , pp. 84
- Suntola, T.¹

3
- 0002747573
- M. Leskelä, M. Ritala, J. Phys. IV 1995, 5, C5-937.
- (1995) J. Phys. IV , vol.5
- Leskelä, M.¹ Ritala, M.²

4
- 0041822817
- L. Niinistö, M. Ritala, M. Leskelä, Mater. Sci. Eng. B 1996, 41, 23.
- (1996) Mater. Sci. Eng. B , vol.41 , pp. 23
- Niinistö, L.¹ Ritala, M.² Leskelä, M.³

5
- 0031546895
- M. Ritala, Appl. Surf. Sci. 1997, 112, 223.
- (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.112 , pp. 223
- Ritala, M.¹

6
- 0001628877
- T. Suntola, J. Antson, A. Pakkala, S. Lindfors, SID 80 Digest 1980, 11, 108.
- (1980) SID 80 Digest , vol.11 , pp. 108
- Suntola, T.¹ Antson, J.² Pakkala, A.³ Lindfors, S.⁴

7
- 0030086051
- C. Dücsö, N. Q. Khanh, Z. Horváth, I. Barsony, M. Utriainen, S. Lehto, M. Nieminen L. Niinistö, J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 683.
- (1996) J. Electrochem. Soc. , vol.143 , pp. 683
- Dücsö, C.¹ Khanh, N.Q.² Horváth, Z.³ Barsony, I.⁴ Utriainen, M.⁵ Lehto, S.⁶ Nieminen, M.⁷ Niinistö, L.⁸

8
- 0031125095
- M. Utriainen, S. Lehto, L. Niinistö, C. Dücsö, N. Q. Khanh, Z. E. Horváth, I. Bársony, B. Pécz, Thin Solid Films 1997, 297, 39.
- (1997) Thin Solid Films , vol.297 , pp. 39
- Utriainen, M.¹ Lehto, S.² Niinistö, L.³ Dücsö, C.⁴ Khanh, N.Q.⁵ Horváth, Z.E.⁶ Bársony, I.⁷ Pécz, B.⁸

9
- 0028758927
- E.-L. Lakomaa, Appl. Surf. Sci. 1994, 75, 185.
- (1994) Appl. Surf. Sci. , vol.75 , pp. 185
- Lakomaa, E.-L.¹

10
- 33751385818
- S. Haukka, E.-L. Lakomaa, A. Root, J. Phys. Chem. 1993, 97, 5085,
- (1993) J. Phys. Chem. , vol.97 , pp. 5085
- Haukka, S.¹ Lakomaa, E.-L.² Root, A.³

11
- 0027887762
- S. Haukka, E.-L. Lakomaa, O. Jylhä, J. Vilhunen, S. Hornytzkyj, Langmuir 1993, 9, 3497.
- (1993) Langmuir , vol.9 , pp. 3497
- Haukka, S.¹ Lakomaa, E.-L.² Jylhä, O.³ Vilhunen, J.⁴ Hornytzkyj, S.⁵

12
- 0005357904
- A. W. Ott, J. W. Klaus, J. M. Johnson, S. M. George, K. C. McCarley, J. D. Way, Chem. Mater. 1997, 9, 707.
- (1997) Chem. Mater. , vol.9 , pp. 707
- Ott, A.W.¹ Klaus, J.W.² Johnson, J.M.³ George, S.M.⁴ McCarley, K.C.⁵ Way, J.D.⁶

13
- 0006092821
- J.-F. Fan, K. Toyoda, Appl. Surf. Sci. 1992, 60/61, 765.
- (1992) Appl. Surf. Sci. , vol.60-61 , pp. 765
- Fan, J.-F.¹ Toyoda, K.²

14
- 0029359198
- M. Ritala, M. Leskelä, E. Rauhala, P. Haussalo, J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 2731.
- (1995) J. Electrochem. Soc. , vol.142 , pp. 2731
- Ritala, M.¹ Leskelä, M.² Rauhala, E.³ Haussalo, P.⁴

15
- 0031382041
- M. Ritala, T. Asikainen, M. Leskelä, J. Jokinen, R. Lappalainen, M. Utriainen, L. Niinistö, E. Ristolainen, Appl. Surf. Sci. 1997, 120, 199.
- (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.120 , pp. 199
- Ritala, M.¹ Asikainen, T.² Leskelä, M.³ Jokinen, J.⁴ Lappalainen, R.⁵ Utriainen, M.⁶ Niinistö, L.⁷ Ristolainen, E.⁸

16
- 0001421965
- G. S. Higashi, C. G. Fleming, Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 1963.
- (1989) Appl. Phys. Lett. , vol.55 , pp. 1963
- Higashi, G.S.¹ Fleming, C.G.²

17
- 0030566216
- A. W. Ott, K. C. McCarley, J. W. Klaus, J. D. Way, S. M. George, Appl. Surf. Sci. 1996, 107, 128.
- (1996) Appl. Surf. Sci. , vol.107 , pp. 128
- Ott, A.W.¹ McCarley, K.C.² Klaus, J.W.³ Way, J.D.⁴ George, S.M.⁵

18
- 0031553497
- A. W. Ott, J. W. Klaus, J. M. Johnson, S. M. George, Thin Solid Films 1997, 292, 135.
- (1997) Thin Solid Films , vol.292 , pp. 135
- Ott, A.W.¹ Klaus, J.W.² Johnson, J.M.³ George, S.M.⁴

19
- 0030737099
- K. Kukli, J. Ihanus, M. Ritala, M. Leskelä, J. Electrochem. Soc. 1997, 144, 300.
- (1997) J. Electrochem. Soc. , vol.144 , pp. 300
- Kukli, K.¹ Ihanus, J.² Ritala, M.³ Leskelä, M.⁴

20
- 0000364381
- S. J. Yun, K.-H. Lee, J. Skarp, H.-R. Kim, K.-S. Nam, J. Vac. Sci. Technol. A 1997, 15, 2993.
- (1997) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.15 , pp. 2993
- Yun, S.J.¹ Lee, K.-H.² Skarp, J.³ Kim, H.-R.⁴ Nam, K.-S.⁵

21
- 0031150226
- P. Ericsson, S. Bengtsson, J. Skarp, Microelectron. Eng. 1997, 36, 91.
- (1997) Microelectron. Eng. , vol.36 , pp. 91
- Ericsson, P.¹ Bengtsson, S.² Skarp, J.³

22
- 0031546861
- J. I. Skarp, P. J. Soininen, P. T. Soininen, Appl. Surf. Sci. 1997, 112, 251.
- (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.112 , pp. 251
- Skarp, J.I.¹ Soininen, P.J.² Soininen, P.T.³

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.