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Volumn 82, Issue 6, 2010, Pages 1301-1315

Experimental and modeling study of O and Cl atoms surface recombination reactions in O2 and Cl2 plasmas

(7) Stafford, Luc a Guha, Joydeep b,c Khare, Rohit b Mattei, Stefano a Boudreault, Olivier a Clain, Boris a Donnelly, Vincent M b

a UNIVERSITÉ DE MONTRÉAL (Canada)

b UNIVERSITY OF HOUSTON (United States)

c LAM RESEARCH CORPORATION (United States)

Author keywords

Chlorine plasmas; Fluid modeling; Oxygen plasmas; Plasma; Recombination

Indexed keywords

EID: 77953244597 PISSN: 00334545 EISSN: 13653075 Source Type: Journal
DOI: 10.1351/PAC-CON-09-11-02 Document Type: Conference Paper

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.