Three-dimensional microfabrication of materials by femtosecond lasers for photonics applications

Journal of Applied Physics

Volumn 106, Issue 5, 2009, Pages

  Juodkazis, Saulius ^a,b   Mizeikis, Vygantas ^c   Misawa, Hiroaki ^a  

^a HOKKAIDO UNIVERSITY   (Japan)

^b JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY   (Japan)

^c SHIZUOKA UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIRECT LASER WRITING; FABRICATION OF PHOTONIC CRYSTALS; FEMTO-SECOND LASER; FEMTOSECOND LASER MICROFABRICATION; HOLOGRAPHIC RECORDINGS; MICRO-ELECTRO-MECHANICAL; MULTIPLE BEAM INTERFERENCE; PHOTONICS APPLICATIONS; PHYSICAL MECHANISM; POST-FABRICATION; STRUCTURE FORMATIONS; THREE-DIMENSIONAL MICRO-FABRICATION; THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE;

CRYSTAL STRUCTURE; LASERS; MICROANALYSIS; MICROFABRICATION; MICROMACHINING; PULSED LASER APPLICATIONS; THREE DIMENSIONAL; ULTRASHORT PULSES;

PHOTONIC CRYSTALS;

EID: 70349345896     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.3216462     Document Type: Review

References (154)

1. M. Tennant, Nanotechnology (AIP, New York, 1999).
2. S. John, Phys. Rev. Lett. 58, 2486 (1987). 10.1103/PhysRevLett.58.2486
3. E. Yablonovitch, Phys. Rev. Lett. 58, 2059 (1987). 10.1103/PhysRevLett. 58.2059
4. G. Dolling, C. Enkrich, M. Wegener, C. M. Soukoulis, and S. Linden, Opt. Lett. 31, 1800 (2006). 10.1364/OL.31.001800 (Pubitemid 44048908)
5. J. B. Pendry, L. Martn-Moreno, and F. J. Garcia-Vidal, Science 305, 847 (2004). 10.1126/science.1098999 (Pubitemid 39038415)
6. V. M. Shalaev, W. Cai, U. K. Chettiar, H.-K. Yuan, A. K. Sarychev, V. P. Drachev, and A. V. Kildishev, Opt. Lett. 30, 3356 (2005). 10.1364/OL.30.003356 (Pubitemid 43099202)
7. M. Qi, E. Lidorikis, P. Rakich, S. Johnson, J. Joannopoulos, E. Ippen, and H. Smith, Nature (London) 429, 538 (2004). 10.1038/nature02575 (Pubitemid 38737653)
8. V. S. Amaratunga, H. T. Hattori, M. Premaratne, H. H. Tan, and C. Jagadish, J. Opt. Soc. Am. B 25, 1532 (2008). 10.1364/JOSAB.25.001532
9. I. Tarhan and G. H. Watson, Phys. Rev. Lett. 76, 315 (1996). 10.1103/PhysRevLett.76.315
10. A. Blanco, E. Chomski, S. Grabtchak, M. Ibisate, S. John, S. Leonard, C. Lopez, F. Meseguer, H. Miguez, J. Mondia, G. Ozin, O. Toader, and H. van Driel, Nature (London) 405, 437 (2000). 10.1038/35013024 (Pubitemid 30367415)
11. V. Mizeikis, K. K. Seet, S. Juodkazis, and H. Misawa, Opt. Lett. 29, 2061 (2004). 10.1364/OL.29.002061
12. M. Deubel, G. von Freymann, M. Wegener, S. Pereira, K. Busch, and C. Soukoulis, Nature Mater. 3, 444 (2004). 10.1038/nmat1155
13. M. Deubel, M. Wegener, and A. Kaso, Appl. Phys. Lett. 85, 1895 (2004). 10.1063/1.1792802
14. H. Sun, Y. Xu, S. Juodkazis, K. Sun, M. Watanabe, S. Matsuo, H. Misawa, and J. Nishii, Opt. Lett. 26, 325 (2001). 10.1364/OL.26.000325
15. H. Sun, V. Mizeikis, S. Juodkazis, J.-Y. Ye, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 79, 1 (2001). 10.1063/1.1381035 (Pubitemid 33599506)
16. F. E. Livingston and H. Helvajian, MRS Bull. 32, 40 (2007).
17. K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 17, 541 (2005). 10.1002/adma.200401527 (Pubitemid 40448700)
18. K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 88, 221101 (2006). 10.1063/1.2207841 (Pubitemid 43839181)
19. T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 79, 725 (2001). 10.1063/1.1391232 (Pubitemid 33598417)
20. T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2758 (2003). 10.1063/1.1569987
21. D. Melville and R. Blaikie, Opt. Express 13, 2127 (2005). 10.1364/OPEX.13.002127 (Pubitemid 40548777)
22. S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, Science 272, 85 (1996). 10.1126/science.272.5258.85
23. N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Ṕrez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 18, 457 (2006). 10.1002/adma.200501674 (Pubitemid 43305232)
24. K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, and L. T. M. Wegener, Phys. Rep. 444, 101 (2007). 10.1016/j.physrep.2007.02.011
25. J. Serbin and M. Gu, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 18, 221 (2006). 10.1002/adma.200501665 (Pubitemid 43133397)
26. J. Serbin, A. Egbert, A. Ostendorf, B. N. Chichkov, R. H. G. Domann, J. Schulz, C. Cronauer, L. Frohlich, and M. Popall, Opt. Lett. 28, 301 (2003). 10.1364/OL.28.000301
27. M. Thiel, M. Decker, M. Deubel, M. Wegener, S. Linden, and G. Freymann, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 19, 207 (2007). 10.1002/adma.200601497 (Pubitemid 46178030)
28. M. S. Rill, C. Plet, M. Thiel, I. Staude, G. von Freymann, and S. Linden, and M. Wegener, Nature Mater. 7, 543 (2008). 10.1038/nmat2197
29. K. Sakoda, Optical Properties of Photonic Crystals, Springer Series in Optical Sciences, Vol. 80 (Springer, New York, 2001).
30. J. D. Joannopoulos, S. G. Johnson, J. N. Winn, and R. D. Meade, Photonic Crystals: Molding the Flow of Light (Princeton University Press, Princeton, 2008).
31. A. Argyros, S. Manos, M. Large, D. McKenzie, G. Cox, and D. Dwarte, Micron 33, 483 (2002). 10.1016/S0968-4328(01)00044-0 (Pubitemid 34499878)
32. A. Saito, Y. Miyamura, M. Nakajima, Y. Ishikawa, K. Sogo, Y. Kuwahara, and Y. Hirai, J. Vac. Sci. Technol. A 24, 3248 (2006). 10.1116/1.2395950 (Pubitemid 44866508)
33. H. Masuda and K. Fukuda, Science 268, 1466 (1995). 10.1126/science.268. 5216.1466
34. M. H. Kluhr, A. Sauermann, C. A. Elsner, K. H. Thein, and S. Dertinger, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 18, 3135 (2006). 10.1002/adma.200600093 (Pubitemid 46080206)
35. I. Mikulskas, S. Juodkazis, R. Tomašinas, and J. G. Dumas, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 13, 1574 (2001). 10.1002/1521-4095(200110)13:20<1574: :AID-ADMA1574>3.0.CO;2-9
36. V. Mizeikis, I. Mikulskas, R. Tomašinas, S. J. S. Matsuo, and H. Misawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 43, 3643 (2004). 10.1143/JJAP.43.3643
37. V. Lehmann, Appl. Surf. Sci. 106, 402 (1996). 10.1016/S0169-4332(96) 00379-0 (Pubitemid 126361965)
38. J. Jakubowicz, Superlattices Microstruct. 41, 205 (2007). 10.1016/j.spmi.2006.12.003 (Pubitemid 46771056)
39. V. Lehman and H. Föll, J. Electrochem. Soc. 137, 653 (1990). 10.1149/1.2086525
40. V. Lehman, J. Electrochem. Soc. 140, 2836 (1993). 10.1149/1.2220919
41. V. Lehman and U. Grüning, Thin Solid Films 297, 13 (1997). 10.1016/S0040-6090(96)09478-3
42. J. Wang, H. Niino, and A. Yabe, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 68, 111 (1999). 10.1007/s003390050863
43. G. Kopitkovas, T. Lippert, C. David, A. Wokaun, and J. Gobrecht, Thin Solid Films 453, 31 (2004). 10.1016/j.tsf.2003.11.074
44. R. Bohme, J. Zajadacz, K. Zimmer, and B. Rauschenbach, Appl. Phys. A 0721-7250 80, 433 (2005). 10.1007/s00339-004-3015-1
45. C. Monat, P. Domachuk, and B. J. Eggleton, Nat. Photonics 1, 106 (2007). 10.1038/nphoton.2006.96
46. D. Psaltis, S. R. Quake, and C. Yang, Nature (London) 442, 381 (2006). 10.1038/nature05060 (Pubitemid 44264781)
47. H. Misawa and S. Juodkazis, Prog. Polym. Sci. 24, 665 (1999). 10.1016/S0079-6700(99)00009-X (Pubitemid 30497912)
48. T.-H. Lin, Y.-J. Chen, C.-H. Wu, and Y.-G. Fuh, Appl. Phys. Lett. 86, 161120 (2005). 10.1063/1.1897439 (Pubitemid 40861314)
49. V. A. Mallia and N. Tamaoki, Chem. Soc. Rev. 33, 76 (2004). 10.1039/b106617j
50. K. Yoshino, Y. Shimoda, Y. Kawagishi, K. Nakayama, and M. Ozaki, Appl. Phys. Lett. 75, 932 (1999). 10.1063/1.124558
51. A. F. Muoz, P. Palffy-Muhoray, and B. Taheri, Opt. Lett. 26, 804 (2001). 10.1364/OL.26.000804
52. H. Finkelmann, S. T. Kim, A. Munoz, P. Palffy-Muhoray, and B. Taheri, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 13, 1069 (2001). 10.1002/1521-4095(200107)13: 14<1069::AID-ADMA1069>3.0.CO;2-6
53. T. Matsui, R. Ozaki, K. Funamoto, M. Ozaki, and K. Yoshino, Appl. Phys. Lett. 81, 3741 (2002). 10.1063/1.1522498 (Pubitemid 35445500)
54. K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, and H. Misawa, J. Non-Cryst. Solids 352, 2390 (2006). 10.1016/j.jnoncrysol.2006.02.079 (Pubitemid 43947015)
55. O. Toader and S. John, Science 292, 1133 (2001). 10.1126/science.1059479 (Pubitemid 32440929)
56. A. Ledermann, L. Cademartiri, M. Hermatschweiler, C. Toninelli, G. Ozin, D. Wiersma, M. Wegener, and G. von Freymann, Nature Mater. 5, 942 (2006). 10.1038/nmat1786 (Pubitemid 44847488)
57. V. Mizeikis, H.-B. Sun, A. Marcinkevicius, J. Nishii, S. J. S. Matsuo, and H. Misawa, J. Photochem. Photobiol., A 145, 41 (2001). 10.1016/S1010- 6030(01)00565-2
58. M. Straub, M. Ventura, and M. Gu, Phys. Rev. Lett. 91, 043901 (2003). 10.1103/PhysRevLett.91.043901
59. M. J. Ventura, M. Straub, and M. Gu, Appl. Phys. Lett. 82, 1649 (2003). 10.1063/1.1560870
60. O. Efimov, S. Juodkazis, and H. Misawa, Phys. Rev. A 69, 042903 (2004). 10.1103/PhysRevA.69.042903
61. E. Vanagas, J. Kawai, D. Tuzilin, I. Kudryashov, A. Mizuyama, K. G. Nakamura, K.-I. Kondo, S.-Y. Koshihara, M. Takesada, K. Matsuda, S. Juodkazis, V. Jarutis, S. Matsuo, and H. Misawa, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 3, 358 (2004). 10.1117/1.1668274
62. E. Vanagas, I. Kudryashov, D. Tuzhilin, S. Juodkazis, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2901 (2003). 10.1063/1.1570514
63. A. Marcinkevicius, S. Juodkazis, S. Matsuo, V. Mizeikis, and H. Misawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 40, L1197 (2001). 10.1143/JJAP.40.L1197
64. E. Gaižauskas, E. Vanagas, V. Jarutis, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Opt. Lett. 31, 80 (2006). 10.1364/OL.31.000080 (Pubitemid 43133287)
65. S. Matsui, T. Kaito, J.-I. Fujita, M. Komuro, K. Kanda, and Y. Haruyama, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 3181 (2000). 10.1116/1.1319689 (Pubitemid 32088180)
66. B. Stuart, M. Feit, A. Rubenchik, S. Herman, B. Shore, and M. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996). 10.1103/PhysRevB.53.1749
67. T. Hashimoto, S. Juodkazis, and H. Misawa, New J. Phys. 9, 253 (2007). 10.1088/1367-2630/9/8/253 (Pubitemid 47258015)
68. E. E. Gamaly, S. Juodkazis, K. Nishimura, H. Misawa, B. L.-D. L. Hallo, P. Nicolai, and V. Tikhonchuk, Phys. Rev. B 73, 214101 (2006). 10.1103/PhysRevB.73.214101 (Pubitemid 43848245)
69. K. Yamasaki, S. Juodkazis, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 77, 371 (2003). 10.1007/s00339-003-2191-8
70. G. Zhou, M. Ventura, M. Vanner, and M. Gu, Appl. Phys. Lett. 86, 011108 (2005). 10.1063/1.1844039 (Pubitemid 40211531)
71. K. Miura, J. Qiu, H. Inouye, T. Mitsuyu, and K. Hirao, Appl. Phys. Lett. 71, 3329 (1997). 10.1063/1.120327
72. S. Juodkazis, Y. Nishi, and H. Misawa, Phys. Stat. Sol. (RRL) 2 1-3, 275 (2008). 10.1002/pssr.200802203
73. H. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999). 10.1063/1.123367
74. S. Kawata, H.-B. Sun, T. Tanaka, and K. Takada, Nature (London) 412, 697 (2001). 10.1038/35089130 (Pubitemid 32771982)
75. G. Witzgall, R. Vrijen, E. Yablonovitch, V. Doan, and B. Schwartz, Opt. Lett. 23, 1745 (1998). 10.1364/OL.23.001745
76. MicroChem Corp. http://www.microchem.com/products/su-eight.htm.
77. T. Y. M. Chan and S. John, Phys. Rev. A 78, 033812 (2008). 10.1103/PhysRevA.78.033812
78. T. Chan, O. Toader, and S. John, Phys. Rev. E 71, 046605 (2005). 10.1103/PhysRevE.71.046605
79. O. Toader, T. Chan, and S. John, Phys. Rev. Lett. 92, 043905 (2004). 10.1103/PhysRevLett.92.043905
80. T. Kondo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, S. Matsuo, and H. Misawa, New J. Phys. 8, 250 (2006). 10.1088/1367-2630/8/10/250 (Pubitemid 44631327)
81. T. Kondo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, H. Misawa, and S. Matsuo, Opt. Express 14, 7943 (2006). 10.1364/OE.14.007943 (Pubitemid 44277529)
82. A. A. Maznev, T. F. Crimmins, and K. A. Nelson, Opt. Lett. 23, 1378 (1998). 10.1364/OL.23.001378
83. T. Kondo, K. Yamasaki, S. Juodkazis, S. Matsuo, and V. M. H. Misawa, Thin Solid Films 453-454, 550 (2004). 10.1016/j.tsf.2003.11.180
84. S. Juodkazis, T. Kondo, V. Mizeikis, S. Matsuo, H. Murata, and H. Misawa, Proc. SPIE 4977, 94 (2003). 10.1117/12.479405
85. Y. V. Miklyaev, D. C. Meisel, A. Blanco, G. von Freymann, K. Busch, W. Koch, C. Enkrich, M. Deubel, and M. Wegener, Appl. Phys. Lett. 82, 1284 (2003). 10.1063/1.1557328
86. O. Toader, T. Y. M. Chan, and S. John, Appl. Phys. Lett. 89, 101117 (2006). 10.1063/1.2347112 (Pubitemid 44359586)
87. T. Y. M. Chan, O. Toader, and S. John, Phys. Rev. E 73, 046610 (2006). 10.1103/PhysRevE.73.046610 (Pubitemid 43672774)
88. D. Chanda, L. Abolghasemi, M. Haque, M. Ng, and P. Herman, Opt. Express 16, 15402 (2008). 10.1364/OE.16.015402
89. D. B. Shao and S. C. Chen, Nano Lett. 6, 2279 (2006). 10.1021/nl061712b (Pubitemid 44663818)
90. K. M. Davis, K. Miura, N. Sugimoto, and K. Hirao, Opt. Lett. 21, 1729 (1996). 10.1364/OL.21.001729
91. V. Mizeikis, S. Juodkazis, A. Marcinkevicius, S. Matsuo, and H. Misawa, J. Photochem. Photobiol. C 2, 35 (2001). 10.1016/S1389-5567(01)00009-0 (Pubitemid 33662643)
92. S. Juodkazis, S. Matsuo, H. Misawa, V. Mizeikis, A. M. H. B. Sun, Y. Tokuda, M. Takahashi, T. Yoko, and J. Nishii, Appl. Surf. Sci. 197-198, 705 (2002). 10.1016/S0169-4332(02)00397-5 (Pubitemid 35344650)
93. S. Juodkazis, K. Yamasaki, V. Mizeikis, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 79, 1549 (2004). 10.1007/s00339-004-2845-1
94. A. Marcinkevicius, S. Juodkazis, M. Watanabe, M. Miwa, S. M. H. Misawa, and J. Nishii, Opt. Lett. 26, 277 (2001). 10.1364/OL.26.000277
95. M. Watanabe, H.-B. Sun, S. Juodkazis, T. Takahashi, S. M. Y. Suzuki, J. Nishii, and H. Misawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 37, L1527 (1998). 10.1143/JJAP.37.L1527
96. S. Juodkazis, A. V. Rode, E. G. Gamaly, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 77, 361 (2003). 10.1007/s00340-003-1224-5
97. S. Juodkazis, M. Sudzius, V. Mizeikis, H. Misawa, E. G. G. Y. Liu, O. A. Louchev, and K. Kitamura, Appl. Phys. Lett. 89, 062903 (2006). 10.1063/1.2335364 (Pubitemid 44222950)
98. M. Watanabe, S. Juodkazis, H.-B. Sun, S. Matsuo, H. Misawa, M. Miwa, and R. Kaneko, Appl. Phys. Lett. 74, 3957 (1999). 10.1063/1.124235
99. M. Watanabe, S. Juodkazis, H.-B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Phys. Rev. B 60, 9959 (1999). 10.1103/PhysRevB.60.9959
100. K. Yamasaki, S. Juodkazis, M. Watanabe, H.-B. Sun, and S. M. H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 76, 1000 (2000). 10.1063/1.125919
101. F. Formanek, N. Takeyasu, T. Tanaka, K. Chiyoda, and A. I. S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 88, 083110 (2006). 10.1063/1.2178261 (Pubitemid 43297186)
102. S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 80, 683 (2004). 10.1007/s00339-004-3108-x
103. C. Mauclair, A. Mermillod-Blondin, N. Huot, E. Audouard, and R. Stoian, Opt. Express 16, 5481 (2008). 10.1364/OE.16.005481 (Pubitemid 351544168)
104. H. Takahashi, S. Hasegawa, A. Takita, and Y. Hayasaki, Opt. Express 16, 16592 (2008). 10.1364/OE.16.014421
105. T. Hashimoto, S. Juodkazis, and H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 83, 337 (2006). 10.1007/s00339-006-3501-8
106. S. Juodkazis, H. Misawa, T. Hashimoto, E. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Phys. Lett. 88, 201909 (2006). 10.1063/1.2204847 (Pubitemid 43781770)
107. S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. E. G. B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006). 10.1103/PhysRevLett.96.166101 (Pubitemid 43667861)
108. S. Juodkazis, K. Nishimura, H. Misawa, T. Ebisui, R. Waki, S. Matsuo, and T. Okada, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 18, 1361 (2006). 10.1002/adma.200501837 (Pubitemid 43893443)
109. S. Juodkazis, K. Nishimura, and H. Misawa, Chin. Opt. Lett. 5, S198 (2007).
110. M. Mazilu, S. Juodkazis, T. Ebisui, and H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 86, 197 (2007). 10.1007/s00339-006-3732-8 (Pubitemid 44876941)
111. A. Marcinkevicius, V. Mizeikis, S. Juodkazis, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 76, 257 (2003). 10.1007/s00339-002-1447-z (Pubitemid 35459453)
112. N. Huot, R. Stoian, A. Mermillod-Blondin, C. Mauclair, and E. Audouard, Opt. Express 15, 12395 (2007). 10.1364/OE.15.012395 (Pubitemid 47460104)
113. E. G. Gamaly, S. Juodkazis, V. Mizeikis, H. Misawa, A. V. R. W. Z. Krolikowski, and K. Kitamura, Curr. Appl. Phys. 8, 416 (2008). 10.1016/j.cap.2007.10.072
114. S. Juodkazis, T. Kondo, H. Misawa, A. Rode, M. Samoc, and B. Luther-Davies, Opt. Express 14, 7751 (2006). 10.1364/OE.14.007751 (Pubitemid 44277511)
115. Z. Sacks, G. Mourou, and R. Danielius, Opt. Lett. 26, 462 (2001). 10.1364/OL.26.000462
116. R. Wolleschensky, T. Feurer, R. Sauerbrey, and U. Simon, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 67, 87 (1998). 10.1007/s003400050479
117. K. Yamasaki, S. Juodkazis, T. Lippert, M. Watanabe, and S. M. H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 76, 325 (2003). 10.1007/s00339-002-1816-7
118. S. Juodkazis, K. Yamasaki, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 84, 514 (2004). 10.1063/1.1641182
119. S. Juodkazis, V. Mizeikis, S. Matsuo, K. Ueno, and H. Misawa, Bull. Chem. Soc. Jpn. 81, 411 (2008). 10.1246/bcsj.81.411
120. V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. D. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006). 10.1103/PhysRevLett.96.057404 (Pubitemid 43271037)
121. S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Adv. Polym. Sci. 213, 157 (2008). 10.1007/978-3-540-69450-2
122. S. Juodkazis, K. Nishimura, H. Okuno, Y. Tabuchi, S. M. S. Tanaka, and H. Misawa, Proc. SPIE 6732, 67320B (2007). 10.1117/12.751889 (Pubitemid 350134910)
123. K. J. Schafer, J. M. Hales, M. Balu, K. D. Belfield, E. W. Van Stryland, and D. J. Hagan, J. Photochem. Photobiol., A 162, 497 (2004). 10.1016/S1010-6030(03)00394-0
124. K. K. Seet, S. Juodkazis, V. Jarutis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 89, 024106 (2006). 10.1063/1.2221499 (Pubitemid 44079119)
125. R. Houbertz, L. Frählich, M. Popall, U. Streppel, P. Dannberg, A. Bräuer, J. Serbin, and B. Chichkov, Adv. Eng. Mater. 5, 551 (2003). 10.1002/adem.200310096
126. A. Ovsiannikov, A. Gaidukeviciute, B. Chichkov, M. Oubaha, B. MacCraith, I. Sakellari, A. Giakoumaki, D. Gray, M. Vamvakaki, M. Farsari, and C. Fotakis, Laser Chem. 2008, 493059 (2008). 10.1155/2008/493059
127. A. Ovsianikov, S. Z. Xiao, M. Farsari, M. Vamvakaki, C. Fotakis, and B. N. Chichkov, Opt. Express 17, 2143 (2009). 10.1364/OE.17.002143
128. K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Juodkazis, and H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 82, 683 (2006). 10.1007/s00339-005-3459-y (Pubitemid 43076953)
129. M. Thiel, G. von Freymann, and M. Wegener, Opt. Lett. 32, 2547 (2007). 10.1364/OL.32.002547 (Pubitemid 351302981)
130. K. M. Ho, C. T. Chan, C. M. Soukoulis, R. Biswas, and M. Sigalas, Solid State Commun. 89, 413 (1994). 10.1016/0038-1098(94)90202-X
131. R. M. Digilov, Eur. J. Phys. 29, 589 (2008). 10.1088/0143-0807/29/3/018 (Pubitemid 351624088)
132. S. Juodkazis, V. Mizeikis, K. K. Seet, H. Misawa, and U. G. K. Wegst, Appl. Phys. Lett. 91, 241904 (2007). 10.1063/1.2822825 (Pubitemid 350261987)
133. M. E. Zoorob, M. D. B. Charlton, G. J. Parker, J. J. Baumberg, and M. C. Netti, Nature (London) 404, 740 (2000). 10.1038/35008023 (Pubitemid 30212396)
134. A. David, T. Fujii, E. Matioli, R. Sharma, S. Nakamura, S. P. DenBaars, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 88, 073510 (2006). 10.1063/1.2168673 (Pubitemid 43261871)
135. R. C. Gauthier, Opt. Commun. 269, 395 (2007). 10.1016/j.optcom.2006.08. 013 (Pubitemid 44779659)
136. N. Murazawa, S. Juodkazis, H. Misawa, and K. Kamada, Mol. Cryst. Liq. Cryst. 489, 310 (2008). 10.1080/15421400802218785
137. M. Rumi, J. Ehrlich, A. Heikal, J. Perry, S. Barlow, Z. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J.-L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000). 10.1021/ja994497s (Pubitemid 30769977)
138. M. A. McHugh and V. J. Krukonis, Supercritical Fluid Extraction, 2nd ed. (Butterworth-Heinemann, Boston, 1994).
139. C. A. Eckert, B. L. Knutson, and P. G. Debendetti, Nature (London) 383, 313 (1996). 10.1038/383313a0 (Pubitemid 26321755)
140. Organic Solvents. Physical Properties and Methods of Purification, 4th ed., edited by, A. Weissberger, (Wiley, New York, 1986).
141. T. Tawara, S. Tanaka, H. Kumano, and I. Suemune, Appl. Phys. Lett. 75, 235 (1999). 10.1063/1.124333
142. I. Suemune, T. Tawara, T. Saitoh, and K. Uesugi, Appl. Phys. Lett. 71, 3886 (1997). 10.1063/1.120534
143. Y. Hashimoto and O. Karthaus, J. Colloid Interface Sci. 311, 289 (2007). 10.1016/j.jcis.2007.02.055 (Pubitemid 46667148)
144. H.-B. Sun, T. Suwa, K. Takada, R. P. Zaccaria, M. S. Kim, K. S. Lee, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 85, 3708 (2004). 10.1063/1.1807019
145. D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. L. D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 18, 2964 (2006). 10.1002/adma.200600412 (Pubitemid 44852474)
146. S. Juodkazis, V. Mizeikis, T. Kondo, K. Kannari, K. K. Seet, and H. Misawa, Proc. SPIE 6883, 68830I (2008). 10.1117/12.762977
147. T. Kondo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 81, 1583 (2005). 10.1007/s00339-005-3337-7 (Pubitemid 41521282)
148. K. K. Seet, V. Mizeikis, K. Kannari, S. Juodkazis, H. M. N. Tetreault, and S. John, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 14, 1064 (2008). 10.1109/JSTQE.2008.922909
149. G. Dolling, C. Enkrich, M. Wegener, C. M. Soukoulis, and S. Linden, Science 312, 892 (2006). 10.1126/science.1126021 (Pubitemid 43727317)
150. J. B. Pendry, Science 306, 1353 (2004). 10.1126/science.1104467 (Pubitemid 39532508)
151. M. C. Wiltshire, J. B. Pendry, I. R. Young, D. J. Larkman, D. J. Gilderdale, and J. V. Hajnal, Science 291, 849 (2001). 10.1126/science.291.5505. 849 (Pubitemid 32120750)
152. J. Lee, M. J. Cuddihy, and N. A. Kotov, Tissue Eng. 14, 61 (2008). 10.1089/teb.2007.0150
153. V. Mizeikis, S. Juodkazis, R. Tarozait, J. J. K. Juodkazis, and H. Misawa, Opt. Express 15, 8454 (2007). 10.1364/OE.15.008454 (Pubitemid 46988699)
154. R. P. Cowburn, A. O. Adeyeye, and J. A. C. Bland, Appl. Phys. Lett. 70, 2309 (1997). 10.1063/1.118845