Improved thermally stable ohmic contacts on p-GaN based on W 2B

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 1, 2006, Pages

  Voss, L ^a   Khanna, Rohit ^a   Pearton, S J ^a   Ren, F ^a   Kravchenko, I ^b  

^a University of Florida   (United States)

^b NONE   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BORIDE-BASED CONTACTS; CONTACT MORPHOLOGY; CONTACT RESISTIVITY; METALLIZATION SCHEME;

ANNEALING; AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY; MORPHOLOGY; OHMIC CONTACTS; THERMODYNAMIC STABILITY; TUNGSTEN COMPOUNDS;

GALLIUM NITRIDE;

EID: 33645508704     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2161806     Document Type: Article

References (45)

1. J. K. Kim, J.-L. Lee, J. W. Lee, H. Shin, Y. J. Park, and T. Kim, Appl. Phys. Lett. 73, 2953 (1998).
2. A. P. Zhang, B. Luo, J. W. Johnson, F. Ren, J. Han, and S. J. Pearton, Appl. Phys. Lett. 79, 3636 (2001).
3. C.-S. Lee, Y.-J. Lin, and C.-T. Lee, Appl. Phys. Lett. 79, 3815 (2001).
4. T. Gessmann, Y.-L. Li, E. L. Waldron, J. W. Graff, E. F. Schubert, and J. K. Sheu, Appl. Phys. Lett. 80, 986 (2002).
5. H. W. Jang, W. Urbanek, M. C. Yoo, and J.-L. Lee, Appl. Phys. Lett. 80, 2937 (2002).
6. L. Zhou, W. Lanford, A. T. Ping, I. Adesida, J. W. Yang, and A. Khan, Appl. Phys. Lett. 76, 3451 (2000).
7. J.-S. Jang, I.-S. Chang, H.-K. Kim, T.-Y. Seong, S. Lee, and S.-J. Park, Appl. Phys. Lett. 74, 70 (1999).
8. L.-C. Chen, J.-K. Ho, C.-S. Jong, C. C. Chiu, K.-K. Shih, F.-R. Chen, J.-J. Kai, and L. Chang, Appl. Phys. Lett. 76, 3703 (2000).
9. M. Suzuki, T. Kawakami, T. Arai, S. Kobayashi, Y. Koide, T. Uemura, N. Shibata, and M. Murakami, Appl. Phys. Lett. 74, 275 (1999).
10. C.-F. Chu, C. C. Yu, Y. K. Wang, J. Y. Tsai, F. I. Lai, and S. C. Wang, Appl. Phys. Lett. 77, 3423 (2000).
11. J. K. Sheu, Y. K. Su, G. C. Chi, P. L. Koh, M. J. Jou, C. M. Chang, C. C. Liu, and W. C. Hung, Appl. Phys. Lett. 74, 2340 (1999).
12. J.-L. Lee, M. Weber, J. K. Kim, J. W. Lee, Y. J. Park, T. Kim, and K. Lynn, Appl. Phys. Lett. 74, 2289 (1999).
13. J.-O Song, J. S. Kwak, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 86, 062103 (2005).
14. J.-O Song, J. S. Kwak, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 86, 213505 (2005).
15. J.-H. Lim, E.-J. Yang, D.-K. Hwang, J.-H. Yang, J.-Y. Oh, and S.-J. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 042109 (2005).
16. T. Maeda, Y. Koide, and M. Murakami Appl. Phys. Lett. 75, 4145 (1999).
17. J. S. Kwak, O.-H. Nam, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 80, 3554 (2002).
18. J. Narayan, H. Wang, T.-H. Oh, H. K. Choi, and J. C. C. Fan, Appl. Phys. Lett. 81, 3978 (2002).
19. S. Y. Kim, H. W. Jang, and J. L. Lee, Appl. Phys. Lett. 82, 61 (2003).
20. H. Tang, J. A. Bardwell, J. B. Webb, S. Rolfe, Y. Liu, S. Moisa, and I. Sproule, Appl. Phys. Lett. 82, 736 (2003).
21. Y.-J. Lin, Z.-D. Li, C.-W. Hsu, F.-T. Chien, C.-T. Lee, S.-T. Shao, and H.-C. Chang, Appl. Phys. Lett. 82, 2817 (2003).
22. R.-H. Horng, D.-S. Wuu, Y. Lien, and W.-H. Lan, Appl. Phys. Lett. 79, 2925 (2001).
23. J.-O. Song, D.-S. Leem, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 83, 3513 (2003).
24. J. O Song, K.-K. Kim, S.-J. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 83, 479 (2003).
25. Y.-L. Li, E. F. Schubert, J. W. Graff, A. Osinsky, and W. F. Schaff, Appl. Phys. Lett. 76, 2728 (2000).
26. J. O. Song, D.-S. Leem, J. S. Kwak, O. H. Nam, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 83, 2372 (2003).
27. J.-S. Jang and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 76, 2743 (2000).
28. K. Kumakura, T. Makimoto, and N. Kobayashi, Appl. Phys. Lett. 79, 2588 (2001).
29. C. Huh, S.-W. Kim, H.-M. Kim, D.-J. Kim, and S.-J. Park, Appl. Phys. Lett. 78, 1942 (2001).
30. V. Adivarahan, A. Lunev, M. Asif Khan, J. Yang, G. Simin, M. S. Shur, and R. Gaska Appl. Phys. Lett. 78, 2781 (2001).
31. H. W. Jang, K. H. Kim, J. K. Kim, S.-W. Hwang, J. J. Yang, K. J. Lee, S.-J. Son, and J.-L. Lee, Appl. Phys. Lett. 79, 1822 (2001).
32. J.-O. Song, D.-S. Leem, J. S. Kwak, S. N. Lee, O. H. Nam, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 84, 1504 (2004).
33. Y.-J. Lin and K.-C. Wu, Appl. Phys. Lett. 84, 1501 (2004).
34. G.-T. Chen, C.-C. Pan, C.-S. Fang, T.-C. Huang, J.-I. Chyi, M.-N. Chang, S.-B. Huang, and J.-T. Hsu, Appl. Phys. Lett. 85, 2797 (2004).
35. H. W. Jang and J.-L. Lee, Appl. Phys. Lett. 85, 4421 (2004).
36. H. W. Jang and J.-L. Lee, Appl. Phys. Lett. 85, 5920 (2004).
37. J. Lim, D.-K. Hwang, H.-S. Kim, J.-Y. Oh, J.-H. Yang, R. Navamathavan, and S.-J. Park, Appl. Phys. Lett. 85, 6191 (2004).
38. N. C. Chen, C. Y. Tseng, A. P. Chiu, C. F. Shih, and P. H. Chang, Appl. Phys. Lett. 85, 6086 (2004).
39. H. Omiya, F. A. Ponce, H. Marui, S. Tanaka, and T. Mukai, Appl. Phys. Lett. 85, 6143 (2004).
40. J.-O. Song and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 85, 6374 (2004).
41. J.-O. Song, J. S. Kwak, and. T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 86, 062103 (2005).
42. X. A. Cao, S. J. Pearton, F. Ren, and J. R. Lothian, Appl. Phys. Lett. 73, 942 (1998).
43. W. Zagozdzon-Wosik, D. Radhakrishnan, C. Darne, I. Rusakova, P. van der Heide, Z.-H. Zhang, J. Bennett, L. Trombetta, and P. Majhi, Rev. Adv. Mater. Sci. 8, 185 (2004).
44. Handbook of Physics and Chemistry (CRC, Boca Raton, FL, 1990).
45. Handbook of the Physicochemical Properties of the Elements, edited by, G. V. Samsonov, (IFI-Plenum, New York, 1968).