Very-low-specific-resistance Pd/Ag/Au/Ti/Au alloyed ohmic contact to p GaN for high-current devices

Applied Physics Letters

Volumn 78, Issue 18, 2001, Pages 2781-2783

  Adivarahan, V ^a   Lunev, A ^a   Asif Khan, M ^a   Yang, J ^a   Simin, G ^a   Shur, M S ^b   Gaska, R ^b  

^a University of South Carolina   (United States)

^b SET Incorporated   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035971873     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1353813     Document Type: Article

References (21)

1. J. K. Shen, Y. K. Su, G. C., Chi, P. L. Koh, M. J. Jou, C. M. Chang, C. C. Liu, and W. C. Hung, Appl. Phys. Lett. 74, 2340 (1999).
2. J.-K. Ho, C.-S. Jung, C. C. Chiu, C.-N. Huang, C.-Y. Chen, and K.-K. Shih, Appl. Phys. Lett. 74, 1275 (1999).
3. J.-K. Kim, T.-L. Lee, J. W. Lee, H. E. Shin, Y. J. Park, and T. Kim, Appl. Phys. Lett. 73, 2953 (1998).
4. J.-L. Lee, M. Weber, J. K. Kim, J. W. Lee, Y. J. Park, T. Kim, and K. Lymn, Appl. Phys. Lett. 74, 2289 (1999).
5. T. Mori, T. Kozawa, T. Ohwaki, Y. Taga, S. Nagai, S. Yamasaki, S. Asami, N. Shibata, and M. Koike, Appl. Phys. Lett. 69, 3537 (1996).
6. L. L. Smith, R. F. Davis, M. J. Kim, R. W. Carpenter, and Y. Huang, J. Mater. Res. 12, 2249 (1997).
7. K. V. Vassilevski, M. G. Rastegaeva, A. I. Babanin, I. P. Nikitina, and V. A. Dmitriev, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 1, 38 (1996).
8. Y. Yamaoka, Y. Kaneko, S. Nakagawa, and N. Yamada, Proceedings of the Second International Conference on Nitride Semiconductors. Tokushima, Japan, 27-31 October 1997, pp. 1-19.
9. D. J. King, L. Zhang, J. C. Ramer, S. D. Hersee, and L. F. Lester, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, 421 (1997).
10. T. Kim, M. C. Yoo, and T. Kim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 1061 (1997).
11. H. Ishikawa, S. Kobayashi, Y. Koide, S. Yamasaki, S. Nagai, J. Umezaki, M. Koike, and M. Murakami, J. Appl. Phys. 81, 1315 (1997).
12. J. T. Trexler, S. J. Pearton, P. H. Holloway, M. G. Mier, K. R. Evans, and R. F. Karlicke, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 1091 (1997).
13. T. Kim, J. Khim, S. Chae, and T. Kim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, 427 (1997).
14. J. K. Sheu, Y. K. Su, G. C. Chi, P. L. Koh, M. J. Jou, C. M. Chang, C. C. Liu, and W. C. Hung, Appl. Phys. Lett. 74, 2340 (1999).
15. J.-S. Jang, I.-S. Cheng, H.-K. Kim, T.-Y. Seong, S. H. Lee, and S. J. Park, Appl. Phys. Lett. 74, 70 (1999).
16. M.-S. Jang, K.-H. Park, H.-K. Jang, H.-G. Kim, and S.-J. Park, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3105 (1998).
17. S. Ruvimov, Z. L. Weber, J. Washburn, K. J. Duxstad, E. E. Haller, Z. F. Fan, S. N. Mohammad, W. Kim, A. E. Botchkarev, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 69, 1556 (1996).
18. S. Ruvimov, Z. L. Weber, J. Washburn, D. Qiao, S. S. Lau, and P. K. Chu, Appl. Phys. Lett. 73, 2582 (1998).
19. B. P. Luther, S. E. Mohney, T. N. Jackson, M. A. Khan, Q. Chen, and J. W. Yang, Appl. Phys. Lett. 70, 57 (1997).
20. Binary Alloy Phase Diagrams, edited by T. Masalsky (American Society for Metals, Metals Park, OH, 1990).
21. Handbook of Ternary Alloy Phase Diagrams, edited by P. Villars, A, Prince, and H. Okamoto (American Society for Metals, Metals Park, OH, 1995).