High-reflectivity Pd/Ni/Al/Ti/Au ohmic contacts to p-type GaN for ultraviolet light-emitting diodes

Applied Physics Letters

Volumn 85, Issue 14, 2004, Pages 2797-2799

  Chen, Guan Ting ^a   Pan, Chang Chi ^a   Fang, Chi Shin ^a   Huang, Tzu Chien ^a   Chyi, Jen Inn ^a   Chang, Mae Nan ^b   Huang, Sheng Bang ^c   Hsu, Jung Tsung ^c  

^a NATIONAL CENTRAL UNIVERSITY   (Taiwan)

^b NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES   (Taiwan)

^c INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AGING OF MATERIALS; ANNEALING; ELECTRIC CONDUCTIVITY; ELECTRONICS PACKAGING; GALLIUM NITRIDE; LIGHT REFLECTION; METALLIC FILMS; NITROGEN; OHMIC CONTACTS; SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY; THERMAL CYCLING; THERMODYNAMIC STABILITY;

CONTACT RESISTIVITY; OPTICAL REFLECTIVITY; THERMAL AGING;

LIGHT EMITTING DIODES;

EID: 8344235087     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1805199     Document Type: Article

References (18)

1. I. Akasaki and H. Amano, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 5393 (1997).
2. T. Mukai, D. Morita, and S. Nakamura, J. Cryst. Growth 189/190, 778 (1998).
3. J. J. Wierer, D. A. Steigerwald, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 78, 3379 (2001).
4. Y. C. Shen, J. J. Wierer, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 82, 2221 (2003).
5. J. T. Trexler, S. J. Pearton, P. H. Holloway, M. G. Mier, K. R. Evans, and R. F. Karlicek, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 1091 (1997).
6. J. K. Sheu, Y K. Su, G. C. Chi, W. C. Chen, C. Y. Chen, J. M. Hong, Y. C. Yu, C. W. Yang, and E. K. Lin, J. Appl. Phys. 83, 3172 (1998).
7. J. K. Kim, J. L. Lee, J. W. Lee, H. E. Shin, Y. J. Park, and T. Kim, Appl. Phys. Lett. 73, 2953 (1999).
8. J. S. Jang, I. S. Chang, H. K. Kim, T. Y. Seong, S. Lee, and S. J. Park, Appl. Phys. Lett. 74, 70 (1999).
9. C. F. Chu, C. C. Yu, Y. K. Wang, J. Y. Tsai, F. I. Lai, and S. C. Wang, Appl. Phys. Lett. 77, 3423 (2000).
10. J. O. Song, D. S. Leem, J. S. Kwak, O. H. Nam, Y. Park, and T. Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 83, 2372 (2003).
11. H. W. Jang, K. H. Kim, J. K. Kim, S. W. Hwang, J. J. Yang, K. J. Lee, S. J. Son, and J. L. Lee, Appl. Phys. Lett. 79, 1822 (2001).
12. J. K. Ho, C. S. Jong, C. C. Chiu, C. N. Huang, and K. K. Shih, Appl. Phys. Lett. 74, 1275 (1999).
13. David R. Lide, Handbook of chemistry and physics (CRC, Boca Raton, FL, 2001-2002), pp. 12-142.
14. M. E. Lin, Z. Ma, F. Y. Huang, Z. F. Fan, L. H. Allen, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 64, 1003 (1994).
15. S. Ruvimov, Z. Liliental-Weber, J. Washburn, K. J. Duxstad, E. E. Haller, Z. F. Fan, S. N. Mohammad, W. Kim, A. E. Botchkarev, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 69, 1556 (1996).
16. Z. Fan, S. N. Mohammad, W. Kim, O. Aktas, A. E. Botchkarev, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 68, 1672 (1996).
17. C. T. Lee and H. W. Kao, Appl. Phys. Lett. 76, 2364 (2000).
18. P. Nash, M. F. Singleton, and J. L. Murray, Binary alloy phase diagrams (American Society for Metals, Metals Park, OH, 1991).