Low-resistance Pt/Ni/Au ohmic contacts to p-type GaN

Applied Physics Letters

Volumn 74, Issue 1, 1999, Pages 70-72

  Jang, Ja Soon ^a   Chang, In Sik ^a   Kim, Han Ki ^a   Seong, Tae Yeon ^a   Lee, Seonghoon ^a   Park, Seong Ju ^a  

^a Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000537361     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.123954     Document Type: Article

References (20)

1. S. Nakamura, M. Senoh, N. Iwasa, and S. Nagahama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L797 (1995).
2. S. Nakamura, M. Senoh, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, and Y. Sugimoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 35, L217 (1996).
3. M. Asif Khan, A. R. Bhattarai, J. N. Kuznia, and D. T. Olson, Appl. Phys. Lett. 63, 1214 (1993).
4. M. Asif Khan, J. N. Kuznia, A. R. Bhattarai, and D. T. Olson, Appl. Phys. Lett. 62, 1786 (1993).
5. M. Asif Khan, J. N. Kuznia, D. T. Olson, J. M. Van Hove, M. Blasingame, and L. F. Reitz, Appl. Phys. Lett. 60, 2917 (1993).
6. J. S. Foresi and T. D. Moustakas, Appl. Phys. Lett. 62, 2859 (1993).
7. M. E. Lin, Z. Ma, F. Y. Huang, Z. F. Fan, L. H. Allen, and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 64, 1003 (1994).
8. Z. Fan, S. Mohammadm, and W. Kim, Appl. Phys. Lett. 68, 1672 (1996).
9. S. Ruvimov, Z. Liliental-Weber, and J. Washbum, Appl. Phys. Lett. 69, 1556 (1996).
10. A. T. Ping, M. Asif Khan, and I. Adesida, J. Electron. Mater. 25, 819 (1996).
11. J. T. Trexler, S. J. Pearton, P. H. Holloway, M. G. Mier, K. R. Evans, and R. F. Karlicek, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 1091 (1997).
12. J. S. Jang, K. H. Park, H. K. Jang, H. G. Kim, and S. J. Park, J. Vac. Sci. Technol. B (to be published).
13. T. Mori, T. Kozawa, T. Ohwaki, Y. Taga, S. Nagai, S. Yamasaki, S. Asami, N. Shibata, and M. Koite, Appl. Phys. Lett. 69, 3537 (1996).
14. G. S. Marlow and M. B. Das, Solid-State Electron. 25, 91 (1982).
15. J-S Jang, I. S. Jang, T-Y. Seong, and S.-J. Park, Presented at Second International Symposium on Blue Lasers and Light Emitting Diodes, Chiba, Japan, 29 Sept.-2 Oct. 1998.
16. H. Ishikawa, S. Kobayashi, Y. Koide, S. Yamasaki, S. Nagai, J. Umezaki, M. Koike, and M. Murakami, J. Appl. Phys. 81, 1315 (1997).
17. A. T. Ping, M. Asif Khan, and I. Adesida, J. Electron. Mater. 25, 819 (1996).
18. S. Miller and P. H. Holloway, J. Electron. Mater. 25, 1709 (1996).
19. J.-S. Jang, M.S. thesis, Kwangju Institute of Science and Technology, 1998 (unpublished).
20. J.-S. Jang, I.-S. Chang, H.-K. Kim, S.-J. Park, and T.-Y. Seong (unpublished).