Thermal stability of W and WSix contacts on p-GaN

Applied Physics Letters

Volumn 73, Issue 7, 1998, Pages 942-944

  Cao, X A ^a   Pearton, S J ^a   Ren, F ^a   Lothian, J R ^b  

^a University of Florida   (United States)

^b LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 21544474721     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.122046     Document Type: Article

References (28)

1. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, Appl. Phys. Lett. 64, 1687 (1994).
2. M. Schauler, C. Kirchner, M. Mayer, A. Pelzmann, F. Eberhard, M. Kamp, P. Unger, and K. J. Ebeling, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 2, 44 (1997).
3. H. Ishikawa, S. Kobayashi, Y. Koide, S. Yamasaki, S. Nagai, J. Umezaki, M. Koike, and M. Murakami, J. Appl. Phys. 81, 1315 (1997).
4. K. V. Vassilevski, M. G. Rastegaeva, A. I. Babanin, I. P. Nikitina, and V. A. Dmitriev, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 1, 38 (1996).
5. D. J. King, L. Zhang, J. C. Ramer, S. D. Hersee, and L. F. Lester, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, 421 (1997).
6. L. F. Lester, D. J. King, L. Zhang, J. C. Ramer, S. D. Hersee, and J. C. Zolper, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 97-1, 171 (1997).
7. I. Akasaki, H. Amano, S. Sota, H. Sakai, T. Tanaka, and M. Koike, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L1517 (1995).
8. L. L. Smith, R. F. Davis, M. J. Kim, R. W. Carpenter, and Y. Huang, J. Mater. Res. 12, 2249 (1997).
9. T. Mori, T. Kozawa, T. Ohwaki, Y. Taga, S. Nagai, S. Yamasaki, S. Asami, N. Shibata, and M. Koike, Appl. Phys. Lett. 69, 3537 (1996).
10. T. Kim, J. Khim, S. Chae, and T. Kim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, 427 (1997).
11. J. T. Trexler, S. J. Pearton, P. H. Holloway, H. G. Mier, K. R. Evans, and R. F. Karlicek, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 1091 (1997).
12. L. L. Smith, M. D. Bremser, E. P. Carlson, T. W. Weeks, Jr., Y. Huang, M. J. Kim, R. W. Carpenter, and R. F. Davis, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395, 861 (1996).
13. J. T. Trexler, S. J. Miller, P. H. Holloway, and M. A. Khan, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395, 819 (1996).
14. T. Kim, M. C. Yoo, and T. Kim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 1061 (1997).
15. See, for example, S. Nakamura, in GaN and Related Materials II, edited by S. J. Pearton (Gordon and Breach, New York, 1998);
16. S. Nakamura, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 3, 712 (1997).
17. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Umemoto, M. Sano, and K. Chocho, Appl. Phys. Lett. 72, 211 (1998).
18. Q. Z. Liu and S. S. Lau, Solid-State Electron. (in press).
19. S. E. Mohney and S. S. Lau, in GaN and Related Materials II, edited by S. J. Pearton (Gordon and Breach, New York, 1998).
20. M. W. Cole, F. Ren, and S. J. Pearton, J. Electrochem. Soc. 144, L275 (1997);
21. Appl. Phys. Lett. 71, 3004 (1997).
22. M. W. Cole, D. W. Eckart, W. Y. Han, R. L. Pfeffer, T. Monahan, F. Ren, C. Yuan, R. A. Stall, S. J. Pearton, Y. Li, and Y. Lu, J. Appl. Phys. Lett. 80, 278 (1996).
23. J. C. Zolper and R. J. Shul, MRS Bull. 22, 36 (1997).
24. J. C. Zolper, R. J. Shul, A. G. Baca, R. G. Wilson, S. J. Pearton, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 68, 2273 (1996).
25. J. M. Van Hove, P. P. Chow, J. J. Klaasen, R. Hickman, A. M. Wowchak, D. R. Croswell, and C. Polley, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, 51 (1997).
26. H. S. Venugopalan, S. E. Mohney, B. P. Luther, J. M. DeLucca, S. D. Wolter, J. M. Redwing, and G. E. Bulman, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, 431 (1997).
27. V. M. Bermudez, R. Kaplan, M. A. Khan, and J. N. Kuznia, Phys. Rev. B 48, 2436 (1993).
28. S. E. Mohney, B. P. Luther, and T. N. Jackson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395, 843 (1996).