Low-resistance ohmic contacts on p-type GaN using Ni/Pd/Au metallization

Applied Physics Letters

Volumn 77, Issue 21, 2000, Pages 3423-3425

  Chu, Chen Fu ^a   Yu, C C ^a   Wang, Y K ^a   Tsai, J Y ^a   Lai, F I ^a   Wang, S C ^a  

^a NATIONAL CHIAO TUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000135818     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1327276     Document Type: Article

References (17)

1. S. Nakamura and G. Fasol, The Blue Laser Diode (Springer, Berlin, 1997).
2. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Umemoto, M. Sano, and K. Chocho, Appl. Phys. Lett. 72, 2014 (1998).
3. M. A. Khan, A. R. Bhattarai, J. N. Kuznia, and D. T. Olson, Appl. Phys. Lett. 63, 1214 (1993).
4. M. A. Khan. J. N. Kuznia, A. R. Bhattarai, and D. T. Olson, Appl. Phys. Lett. 62, 1786 (1993).
5. M. A. Khan, J. N. Kuznia, D. T. Olson. J. M. Van Hove, M. Blasin-game, and L. F. Reitz, Appl. Phys. Lett. 60, 2917 (1993).
6. J. S. Foresi and T. D. Moustakas, Appl. Phys. Lett. 62, 2859 (1993).
7. M. E. Lin, Z. Ma, F. Y. Huang, Z. F. Fan, L. H. Allen, and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 64, 1003 (1994).
8. Z. Fan, S. Mohammad, and W. Kim, Appl. Phys. Lett. 68, 1672 (1996).
9. T. Kim, M. C. Yoo, and T. Kim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 1061 (1997).
10. J. K. Ho, C. S. Jong, C. C. Chiu, C. N. Huang, and K. K. Shih, Appl. Phys. Lett. 74, 1275 (1999).
11. Y. Koide, T. Maeda, T. Kawakami, S. Fujita, T. Uemura, N. Shibata, and M. Murakami, J. Electron. Mater. 28, 341 (1999).
12. A. K. Fung, J. E. Borton, M. I. Nathan, J. M. Van Hove, R. Hickman, P. P. Chow, and A. M. Wowchak, J. Electron. Mater. 28, 572 (1999).
13. J. K. Kim, J. L. Lee, J. W. Lee, H. E. Shin, Y. J. Park, and T. Kim, Appl. Phys. Lett. 73, 2953 (1998).
14. T. Kim, J. Khim, S. Chae, and T. Kim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, 427 (1997).
15. J. S. Jang, K. H. Park, H. K. Jang, H. G. Kim, and S. J. Park, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3105 (1998).
16. J. S. Jang, I.-S. Chang, H.-K. Kim, T.-Y. Seong, S. Lee, and S. J. Park, Appl. Phys. Lett. 74, 70 (1999).
17. L. Zhou, W. Lanford, A. T. Ping, I. Adesida, J. W. Yang and A. Khan, Appl. Phys. Lett. 76, 3451 (2000).