SCOPUS 정보 검색 플랫폼 - 논문 보기

메뉴 건너뛰기

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers

Volumn 41, Issue 4, 2002, Pages 2163-2170

State-of-the-art reactive pulsed laser deposition of nitrides

(1) Perrone, Alessio a

a UNIVERSITY OF SALENTO (Italy)

Author keywords

Film characterization; Film deposition; Laser ablation; Nitrides; Plasma diagnostics

Indexed keywords

DENSITY (OPTICAL); EPITAXIAL GROWTH; LASER ABLATION; NITRIDING; PLASMA DIAGNOSTICS; PULSED LASER DEPOSITION; TEMPERATURE; THIN FILMS;

FILM CHARACTERIZATION; LASER POWER DENSITY; NITRIDATION;

NITRIDES;

EID: 0036529627 PISSN: 00214922 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1143/jjap.41.2163 Document Type: Article

Times cited : (31)

References (89)

1
- 21544474491
- (1987) Appl. Phys. Lett. , vol.51 , pp. 1845
- Narayan, J.¹ Biunno, N.² Singh, R.³ Holland, O.W.⁴ Auciello, O.⁵

2
- 0032069318
- (1998) Appl. Surf. Sci. , vol.127-129 , pp. 520
- Duhalde, S.¹ Lamagna, A.² Villafuerte, M.³ Schwartzman, A.⁴ Correra, L.⁵ Quintana, G.⁶

3
- 36449001929
- (1992) Appl. Phys. Lett. , vol.60 , pp. 1193
- Leuchtner, R.E.¹ Grabowski, K.S.² Chrisey, D.B.³ Horwitz, J.S.⁴

4
- 0032072131
- (1998) Appl. Surf. Sci. , vol.127-129 , pp. 486
- Sengupta, S.¹ Green, S.M.²

5
- 0001254781
- (1997) J. Appl. Phys. , vol.82 , pp. 1408
- Nikitin, P.I.¹ Beloglazov, A.A.² Toporov, A.Yu.³ Valeiko, M.V.⁴ Konov, V.I.⁵ Perrone, A.⁶ Luches, A.⁷ Mirenghi, L.⁸ Tapfer, L.⁹

6
- 0031124141
- (1997) Sens. & Actuat. A , vol.59 , pp. 323
- Toporov, A.Yu.¹ Nikitin, P.I.² Valeiko, M.V.³ Beloglazov, A.A.⁴ Konov, V.I.⁵ Ghorbanzadeh, A.M.⁶ Perrone, A.⁷ Luches, A.⁸

7
- 0039058577
- (1998) JEPT Lett. , vol.67 , pp. 723
- Grigorenko, A.N.¹ Nikitin, P.I.² Konov, V.I.³ Ghorbanzadeh, A.M.⁴ De Giorgi, M.L.⁵ Perrone, A.⁶ Zocco, A.⁷

8
- 0033184191
- (1999) IEEE Trans. Magn. , vol.35 , pp. 3007
- Nakano, M.¹ Tomohara, K.² Song, J.M.³ Fukunaga, H.⁴ Matsuo, Y.⁵

9
- 0031572632
- (1997) Opt. Lett. , vol.22 , pp. 1556
- Anderson, A.A.¹ Eason, R.W.² Hickey, L.M.B.³ Jelinek, M.⁴ Grivas, C.⁵ Gill, D.S.⁶ Vainos, N.A.⁷

10
- 0032001279
- (1998) Appl. Phys. A , vol.66 , pp. 201
- Grivas, C.¹ Gill, D.S.² Mailis, S.³ Boutsikaris, L.⁴ Vainos, N.A.⁵

11
- 0032070601
- (1998) Appl. Surf. Sci. , vol.127-129 , pp. 481
- De Giorgi, M.L.¹ Leggieri, G.² Luches, A.³ Martino, M.⁴ Perrone, A.⁵ Zocco, A.⁶ Barucca, G.⁷ Majni, G.⁸ Gyorgy, E.⁹ Mihailescu, I.N.¹⁰ Popescu, M.¹¹

12
- 0027626327
- (1993) Science , vol.261 , pp. 334
- Niu, C.¹ Lu, Y.Z.² Lieber, C.M.³

13
- 0032607176
- (1999) Diamond & Relat. Mater. , vol.8 , pp. 582
- Zocco, A.¹ Perrone, A.² D'Anna, E.³ Leggieri, G.⁴ Luches, A.⁵ Klini, A.⁶ Zergioti, I.⁷ Fotakis, C.⁸

14
- 0034318279
- (2000) Jpn. J. Appl. Phys. , vol.39 , pp. 6268
- Wang, H.D.¹ Lu, Y.F.² Mai, Z.H.³ Ren, Z.M.⁴

15
- 0001402101
- (1993) J. Appl. Phys. , vol.74 , pp. 5781
- Mihailescu, I.N.¹ Chitica, N.² Nistor, L.C.³ Popescu, M.⁴ Teodorescu, V.S.⁵ Ursu, I.⁶ Andrei, A.⁷ Barborica, A.⁸ Luches, A.⁹ De Giorgi, M.L.¹⁰ Perrone, A.¹¹ Dubreuil, B.¹² Hermann, J.¹³

16
- 0005966095
- (1999) Appl. Surf. Sci. , vol.139 , pp. 593
- Craciun, V.¹ Craciun, D.² Ghica, C.³ Trupina, L.⁴ Flueraru, C.⁵ Nastase, N.⁶

17
- 0034138383
- (2000) Appl. Phys. A , vol.70 , pp. 197
- Acquaviva, S.¹ Leggieri, G.² Luches, A.³ Perrone, A.⁴ Zocco, A.⁵ Laidani, N.⁶ Speranza, G.⁷ Anderle, M.⁸

18
- 0030786305
- (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.108 , pp. 9
- Reisse, G.¹ Weissmantel, S.² Keiper, B.³ Weber, A.⁴

19
- 0001533538
- (1998) J. Appl. Phys. , vol.83 , pp. 3398
- Angleraud, B.¹ Cahoreau, M.² Jauberteau, I.³ Aubreton, J.⁴ Chaterinot, A.⁵

20
- 0000036666
- (2000) J. Appl. Phys. , vol.88 , pp. 7334
- Sharma, A.K.¹ Thareja, R.K.²

21
- 0031131274
- (1997) Thin Solid Films , vol.299 , pp. 94
- Vispute, R.D.¹ Narayan, J.² Budai, J.D.³

22
- 0035335407
- (2001) App. Phys. , vol.14 , pp. 115
- Tabbal, M.¹ Merel, P.² Chaker, M.³ Pepin, H.⁴

23
- 0006019030
- (1997) Acta Phys. Pol. A , vol.91 , pp. 1009
- Vrinceanu, C.¹ Flueraru, C.² Dinescu, M.³ Vasile, E.⁴

24
- 0000131264
- (1998) J. Appl. Phys. , vol.84 , pp. 5296
- Samano, E.C.¹ Machorro, R.² Soto, G.³ Cota-Araiza, L.⁴

25
- 0028513754
- (1994) J. Appl. Phys. , vol.76 , pp. 2612
- Fogarassy, E.¹ Fuchs, C.² Slaoui, A.³ De Unamuno, S.⁴ Stoquert, J.P.⁵ Marine, W.⁶ Lang, B.⁷

26
- 0032660697
- (1999) Thin Solid Films , vol.343-344 , pp. 127
- Yoshida, A.¹ Ouyang, K.² Chang, B.S.³ Wakahara, A.⁴

27
- 0000404508
- (1998) Appl. Phys. Lett. , vol.73 , pp. 1394
- Willmott, P.R.¹ Antoni, F.²

28
- 0031248001
- (1997) Thin Solid Films , vol.307 , pp. 54
- Caricato, A.P.¹ Leggieri, G.² Luches, A.³ Perrone, A.⁴ Gyorgy, E.⁵ Mihailescu, I.N.⁶ Popescu, M.⁷ Barucca, G.⁸ Mengucci, P.⁹ Zemek, J.¹⁰ Trchova, M.¹¹

29
- 0032621374
- (1999) J. Appl. Phys. , vol.85 , pp. 4222
- Rode, A.V.¹ Luther-Davies, B.² Gamaly, E.G.³

30
- 0346208512
- (1999) Appl. Surf. Sci. , vol.139 , pp. 311
- Semerok, A.¹ Chaléard, C.² Detalle, V.³ Lacour, J.L.⁴ Mauchien, P.⁵ Meynadier, P.⁶ Nouvellon, C.⁷ Sallé, B.⁸ Palianov, P.⁹ Perdrix, M.¹⁰ Petite, G.¹¹

31
- 0000800139
- (1999) Appl. Phys. A , vol.69
- Acquaviva, S.¹ Fernández, M.² Leggieri, G.³ Luches, A.⁴ Martino, M.⁵ Perrone, A.⁶

32
- 0032069730
- (1998) J. Phys. D , vol.31 , pp. 1263
- Vivien, C.¹ Hermann, J.² Perrone, A.³ Boulmer-Leborgne, C.⁴ Luches, A.⁵

33
- 0033068277
- (1999) J. Phys. D , vol.32 , pp. 518
- Vivien, C.¹ Hermann, J.² Perrone, A.³ Boulmer-Leborgne, C.⁴

34
- 0031077431
- (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.109-110 , pp. 408
- Acquaviva, S.¹ Caricato, A.P.² De Giorgi, M.L.³ Luches, A.⁴ Perrone, A.⁵

35
- 0032070250
- (1998) Appl. Surf. Sci. , vol.127-129 , pp. 697
- Dinescu, G.¹ Aldea, E.² De Giorgi, M.L.³ Luches, A.⁴ Perrone, A.⁵ Zocco, A.⁶

36
- 0030212370
- (1996) Surf. Coat. & Technol. , vol.82 , pp. 199
- Voevodin, A.A.¹ Donley, M.S.²

37
- 0041710593
- (2000) Thin Solid Films , vol.366 , pp. 69
- Jelinek, M.¹ Zemek, J.² Trchova, M.³ Vorlicek, V.⁴ Lancok, J.⁵ Tomov, R.⁶ Simeckova, M.⁷

38
- 0000168127
- (1999) J. Appl. Phys. , vol.86 , pp. 2014
- Barucca, G.¹ Majni, G.² Mengucci, P.³ Leggieri, G.⁴ Luches, A.⁵ Martino, M.⁶ Perrone, A.⁷

39
- 0000364612
- (1998) Phys. Rev B , vol.57 , pp. 3185
- Hu, J.¹ Yang, P.² Lieber, C.M.³

40
- 0031078471
- (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.109-110 , pp. 380
- González, P.¹ Soto, R.² Parada, E.G.³ Redondas, X.⁴ Chiussi, S.⁵ Serra, J.⁶ Pou, J.⁷ León, B.⁸ Pérez-Amor, M.⁹

41
- 1842602713
- (1999) Appl. Phys. A , vol.69
- Szörényi, T.¹ Fogarassy, E.² Fuchs, C.³ Hommet, J.⁴ Le Normand, F.⁵

42
- 0034262464
- (2000) Thin Solid Films , vol.373 , pp. 266
- Acquaviva, S.¹ Perrone, A.² Zocco, A.³ Klini, A.⁴ Fotakis, C.⁵

43
- 58149240003
- and references therein
- (1997) Proc. SPIE , vol.3405 , pp. 130
- Perrone, A.¹

44
- 0010029489
- (1996) Appl. Phys. Lett. , vol.69 , pp. 1698
- Tabbal, M.¹ Mérel, P.² Moisa, S.³ Chaker, M.⁴ Ricard, A.⁵ Moisan, M.⁶

45
- 0030193613
- (1996) Thin Solid Films , vol.280 , pp. 1
- Ong, C.W.¹ Zhao, X.-A.² Tsang, Y.C.³ Choy, C.L.⁴ Chan, P.W.⁵

46
- 0000864184
- (1999) J. Appl. Phys. , vol.86 , pp. 4954
- Lu, Y.F.¹ Ren, Z.M.² Chong, T.C.³ Cheong, B.A.⁴ Pang, S.I.⁵ Wang, J.P.⁶ Li, K.⁷

47
- 0040366291
- (1998) Surf. Coat. & Technol. , vol.110 , pp. 153
- Gu, H.D.¹ Leung, K.M.² Chung, C.Y.³ Han, X.D.⁴

48
- 0030166136
- (1996) J. Mater. Sci. , vol.31 , pp. 2909
- Mihailescu, I.N.¹ Gyorgy, E.² Chitica, N.³ Teodorescu, V.S.⁴ Mavin, G.⁵ Luches, A.⁶ Perrone, A.⁷ Martino, M.⁸ Neamtu, J.⁹

49
- 0030172430
- (1996) J. Mater. Res. , vol.11 , pp. 1458
- Chowdhury, K.¹ Vispute, R.D.² Jagannadham, K.³ Narayan, J.⁴

50
- 0028761011
- (1994) Appl. Surf. Sci. , vol.79-80 , pp. 244
- Luches, A.¹ Leggieri, G.² Martino, M.³ Perrone, A.⁴ Maini, G.⁵ Mengucci, P.⁶ Mihailescu, I.N.⁷

51
- 0029293306
- (1995) J. Appl. Phys. , vol.77 , pp. 2928
- Hermann, J.¹ Thomann, A.L.² Boulmer-Leborgne, C.³ Dubreuil, B.⁴ De Giorgi, M.L.⁵ Perrone, A.⁶ Luches, A.⁷ Mihailescu, I.N.⁸

52
- 0034253983
- (2000) Int. J. Heat & Mass Transfer , vol.43 , pp. 3835
- Zhang, Y.W.¹ Faghri, A.²

53
- 0028449042
- (1994) Appl. Phys. A , vol.58 , pp. 595
- De Giorgi, M.L.¹ Hermann, J.² Luches, A.³ Perrone, A.⁴ Renna, L.⁵

54
- 0033357047
- (1999) J. Phys. D , vol.32 , pp. 2707
- Hermann, J.¹ Dutouquet, C.²

55
- 0001040850
- (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.109-110 , pp. 413
- Coccia, L.G.¹ Tyrrell, G.C.² Boyd, I.W.³

56
- 21544461610
- (1994) J. Appl. Phys. , vol.76 , pp. 1363
- Morkoc, H.¹ Strite, S.² Gao, G.B.³ Lin, M.E.⁴ Sverdlov, B.⁵ Burns, M.⁶

57
- 0002008182
- (2001) Compd. Semicond. , vol.7 , pp. 62
- Florescu, D.I.¹ Asnin, V.M.² Pollak, F.H.³

58
- 0001448492
- (1995) Appl. Phys. Lett. , vol.67 , pp. 1549
- Vispute, R.D.¹ Wu, H.² Narayan, J.³

59
- 0347031965
- (1999) Appl. Surf. Sci. , vol.138-139 , pp. 543
- Meinschien, J.¹ Falk, F.² Hobert, H.³ Stafast, H.⁴

60
- 0000616080
- (1999) J. Appl. Phys. , vol.86 , pp. 3438
- Misra, A.¹ Thareja, R.K.²

61
- 0031074449
- (1997) Thin Solid Films , vol.295 , pp. 77
- Giardini-Guidoni, A.¹ Mele, A.² Di Palma, T.M.³ Flamini, C.⁴ Orlando, S.⁵ Teghil, R.⁶

62
- 0032778061
- (1999) Appl. Surf. Sci. , vol.137 , pp. 91
- Chu, C.¹ Ong, P.P.² Chen, H.F.³ Teo, H.H.⁴

63
- 0032593412
- (1999) Nanostruct. Mater. , vol.12 , pp. 391
- Suda, Y.¹ Ebihara, K.² Baba, K.³ Abe, H.⁴ Grishin, A.M.⁵

64
- 0034155809
- (2000) Appl. Phys. A , vol.70 , pp. 323
- Spillmann, H.¹ Willmott, P.R.²

65
- 0029255118
- (1995) Appl. Surf. Sci. , vol.86 , pp. 170
- D'Anna, E.¹ Leggieri, G.² Luches, A.³ Martino, M.⁴ Perrone, A.⁵ Majni, G.⁶ Mengucci, P.⁷ Alexandrescu, R.⁸ Mihailescu, I.N.⁹ Zemek, J.¹⁰

66
- 0029272736
- (1995) Appl. Phys. A , vol.60 , pp. 275
- De Giorgi, M.L.¹ Leggieri, G.² Luches, A.³ Martino, M.⁴ Perrone, A.⁵ Majni, G.⁶ Mengucci, P.⁷ Zemek, J.⁸ Mihailescu, I.N.⁹

67
- 0030171472
- (1996) J. Mater. Sci. , vol.31 , pp. 2839
- Mihailescu, I.N.¹ Lita, A.² Teodorescu, V.S.³ Luches, A.⁴ Martino, M.⁵ Perrone, A.⁶ Gartner, M.⁷

68
- 0032075456
- (1998) Appl. Surf. Sci. , vol.127-129 , pp. 1005
- Samano, E.C.¹ Machorro, R.² Soto, G.³ Cota-Araiza, L.⁴

69
- 10644263934
- (2000) Defects & Diffusion Ceram. , vol.186 , pp. 1
- Huang, J.Y.¹ Zhu, Y.T.²

70
- 0003122655
- (2000) High Pressure Res. , vol.17 , pp. 35
- Le-Godec, Y.¹ Martinez-Garcia, D.² Mezouar, M.³ Syfosse, G.⁴ Itie, J.P.⁵ Besson, J.M.⁶

71
- 36448999062
- (1992) J. Appl. Phys. , vol.72 , pp. 504
- Kester, D.J.¹ Messier, R.²

72
- 0035270567
- (2001) Diamond & Relat. Mater. , vol.10 , pp. 1357
- Guiot, E.¹ Benayoun, S.² Nouet, G.³ Djouadi, M.⁴ Masri, P.⁵ Lambertin, M.⁶

73
- 0033901690
- (2000) Appl. Surf. Sci. , vol.154-155 , pp. 165
- Zhang, Z.¹ VanRompay, P.A.² Nees, J.A.³ Clarke, R.⁴ Pan, X.⁵ Pronko, P.P.⁶

74
- 0000294762
- (1991) Phys. Rev. B , vol.43 , pp. 6816
- Doll, G.L.¹ Sell, J.A.² Taylor C.A. II³ Clarke, R.⁴

75
- 0033324148
- (1999) Thin Solid Films , vol.355-356 , pp. 105
- Reisse, G.¹ Weissmantel, S.²

76
- 0028259292
- (1994) Thin Solid Films , vol.237 , pp. 48
- Friedmann, T.A.¹ McCarty, K.F.² Klaus, E.J.³ Barbour, J.C.⁴ Clift, W.M.⁵ Johnsen, H.A.⁶ Medlin, D.L.⁷ Mills, M.J.⁸ Ottesen, D.K.⁹

77
- 0029637276
- (1995) Science , vol.267 , pp. 51
- Morkoc, H.¹ Mohammad, S.N.²

78
- 0029346154
- (1995) Jpn. J. Appl. Phys. , vol.34
- Nakamura, S.¹ Senoh, M.² Iwasa, N.³ Nagahama, S.⁴

79
- 0000511252
- (1997) Mater. Sci. Eng. B , vol.48 , pp. 239
- Cole, D.¹ Lunney, J.G.² Logue, F.P.³ Donegan, J.F.⁴ Coey, J.M.D.⁵

80
- 0000257441
- (1996) J. Appl. Phys. , vol.80 , pp. 4226
- Xiao, R.F.¹ Liao, H.B.² Cue, N.³ Sun, X.W.⁴ Kwok, H.S.⁵

81
- 0000958050
- (1997) Appl. Phys. Lett. , vol.70 , pp. 3122
- Goodwin, T.J.¹ Leppert, V.J.² Risbud, S.H.³ Kennedy, I.M.⁴ Lee, H.W.H.⁵

82
- 0032074105
- (1998) Appl. Surf. Sci. , vol.129 , pp. 559
- Dinescu, M.¹ Verardi, P.² Boulmer-Leborgne, C.³ Gerardi, C.⁴ Mirenghi, L.⁵ Sandu, V.⁶

83
- 26344460502
- (1999) Phys. Rev. Lett. , vol.83 , pp. 2596
- Pronko, P.P.¹ VanRompay, P.A.² Zhang, Z.³ Nees, J.A.⁴

84
- 0000425478
- (1998) Phys. Rev. B , vol.58 , pp. 2207
- Ronning, C.¹ Feldermann, H.² Merk, R.³ Hofsäss, H.⁴ Reinke, P.⁵ Thiele, J.U.⁶

85
- 0344124690
- (1970) Phys. Scr. , vol.2 , pp. 70
- Gelius, U.¹ Hedén, P.F.² Hedman, J.³ Lindberg, B.J.⁴ Manne, R.⁵ Nordberg, R.⁶ Nordling, C.⁷ Siegbahn, K.⁸

86
- 21344491621
- (1994) J. Vac. Sci. & Technol. A , vol.12 , pp. 1470
- Li, D.¹ Chung, Y.W.² Yang, S.³ Wong, M.S.⁴ Adibi, F.⁵ Sproul, W.D.⁶

87
- 0033165094
- (1999) Diamond & Relat. Mater. , vol.8 , pp. 1175
- Matsumoto, S.¹ Xie, E.Q.² Izumi, F.³

88
- 0001465013
- (1998) Chem. Mater. , vol.10 , pp. 2964
- Riedel, R.¹ Kroke, E.² Greiner, A.³ Gabriel, A.O.⁴ Ruwisch, L.⁵ Nicolich, J.⁶ Kroll, P.⁷

89
- 0034188614
- (2000) Thin Solid Films , vol.366 , pp. 169
- Shi, J.R.¹ Shi, X.² Sun, Z.³ Liu, E.⁴ Tay, B.K.⁵ Lau, S.P.⁶

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.