Pulsed laser ablation of aluminum in the presence of nitrogen: Formation of aluminum nitride

Journal of Applied Physics

Volumn 88, Issue 12, 2000, Pages 7334-7338

  Sharma, A K ^a   Thareja, R K ^a,b  

^a INDIAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY KANPUR   (India)

^b KUMAMOTO UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000036666     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1329353     Document Type: Article

References (30)

1. R. D. Vispute, H. Wu, and J. Narayan, Appl. Phys. Lett. 67, 1549 (1995).
2. R. D. Vispute et al., Appl. Surf. Sci. 127-129, 431 (1998).
3. J. C. Kools, C. J. C. M. Nillesen, S. H. Brongersma, E. van de Riet, and J. Dieleman, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 1809 (1992).
4. J. R. Heffelfinger, D. L. Medlin, and K. F. McCarty, J. Appl. Phys. 85, 466 (1999).
5. X. Tang, F. Hossain, K. Wongchotigul, and M. G. Spencer, Appl. Phys. Lett. 72, 1501 (1998).
6. M. Okamoto, Y. Mori, and T. Sasaki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 38, 2114 (1999).
7. G. S. Sudhir, H. Fujii, W. S. Wong, C. Kisielowski, N. Newman, C. Dieker, Z. L-Weber, M. D. Rubin, and E. R. Weber, Appl. Surf. Sci. 127-129, 471 (1998).
8. J. T. Knudtson, W. B. Green, and D. G. Sutton, J. Appl. Phys. 61, 4771 (1987).
9. H. Wang, A. P. Salzberg, and B. R. Weiner, Appl. Phys. Lett. 59, 935 (1991).
10. A. Misra and R. K. Thareja, Appl. Surf. Sci. 143, 56 (1999).
11. S. Amoruso, M. Armenante, V. Berardi, R. Bruzzese, and N. Spinelli, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 65, 265 (1997).
12. Y. F. Lu, Z-B. Tao, and M.-H. Hong, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 38, 2958 (1999).
13. R. Timm, P. R. Willmott, and J. R. Huber, J. Appl. Phys. 80, 1794 (1996).
14. A. Peterlongo, A. Miotello, and R. Kelly, Phys. Rev. E 50, 4716 (1994).
15. S. H. Jeong, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Surf. Sci. 127-129, 177 (1998).
16. A. Misra and R. K. Thareja, J. Appl. Phys. 86, 3438 (1999).
17. A. Misra, A. Mitra, and R. K. Thareja, Appl. Phys. Lett. 74, 929 (1999).
18. P. R. Willmott, R. Timm, and J. R. Huber, J. Appl. Phys. 82, 2082 (1997).
19. I. N. Mihailescu et al., J. Appl. Phys. 74, 5781 (1993).
20. J. Neamtu, I. N. Mihailescu, C. Ristoscu, and J. Hermann, J. Appl. Phys. 86, 6096 (1999).
21. J. D. Simmons and J. K. McDonald, J. Mol. Spectrosc. 41, 584 (1972).
22. R. Tambay, R. Singh, and R. K. Thareja, J. Appl. Phys. 72, 1197 (1992).
23. Abhilasha, P. S. R. Prasad, and R. K. Thareja, Phys. Rev. E 48, 2929 (1993).
24. Tables of Spectral Lines of Neutral and Ionized Atoms, edited by A. R. Striganov and N. S. Sventitskii (Plenum, New York, 1968).
25. K. R. Hobbs and R. D. Coombe, J. Appl. Phys. 87, 4586 (2000).
26. J. Hermann and C. Dutouquet, J. Phys. D 32, 2707 (1999).
27. P.-N. Wang, Q. Pan, N. H. Cheung, and S.-C. Chen, Appl. Spectrosc. 53, 205 (1999).
28. A. Sircar, R. K. Dwivedi, and R. K. Thareja, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 63, 623 (1996).
29. R. A. Armstrong, R. A. Lucht, and W. T. Rawlins, Appl. Opt. 22, 1573 (1983).
30. Plasma Diagnostics, edited by W. Lochte-Holtgreven (North-Holland, Amsterdam, 1968).