X-ray photoelectron spectroscopy of carbon nitride films deposited by graphite laser ablation in a nitrogen postdischarge

Applied Physics Letters

Volumn 69, Issue 12, 1996, Pages 1698-1700

  Tabbal, Malek ^a   Mérel, Philippe ^a   Moisa, Simona ^a   Chaker, Mohamed ^a   Ricard, André ^b   Moisan, Michel ^c  

^a INRS EMT   (Canada)

^b UNIVERSITÉ PARIS SUD   (France)

^c UNIVERSITÉ DE MONTRÉAL   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0010029489     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.118000     Document Type: Article

References (22)

1. A. Y. Liu and M. L. Cohen, Science 245, 841 (1989).
2. H. Sjöström, L. Hultman, J.-E. Sundgren, S. W. Hainsworth, T. F. Page, and G. S. A. M. Theunissen, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 56 (1996).
3. D. Marton, K. J. Boyd, A. H. Al-Bayati, S. S. Todorov, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. 73, 118 (1994).
4. M. Diani, A. Mansour, L. Kubler, J. L. Bischoff, and D. Bolmont, Diam. Relat. Mater. 3, 264 (1994).
5. C. Niu, Y. Z. Lu, and C. M. Lieber, Science 261, 334 (1993).
6. A. Hoffman, I. Gouzman, and R. Brener, Appl. Phys. Lett. 64, 845 (1994).
7. K. M. Yu, M. L. Cohen, E. E. Haller, W. L. Hansen, A. Y. Liu, and I. C. Wu, Phys. Rev. B 49, 5034 (1994).
8. J. Seth, R. Padiyath, and S. V. Babu, Diam. Relat. Mater. 3, 210 (1994).
9. S. Veprek, J. Weidmann, and F. Glatz, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2915 (1995).
10. F. L. Freire, Jr., G. Mariotto, C. A. Achete, and D. F. Franscechini, Surf. Coat. Technol. 74-75, 382 (1995).
11. K. J. Boyd, D. Marton, S. S. Todorov, A. H. Al-Bayati, J. Kulik, R. A. Zuhr, and J. W. Rabalais, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2110 (1995).
12. A. Bousetta, M. Lu, and A. Bensaoula, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1639 (1995).
13. F. Fujimoto and K. Ogata, Jpn. J. Appl. Phys. 32, L420 (1993).
14. J. Kouvetakis, A. Bandari, M. Todd, B. Wilkens, and N. Cave, Chem. Mater. 6, 811 (1994).
15. P. H. Fang, J. Mater. Sci. Lett. 14, 536 (1995).
16. A. Ricard, A. Besner, J. Hubert, and M. Moisan, J. Phys. B 21, L579 (1988).
17. H. Malvos, H. Michel, and A. Ricard, J. Phys. D 27, 1328 (1994).
18. M. Moisan, Z. Zakrzewski, and R. Pantel, J. Phys. D 12, 219 (1979).
19. E. Adem, VG Scientific XPS Handbook (Holder, West Sussex, 1991).
20. S. Gujrathi (private communication).
21. S. Bockel, A. M. Diamy, and A. Ricard, Surf. Coat. Technol. 74-75, 474 (1995).
22. Y. Huai, M. Chaker, J. N. Broughton, E. Gat, H. Pépin, T. Gu, X. Bian, and M. Sutton, Appl. Phys. Lett. 65, 830 (1994).