Atomic layer deposition assisted pattern multiplication of block copolymer lithography for 5 nm scale nanopatterning

Advanced Functional Materials

Volumn 24, Issue 27, 2014, Pages 4343-4348

  Moon, Hyoung Seok ^a   Kim, Ju Young ^a   Jin, Hyeong Min ^a   Lee, Woo Jae ^b   Choi, Hyeon Jin ^b   Mun, Jeong Ho ^a   Choi, Young Joo ^a   Cha, Seung Keun ^a   Kwon, Se Hun ^b   Kim, Sang Ouk ^a  

^a Institute for Basic Science   (South Korea)

^b Pusan National University   (South Korea)

Author keywords

atomic layer deposition; block copolymers; nanopatterning; pattern multiplication; self assembly

Indexed keywords

BLOCK COPOLYMERS; DEPOSITION; SELF ASSEMBLY;

BLOCK COPOLYMER LITHOGRAPHY; CONFORMAL DEPOSITION; DIRECTED SELF-ASSEMBLY; MINIMUM FEATURE SIZES; NANOPATTERNING; PATTERN MULTIPLICATION; PATTERN PERIODICITY; SYNERGISTIC INTEGRATION;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84904555873     PISSN: 1616301X     EISSN: 16163028     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.201304248     Document Type: Article

References (64)

1. M. Park, C. Harrison, P. M. Chaikin, R. A. Register, D. H. Adamson, Sicence 1997, 276, 1401.
2. S. O. Kim, H. H. Solak, M. P. Stoykovich, N. J. Ferrier, J. J. de Pablo, P. F. Nealey, Nature 2003, 424, 411.
3. C. J. Hawker, T. P. Russell, MRS Bull. 2005, 30, 952.
4. M. P. Stoykovich, M. Muller, S. O. Kim, H. H. Solak, E. W. Edwards, J. J. de Pablo, P. F. Nealey, Science 2005, 308, 1442.
5. B. H. Kim, D. O. Shin, S.-J. Jeong, C. M. Koo, S. C. Jeon, W. J. Hwang, S. Lee, M. G. Lee, S. O. Kim, Adv. Mater. 2008, 20, 2303.
6. R. Ruiz, H. Kang, F. A. Detcheverry, E. Dobisz, D. S. Kercher, T. R. Albrecht, J. J. de Pablo, P. F. Nealey, Science 2008, 321, 936.
7. C. Tang, E. M. Lennon, G. H. Fredrickson, E. J. Kramer, K. J. Hawker, Science 2008, 322, 429.
8. S. Park, D. H. Lee, J. Xu, B. Kim, S. W. Hong, U. Jeong, T. Xu, T. P. Russell, Science 2009, 323, 1030.
9. B. H. Kim, H. M. Lee, J.-H. Lee, S.-W. Son, S.-J. Jeong, S. M. Lee, D. I. Lee, S. W. Kwak, H. W. Jeong, H. J. Shin, J.-B. Yoon, O. D. Lavrentovich, S. O. Kim, Adv. Funct. Mater. 2009, 19, 2584.
10. Y. Zhao, K. Thorkelsson, A. J. Mastroianni, T. Schilling, J. M. Luther, B. J. Rancatore, K. Matsunaga, H. Jinnai, Y. Wu, D. Poulsen, J. M. J. Frechet, A. P. Alivisatos, T. Xu, Nat. Mater. 2009, 8, 979.
11. C. Park, J. Yoon, E. L. Thomas, Polymer 2003, 44, 6725.
12. B. D. Gates, Q. Xu, M. Stewart, D. Ryan, C. G. Willson, G. M. Whitesides, Chem. Rev. 2005, 105, 1171.
13. M. P. Stoykovich, P. F. Nealey, Materialstoday 2006, 9, 20.
14. J. Y. Cheng, C. A. Ross, H. I. Smith, E. L. Tomas, Adv. Mater. 2006, 18, 2505.
15. S. M. Park, M. P. Stoykovich, R. Ruiz, Y. Zhang, C. T. Black, P. F. Nealey, Adv. Mater. 2007, 19, 607.
16. S. O. Kim, B. H. Kim, D. Meng, D. O. Shin, C. M. Koo, H. H. Solak, Q. Wang, Adv. Mater. 2007, 19, 3271.
17. S. B. Darling, Prog. Polym. Sci. 2007, 32, 1152.
18. Y. S. Jung, W. Jung, C. A. Ross, Nano Lett. 2008, 8, 2975.
19. S.-J. Jeong, G. Xia, B. H. Kim, D. O. Shin, S.-H. Kwon, S.-W. Kang, S. O. Kim, Adv. Mater. 2008, 20, 1898.
20. I. Bita, J. K. W. Yang, Y. S. Jung, C. A. Ross, E. L. Thomas, K. K. Berggren, Science 2008, 321, 939.
21. Y. S. Jung, J. B. Chang, E. Verploegen, K. K. Berggren, C. A. Ross, Nano Lett. 2010, 10, 1000.
22. S.-J. Jeong, H.-S. Moon, J. H. Shin, B. H. Kim, D. O. Shin, J. Y. Kim, Y. H. Lee, J. U. Kim, S. O. Kim, Nano Lett. 2010, 10, 3500.
23. S.-J. Jeong, H.-S. Moon, B. H. Kim, J. Y. Kim, J. Yu, S. Lee, M. G. Lee, H. Y. Choi, S. O. Kim, ACS Nano 2010, 4, 5181.
24. Q. Peng, Y.-C. Tseng, S. B. Darling, J. W. Elam, Adv. Mater. 2010, 22, 5129.
25. Y.-C. Tseng, Q. Peng, L. E. Ocola, J. W. Elam, S. B. Darling, J. Phys. Chem. C 2011, 115, 17725.
26. D. O. Shin, D. H. Lee, H.-S. Moon, S.-J. Jeong, J. Y. Kim, J. H. Mun, H. Cho, S. Park, S. O. Kim, Adv. Funct. Mater. 2011, 21, 250.
27. H. Jung, D. Hwang, E. Kim, B.-J. Kim, W. B. Lee, J. E. Poelma, J. Kim, C. J. Hawker, J. Huh, D. Y. Ryu, J. Bang, ACS Nano 2011, 5, 6164.
28. S.-J. Jeong, S. O. Kim, J. Mater. Chem. 2011, 21, 5856.
29. B. H. Kim, D. H. Lee, J. Y. Kim, D. O. Shin, H. Y. Jeong, S. Hong, J. M. Yun, C. M. Koo, H. Lee, S. O. Kim, Adv. Mater. 2011, 23, 5618.
30. C. M. Bates, T. Seshimo, M. J. Maher, W. J. Durand, J. D. Cushen, L. M. Dean, G. Blachut, C. J. Ellison, C. G. Willson, Science 2012, 338, 775.
31. W. I. Park, K. Kim, H.-I. Jang, J. W. Jeong, J. M. Kim, J. Choi, J. H. Park, Y. S. Jung, Small 2012, 8, 3762.
32. H.-S. Moon, D. O. Shin, B. H. Kim, H. M. Jin, S. M. Lee, M. G. Lee, S. O. Kim, J. Mater. Chem. 2012, 22, 6307.
33. Y.-C. Tseng, A. U. Mane, J. W. Elam, S. B. Darling, Adv. Mater. 2012, 24, 2608.
34. J. D. Cushen, I. Otsuka, C. M. Bates, S. Halila, S. Fort, C. Rochas, J. A. Easley, E. L. Rausch, A. Thio, R. Borsali, C. G. Willson, C. J. Ellison, ACS Nano 2012, 6, 3424.
35. B. H. Kim, J. Y. Kim, S. O. Kim, Soft Matter 2013, 9, 2780.
36. M. Ramanthan, Y.-C. Tseng, K. Ariga, S. B. Darling, J. Mater. Chem. C 2013, 1, 2080.
37. M. Ritala, M. Leskelä, J.-P. Dekker, C. Mutsaers, P. J. Soininen, J. Skarp, Chem. Vap. Deposition 1999, 5, 7.
38. M. D. Groner, F. H. Fabreguette, J. W. Elam, S. M. George, Chem. Mater. 2004, 16, 639.
39. M. Knez, K. Nielsch, L. Niinistö, Adv. Mater. 2007, 19, 3425.
40. J. Beynet, P. Wong, A. Miller, S. Locorotondo, D. Vangoidsenhoven, T.-H. Yoon, M. Demand, H.-S. Park, T. Vandeweyer, H. Sprey, Y.-M. Yoo, M. Maenhoudt, Proc. SPIE 2009, 7520, 75201J.
41. S. M. George, Chem. Rev. 2010, 110, 111.
42. Q. Peng, Y.-C. Tseng, S. B. Darling, J. W. Elam, ACS Nano 2011, 5, 4600.
43. J.-H. Choi, S.-H. Kwon, Y.-K. Jeong, I. Kim, K.-H. Kim, J. Electrochem. Soc. 2011, 158, B749.
44. H. Yaegashi, K. Oyama, K. Yabe, S. Yamauchi, A. Hara, S. Natori, Proc. SPIE 2011, 7972, 79720B.
45. J. Finders, M. Dusa, P. Nikolsky, Y. van Dommelen, R. Watso, T. Vandeweyer, J. Beckaert, B. Laenens, L. van Look, Proc. SPIE 2010, 7640, 76400C.
46. H. Yaegashi, K. Oyama, A. Hara, S. Natori, S. Yamauchi, Proc. of SPIE 2012, 8325, 83250B.
47. M. Neisser, S. Wurm, Adv. Opt. Techn. 2012, 1, 217.
48. International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) 2012 Edition, Semiconductor Industry Association, San Jose, CA, 2012.
49. K. Xu, L. Souriau, D. Hellin, J. Versluijs, P. Wong, D. Vangoidsenhoven, N. Vandenbroeck, H. Dekkers, X. P. Shi, J. Albert, C. L. Tan, J. Vertommen, B. Coenegrachts, T. Orain, Y. Kimura, V. Wiaux, W. Boullart, Proc. SPIE 2013, 8685, 86850C.
50. H. Lee, B.-Y. Chang, W.-S. Kwack, K. Jo, J. Jeong, S.-H. Kwon, H. Yang, J. Electroanal. Chem. 2013, 700, 8.
51. S.-H. Jen, S. M. George, R. S. McLean, P. F. Carcia, ACS Appl. Mater. Interfaces 2013, 5, 1165.
52. W. Jeon, H.-S. Chung, D. Joo, S.-W. Kang, Electrochem. Solid State Lett. 2008, 11, H19.
53. S.-W. Kim, T. H. Han, J. Kim, H. Gwon, H.-S. Moon, S.-W. Kang, S. O. Kim, K. Kang, ACS Nano 2009, 3, 1085.
54. T. H. Han, J. K. Oh, J. S. Park, S.-H. Kwon, S.-W. Kim, S. O. Kim, J. Mater. Chem. 2009, 19, 3512.
55. T. H. Han, H.-S. Moon, J. O. Hwang, S. I. Seok, S. H. Im, S. O. Kim, Nanotechnology 2010, 21, 185601.
56. S. J. Ku, G. C. Jo, C. H. Bak, S. M. Kim, Y. R. Shin, K. H. Kim, S. H. Kwon, J.-B. Kim, Nanotechnology 2013, 24, 085301.
57. V. Lujala, J. Skarp, M. Tammenmaa, T. Suntola, Appl. Surf. Sci. 1994, 82, 34.
58. Y.-J. Kang, C. S. Kim, W.-S. Kwack, S. Y. Ryu, M. Song, D.-H. Kim, S. W. Hong, S. Jo, S.-H. Kwon, J.-W. Kang, Electrochem. Solid-State Lett. 2012, 1, Q1.
59. Y.-J. Lee, M.-S. Choi, D.-H. Kim, C.-S. Kim, M.-K. Song, J.-W. Kang, Y. Jeong, K.-S. Nam, S.-G. Park, S.-H. Kwon, S. Y. Ryu, J.-D. Kwon, J. Phys. Chem. C 2012, 116, 23231.
60. J. D. Bradley, F. Ay, K. Wörhoff, M. Pollnau, Appl. Phys. B 2007, 89, 311.
61. M.-H. Shiao, C.-H. Chang, S.-W. Huang, C.-T. Lee, T.-C. Wu, W.-J. Hsueh, K.-J. Ma, D. Chiang, J. Nanosci. Nanotechnol. 2012, 12, 1641.
62. X. Gu, Z. Lui, I. Gunkel, S. T. Chourou, S. W. Hong, D. L. Olynick, T. P. Russell, Adv. Mater. 2012, 24, 5688.
63. C. G. Willson, J. Photopolym. Sci. 2009, 22, 147.
64. E. Costner, M. W. Lin, W.-L. Jen, C. G. Willson, Annu. Rev. Mater. Res. 2009, 39, 155.