Focused electron beam induced deposition: A perspective

Beilstein Journal of Nanotechnology

Volumn 3, Issue 1, 2012, Pages 597-619

  Huth, Michael ^a   Porrati, Fabrizio ^a   Schwalb, Christian ^a   Winhold, Marcel ^a   Sachser, Roland ^a   Dukic, Maja ^b   Adams, Jonathan ^b   Fantner, Georg ^b  

^a GOETHE UNIVERSITY   (Germany)

^b EPFL   (Switzerland)

Author keywords

Atomic force microscopy; Binary systems; Electron beam induced deposition; Granular metals; Micro hall magnetometry; Radiation induced nanostructures; Strain sensing

Indexed keywords

BINARY SYSTEMS; ELECTRON BEAM-INDUCED DEPOSITION; MICRO-HALL MAGNETOMETRY; RADIATION-INDUCED; STRAIN SENSING;

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; COBALT COMPOUNDS; CONTINUUM MECHANICS; PLATINUM; PLATINUM ALLOYS; RESEARCH; SILICON ALLOYS; SURFACE CHEMISTRY; TRANSPORT PROPERTIES;

ELECTRON BEAMS;

EID: 84866175882     PISSN: None     EISSN: 21904286     Source Type: Journal    
DOI: 10.3762/bjnano.3.70     Document Type: Review

References (66)

1. van Kouwen, L.; Botman, A.; Hagen, C. W. Nano Lett. 2009, 9, 2149-2152
2. van Dorp, W. F.; Hagen, C. W.; Crozier, P. A.; Kruit, P. Nanotechnology 2008, 19, 225305.
3. Nanofabrication Using Focused Ion and Electron Beams; Utke, I.; Moshkalev, S.; Russell, P., Eds.; Oxford University Press: Oxford, 2012.
4. Randolph, S. J.; Fowlkes, J. D.; Rack, P. D. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 2006, 31, 55-89.
5. van Dorp, W. F.; Hagen, C. W. J. Appl. Phys. 2008, 104, 081301.
6. Utke, I.; Hoffmann, P.; Melngailis, J. J. Vac. Sci. Technol., B 2008, 26, 1197
7. Chung, M. S.; Everhart, T. E. J. Appl. Phys. 1974, 45, 707-709.
8. Liu, Z.-Q.; Mitsuishi, K.; Furuya, K. Nanotechnology 2006, 17, 3832-3837
9. Smith, D. A.; Fowlkes, J. D.; Rack, P. D. Nanotechnology 2007, 18, 265308
10. Bray, A. J. Adv. Phys. 2002, 51, 481-587.
11. Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H. J. Micromech. Microeng. 2007, 17, S77-S82.
12. Beloborodov, I. S.; Lopatin, A. V.; Vinokur, V. M.; Efetov, K. B. Rev. Mod. Phys. 2007, 79, 469-518.
13. Fernández-Pacheco, A.; De Teresa, J. M.; Córdoba, R.; Ibarra, M. R. J. Phys. D: Appl. Phys. 2009, 42, 055005.
14. Walz, M.-M.; Schirmer, M.; Vollnhals, F.; Lukasczyk, T.; Steinrück, H.-P.; Marbach, H. Angew. Chem., Int. Ed. 2010, 49, 4669-4673
15. Porrati, F.; Sachser, R.; Walz, M.-M.; Vollnhals, F.; Steinrück, H.-P.; Marbach, H.; Huth, M. J. Phys. D: Appl. Phys. 2011, 44, 425001.
16. Utke, I.; Hoffmann, P.; Dwir, B.; Leifer, K.; Kapon, E.; Doppelt, P. J. Vac. Sci. Technol., B 2000, 18, 3168.
17. Wnuk, J. D.; Rosenberg, S. G.; Gorham, J. M.; van Dorp, W. F.; Hagen, C. W.; Fairbrother, D. H. Surf. Sci. 2011, 605, 257-266.
18. Muthukumar, K.; Opahle, I.; Shen, J.; Jeschke, H. O.; Valentí, R. Phys. Rev. B 2011, 84, 205442.
19. Shen, J.; Muthukumar, K.; Jeschke, H. O.; Valentí, R. arXiv:1203.4109v1 [cond-mat.mtrl-sci] 2012, 1-6.
20. Muthukumar, K.; Jeschke, H. O.; Valentí, R.; Begun, E.; Schwenk, J.; Porrati, F.; Huth, M. Beilstein J. Nanotechnol. 2012, 3, 546-555.
21. Fowlkes, J. D.; Rack, P. D. ACS Nano 2010, 4, 1619-1629.
22. Friedli, V.; Utke, I. J. Phys. D: Appl. Phys. 2009, 42, 125305.
23. Wnuk, J. D.; Gorham, J. M.; Rosenberg, S. G.; van Dorp, W. F.; Madey, T. E.; Hagen, C. W.; Fairbrother, D. H. J. Phys. Chem. C 2009, 113, 2487-2496
24. Friedli, V.; Santschi, C.; Michler, J.; Hoffmann, P.; Utke, I. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 053106
25. Lobo, C. J.; Toth, M.; Wagner, R.; Thiel, B. L.; Lysaght, M. Nanotechnology 2008, 19, 025303.
26. Bernau, L.; Gabureac, M.; Erni, R.; Utke, I. Angew. Chem., Int. Ed. 2010, 49, 8880-8884
27. Che, R. C.; Takeguchi, M.; Shimojo, M.; Zhang, W.; Furuya, K. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 223109
28. Winhold, M.; Schwalb, C. H.; Porrati, F.; Sachser, R.; Frangakis, A. S.; Kämpken, B.; Terfort, A.; Auner, N.; Huth, M. ACS Nano 2011, 5, 9675-9681
29. Bentmann, H.; Demkov, A. A.; Gregory, R.; Zollner, S. Phys. Rev. B 2008, 78, 205302.
30. Baturina, T. I.; Horsell, D. W.; Islamov, D. R.; Drebushchak, I. V.; Tsaplin, Yu. A.; Babenko, A. A.; Kvon, Z. D.; Savchenko, A. K.; Plotnikov, A. E. Phys. B (Amsterdam, Neth.) 2003, 329-333, 1496-1497
31. Tsaur, B. Y.; Mayer, J. W.; Tu, K. N. J. Appl. Phys. 1980, 51, 5326-5333
32. Mott, N. F. J. Non-Cryst. Solids 1968, 1, 1-17.
33. Porrati, F.; Begun, E.; Winhold, M.; Schwalb, C. H.; Sachser, R.; Frangakis, A. S.; Huth, M. Nanotechnology 2012, 23, 185702.
34. Jeong, S.; Hsu, Y.-N.; McHenry, M. E.; Laughlin, D. E. J. Appl. Phys. 2000, 87, 6950
35. Wang, R. F.; Nisoli, C.; Freitas, R. S.; Li, J.; McConville, W.; Cooley, B. J.; Lund, M. S.; Samarth, N.; Leighton, C.; Crespi, V. H.; Schiffer, P. Nature 2006, 439, 303-306
36. Porrati, F.; Huth, M. Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 3157.
37. Utke, I.; Hoffmann, P.; Berger, R.; Scandella, L. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 4792
38. Boero, G.; Utke, I.; Bret, T.; Quack, N.; Todorova, M.; Mouaziz, S.; Kejik, P.; Brugger, J.; Popovic, R. S.; Hoffmann, P. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 042503
39. Gabureac, M.; Bernau, L.; Utke, I.; Boero, G. Nanotechnology 2010, 21, 115503
40. Belova, L. M.; Dahlberg, E. D.; Riazanova, A.; Mulders, J. J. L.; Christophersen, C.; Eckert, J. Nanotechnology 2011, 22, 145305.
41. Serrano-Ramón, L.; Córdoba, R.; Rodríguez, L. A.; Magén, C.; Snoeck, E.; Gatel, C.; Serrano, I.; Ibarra, M. R.; De Teresa, J. M. ACS Nano 2011, 5, 7781-7787
42. Nikulina, E.; Idigoras, O.; Vavassori, P.; Chuvilin, A.; Berger, A. Appl. Phys. Lett. 2012, 100, 142401
43. Soroka, O. K.; Shklovskij, V. A.; Huth, M. Phys. Rev. B 2007, 76, 014504.
44. Dobrovolskiy, O. V.; Huth, M.; Shklovskij, V. A. J. Supercond. Novel Magn. 2010, 24, 375-380.
45. Dobrovolskiy, O. V.; Huth, M.; Shklovskij, V. A. Supercond. Sci. Technol. 2010, 23, 125014.
46. Dobrovolskiy, O. V.; Begun, E.; Huth, M.; Shklovskij, V. A.; Tsindlekht, M. I. Phys. C (Amsterdam, Neth.) 2011, 471, 449-452.
47. Sahoo, S.; Petracic, O.; Binek, C.; Kleemann, W.; Sousa, J. B.; Cardoso, S.; Freitas, P. P. Phys. Rev. B 2002, 65, 134406.
48. Beloborodov, I. S.; Lopatin, A. V.; Vinokur, V. M. Phys. Rev. B 2004, 70, 205120.
49. Beloborodov, I. S.; Lopatin, A. V.; Vinokur, V. M. Phys. Rev. B 2005, 72, 125121.
50. Huth, M.; Klingenberger, D.; Grimm, C.; Porrati, F.; Sachser, R. New J. Phys. 2009, 11, 033032
51. Schwalb, C. H.; Grimm, C.; Baranowski, M.; Sachser, R.; Porrati, F.; Reith, H.; Das, P.; Müller, J.; Völklein, F.; Kaya, A.; Huth, M. Sensors 2010, 10, 9847-9856.
52. Porrati, F.; Sachser, R.; Schwalb, C. H.; Frangakis, A. S.; Huth, M. J. Appl. Phys. 2011, 109, 063715
53. Plank, H.; Kothleitner, G.; Hofer, F.; Michelitsch, S. G.; Gspan, C.; Hohenau, A.; Krenn, J. J. Vac. Sci. Technol., B 2011, 29, 051801.
54. Sachser, R.; Porrati, F.; Schwalb, C. H.; Huth, M. Phys. Rev. Lett. 2011, 107, 206803.
55. Völklein, F.; Reith, H.; Schmitt, M. C.; Huth, M.; Rauber, M.; Neumann, R. J. Electron. Mater. 2009, 39, 1950-1956.
56. Sachser, R.; Porrati, F.; Huth, M. Phys. Rev. B 2009, 80, 195416.
57. Porrati, F.; Sachser, R.; Strauss, M.; Andrusenko, I.; Gorelik, T.; Kolb, U.; Bayarjargal, L.; Winkler, B.; Huth, M. Nanotechnology 2010, 21, 375302
58. Koppert, R.; Uhlig, S.; Schmid-Engel, H.; Göttel, D.; Probst, A.-C.; Schultes, G.; Werner, U. Diamond Relat. Mater. 2012, 25, 50-58.
59. Huth, M. J. Appl. Phys. 2010, 107, 113709
60. Nagaosa, N.; Onoda, S.; MacDonald, A. H.; Ong, N. P. Rev. Mod. Phys. 2010, 82, 1539-1592.
61. Bando, M.; Ohashi, T.; Dede, M.; Akram, R.; Oral, A.; Park, S. Y.; Shibasaki, I.; Handa, H.; Sandhu, A. J. Appl. Phys. 2009, 105, 07E909.
62. Porrati, F.; Sachser, R.; Huth, M. Nanotechnology 2009, 20, 195301.
63. Utke, I.; Gölzhäuser, A. Angew. Chem., Int. Ed. 2010, 49, 9328-9330.
64. Engmann, S.; Stano, M.; Matejčík, Š.; Ingólfsson, O. Angew. Chem., Int. Ed. 2011, 50, 9475-9477.
65. Lukasczyk, T.; Schirmer, M.; Steinrück, H.-P.; Marbach, H. Langmuir 2009, 25, 11930-11939
66. Schirmer, M.; Walz, M.-M.; Vollnhals, F.; Lukasczyk, T.; Sandmann, A.; Chen, C.; Steinrück, H.-P.; Marbach, H. Nanotechnology 2011, 22, 085301