Fabrication of flexible binary amplitude masks for patterning on highly curved surfaces

Advanced Functional Materials

Volumn 19, Issue 20, 2009, Pages 3243-3253

  Bowen, Audrey M ^a   Nuzzo, Ralph C ^a  

^a University of Illinois at Urbana Champaign   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

3D GEOMETRY; BINARY AMPLITUDE MASK; CHEMICAL ETCHING; CURRENT FABRICATION; CURVED SURFACES; CYLINDRICAL SURFACE; DISTORTION COMPENSATION; GRID PATTERN; HIGH-THROUGHPUT; IMAGE CONTRASTS; LARGE STRAINS; LED ARRAYS; LITHOGRAPHIC PATTERNS; MASK FABRICATION; MATRIX; MICROFLUIDIC PATTERNING; NON-PLANAR SUBSTRATES; PHOTOLITHOGRAPHIC PATTERNING; POLYDIMETHYLSILOXANE PDMS; RETINAL IMPLANTS; SIGNIFICANT PATTERNS; SOFT LITHOGRAPHY; UV-OZONE; WIDE-FIELD;

CHEMICAL ELEMENTS; FABRICATION; MASKS; MICROCHANNELS; OZONE; SILICONES; SUBSTRATES;

THREE DIMENSIONAL;

EID: 70350443257     PISSN: 1616301X     EISSN: 16163028     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.200900978     Document Type: Article

References (80)

1. S. Okazaki, J. Vac. Sci. Technol, B 1991, 9, 2829.
2. D. Brambley, B. Martin, P. D. Prewett, Adv. Mater. Opt. Electron. 1994, 4, 55.
3. G. M. Wallraff, W. D. Hinsberg, Chem. Rev. 1999, 99, 1801.
4. |4] W. M. Moreau, in Semiconductor Lithography: Principles and Materials, Plenum, New York 1988.
5. S. A. Campbell, in The Science and Engineering of Microfabrication, Oxford University Press, New York 2001.
6. E. Reichmanis, L. F. Thompson, Chem. Rev. 1989, 89, 1273.
7. |7] M. D. Levenson, Physics Today 1993, 46, 28.
8. H. P. Herzig, in Micro-Optics: Elements, Systems, and Applications,Taylor & Francis, London 1997.
9. W. D. Deininger, C. E. Gamer, J. Vac. Sci. Technol, B 1988, 6, 337.
10. P. Rai-Choudhury, in. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication: Volume 1 SPIE and IEEE 1997.
11. S. Babin, J. Vac. Sci. Technol, B 1997, 15, 2209.
12. G. Chapman, Y. Tu, Proc. SPIE 2003, 4977, 257.
13. D. R. Medeiros, A. Aviram, C. R. Guarnieri, W. S. Huang, R. Kwong, C. K. Magg, A. P. Mahorowala, W. M. Moreau, K. E. Petrillo, M. Angelopoulos, IBM J. Res. of Dev. 2001, 45, 639.
14. P. Stanley, K. Venkatakrishnan, L E. N. Lim.J. Vac. Sci. Technol, B 2003, 27, 204.
15. K. Venkatakrishnan, B. K. A. Ngoi, P. Stanley, L E. N. Lim, B. Tan, N. R. Sivakumar, Appl. Phys. A 2002, 74, 493.
16. K. Venkatakrishnan. P. Stanley, L. E. N. Lim, J. Micromech. Microeng. 2002. 12, 775.
17. K. W. Rhee, L M. Shirey, P. I. Isaacson, C. F. Kornegay, W. J. Dressick, M.-S. Chen, S. L Brandow, J. Vac. Sci. Technol, B 2000, 18, 3569.
18. S. C. Jacobsen, D. L. Wells, C. C. Davis, J. E. Wood, Micro Electro Mechanical Systems, 1991, MEMS '91, Proceedings. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots. IEEE 1991, 45.
19. Y. Xia, G. M. Whitesides, Angew. Chem, Int. Ed. 1998, 37, 550.
20. Y. Xia, G. M. Whitesides, Annu. Rev. Mater. Res. 1998, 28, 153.
21. J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, Materials Today 2005, 8, 50.
22. K. E. Paul, M. Prentiss, G. M. Whitesides, Adv. Fund. Mater. 2003, 13, 259.
23. J.-H. Chang, F.-S. Cheng, C-C. Chao, Y.-C. Weng, S.-Y. Yang, J. Vac. Sci. Technol, A 2005, 23, 1687.
24. P. Ruchhoeft, M. Colbum, B. Choi, H. Nounu, S. Johnson, T. Bailey, S. Damle, M. Stewart, J. Ekerdt, J. C. Wolfe, C. G. Wilson, J. Vac. Sci. Technol, S 1999, 17, 2965.
25. Y. Xia, E. Kim, X.-M. Zhao, J. A. Rogers, M. Prentiss, G. M. Whitesides, Science 1996, 273, 347.
26. M. A. Meitl, Z.-T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Nat. Mater. 2006, 5, 33.
27. R. J. Jackman, J. L Wilbur, G. M. Whitesides, Science 1995, 269, 664.
28. J. A. Rogers, K. E. Paul, R. L. Jackman, G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2658.
29. T.-W. Lee, S. Jeon, J. Maria, J. Zaumseil, J. W. P. Hsu, J. A. Rogers, Adv. Fund. Mater. 2005, 15, 1435.
30. H.-C. Jin, J. R. Abelson, M. K. Erhardt, R. G. Nuzzo, J. Vac. Sci. Technol, B 2004, 22, 2548.
31. W. R. Childs, R. G. Nuzzo, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 13583.
32. W. R. Childs, R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 2004, 16, 1323.
33. J. A. Rogers, K. E. Paul, R. J. Jackman, G. M. Whitesides,J. Vac. Sci. Technol, B 1998, 16, 59.
34. Y. Y. Huang, W. Zhou, K. J. Hsia, E. Menard, J.-U. Park, J. A. Rogers, A. G. Alleyne, Langmuir 2005, 27, 8058.
35. E. Delamarche, H. Schmid, B. Michel, H. Biebuyck, Adv. Mater. 1997, 9, 741.
36. H. K. Trieu, L. Ewe, W. Mokwa, M. Schwarz, B. J. Hosticka, Micro Electro Mechanical Systems, 1998. MEMS 98. Proceedings, The Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, IEEE, New York 1998, 515.
37. M. B. Schubert, A. Hierzenberger, H. J. Lehner, J. H. Werner, Sens. Actuators, A 1999, 74, 193.
38. E. Quenneville, J. S. Binette, M. Garon, A. Legare, M. Meunier, M. D. Buschmann, IEEE Transactions on Biomedical Engineering 2004, 57, 2164.
39. M. C. Peterman, N. Z. Mehenti, K. V. Bilbao, C. J. Lee, T. Leng, J. Noolandi, S. F. Bent, M. S. Blumenkranz, H. A. Fishman, Artificial Organs 2003, 27, 975.
40. L. J. Johnson, D. A. Scribner, in Visual Prosthesis and Ophthalmic Devices: New Hope in Sight, Ophthalmology Research, Vol.XI. (Eds: J. Tombran-Tink, C. J. Barnstable, J. F. Rizzo III), 2007, 121.
41. S. A. Ruiz, C. S. Chen, Soft Matter 2006, 3, 168.
42. K. G. Sharp, G. S. Blackman, N. J. Glassmaker, A. Jagota, C.-Y. Hui, Langmuir 2004, 20, 6430.
43. C. Y. Hui, A. Jagota, Y. Y. Lin, E. J. Kramer, Langmuir 2002, 18, 1394.
44. A. Bietsch, B. Michel, J. Appl. Phys. 2000, 88, 4310.
45. S.-B. Rim, P. B. Catrysse, R. Dinyari, K. Huang, P. Peumans, Opt. Express 2008, 16, 4965.
46. T. P. Grayson, Proc. SPIE 2002, 4849, 269.
47. P. Swain, D. Mark, Proc. SPIE 2004 5499, 281.
48. A. Olah, H. Hillborg, G. J. Vancso, Appl. Surf. Sci. 2005, 239, 410.
49. E. Kim, Y. Xia, G. M. WhitesidesJ. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 5722.
50. J. Monahan, A. A. Gewirth, R. G. Nuzzo, Anal. Chem. 2001, 73, 3193.
51. N. L Jeon, I. S. Choi, B. Xu, G. M. Whitesides, Adv. Mater. 1999, 11 946.
52. C. S. Effenhauser, G. J. M. Bruin, A. Paulus, M. Ehrat, Anal. Chem. 1997, 69, 3451.
53. A. C Siegel, D. A. Bruzewicz, D. B. Weibel, G. M. Whitesides, Adv. Mater. 2007, 19, 727.
54. Y. Xia, E. Kim, C. M. Whitesides, Chem. Mater. 1996, 8, 1558.
55. J. C. McDonald, D. C. Duffy, J. R. Anderson, D. T. Chiu, H. Wu, O. J. A. Schueller, G. M. Whitesides, Eledrophoresis 2000, 27, 27.
56. J. C. McDonald, G. M. Whitesides, Acc. Chem. Res. 2002, 35, 491.
57. J. M. K. Ng, I. Gitlin, A. D. Stroock, G. M. Whitesides, Eledrophoresis 2002, 23, 3461.
58. K. J. Lee, K. A. Fosser, R. G. Nuzzo, Adv. Funct. Mater. 2005, 15, 557.
59. Y.-L. Loo, R. L. Willett, K. W. Baldwin, J. A. RogersJ. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 7654.
60. W. R. Childs, R. G. Nuzzo, Langmuir 2005, 27, 195.
61. M. Awad, M. Nagel, H. Kurz, J. Herfort, K. Ploog, Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 181124.
62. M. Mirsaneh, O. P. Leisten, B. Zalinska, I. M. Reaney, Adv. Funct. Mater. 2008, 18, 2293.
63. K. Y. Suh, H. H. Lee, Adv. Fund. Mater. 2002, 12, 405.
64. D. Y. Khang, H. H. Lee, Adv. Mater. 2004, 16, 176.
65. J. Jung, F. Stellacci, H. J. Jung, Adv. Mater. 2007, 19, 4392.
66. H. Ahn, K. J. Lee. W. R. Childs, J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, A. Shim, J. Appl. Phys. 2006, 100, 0849071.
67. J. Garra, T. Long, J. Currie, T. Schneider, R. White, M. Paranjape, J. Vac. Sci. Technol, A 2002, 20, 975.
68. W. R. Childs, M. J. Motala, K. J. Lee, R. G. Nuzzo, Langmuir 2005, 27, 10096.
69. H.Ahn, K. J. Lee, A. Shim, J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, Nano Lett. 2005, 5, 2533.
70. J.-Y. Hu, C.-P. Lin, S.-Y. Hung, H.Yang, C.-K. Chao, Sem. Actuators, A 2008, 747, 93.
71. S. Appasamy, W. Li, S. H. Lee, J. T. Boyd, C. H. Ahn, Opt. Eng. 2005, 44, 123401.
72. M.-H. Wu, G. M. Whitesides, J. Micromech. Microeng. 2002, 12, 747.
73. H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, J. A. Rogers, Noture 2008, 454, 748.
74. M. Boncheva, S. A. Andreev, L. Mahadevan, A. Winkleman, D. R. Reichman, M. G. Prentiss, S. Whitesides, G. M. Whitesides, Proc. Natl. Mad. Sci. USA 2005, 102, 3924.
75. Q. Yang, J. P. Snyder, W. R. Tobler, in Map Projedion Transformation: Principles and Applications, CRC Press, 2000.
76. F. Mugele, J.-C. Baret, J. Phys.: Condens. Matter 2005, 17, R705.
77. E. Delamarche, D. Juncker, H. Schmid, Adv. Mater. 2005, 17, 2911.
78. H. Kim, J. Kim, H. Yang, J. Suh, T. Kim, B. Han, S. Kim, D. S. Kim, P. V. Pikhitsa, M. Choi, Nat. Nanotechnol. 2006, 1, 117.
79. H. Lee, S. You, C. G. Woo, K. Lim. K. Jun, M. Choi, Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 053104.
80. S. J. Koh, Nanoscale Res. Lett. 2007, 2, 519.