Molecular dynamics simulations of Ar+-organic polymer interactions

Plasma Processes and Polymers

Volumn 6, Issue 5, 2009, Pages 320-334

  Végh, Joseph J ^a   Graves, David B ^a  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

Methylstyrenes; Molecular dynamics; Photoresists; Plasma etching; Polystyrene (PS)

Indexed keywords

CHAIN SCISSION; DAMAGED LAYERS; MD SIMULATION; METHYLSTYRENES; MOLECULAR DYNAMICS SIMULATIONS; NEAR-SURFACE; POLYMER INTERACTIONS; STEADY STATE; STRUCTURE OF THE POLYMERS;

ARGON; DYNAMICS; IONS; ISOMERS; MOLECULAR DYNAMICS; PHOTORESISTORS; PLASMA ETCHING; PLASMAS; POLYSTYRENES; RADIATION CHEMISTRY; STYRENE; SURFACE TREATMENT;

ION BOMBARDMENT;

EID: 67651235905     PISSN: 16128850     EISSN: 16128869     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/ppap.200800223     Document Type: Article

References (82)

1. U. Schulz, N. Kaiser, Prog. Surf. Sci. 2006, 81, 387.
2. U. Schulz, Appl. Opt. 2006, 45, 1608.
3. M. Ozdemir, C. U. Yurteri, H. Sadikoglu, Crit. Rev. Food Sci. Nutrition 1999, 39, 457.
4. E. T. Kang, Y. Zhang, Adv. Mater. 2000, 12, 1481.
5. F. Poncin-Epaillard, G. Legeay, J. Biomater. Sci., Polym. Ed. 2003, 14, 1005.
6. K. S. Siow, L. Britcher, S. Kumar, H. J. Griesser, Plasma Process. Polym. 2006, 3, 392.
7. V. Zaporojtchenko, J. Zekonyte, J. Erichsen, F. Faupel, Nucl. Instrum. Methods B 2003, 208, 155.
8. P. D. Davidse, L. I. Massel, J. Appl. Phys. 1966, 37, 574.
9. E. H. Lee, Nucl. Instrum. Methods B 1999, 151, 29.
10. P. Groning, O. M. Kuttel, M. Collaud-Coen, G. Dietler, L. Schlapbach, Appl. Surf. Sci. 1995, 89, 83.
11. J. Zekonyte, V. Zaporojtchenko, F. Faupel, Nucl. Instrum. Methods B 2005, 236, 241.
12. F. Truica-Marasescu, S. Guimond, P. Jedrzejowski, M. R. Wertheimer, Nucl. Instrum. Methods B 2005, 236, 117.
13. D. Nest, D. B. Graves, S. Engelmann, R. L. Bruce, F. Weilnboeck, G. S. Oehrlein, C. Andes, E. A. Hudson, Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 153113.
14. F. Truica-Marasescu, Ph. D. Thesis, Université de Montréal 2005.
15. F. E. Truica-Marasescu, M. R. Wertheimer, Macromol. Chem. Phys. 2005, 206, 744.
16. F. Truica-Marasescu, M. R. Wertheimer, J. Appl. Polym. Sci. 2004, 91, 3886.
17. E. M. Liston, L. Martinu, M. R. Wertheimer, J. Adhesion Sci. Tech. 1993, 7, 1091.
18. R. Forch, Z. H. Zhang, W. Knoll, Plasma Process. Polym. 2005, 2, 351.
19. F. S. Denes, S. Manolache, Prog. Polym. Sci. 2004, 29, 815.
20. E. R. Fisher, Plasma Process. Polym. 2004, 1, 13.
21. J. M. Grace, L. J. Gerenser, J. Dispersion Sci. Tech. 2003, 24, 305.
22. J. J. Végh, D. Humbird, D. B. Graves, J. Vac. Sci. Tech. A 2005, 23, 1598.
23. J. J. Végh, D. Nest, D. B. Graves, R. Bruce, S. Engelmann, T. Kwon, R. J. Phaneuf, G. S. Oehrlein, B. K. Long, C. G. Willson, Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 233113.
24. J. J. Végh, D. Nest, D. B. Graves, R. Bruce, S. Engelmann, T. Kwon, R. J. Phaneuf, G. S. Oehrlein, B. K. Long, C. G. Willson, J. Appl. Phys. 2008, 104, 034308.
25. D. B. Graves, P. Brault, J. Phys. D 2009, submitted.
26. D. W. Brenner, Phys. Rev. B 1990, 42, 9458.
27. J. Tersoff, Phys. Rev. Lett. 1986, 56, 632.
28. J. Tersoff, Phys. Rev. B 1988, 38, 9902.
29. J. Tersoff, Phys. Rev. Lett. 1988, 61, 2879.
30. J. Tersoff, Phys. Rev. B 1989, 39, 5566.
31. B. J. Garrison, A. Delcorte, K. D. Krantzman, Acc. Chem. Res. 2000, 33, 69.
32. R. Chatterjee, Z. Postawa, N. Winograd, B. J. Garrison, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 151.
33. R. S. Taylor, B. J. Garrison, J. Am. Chem. Soc. 1994, 116, 4465.
34. A. Delcorte, P. Bertrand, B. J. Garrison, J. Phys. Chem. B 2001, 105, 9474.
35. A. Delcorte, B. Arezki, P. Bertrand, B. J. Garrison, Nucl. Instrum. Methods B 2002, 193, 768.
36. S. J. Stuart, A. B. Tutein, J. A. Harrison, J. Chem. Phys. 2000, 112, 6472.
37. S. Hamaguchi, M. Yamashiro, H. Yamada, Comput. Phys. Commun. 2007, 177, 108.
38. M. Yamashiro, H. Yamada, S. Hamaguchi, J. Appl. Phys. 2007, 101, #046108.
39. M. Yamashiro, H. Yamada, S. Hamaguchi, J. Appl. Phys. 2007, 46, 1692.
40. H. Yamada, S. Hamaguchi, J. Appl. Phys. 2004, 96, 6147.
41. F. H. Stillinger, T. A. Weber, Phys. Rev. B 1985, 31, 5262.
42. H. Yamada, S. Hamaguchi, Plasma Phys. Controlled Fusion 2005, 47, A11.
43. M. Yamashiro, H. Yamada, S. Hamaguchi, Thin Solid Films 2008, 516, 3449.
44. H. Yamada, S. Hamaguchi, IEEE Trans. Plasma Sci. 2005, 33, 246.
45. W. D. Hsu, I. Jang, S. B. Sinnott, Chem. Mater. 2006, 18, 914.
46. W. D. Hsu, I. Jang, S. B. Sinnott, J. Vac. Sci. Tech. A 2006, 25, 1084.
47. D. W. Brenner, O. A. Shenderova, J. A. Harrison, S. J. Stuart, B. Ni, S. B. Sinnott, J. Phys. Cond. Mat. 2002, 14, 783.
48. I. Jang, R. Phillips, S. B. Sinnott, J. Appl. Phys. 2002, 92, 3363.
49. I. Jang, B. Ni, S. B. Sinnott, J. Vac. Sci. Tech. A 2002, 20, 564.
50. M. B. J. Wijesundara, L. Hanley, B. R. Ni, S. B. Sinnott, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2000, 97, 23.
51. M. B. J. Wijesundara, Y. Ji, B. Ni, S. B. Sinnott, L. Hanley, J. Appl. Phys. 2000, 88, 5004.
52. J. Tanaka, C. F. Abrams, D. B. Graves, J. Vac. Sci. Tech. A 2000, 18, 938.
53. I. K. Jang, S. B. Sinnott, J. Phys. Chem. B 2004, 108, 18993.
54. F. A. Akin, I. Jang, M. L. Schlossman, S. B. Sinnott, G. Zajac, E. R. Fuoco, M. B. J. Wijesundara, M. Li, A. Tikhonov, S. V. Pingali, A. T. Wroble, L. Hanley, J. Phys. Chem. B 2004, 108, 9656.
55. I. Jang, S. B. Sinnott, Appl. Phys. Lett. 2004, 84, 5118.
56. Y. H. Hu, S. B. Sinnott, J. Mater. Chem. 2004, 14, 719.
57. Y. Hu, I. Jang, S. B. Sinnott, Compos. Sci. Technol. 2003, 63, 1663.
58. B. Ni, K. H. Lee, S. B. Sinnott, J. Phys. Cond. Mat. 2004, 16, 7261.
59. D. G. McCulloch, D. R. McKenzie, C. M. Goringe, Phys. Rev. B 2000, 61, 2349.
60. N. Marks, J. Phys. Cond. Mat. 2002, 14, 2901.
61. H. U. Jager, Y. Belov, Phys. Rev. B 2003, 68, 024201.
62. W. W. Parkinson, R. M. Keyser, "Polystyrene and related polymers", in: The Radiation Chemistry of Macromolecules, Volume II, M. Dole, Ed., Academic Press, New York 1973, pp. 57-96.
63. A. M. Kotliar, J. Appl. Polym. Sci. 1959, 2, 134.
64. H. Gokan, S. Esho, Y. Ohnishi, J. Electrochem. Soc. 1983, 130, 143.
65. I. Torrens, "Interatomic potentials", Academic Press, New York 1972.
66. L. Verlet, Phys. Rev. 1967, 159, 98.
67. K. D. Krantzman, Z. Postawa, B. J. Garrison, N. Winograd, S. J. Stuart, J. A. Harrison, Nucl. Instrum. Methods B 2001, 180, 159.
68. "CRC Handbook of Chemistry and Physics", 87th ed., D. R. Lide, Ed., CRC Press, Boca Raton 2006, Section 15, p. 39.
69. "Polymer Data Handbook"', J. E. Mark, Ed., Oxford University Press, New York 1999, pp. 680, 690, 830.
70. D. Humbird, D. B. Graves, X. F. Hua, G. S. Oehrlein, Appl. Phys. Lett. 2004, 84, 1073.
71. D. Humbird, D. B. Graves, J. Appl. Phys. 2004, 96, 2466.
72. D. Humbird, D. B. Graves, J. Appl. Phys. 2004, 96, 65.
73. D. Humbird, D. B. Graves, J. Appl. Phys. 2004, 96, 791.
74. J. J. Végh, D. Humbird, D. B. Graves, J. Vac. Sci. Tech. A. 2008, 26, 52.
75. H. J. C. Berendsen, J. P. M. Postma, W. F. van Gunsteren, A. DiNola, J. R. Haak, J. Chem. Phys. 1984, 81, 3684.
76. J. Zekonyte, V. Zaporojtchenko, F. Faupel, Nucl. Instrum. Methods B 2005, 236, 241.
77. D. Nest, personal communication, 2008.
78. R. L. Bruce, S. Engelmann, T. Lin, T. Kwon, R. Phaneuf, G. S. Oehrlein, B. K. Long, C. G. Willson, J. J. Végh, D. Nest, D. B. Graves, A. Alizadeh, J. Vac. Sci. Tech. B. 2009, submitted.
79. R. L. Bruce, personal communication 2008.
80. V. Zaporojtchenko, J. Zekonyte, J. Erichsen, F. Faupel, Nucl. Instrum. Methods B 2003, 208, 155.
81. A. Chilkoti, D. G. Castner, B. D. Ratner, Appl. Spectrosc. 1991, 45, 209.
82. J. Zekonyte, PhD thesis, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel 2005.