A review of plasma-surface interactions during processing of polymeric materials measured using the IRIS technique

Plasma Processes and Polymers

Volumn 1, Issue 1, 2004, Pages 13-27

  Fisher, Ellen R ^a  

^a Department of Environmental and Radiological Health Sciences   (United States)

Author keywords

Free radicals; Functionalization of polymers; Interfaces; Laser induced fluorescence; Surface modification

Indexed keywords

FLUORESCENCE; FREE RADICALS; INTERFACES (MATERIALS); LASER APPLICATIONS; POLYMERIC MEMBRANES; SURFACE TREATMENT;

AMORPHOUS FLUOROCARBON FILMS; FLUOROPOLYMER DEPOSITIONS; FUNCTIONALIZATION OF POLYMERS; LASER-INDUCED FLUORESCENCE;

POLYMERS;

EID: 33745584389     PISSN: 16128850     EISSN: 16128869     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/ppap.200400011     Document Type: Review

References (78)

1. G. Czeremuszkin, M. Latreche, M. R. Wertheimer, A. S. da Silva Sobrinho, Plasmas Polym. 2001, 6, 107.
2. M. Mulder, "Basic Principles of Membrane Technology", 2nd edition, Kluwer Academic Publishers, Dordrecht, The Netherlands 1996.
3. Y. Ikada, Biomaterials 1994, 15, 725.
4. Y. Yang, MRS Bull. 1997, 22, 31.
5. F. H. Froes, MRS Bull. 1998, 23, 32.
6. S. Granick, MRS Bull. 1996, 21, 33.
7. J. M. Grace, L. J. Gerenser, J. Dispersion Sci. Technol. 2003, 24, 305.
8. F. D. Egitto, L. J. Matienzo, IBM J. Res. Develop. 1994, 38, 423.
9. G. Suchaneck, M. Guenther, J. Sorber, G. Gerlach, K.-F. Arndt, B. Wolf, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2004, 78, 695.
10. N. A. Peppas. R. Langer, Science 1994, 263, 1715.
11. F. Poncin-Epaillard, G. Legeay, J. Biomater. Sci., Polym. Ed. 2003, 14, 1005.
12. H. Yasuda, "Plasma Polymerization", 1st edition, Academic Press, London 1985.
13. N. Inagaki, "Plasma Surface Modification and Plasma Polymerization", 1st edition, Technomic Publishing Company, Inc., Lancaster, PA 1996.
14. J. Hopkins, S. H. Wheale, J. P. S. Badyal, J. Phys. Cliem. 1996, 100, 14062.
15. S. H. Wheale, C. P. Barker, J. P. S. Badyal, Langmuir 1998, 14, 6699.
16. D. C. Guerin, R. F. Fernsler, V. A. Shamamian, J. Vac. Sci. Technol., A 2003, 21, 1124.
17. D. C. Guerin, D. D. Hinshelwood, S. Manolache, F. S. Denes, V.A. Shamamian, Langmuir 2002, 18, 4118.
18. A. Raffaele-Addamo, C. Riccardi, E. Selli, R. Barni, M. Piselli, G. Poletti, F. Orsini, B. Marcandalli, M. R. Massafra, L. Meda, Surf. Coat. Technol. 2003, 174, 886.
19. A. Hallil, O. Zabeida, M. R. Wertheimer, L. Martinu. J. Vac. Sci. Technol., A 2000, 18, 882.
20. J. Hong, F. Truica-Marasescu, L. Martinu, M. R. Wertheimer, Plasmas Polym. 2002, 7, 245.
21. M. J. O'Keefe, J. M. Rigsbee, J. Appl. Polym. Sci. 1994, 53, 1531.
22. M. Inayoshi, M. Ito, M. Hori, T. Goto, M. Hiramatsu, J. Vac. Sci. Technol., A 1998, 16, 233.
23. P. Ho, W. G. Breiland, R. J. Buss, J. Chem. Phys. 1989, 91, 2627.
24. P. R. McCurdy, K. H. A. Bogart, N. F. Dalleska, E. R. Fisher, Rev. Sci. Instrum. 1997, 68,1684.
25. K. H. A. Bogart, J. P. Gushing, E. R. Fisher, J. Phys. Chem. B 1997, 707, 10016.
26. P. W. Fairchild, G. P. Smith, D. R. Crosley, J. B. Jeffries, Chem. Phys. Lett. 1984, 707, 181.
27. J. B. Halpem, G. Hancock, M. Lenzi, K. H. Welge, J. Chem. Phys. 1975, 63, 4808.
28. K. R. German, J. Chem. Phys. 1975, 62, 2584.
29. D. S. King, P. K. Schenck, J. C. Stephenson, J. Mol. Spectrosc. 1979, 78, 1.
30. T. R. Gengenbach, X. Xie, R. C. Chatelier, H. J. Griesser, Polym. Prepr. (Am. Chem. Soc., Div. Polym. Chem.) 1993, 34, 104.
31. E. M. Liston, L. Martinu, M. R. Wertheimer, J. Adhes. Sci. Technol. 1993, 7, 1091.
32. F. Arefi-Khonsari, M. Tatoulian, J. Kurdi, S. Ben-Rejeb, J. Amouroux, J. Photopolym. Sci. Technol. 1998, 77, 277.
33. R. d'Agostino, F. Cramarossa, S. DeBenedictis, G. Ferraro, Plasma Chem. Plasma Process. 1981, 1, 19.
34. P. Favia, M. V. Stenardo, R. d'Agostino, Plasmas Polym. 1996, I, 91.
35. M.-J. Wang, Y.-I. Chang, F. Poncin-Epaillard, Langmuir 2003, 19, 8325.
36. C. I. Butoi, M. L. Steen, J. R. D. Peers, E. R. Fisher, J. Phys. Chem. B 2001, 705, 5957.
37. P. R. McCurdy, C. I. Butoi, K. L. Williams, E. R. Fisher, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 6919.
38. P. R. McCurdy, V. A. Venturo, E. R. Fisher, Chem. Phys. Lett. 1997, 274, 120.
39. M. L. Steen, K. R. Kull, E. R. Fisher, J. Appl. Phys. 2002, 92, 55.
40. E. R. Fisher, P. Ho, W. G. Breiland, R. J. Buss, J. Phys. Chem. 1992, 96, 9855.
41. J. E. Huheey, "Inorganic Chemistry. Principles of Structure and Reactivity", 3rd edition, Harper & Row, New York 1983.
42. Z. Xia. A. Wedel, R. Danz, IEEE Trans. Dielectrics Electr. Insul. 2003, 70, 102.
43. K. R. Kull, M. L. Steen, E. R. Fisher, J. Membr. Sci., submitted.
44. M. L. Steen, L. Hymas, E. D. Havey, N. E. Capps, D. G. Castner, E. R. Fisher, J. Membr. Sci. 2001.188, 97.
45. M. L. Steen, A. C. Jordan, E. R. Fisher, J. Membr. Sci. 2002, 204, 341.
46. D. S. Wavhal, E. R. Fisher, J. Membr. Sci. 2002, 209, 255.
47. D. S. Wavhal, E. R. Fisher, Langmuir 2003, 19, 79.
48. M. L. Steen, C. I. Butoi, E. R. Fisher, Langmuir 2001, 17, 8156.
49. R. C. Chatelier, X. Xie, T. R. Gengenbach, H. J. Griesser, Langmuir 1995, 11, 2585.
50. T. R. Gengenbach, R. C. Chatelier, H. J. Griesser, Polym. Prepr. (Am. Chem. Soc., Div. Polym. Chem.) 1997, 38, 1004.
51. M. J. Loboda, Microelectron. Eng. 2000, 50, 15.
52. D. A. DeCrosta, J. J. Hackenberg, J. H. Linn, J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 1079.
53. C. S. Pai, Mater. Chem. Phys. 1996, 44, 1.
54. K. Fujino, Y. Nishimoto, N. Tokumasu, K. Maeda, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 1994, 33, 2019.
55. Y. Inoue, O. Takai, Plasma Sources Sci. Technol. 1995, 5, 339.
56. S. Debath, S. L. Wunder, J. I. McCool, G. R. Baran, Dent. Mater. 2003, 79, 441.
57. M. L. Steen, W. C. Flory, N. E. Capps, E. R. Fisher, Chem. Mater. 2001, 13, 2749.
58. S. Debath, R. Ranade, S. L. Wunder, G. R. Baran, J. Zhang, E. R. Fisher, J. Appl. Polym. Chem., submitted.
59. J. Zhang, E. R. Fisher, J. Phys. Chem. B, in press.
60. I. T. Martin, E. R. Fisher, J. Vac. Sci. Technol., A, submitted.
61. M. Suh, P. S. Bagua, S. Pak, M. P. Rosynek, J. H. Lunsford, J. Phys. Chem. B 2000, 104, 2736.
62. J. Zhang, D. S. Wavhal, E. R. Fisher, J. Vac. Sci. Technol., A 2004, 22, 201.
63. K. H. A. Bogart, S. K. Ramirez, L. A. Gonzales, G. R. Bogart, E. R. Fisher, J. Vac. Sci. Technol., A 1998, 16, 3175.
64. M. Creatore, F. Palumbo, R. d'Agostino, P. Fayet, Surf. Coat. Technol 2001, 142, 163.
65. R. Lamendola, R. d'Agostino, Pure Appl. Chem. 1998, 70, 1203.
66. M. Creatore, F. Palumbo, R. d'Agostino, Plasmas Polym. 2002, 7, 291.
67. C. Allgood, S. Hsu, M. Mocella, "Comparison of PECVD Chamber Cleaning Processes (Environmental, Productivity and Economic Considerations)", in: Proceedings of the Electrochemical Society (Environmental Issues with Materials and Processes for the Electronics and Semiconductor Industries), Electrochem. Soc., Pennington 2001, p. 9.
68. T. E. F. M. Standaert, M. Schaepkens, N. R. Rueger, P. G. M. Sebel, G. S. Oehrlein, J. M. Cook, J. Vac. Sci. Technol., A 1998, 16, 239.
69. C. J. D. Craigie, T. Sheehan, V. N. Johnson, S. L. Burkett, A. J. Moll, W. B. Knowlton, J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20, 2229.
70. R. d'Agostino, F. Cramarossa, F. Fracassi, "Plasma Polymerization of Fluorocarbons", in: Plasma Deposition, Treatment, and Etching of Fluorocarbons, R. d'Agostino, Ed., Academic Press, Inc., San Diego 1990, p. 95.
71. M. Nakamura, M. Hori, T. Goto, M. Ito, N. Ishii, J. Vac. Sci. Technol., A 2001, 19, 2134.
72. N. M. Mackie, V. A. Venturo, E. R. Fisher, J. Phys. Chem. B 1997, 101, 9425.
73. C. I. Butoi, N. M. Mackie, K. L. Williams, N. E. Capps, E. R. Fisher, J. Vac. Sci. Technol., A 2000, 18, 2685.
74. N. E. Capps, N. M. Mackie, E. R. Fisher, J. Appl. Phys. 1998, 84, 4736.
75. C. I. Butoi, N. M. Mackie, P. R. McCurdy, J. R. D. Peers, E. R. Fisher, Plasmas Polym. 1999, 4, 77.
76. N. M. Mackie, N. F. Dalleska, D. G. Castner, E. R. Fisher, Chem. Mater. 1997, 9, 349.
77. K. R. Kull, J. Zhang, E. R. Fisher, unpublished results.
78. C. I. Butoi, N. M. Mackie, L. J. Gamble, D. G. Castner, J. Barnd, A. M. Miller, E. R. Fisher, Chem. Mater. 2000, 12, 2014.