Molecular dynamics simulations of the chemical modification of polystyrene through C xF y + beam deposition

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 108, Issue 49, 2004, Pages 18993-19001

  Jang, Inkook ^a   Sinnott, Susan B ^a  

^a University of Florida   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BEAM DEPOSITION; CHEMICAL INTERACTIONS; CHEMICAL PROCESSES; SURFACE COLLISIONS;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; COMPUTER SIMULATION; FLUOROCARBONS; HYDROCARBONS; ION BEAMS; MATHEMATICAL MODELS; MOLECULAR DYNAMICS; NUCLEATION; POLYSTYRENES; THIN FILMS;

CHEMICAL MODIFICATION;

EID: 10844272287     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp049283y     Document Type: Article

References (45)

1. Wheale, S. H.; Barker, C. P.; Badyal, J. P. S. Langmuir 1998, 14, 6699.
2. von Keudell, A. Thin Solid Films 2002, 402, 1.
3. Ada, E. T.; Kornienko, O.; Hanley, L. J. Phys. Chem. B 1998, 102, 3959.
4. Wijesundara, M. B. J.; Ji, Y.; Ni, B.; Sinnott, S. B.; Hanley, L. J. Appl. Phys. 2000, 88, 5004.
5. Cunge, G.; Booth, J. P. J. Appl. Phys. 1999, 85, 3952.
6. Wijesundara, M. B. J.; Hanley, L.; Ni, B. R.; Sinnott. S. B. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2000, 97, 23.
7. Jang, I.; Ni, B.; Sinnott, S. B. J. Vac. Sci. Technol., A 2002, 20, 564.
8. Jang, I.; Phillips, R.; Sinnott, S. B. J. Appl. Phys. 2002, 92, 3363.
9. Abrams, C. F.; Graves, D. B. Thin Solid Films 2000, 374, 150.
10. Abrams, C. F.; Graves, D. B. J. Appl. Phys. 2000, 88, 3734.
11. Abrams, C. F.; Graves, D. B. J. Vac. Sci. Technol., A 2001, 19, 175.
12. Alfonso, D. R.; Ulloa, S. E. Phys. Rev. B 1993, 48, 12235.
13. Smith, R.; Beardmore, K. Thin Solid Films 1996, 272, 255.
14. da Costa, M. E. H. M.; Freire, J., F. L.; Jacobsohn, L. G.; Franceschini, D.; Mariotto, G.; Baumvol, I. R. J. Diamond Relat. Mater. 2001, 10, 910.
15. Wang, J. H.; Chen, J. J.; Timmons, R. B. Chem. Mater. 1996, 8. 2212.
16. Cho, B. O.; Hwang, S. W.; Lee, G. R.; Moon, S. H. J. Vac. Sci. Technol., A 2001, 19, 730.
17. Butterbaugh, J. W.; Gray, D. C.; Sawin, H. H. J. Vac. Sci. Technol., B 1991, 9, 1461.
18. Takahashi, K.; Itoh. A.; Nakamura, T.; Tachibana, K. Thin Solid Films 2000, 374, 303.
19. Horie, M.; J. Vac. Sci. Technol., A 1995, 13, 2490.
20. Hanley, L.; Lim, H.; Schultz, D. G.; Garbis, S.; Yu, C. W.; Ada, E. T.; Wijesundara, M. B. J. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 1999, 157, 174.
21. Brenner, D. W.; Shenderova, O. A.; Harrison, J. A.; Stuart, S. J.; Ni, B.; Sinnott, S. B. J. Phys.: Condens. Matter 2002, 14, 783.
22. Abell, G. C. Phys. Rev. B 1985, 31, 6184.
23. Tersoff, J. Phys. Rev. B 1988, 37, 6991.
24. Tersoff, J. Phys. Rev. B 1988, 38, 9902.
25. Brenner, D. W. Phys. Rev. B 1990, 42, 9458.
26. Brenner, D. W.; Harrison, J. A.; White, C. T.; Colton, R. J. Thin Solid Films 1991, 206, 220.
27. Williams, E. R.; Jones, G. C.; Fang, L.; Zare, R. N.; Garrison, B. J.; Brenner, D. W. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 3207.
28. Qi, L. F.; Sinnott, S. B. J. Vac. Sci. Technol., A 1998, 16, 1293.
29. Alfonso, D. R.; Ulloa, S. E.; Brenner, D. W. Phys. Rev. B 1994, 49, 4948.
30. Hu, Y.; Sinnott, S. B. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2002, 195, 329.
31. Hu, Y. H.; Sinnott, S. B. Surf. Sci. 2003, 526, 230.
32. Tanaka, J.; Abrams, C. F.; Graves, D. B. J. Vac. Sci. Technol., A 2000, 18, 938.
33. Abrams, C. F.; Graves, D. B. J. Appl. Phys. 1999, 86, 5938.
34. Dewar, M. J. S., Zoebisch, E. G.; Healy, E. F.; Stewart, J. J. P. J. Am. Chem. Soc. 1985, 107, 3902.
35. Dewar, M. J. S.; Zoebisch, E. G. J. Mol. Struct.; THEOCHEM 1988, 180, 1.
36. Allen, M. P.; Tildesley, D. J. Computer Simulation of Liquids; Oxford University Press: New York, 1987.
37. Marynowski, M.; Franzen, W.; El-Batanouny, M.; Staemmler, V. Phys. Rev. B 1999, 60, 6053.
38. Briand, J. P.; Thuriez, S.; Giardino, G.; Borsoni, G.; Froment, M.; Eddrief, M.; Sebenne, C. Phys. Rev. Lett. 1997, 79, 2591.
39. Gray, D. C.; Sawin, H. H.; Butterbaugh, J. W. J. Vac. Sci. Technol., A 1991, 9, 779.
40. Mackie, N. M.; Venturo, V. A.; Fisher, E. R. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 9425.
41. Inayoshi, M.; Ito, M.; Hori, M.; Goto, T.; Hiramatsu, M. J. Vac. Sci. Tecknol., A 1998, 16, 233.
42. Nakamura, M.; Hori, M.; Goto, T.; Ito, M.; Ishii, N. J. Vac. Sci. Technol., A 2001, 19, 2134.
43. Koppers, W. R.; Gleeson, M. A.; Lourenco, J.; Weeding, T. L.; Los, J.; Kleyn, A. W. J. Chem. Phys. 1999, 110, 2588.
44. Koppers, W. R.; Beuersbergen, J. H. M.; Weeding, T. L.; Kistemaker, P. G.; Kleyn, A. W. J. Chem. Phys. 1997, 107, 10736.
45. Ast, T.; Riederer, D. E.; Miller, S. A.; Morris, M.; Cooks, R. G. Org. Mass Spectrom. 1993, 28, 1021.