Powder-based ceramic meso- and microscale fabrication processes

Advanced Materials

Volumn 15, Issue 15, 2003, Pages 1237-1245

  Heule, Martin ^a   Vuillemin, Sibylle ^a   Gauckler, Ludwig J ^a  

^a ETH ZURICH   (Switzerland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CORROSION RESISTANCE; ELECTRON DEVICE MANUFACTURE; EXTRUSION; HARDNESS; HEAT RESISTANCE; LASER APPLICATIONS; LITHOGRAPHY; MICROELECTROMECHANICAL DEVICES; NANOSTRUCTURED MATERIALS; POWDERS; PRINTING; THIN FILMS;

INK JET PRINTING; LASER BASED DIRECT WRITING PROCESSES; MESOSCALE FABRICATION; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS; MICROEXTRUSION; MICROSCALE FABRICATION;

CERAMIC MATERIALS;

EID: 0042384691     PISSN: 09359648     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.200300375     Document Type: Article

References (117)

1. L. A. Liew, W. G. Zhang, L. N. An, S. Shah, R. L. Luo, Y. P. Liu, T. Cross, M. L. Dunn, V. Bright, J. W. Daily, R. Raj, K. Anseth, Am. Ceram. Soc. Bull. 2001, 80, 25.
2. X. H. Zhu, J. M. Zhu, S. H. Zhou, Q. Li, Z. G. Liu, Sens. Actuators, A 1999, 74, 198.
3. Y. H. Lim, V. V. Varadan, V. K. Varadan, Smart Mater. Struct. 1997, 6, 53.
4. C. Harris, M. Despa, K. Kelly, J. Microelectromech. Syst. 2000, 9, 502.
5. C. Rossi, T. Do Conto, D. Esteve, B. Larangot, Smart Mater. Struct. 2001, 10, 1156.
6. C. Rossi, S. Orieux, B. Larangot, T. Do Conto, D. Esteve, Sens. Actuators, A 2002, 99, 125.
7. P. Calvert, Chem. Mater. 2001, 13, 3299.
8. J. W. Halloran, Br. Ceram. Trans. 1999, 98, 299.
9. C. J. Hung, J. N. Gui, J. A. Switzer, Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 1637.
10. C. Ainsley, N. Reis, B. Derby, J. Mater. Sci. 2002, 37, 3155.
11. B. Derby, J. Mater. Sci. 2002, 37, 3091.
12. K. A. M. Seerden, N. Reis, J. R. G. Evans, P. S. Grant, J. W. Halloran, B. Derby, J. Am. Ceram. Soc. 2001, 84, 2514.
13. X. Zhao, J. R. G. Evans, M. J. Edirisinghe, J. Am. Ceram. Soc. 2002, 85, 2113.
14. J. Windle, B. Derby, J. Mater. Sci. Lett. 1999, 18, 87.
15. R. K. Holman, M. J. Cima, S. A. Uhland, E. Sachs, J. Colloid Interface Sci. 2002, 249, 432.
16. S. A. Uhland, R. K. Holman, S. Morissette, M. J. Cima, E. M. Sachs, J. Am. Ceram. Soc. 2001, 84, 2809.
17. J. Moon, J. E. Grau, V. Knezevic, M. J. Cima, E. Sachs, J. Am. Ceram. Soc. 2002, 85, 755.
18. J. Moon, J. E. Grau, V. Knezevic, M. J. Cima, E. M. Sachs, J. Am. Ceram. Soc. 2002, 85, 755.
19. R. K. Holman, S. A. Uhland, M. J. Cima, E. Sachs, J. Colloid Interface Sci. 2002, 247, 266.
20. J. Moon, J. E. Grau, M. J. Cima, E. M. Sachs, J. Am. Ceram. Soc. 2000, 83, 2401.
21. J. E. Smay, G. M. Gratson, R. F. Shepherd, J. Cesarano, J. A. Lewis, Adv. Mater. 2002, 14, 1279.
22. J. A. Lewis, J. Am. Ceram. Soc. 2000, 83, 2341.
23. V. Tohver, A. Chan, O. Sakurada, J. A. Lewis, Langmuir 2001, 17, 8414.
24. J. A. Lewis, Ann. Rev. Mater. Sci. 1997, 27, 147.
25. J. E. Smay, J. Cesarano, J. A. Lewis, Langmuir 2002, 18, 5429.
26. S. L. Morissette, J. A. Lewis, J. Cesarano, D. B. Dimos, T. Y. Baer, J. Am. Ceram. Soc. 2000, 83, 2409.
27. S. L. Morissette, J. A. Lewis, P. G. Clem, J. Cesarano, D. B. Dimos, J. Am. Ceram. Soc. 2001, 84, 2462.
28. V. Tohver, S. L. Morissette, J. A. Lewis, B. A. Tuttle, J. A. Voigt, D. B. Dimos, J. Am. Ceram. Soc. 2002, 85, 123.
29. A. Kruusing, S. Leppayuori, A. Uusimaki, B. Petretis, O. Makarova, Sens. Actuators, A 1999, 74, 45.
30. V. Oliveira, O. Conde, R. Vilar, Adv. Eng. Mater. 2001, 3, 75.
31. V. Oliveira, J. C. Orlianges, A. Catherinot, O. Conde, R. Vilar, Appl. Surf. Sci. 2002, 186, 309.
32. L. D. Laude, C. Ogeret, A. Jadin, K. Kolev, Appl. Surf. Sci. 1998, 129, 848.
33. G. Hanreich, M. Mundleina, H. Hauser, J. Nicolics, G. Stangl, R. Grossinger, J. H. Espina-Hernandez, Sens. Actuators, A 2001, 91, 57.
34. G. Hanreich, J. Nicolics, M. Mundlein, H. Hauser, R. Chabicovsky, Sens. Actuators, A 2001, 92, 364.
35. H. Horisawa, N. Akimoto, H. Ashizawa, N. Yasunaga, Surf. Coat. Technol. 1999, 112, 389.
36. A. Pique, D. B. Chrisey, R. C. Y. Auyeung, J. Fitz-Gerald, H. D. Wu, R. A. McGill, S. Lakeou, P. K. Wu, V. Nguyen, M. Duignan, Appl. Phys. A 1999, 69, S279.
37. D. B. Chrisey, A. Pique, R. Modi, H. D. Wu, R. C. Y. Auyeung, H. D. Young, Appl. Surf. Sci. 2000, 168, 345.
38. D. B. Chrisey, A. Pique, J. Fitz-Gerald, R. C. Y. Auyeung, R. A. McGill, H. D. Wu, M. Duignan, Appl. Surf. Sci. 2000, 154, 593.
39. D. Young, H. D. Wu, R. C. Y. Auyeung, R. Modi, J. Fitz-Gerald, A. Pique, D. B. Chrisey, P. Atanassova, T. Kodas, J. Mater. Res. 2001, 16, 1720.
40. A. Pique, D. B. Chrisey, J. M. Fitz-Gerald, R. A. McGill, R. C. Y. Auyeung, H. D. Wu, S. Lakeou, V. Nguyen, R. Chung, M. Duignan, J. Mater. Res. 2000, 15, 1872.
41. P. K. Wu, B. R. Ringeisen, J. Callahan, M. Brooks, D. M. Bubb, H. D. Wu, A. Pique, B. Spargo, R. A. McGill, D. B. Chrisey, Thin Solid Films 2001, 398, 607.
42. J. M. Fitz-Gerald, A. Pique, D. B. Chrisey, P. D. Rack, M. Zeleznik, R. C. Y. Auyeung, S. Lakeou, Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 1386.
43. X. Zhang, X. N. Jiang, C. Sun, Sens. Actuators, A 1999, 77, 149.
44. C. Provin, S. Monneret, IEEE Trans. Electron. Packag. Manuf. 2002, 25, 59.
45. M. J. Madou, Fundamentals of Microfabrication-The Science of Miniaturisation, 2nd ed., CRC Press, Boca Raton, FL, 2002, p. 154.
46. E. S. Thiele, D. Damjanovic, N. Setter, J. Am. Chem. Soc. 2001, 84, 2863.
47. U. Schönholzer, F. T. Filser, P. Kocher, L. J. Gauckler, Am. Ceram. Soc. Bull. 2000, 12, 45.
48. L. J. Gauckler, P. Kocher, F. T. Filser, in Shaping of Ceramics Conference Proceedings, Flemish Institute of Technological Research, Gent, The Netherlands 2002, pp. 259-264.
49. V. F. Janas, A. Safari, J. Am. Chem. Soc. 1995, 78, 2945.
50. C. Van Hoy, A. Barda, M. Griffith, J. W. Halloran, J. Am. Ceram. Soc. 1998, 81, 152.
51. A. T. Crumm, J. W. Halloran, J. Am. Ceram. Soc. 1998, 81, 1053.
52. R. Knitter, D. Gohring, P. Risthaus, J. Hausselt, Microsyst. Technol. 2001, 7, 85.
53. R. Knitter, E. Günther, C. Odemer, U. Maciejewski, Microsyst. Technol. 1996, 2, 135.
54. Z. Zhang, F. F. Lange, Adv. Eng. Mater. 2002, 4, 294.
55. B. C. Yu, F. F. Lange, Adv. Eng. Mater. 2001, 13, 276.
56. S. Petronis, K. L. Eckert, J. Gold, E. Wintermantel, J. Mater. Sci.: Mater. Med. 2001, 12, 523.
57. V. D. Hennige, J. Hausselt, H. J. Ritzhaupt-Kleissl, T. Windmann, J. Eur. Ceram. Soc. 1999, 19, 2901.
58. S. H. Yeo, S. A. P. Balon, Proc.-Inst. Mech. Eng., Part B 2000, 214, 245.
59. J. F. Li, S. Sugimoto, S. Tanaka, M. Esashi, R. Watanabe, J. Am. Ceram. Soc. 2002, 85, 261.
60. S. A. Wang, J. F. Li, K. Wakabayashi, M. Esashi, R. Watanabe, Adv. Mater. 1999, 11, 873.
61. M. Gongora-Rubio, L. M. Sola-Laguna, P. J. Moffett, J. J. Santiago-Aviles, Sens. Actuators, A 1999, 73, 215.
62. M. Gongora-Rubio, P. Espinoza-Vallejos, L. Sola-Laguna, J. J. Santiago-Aviles, Sens. Actuators, A 2001, 89, 222.
63. B. A. Vojak, S. J. Park, C. J. Wagner, J. G. Eden, R. Koripella, J. Burdon, F. Zenhausern, D. L. Wilcox, Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 1340.
64. V. Mengeaud, O. Bagel, R. Ferrigno, H. H. Girault, A. Haider, Lab Chip 2002, 2, 39.
65. D. L. Wilcox, J. Burdon, R. Changrani, C. Chou, S. Dai, R. Koripella, O. Manny, D. Sadler, P. von Allmen, F. Zenhausern, in Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices IV (Eds: A. A. Ayon, T. E. Buchheit, H. Kahn, S. M. Spearing), Vol. 687, Materials Research Society, Warrendale, PA 2002.
66. W. Ehrfeld, V. Hessel, H. Lowe, C. Schulz, L. Weber, Microsyst. Technol. 1999, 5, 105.
67. C. M. Chan, G. Z. Cao, T. G. Stoebe, Microsyst. Technol. 2000, 6, 200.
68. W. Bauer, H. J. Ritzhaupt-Kleissl, J. Hausselt, Ceram. Int. 1999, 25, 201.
69. H. J. Ritzhaupt-Kleissl, W. Bauer, E. Günther, J. Laubersheimer, J. Hausselt, Microsyst. Technol. 1996, 2, 130.
70. W. Bauer, R. Knitter, A. Emde, G. Bartelt, D. Göhring, E. Hansjosten, Microsyst. Technol. 2002, 9, 81.
71. W. Bauer, R. Knitter, J. Mater. Sci. 2002, 37, 3127.
72. A. Ruzzu, O. Fromhein, D. Haller, Microsyst. Technol. 2002, 8, 113.
73. G. Feiertag, W. Ehrfeld, H. Freimuth, H. Kolle, H. Lehr, M. Schmidt, M. M. Sigalas, C. M. Soukoulis, G. Kiriakidis, T. Pedersen, J. Kuhl, W. Koenig, Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 1441.
74. H. Lorenz, M. Despont, N. Fahri, J. Brugger, P. Vettiger, P. Renaud, Sens. Actuators, A 1998, 64, 33.
75. U. Schönholzer, R. Hummel, L. J. Gauckler, Adv. Mater. 2000, 12, 1261.
76. M. Heule, L. J. Gauckler, J. Photopolym. Sci. Technol. 2001, 14, 449.
77. Y. Xia, G. M. Whitesides, Angew. Chem. Int. Ed. 1998, 37, 550.
78. E. Kim, Y. Xia, G. M. Whitesides, Nature 1995, 376, 581.
79. E. Kim, Y. Xia, G. M. Whitesides, J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 5722.
80. J. Hu, R. G. Beck, T. Deng, R. M. Westervelt, K. D. Maranowski, A. C. Gossard, G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 2020.
81. H. Yang, P. Deschatelets, S. T. Brittain, G. M. Whitesides, Adv. Mater. 2001, 13, 54.
82. S. Seraji, Y. Wu, N. E. Jewell-Larson, M. J. Forbess, S. J. Limmer, T. P. Chou, G. Cao, Adv. Mater. 2000, 12, 1421.
83. M. Heule, L. Meier, L. J. Gauckler, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 2001, 657, EE9.4.
84. M. Heule, J. Schell, L. J. Gauckler, J. Am. Ceram. Soc. 2003, 86, 407.
85. M. Heule, L. J. Gauckler, Adv. Mater. 2001, 13, 1790.
86. M. Heule, L. J. Gauckler, Sens. Actuators, B 2003, in press.
87. P. Yang, A. H. Rizvi, B. Messer, B. F. Chmelka, G. M. Whitesides, G. D. Stucky, Adv. Mater. 2001, 13, 427.
88. M. Trau, N. Yao, E. Kim, Y. Xia, G. M. Whitesides, I. A. Aksay, Nature 1997, 390, 674.
89. U. Schönholzer, L. J. Gauckler, Adv. Mater. 1999, 11, 630.
90. B. Su, D. Zhang, T. W. Button, J. Mater. Sci. 2002, 37, 3123.
91. L. A. Liew, W. G. Zhang, V. M. Bright, L. N. An, M. L. Dunn, R. Raj, Sens. Actuators, A 2001, 89, 64.
92. Y. P. Liu, L. A. Liew, R. L. Luo, L. N. An, M. L. Dunn, V. M. Bright, J. W. Daily, R. Raj, Sens. Actuators, A 2002, 95, 143.
93. L. A. Liew, Y. P. Liu, R. L. Luo, T. Cross, L. N. An, V. M. Bright, M. L. Dunn, J. W. Daily, R. Raj, Sens. Actuators, A 2002, 95, 120.
94. R. Salim, H. Wurmus, A. Harnisch, D. Hulsenberg, Microsyst. Technol. 1997, 4, 32.
95. E. Makino, T. Shibata, Y. Yamada, Sens. Actuators, A 1999, 75, 278.
96. S. A. Wang, X. H. Li, K. Wakabayashi, M. Esashi, J. Am. Ceram. Soc. 1999, 82, 1339.
97. N. B. Bowden, M. Weck, I. S. Choi, G. M. Whitesides, Acc. Chem. Res. 2001, 34, 231.
98. T. D. Clark, J. Tien, D. C. Duffy, K. E. Paul, G. M. Whitesides, J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 7677.
99. T. D. Clark, R. Ferrigno, J. Tien, K. E. Paul, G. M. Whitesides, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 5419.
100. J. D. Joannopoulos, R. D. Meade, J. N. Winn, Photonic Crystals-Molding the Flow of Light, Princeton University Press, Princeton, NJ 1995.
101. O. D. Velev, E. W. Kaler, Adv. Mater. 2000, 12, 531.
102. R. C. Hayward, D. A. Saville, I. A. Aksay, Nature 2000, 404, 56.
103. M. Trau, D. A. Saville, I. A. Aksay, Langmuir 1997, 13, 6375.
104. T. Lee, N. Yao, I. A. Aksay, Langmuir 1997, 13, 3866.
105. D. M. Dabbs, I. A. Aksay, Annu. Rev. Phys. Chem. 2001, 51, 601.
106. Y. A. Vlasov, X.-Z. Bo, J. C. Sturm, D. J. Norris, Nature 2001, 414, 289.
107. S. H. Park, Y. Xia, Langmuir 1999, 15, 266.
108. S. H. Park, D. Qin, Y. Xia, Adv. Mater. 1998, 10, 1028.
109. S. H. Park, Y. Xia, Adv. Mater. 1998, 10, 1045.
110. Y. Yin, Y. Lu, B. Gates, Y. Xia, J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 8718.
111. G. A. Ozin, S. M. Yang, Adv. Funct. Mater. 2001, 11, 95.
112. J. F. Bertone, P. Jiang, K. S. Hwang, D. M. Mittleman, V. L. Colvin, Phys. Rev. Lett. 1999, 83, 300.
113. V. L. Colvin, MRS Bull. 2001, 26, 637.
114. P. Jiang, G. N. Ostojic, R. Narat, D. M. Mittleman, V. L. Colvin, Adv. Mater. 2001, 13, 389.
115. P. Jiang, J. F. Bertone, V. L. Colvin, Science 2001, 291, 453.
116. R. Rengarajan, P. Jiang, D. C. Larrabee, V. L. Colvin, D. M. Mittleman, Phys. Rev. B 2001, 64, 205 103.
117. M. E. Turner, T. J. Trentler, V. L. Colvin, Adv. Mater. 2001, 13, 180.