Microgrippers created in microstructurable glass

Microsystem Technologies

Volumn 4, Issue 1, 1997, Pages 32-34

  Salim, R ^a   Wurmus, H ^a   Harnisch, A ^a   Hulsenberg D ^a  

^a ILMENAU UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

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EID: 0010818956     PISSN: 09467076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s005420050088     Document Type: Article

References (5)

1. Bruntsch R: (1990) Strukturierung von Glas als Ergebnis der Wechselwirkung mit Licht. Technische Hochschule Ilmenau, Habilitationsschrift
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3. Salim Riad: (1995) Mikrotechnischer Siliziumgreifer für die Mikromontage. 1. Ilmenauer Symposium Mikrosystemtechnik, Ilmenau
4. Schmidt K: (1994) Spezielle Verfahren der Mikrostrukturierung von Glas. Technische Universität Ilmenau, Dissertationsschrift
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